JP7345385B2 - 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 118
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 40
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 195
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 195
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 190
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 109
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 72
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 62
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 37
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 327
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- -1 polyparaxylylene Polymers 0.000 description 9
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 8
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 239000012463 white pigment Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20188—Auxiliary details, e.g. casings or cooling
- G01T1/20189—Damping or insulation against damage, e.g. caused by heat or pressure
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20181—Stacked detectors, e.g. for measuring energy and positional information
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- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2002—Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers
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- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20188—Auxiliary details, e.g. casings or cooling
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- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
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- Molecular Biology (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
次に、図4~図13を参照して、本実施形態に係る放射線検出器1の製造方法について説明する。まず、図4(a)に示すように、光電変換素子アレイ7を準備する(工程S1)。続いて、図4(b)に示すように、シンチレータ層8を形成(積層)する(工程S2)。具体的には、光電変換素子アレイ7上の受光部3を覆う領域において、TlをドープしたCsIの柱状結晶を例えば蒸着法により成長させる。CsIの柱状結晶の厚さは、一例として600μm程度である。
以下、本実施形態の作用効果について説明する。前述の課題において、レーザ光の照射態様は、予め設定した内容と実際の動作とでは、わずかな相違が生じることがあると述べた。まず、この点について、その態様を例示する。
次に、第2実施形態の放射線検出器1Aと放射線検出器1Aの製造方法について説明する。第1実施形態の放射線検出器1は、パネル保護部として樹脂枠9を用いていた。具体的には、放射線検出器1の製造時において、保護膜13を切断する際にレーザ光から光電変換素子アレイ7を保護する部材として樹脂枠9を用いた。そして、放射線検出器1は、樹脂枠9を構成要素として備えていた。
放射線検出器1Aの作用効果について説明する。放射線検出器1Aにおいて、シンチレータ層8を覆う保護膜20の外縁部22は、光電変換素子アレイ7と密着する密着部23を有する。これにより、保護膜20と光電変換素子アレイ7との間を通りシンチレータ層8に向かって湿気が入り込むことを防ぐことができる。さらに、保護膜20の外縁部22は、延在部24を有する。延在部24は、密着部23から光電変換素子アレイ7の反対側に自立状態で延在する。保護膜20の外縁部22が延在部24を有さないと保護膜20の外縁端20aが密着部23に含まれる。その場合、特に、密着部23のうち保護膜20の外縁端20aが位置する部分と光電変換素子アレイ7との密着性が確保しにくくなる。その結果、密着部23と光電変換素子アレイ7との界面からシンチレータ層8に湿気が侵入しやすくなる。
次に、図19~図23を参照して、放射線検出器1Aの製造方法の各工程について説明する。まず、図19(a)に示すように、光電変換素子アレイ7を用意する(工程S11)。次に、図19(b)に示すように、受光部3を覆うように光電変換素子アレイ7上にシンチレータ層8を設ける(工程S12)。
放射線検出器1Aの製造方法において、パネル保護部は、マスキング部材M1である。マスキング部材M1を配置する工程S13では、シンチレータ層8とボンディングパッド5との間の領域K、及びボンディングパッド5を覆うように、光電変換素子アレイ7上にマスキング部材M1を配置する。保護膜20を形成する工程S14では、光電変換素子アレイ7におけるシンチレータ層8が積層される側の表面全体及びマスキング部材M1の表面に保護膜20を形成する。この工程S14によれば、樹脂枠9を備えない放射線検出器1Aを製造することができる。つまり、シンチレータ層8とボンディングパッド5との間の距離を縮めることが可能になるので、放射線検出器1Aをさらに小型化することができる。
Claims (13)
- 一次元又は二次元に配列された複数の光電変換素子を含む受光部、及び前記光電変換素子と電気的に接続され且つ前記受光部の外側に配置された複数のボンディングパッドを有する光検出パネルと、
前記受光部を覆うように前記光検出パネル上に積層され、放射線を光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層の積層方向から見た場合に、前記シンチレータ層及び前記ボンディングパッドから離間して前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間を通り且つ前記シンチレータ層を包囲するように、前記光検出パネル上に形成されたパネル保護部と、
前記シンチレータ層を覆い、前記パネル保護部上に位置する外縁を有するシンチレータ保護膜と、を備え、
前記パネル保護部には、前記シンチレータ保護膜の外縁と連続する溝が形成され、
前記溝は、
前記パネル保護部の延びる方向に沿って深さが一定である本照射部と、
前記本照射部の第1の端部に連続し、前記パネル保護部の延びる方向に沿って、前記第1の端部に近づくにつれて深さが次第に深くなる部分を含む前照射部と、
前記本照射部の第2の端部に連続し、前記パネル保護部の延びる方向に沿って、前記第2の端部から離れるにつれて深さが次第に浅くなる部分を含む後照射部と、を含む放射線検出器。 - 前記シンチレータ保護膜の前記外縁を覆う被覆樹脂をさらに備える、請求項1に記載の放射線検出器。
- 前記被覆樹脂は、前記パネル保護部をさらに覆い、
前記被覆樹脂は、前記被覆樹脂と前記パネル保護部との接触面の縁部が前記パネル保護部上に形成されるように、前記パネル保護部に留まることが可能な材料特性を有する、請求項2に記載の放射線検出器。 - 前記パネル保護部の中央部は、前記パネル保護部の両縁部よりも高い、請求項2又は3に記載の放射線検出器。
- 前記パネル保護部の幅は、700マイクロメートル以上であり、且つ、1000マイクロメートル以下である、請求項1~4の何れか一項に記載の放射線検出器。
- 前記パネル保護部の高さは、100マイクロメートル以上であり、且つ、300マイクロメートル以下である、請求項1~5の何れか一項に記載の放射線検出器。
- 一次元又は二次元に配列された複数の光電変換素子を含む受光部、及び前記光電変換素子と電気的に接続され且つ前記受光部の外側に配置された複数のボンディングパッドを有する光検出パネルを準備し、放射線を光に変換するシンチレータ層を、前記受光部を覆うように前記光検出パネル上に積層する工程と、
前記シンチレータ層の積層方向から見た場合に、前記シンチレータ層を包囲するように、前記光検出パネル上にパネル保護部を配置する工程と、
前記光検出パネルの前記シンチレータ層が積層される側の表面全体及び前記パネル保護部の表面を覆うように、シンチレータ保護膜を形成する工程と、
前記パネル保護部に沿ってレーザ光を照射することにより、前記シンチレータ保護膜を切断する工程と、
前記シンチレータ保護膜の外側の部分を除去する工程と、を有し、
前記シンチレータ保護膜を切断する工程では、
前記レーザ光のエネルギを、前記シンチレータ保護膜を切断可能な閾値エネルギより小さい値から前記閾値エネルギよりも大きい値に増加させながら、前記パネル保護部に沿って走査する前照射工程と、
前記レーザ光のエネルギを、前記閾値エネルギよりも大きい値に維持しながら、前記パネル保護部に沿って走査する本照射工程と、
前記レーザ光のエネルギを、前記閾値エネルギより大きい値から前記閾値エネルギよりも小さい値に減少させながら、前記パネル保護部に沿って走査する後照射工程と、
を含む、放射線検出器の製造方法。 - 前記パネル保護部は、樹脂枠を含み、
前記パネル保護部を配置する工程では、前記シンチレータ層及び前記ボンディングパッドから離間して前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間を通り且つ前記シンチレータ層を包囲するように、前記光検出パネル上に前記樹脂枠を配置する、請求項7に記載の放射線検出器の製造方法。 - 前記パネル保護部は、マスキング部材をさらに含み、
前記パネル保護部を配置する工程では、前記ボンディングパッドを覆うように、前記光検出パネル上に前記マスキング部材をさらに配置する、請求項8に記載の放射線検出器の製造方法。 - 前記パネル保護部は、マスキング部材を含み、
前記パネル保護部を配置する工程では、前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間の領域、及び前記ボンディングパッドを覆うように、前記光検出パネル上に前記マスキング部材を配置し、
前記シンチレータ保護膜を形成する工程では、前記光検出パネルの前記シンチレータ層が積層される側の表面全体及び前記マスキング部材の表面に前記シンチレータ保護膜を形成する、請求項7に記載の放射線検出器の製造方法。 - 前記シンチレータ保護膜を切断する工程の後に、前記マスキング部材を除去する工程をさらに含む、請求項10に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記シンチレータ保護膜の外側の部分を除去する工程の後に、前記シンチレータ保護膜の外縁を覆う被覆樹脂を形成する工程をさらに有する、請求項10又は11に記載の放射線検出器の製造方法。
- 一次元又は二次元に配列された複数の光電変換素子を含む受光部、及び前記光電変換素子と電気的に接続され且つ前記受光部の外側に配置された複数のボンディングパッドを有する光検出パネルと、
前記受光部を覆うように前記光検出パネル上に積層され、放射線を光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層の積層方向から見た場合に、前記シンチレータ層及び前記ボンディングパッドから離間して前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間を通り且つ前記シンチレータ層を包囲するように、前記光検出パネル上に形成されたパネル保護部と、
前記シンチレータ層を覆い、前記パネル保護部上に位置する外縁を有するシンチレータ保護膜と、を備え、
前記パネル保護部には、前記シンチレータ保護膜の外縁と連続する溝が形成され、
前記溝は、
前記パネル保護部の延びる方向に沿って深さが一定である本照射部と、
前記本照射部の第1の端部に連続し、前記パネル保護部の延びる方向に沿って、前記第1の端部に近づくにつれて深さが次第に浅くなる部分を含む前照射部と、
前記本照射部の第2の端部に連続し、前記パネル保護部の延びる方向に沿って、前記第2の端部から離れるにつれて深さが次第に深くなる部分を含む後照射部と、を含む放射線検出器。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019234436A JP7345385B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
CN202080089605.6A CN114868039A (zh) | 2019-12-25 | 2020-10-12 | 放射线检测器及放射线检测器的制造方法 |
PCT/JP2020/038460 WO2021131236A1 (ja) | 2019-12-25 | 2020-10-12 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
US17/787,693 US11644581B2 (en) | 2019-12-25 | 2020-10-12 | Radiation detector and method for manufacturing radiation detector |
EP20905538.3A EP4083661A4 (en) | 2019-12-25 | 2020-10-12 | RADIATION DETECTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING RADIATION DETECTOR |
KR1020227008449A KR20220118395A (ko) | 2019-12-25 | 2020-10-12 | 방사선 검출기 및 방사선 검출기의 제조 방법 |
TW109136389A TWI853111B (zh) | 2019-12-25 | 2020-10-21 | 放射線檢測器及放射線檢測器的製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019234436A JP7345385B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021103123A JP2021103123A (ja) | 2021-07-15 |
JP7345385B2 true JP7345385B2 (ja) | 2023-09-15 |
Family
ID=76574215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019234436A Active JP7345385B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11644581B2 (ja) |
EP (1) | EP4083661A4 (ja) |
JP (1) | JP7345385B2 (ja) |
KR (1) | KR20220118395A (ja) |
CN (1) | CN114868039A (ja) |
WO (1) | WO2021131236A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3077941B2 (ja) | 1997-02-14 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子及びその製造方法 |
US20120288688A1 (en) | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Yun Bong Kug | Scintillator panel and method of manufacturing the scintillator panel |
JP2015096823A (ja) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法 |
JP2018084589A (ja) | 2018-01-26 | 2018-05-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器の製造方法 |
JP2019164163A (ja) | 2019-06-03 | 2019-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4197593B2 (ja) * | 2000-01-13 | 2008-12-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線イメージセンサ及びシンチレータパネル |
KR20110113482A (ko) * | 2010-04-09 | 2011-10-17 | (주)비엠알테크놀러지 | 직접 증착 방식에 의한 방사선 이미지 센서의 제조방법 |
JP6487263B2 (ja) | 2015-04-20 | 2019-03-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
-
2019
- 2019-12-25 JP JP2019234436A patent/JP7345385B2/ja active Active
-
2020
- 2020-10-12 US US17/787,693 patent/US11644581B2/en active Active
- 2020-10-12 CN CN202080089605.6A patent/CN114868039A/zh active Pending
- 2020-10-12 KR KR1020227008449A patent/KR20220118395A/ko active Search and Examination
- 2020-10-12 WO PCT/JP2020/038460 patent/WO2021131236A1/ja unknown
- 2020-10-12 EP EP20905538.3A patent/EP4083661A4/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3077941B2 (ja) | 1997-02-14 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子及びその製造方法 |
US20120288688A1 (en) | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Yun Bong Kug | Scintillator panel and method of manufacturing the scintillator panel |
JP2015096823A (ja) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法 |
JP2018084589A (ja) | 2018-01-26 | 2018-05-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器の製造方法 |
JP2019164163A (ja) | 2019-06-03 | 2019-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021131236A1 (ja) | 2021-07-01 |
JP2021103123A (ja) | 2021-07-15 |
EP4083661A1 (en) | 2022-11-02 |
EP4083661A4 (en) | 2024-01-03 |
CN114868039A (zh) | 2022-08-05 |
US20230019078A1 (en) | 2023-01-19 |
US11644581B2 (en) | 2023-05-09 |
KR20220118395A (ko) | 2022-08-25 |
TW202132814A (zh) | 2021-09-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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