JP2018084589A - 放射線検出器の製造方法 - Google Patents
放射線検出器の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018084589A JP2018084589A JP2018011783A JP2018011783A JP2018084589A JP 2018084589 A JP2018084589 A JP 2018084589A JP 2018011783 A JP2018011783 A JP 2018011783A JP 2018011783 A JP2018011783 A JP 2018011783A JP 2018084589 A JP2018084589 A JP 2018084589A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin frame
- scintillator layer
- photoelectric conversion
- protective film
- conversion element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】放射線検出器の製造方法は、シンチレータ層を、受光部を覆うように光電変換素子アレイ上に積層する工程と、シンチレータ層及びボンディングパッドから離間してシンチレータ層とボンディングパッドとの間を通り且つシンチレータ層を包囲するように、光電変換素子アレイ上に樹脂枠を形成する工程と、少なくとも光電変換素子アレイのシンチレータ層が積層される側の表面全体を覆うように保護膜を形成する工程と、樹脂枠の略中央部分に沿ってレーザ光を一筆書きの要領で走査しながら照射することで、保護膜を切断すると共に樹脂枠の一部を切断除去し、保護膜の外側の部分を除去すると共に樹脂枠の略中央部分に溝部を形成する工程と、を有する。
【選択図】図7
Description
Claims (2)
- 1次元又は2次元に配列された複数の光電変換素子を含む受光部、及び前記光電変換素子と電気的に接続され且つ前記受光部の外側に配置された複数のボンディングパッドを有する光電変換素子アレイを準備し、放射線を光に変換するシンチレータ層を、前記受光部を覆うように前記光電変換素子アレイ上に積層する工程と、
前記シンチレータ層の積層方向から見た場合に、前記シンチレータ層及び前記ボンディングパッドから離間して前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間を通り且つ前記シンチレータ層を包囲するように、前記光電変換素子アレイ上に樹脂枠を形成する工程と、
少なくとも前記光電変換素子アレイの前記シンチレータ層が積層される側の表面全体を覆うように保護膜を形成する工程と、
前記樹脂枠の略中央部分に沿ってレーザ光を一筆書きの要領で走査しながら照射することで、前記保護膜を切断すると共に前記樹脂枠の一部を切断除去し、前記保護膜の外側の部分を除去すると共に前記樹脂枠の略中央部分に溝部を形成する工程と、
前記保護膜の外縁を覆うように、前記樹脂枠に沿って被覆樹脂層を形成する工程と、を有する、放射線検出器の製造方法。 - 前記保護膜の外側の部分を除去すると共に前記樹脂枠の略中央部分に溝部を形成する工程において、前記積層方向から見た場合に、前記保護膜の外縁及び前記溝部が角部において外側に凸の弧状となるように、前記レーザ光を走査する、
請求項1に記載の放射線検出器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018011783A JP6535769B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 放射線検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018011783A JP6535769B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 放射線検出器の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013236693A Division JP2015096823A (ja) | 2013-11-15 | 2013-11-15 | 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019103714A Division JP2019164163A (ja) | 2019-06-03 | 2019-06-03 | 放射線検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018084589A true JP2018084589A (ja) | 2018-05-31 |
JP6535769B2 JP6535769B2 (ja) | 2019-06-26 |
Family
ID=62237658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018011783A Active JP6535769B2 (ja) | 2018-01-26 | 2018-01-26 | 放射線検出器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6535769B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021131236A1 (ja) * | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
WO2021131239A1 (ja) * | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3077941B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子及びその製造方法 |
JP2005144973A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Process Lab Micron:Kk | 孔版印刷用のマスク |
US20120288688A1 (en) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Yun Bong Kug | Scintillator panel and method of manufacturing the scintillator panel |
-
2018
- 2018-01-26 JP JP2018011783A patent/JP6535769B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3077941B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子及びその製造方法 |
JP2005144973A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Process Lab Micron:Kk | 孔版印刷用のマスク |
US20120288688A1 (en) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Yun Bong Kug | Scintillator panel and method of manufacturing the scintillator panel |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021131236A1 (ja) * | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
WO2021131239A1 (ja) * | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
US11644581B2 (en) | 2019-12-25 | 2023-05-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detector and method for manufacturing radiation detector |
JP7345385B2 (ja) | 2019-12-25 | 2023-09-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
US11762110B2 (en) | 2019-12-25 | 2023-09-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detector and method for manufacturing radiation detector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6535769B2 (ja) | 2019-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11506799B2 (en) | Radiation detector, and method for producing radiation detector | |
US9054012B2 (en) | Radiation detection apparatus and method of manufacturing the same | |
JP6487263B2 (ja) | 放射線検出器及びその製造方法 | |
JP2019164163A (ja) | 放射線検出器 | |
JP6535769B2 (ja) | 放射線検出器の製造方法 | |
JP2020177033A (ja) | 放射線検出器 | |
JP2012037454A (ja) | 放射線検出器及びその製造方法 | |
US11644581B2 (en) | Radiation detector and method for manufacturing radiation detector | |
US11762110B2 (en) | Radiation detector and method for manufacturing radiation detector | |
JP5911330B2 (ja) | 放射線検出器およびその製造方法。 | |
JP2010165912A (ja) | フォトダイオードアレイ及び放射線検出器 | |
JP2011027469A (ja) | X線検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6535769 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |