JP2018081966A - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置において、フィルタの濾過性能を十分に発揮させて、処理後の基板のパーティクルレベルを低減する。
【解決手段】基板処理装置は、処理容器(301)と、超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源(51)と処理容器とを接続する供給ライン(50)とを備える。供給ラインには、第1開閉弁(52a)が設けられ、その下流側に、処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、供給ラインを流れる超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させる第1絞り(55a)が設けられ、さらにその下流側に第1フィルタ(57)が設けられている。
【選択図】図8
【解決手段】基板処理装置は、処理容器(301)と、超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源(51)と処理容器とを接続する供給ライン(50)とを備える。供給ラインには、第1開閉弁(52a)が設けられ、その下流側に、処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、供給ラインを流れる超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させる第1絞り(55a)が設けられ、さらにその下流側に第1フィルタ(57)が設けられている。
【選択図】図8
Description
本発明は、超臨界状態の処理流体を用いて基板の表面に残留した液体を除去する技術に関する。
基板である半導体ウエハ(以下、ウエハという)などの表面に集積回路の積層構造を形成する半導体装置の製造工程においては、薬液洗浄あるいはウエットエッチング等の液処理が行われる。近年では、液処理後の基板の乾燥方法として、超臨界状態の処理流体を用いた乾燥方法が用いられつつある(例えば特許文献1を参照)。
処理流体供給源から超臨界状態の処理流体が送り出され、この処理流体は、供給ラインを介して処理容器に供給される。供給ラインには、処理流体に含まれるパーティクルを除去するためのフィルタが設けられている。しかしながら、実際に処理を行うと、超臨界状態の処理流体に含まれるパーティクルをフィルタで十分に除去することができず、処理後の基板の表面に付着するパーティクルを十分に低減することができないといった事象がしばしば生じる。
本発明は、処理流体供給源から処理容器に処理流体を供給する供給ラインに設けられるフィルタの濾過性能を十分に発揮させ、処理後の基板のパーティクルレベルを十分に低減しうる技術を提供することを目的としている。
本発明の一実施形態によれば、超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、前記基板が収容される処理容器と、超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられ、前記処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、前記供給ラインを流れる超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させる第1絞りと、前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、を備えた基板処理装置が提供される。
本発明の他の実施形態によれば、超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、前記基板が収容される処理容器と、超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられた第1絞りと、
前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1絞りと前記第1フィルタとの間の位置において前記供給ラインに合流する第1分岐ラインと、 前記第1分岐ラインに設けられた第2絞りとを備えた基板処理装置が提供される。
前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1絞りと前記第1フィルタとの間の位置において前記供給ラインに合流する第1分岐ラインと、 前記第1分岐ラインに設けられた第2絞りとを備えた基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の実施形態によれば、超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、前記基板が収容される処理容器と、超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられた第1絞りと、前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1フィルタと前記処理容器との間の位置において前記供給ラインに合流する第1分岐ラインと、前記第1分岐ラインに設けられた第2絞り及び第2フィルタとを備えた基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の実施形態によれば、基板が収容される処理容器に前記基板を搬入する搬入工程と、前記処理容器に流体供給源から処理流体を供給することにより、前記基板を収容している前記処理容器内を超臨界状態の処理流体で満たす充填工程と、を備え、前記充填工程において、前記処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、前記流体供給源から供給される超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させ、第1フィルタを通過させ前記処理容器に供給する、基板処理方法が提供される。
本発明のさらに他の実施形態によれば、基板処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記基板処理装置を制御して上記の基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体が提供される。
上記本発明の実施形態によれば、第1開閉弁を開いた時点からある時間が経過するまでの間(つまり絞りよりも下流側の圧力が十分に高まる前)は、絞りによる圧力損失により、絞りから流出する処理流体が超臨界状態ではなく、気体状態となるため、フィルの濾過性能を高めることができる。
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面に示されている構成には、図示と理解のしやすさの便宜上、サイズ及び縮尺等が実物のそれらから変更されている部分が含まれうる。
[基板処理システムの構成]
図1に示すように、基板処理システム1は、ウエハWに洗浄液を供給して洗浄処理を行う複数の洗浄装置2(図1に示す例では2台の洗浄装置2)と、洗浄処理後のウエハWに残留している乾燥防止用の液体(本実施形態ではIPA:イソプロピルアルコール)を、超臨界状態の処理流体(本実施形態ではCO2:二酸化炭素)と接触させて除去する複数の超臨界処理装置3(図1に示す例では6台の超臨界処理装置3)と、を備える。
図1に示すように、基板処理システム1は、ウエハWに洗浄液を供給して洗浄処理を行う複数の洗浄装置2(図1に示す例では2台の洗浄装置2)と、洗浄処理後のウエハWに残留している乾燥防止用の液体(本実施形態ではIPA:イソプロピルアルコール)を、超臨界状態の処理流体(本実施形態ではCO2:二酸化炭素)と接触させて除去する複数の超臨界処理装置3(図1に示す例では6台の超臨界処理装置3)と、を備える。
この基板処理システム1では、載置部11にFOUP100が載置され、このFOUP100に格納されたウエハWが、搬入出部12及び受け渡し部13を介して洗浄処理部14及び超臨界処理部15に受け渡される。洗浄処理部14及び超臨界処理部15において、ウエハWは、まず洗浄処理部14に設けられた洗浄装置2に搬入されて洗浄処理を受け、その後、超臨界処理部15に設けられた超臨界処理装置3に搬入されてウエハW上からIPAを除去する乾燥処理を受ける。図1中、符合「121」はFOUP100と受け渡し部13との間でウエハWを搬送する第1の搬送機構を示し、符合「131」は搬入出部12と洗浄処理部14及び超臨界処理部15との間で搬送されるウエハWが一時的に載置されるバッファとしての役割を果たす受け渡し棚を示す。
受け渡し部13の開口部にはウエハ搬送路162が接続されており、ウエハ搬送路162に沿って洗浄処理部14及び超臨界処理部15が設けられている。洗浄処理部14には、当該ウエハ搬送路162を挟んで洗浄装置2が1台ずつ配置されており、合計2台の洗浄装置2が設置されている。一方、超臨界処理部15には、ウエハWからIPAを除去する乾燥処理を行う基板処理装置として機能する超臨界処理装置3が、ウエハ搬送路162を挟んで3台ずつ配置されており、合計6台の超臨界処理装置3が設置されている。ウエハ搬送路162には第2の搬送機構161が配置されており、第2の搬送機構161は、ウエハ搬送路162内を移動可能に設けられている。受け渡し棚131に載置されたウエハWは第2の搬送機構161によって受け取られ、第2の搬送機構161は、ウエハWを洗浄装置2及び超臨界処理装置3に搬入する。なお、洗浄装置2及び超臨界処理装置3の数及び配置態様は特に限定されず、単位時間当たりのウエハWの処理枚数及び各洗浄装置2及び各超臨界処理装置3の処理時間等に応じて、適切な数の洗浄装置2及び超臨界処理装置3が適切な態様で配置される。
洗浄装置2は、例えばスピン洗浄によってウエハWを1枚ずつ洗浄する枚葉式の装置として構成される。この場合、ウエハWを水平に保持した状態で鉛直軸線周りに回転させながら、洗浄用の薬液や薬液を洗い流すためのリンス液をウエハWの処理面に対して適切なタイミングで供給することで、ウエハWの洗浄処理を行うことができる。洗浄装置2で用いられる薬液及びリンス液は特に限定されない。例えば、アルカリ性の薬液であるSC1液(すなわちアンモニアと過酸化水素水の混合液)をウエハWに供給し、ウエハWからパーティクルや有機性の汚染物質を除去することができる。その後、リンス液である脱イオン水(DIW:DeIonized Water)をウエハWに供給し、SC1液をウエハWから洗い流すことができる。さらに、酸性の薬液である希フッ酸水溶液(DHF:Diluted HydroFluoric acid)をウエハWに供給して自然酸化膜を除去し、その後、DIWをウエハWに供給して希フッ酸水溶液をウエハWから洗い流すこともできる。
そして洗浄装置2は、DIWによるリンス処理を終えたら、ウエハWを回転させながら、乾燥防止用の液体としてIPAをウエハWに供給し、ウエハWの処理面に残留するDIWをIPAと置換する。その後、ウエハWの回転を緩やかに停止する。このとき、ウエハWには十分量のIPAが供給され、半導体のパターンが形成されたウエハWの表面はIPAが液盛りされた状態となり、ウエハWの表面にはIPAの液膜が形成される。ウエハWは、IPAが液盛りされた状態を維持しつつ、第2の搬送機構161によって洗浄装置2から搬出される。
このようにしてウエハWの表面に付与されたIPAは、ウエハWの乾燥を防ぐ役割を果たす。特に、洗浄装置2から超臨界処理装置3へのウエハWの搬送中におけるIPAの蒸発によってウエハWに所謂パターン倒れが生じてしまうことを防ぐため、洗浄装置2は、比較的大きな厚みを有するIPA膜がウエハWの表面に形成されるように、十分な量のIPAをウエハWに付与する。
洗浄装置2から搬出されたウエハWは、第2の搬送機構161によって、IPAが液盛りされた状態で超臨界処理装置3の処理容器内に搬入され、超臨界処理装置3においてIPAの乾燥処理が行われる。
[超臨界処理装置]
以下、超臨界処理装置3について図2〜図4を参照して説明する。
図2及び図3に示すように、処理容器301は、ウエハWの搬入出用の開口部312が形成された容器本体311と、処理対象のウエハWを水平に保持する保持板316と、この保持板316を支持するとともに、ウエハWを容器本体311内に搬入したとき開口部312を密閉する蓋部材315とを備える。
容器本体311は、例えば直径300mmのウエハWを収容可能な処理空間が内部に形成された容器である。容器本体311の内部の一端側に流体供給ヘッダー(第1流体供給部)317が設けられ、他端側に流体排出ヘッダー(流体排出部)318が設けられている。図示例では、流体供給ヘッダー317は、多数の開口(第1流体供給口)が設けられたブロック体からなり、流体排出ヘッダー318は多数の開口(流体排出口)が設けられた管からなる。流体供給ヘッダー317の第1流体供給口は、保持板316により保持されたウエハWの上面よりやや高い位置にあることが好ましい。
流体供給ヘッダー317及び流体排出ヘッダー318の構成は図示例に限定されず、例えば、流体排出ヘッダー318をブロック体から形成してもよく、流体供給ヘッダー317を管から形成してもよい。
保持板316を下方から見ると、保持板316は、ウエハWの下面全域を覆っている。 保持板316は、蓋部材315側の端部に開口316aを有している。保持板316の上方の空間にある処理流体は、開口316aを通って、流体排出ヘッダー318に導かれる(図3の矢印F5参照)。
流体供給ヘッダー317は、実質的に水平方向へ向けて処理流体を容器本体311(処理容器301)内に供給する。ここでいう水平方向とは、重力が作用する鉛直方向と垂直な方向であって、通常は、保持板316に保持されたウエハWの平坦な表面が延在する方向と平行な方向である。
流体排出ヘッダー318を介して、処理容器301内の流体が処理容器301の外部に排出される。流体排出ヘッダー318を介して排出される流体には、流体供給ヘッダー317を介して処理容器301内に供給された処理流体の他に、ウエハWの表面に残留していて処理流体に溶け込んだIPAも含まれる。
容器本体311の底部には、処理流体を処理容器301の内部に供給する流体供給ノズル(第2流体供給部)341が設けられている。図示例では、流体供給ノズル341は、容器本体311の底壁に穿たれた開口からなる。流体供給ノズル341は、ウエハWの中心部の真下に位置し、垂直方向上方に向けて、処理流体を処理容器301内に供給する。
処理容器301は、さらに、不図示の押圧機構を備える。この押圧機構は、処理空間内に供給された超臨界状態の処理流体によってもたらされる内圧に抗して、容器本体311に向けて蓋部材315を押し付け、処理空間を密閉する役割を果たす。また、処理空間内に供給された処理流体が超臨界状態の温度を保てるように、容器本体311の天井壁及び底壁に、断熱材、テープヒータなど(図示せず)を設けることが好ましい。
図4に示すように、超臨界処理装置3は、超臨界状態の処理流体例えば16〜20MPa(メガパスカル)程度の高圧の処理流体の供給源である流体供給タンク51を有する。流体供給タンク51には、主供給ライン50が接続されている。主供給ライン50は、途中で、処理容器301内の流体供給ヘッダー(第1流体供給部)317に接続された第1供給ライン63と、流体供給ノズル(第2流体供給部)341に接続された第2供給ライン64とに分岐する。
流体供給タンク51と流体供給ヘッダー317との間(つまり主供給ライン50及びこれに連なる第1供給ライン63)には、開閉弁52a、オリフィス55a(第1絞り)、フィルタ57及び開閉弁52bが、上流側からこの順で設けられている。第2供給ライン64は、フィルタ57及び開閉弁52bとの間の位置で主供給ライン50から分岐している。第2供給ライン64には、開閉弁52cが設けられている。
オリフィス55aは、ウエハWの保護のため、流体供給タンク51から供給される処理流体の流速を低下させるために設けられる。フィルタ57は、主供給ライン50を流れる処理流体に含まれる異物(パーティクル原因物質)を取り除くために設けられる。
超臨界処理装置3はさらに、開閉弁52d及び逆止弁58aを介してパージ装置62に接続されたパージガス供給ライン70、及び開閉弁52e及びオリフィス55cを介して超臨界処理装置3の外部空間に接続された排出ライン71を有する。パージガス供給ライン70及び排出ライン71は、主供給ライン50、第1供給ライン63及び第2供給ライン64に接続されている。
パージガス供給ライン70は、例えば、流体供給タンク51から処理容器301に対する処理流体の供給が停止している間に、処理容器301を不活性ガスで満たして清浄な状態を保つ目的で使用される。排出ライン71は、例えば超臨界処理装置3の電源オフ時において、開閉弁52aと開閉弁52bとの間の供給ライン内に残存する処理流体を外部に排出するために用いられる。
処理容器301内の流体排出ヘッダー318には、主排出ライン65が接続されている。主排出ライン65は、途中で、第1排出ライン66、第2排出ライン67、第3排出ライン68及び第4排出ライン69に分岐する。
主排出ライン65及びこれに連なる第1排出ライン66には、開閉弁52f、背圧弁59、濃度センサ60及び開閉弁52gが、上流側から順に設けられている。
背圧弁59は、一次側圧力(これは処理容器301内の圧力に等しい)が設定圧力を越えたときに開弁して、二次側に流体を流すことにより一次側圧力を設定圧力に維持するように構成されている。背圧弁59の設定圧力は制御部4により随時変更することが可能である。
濃度センサ60は、主排出ライン65を流れる流体のIPA濃度を計測するセンサである。
開閉弁52gの下流側において、第1排出ライン66には、ニードル弁(可変絞り)61a及び逆止弁58bが設けられている。ニードル弁61aは、第1排出ライン66を通って超臨界処理装置3の外部に排出される流体の流量を調整するバルブである。
第2排出ライン67、第3排出ライン68及び第4排出ライン69、濃度センサ60と開閉弁52gとの間の位置において、主排出ライン65から分岐している。第2排出ライン67には、開閉弁52h、ニードル弁61b及び逆止弁58cが設けられている。第3排出ライン68には、開閉弁52i及び逆止弁58dが設けられている。第4排出ライン69には、開閉弁52j及びオリフィス55dが設けられている。
第2排出ライン67及び第3排出ライン68は第1の排出先例えば流体回収装置に接続されており、第4排出ライン69は第2の排出先例えば超臨界処理装置3外部の大気空間または工場排気系に接続されている。
処理容器301から流体を排出する場合、開閉弁52g、52h、52i、52jのうちの1以上のバルブが開状態とされる。特に超臨界処理装置3の停止時には、開閉弁52jを開き、濃度センサ60と濃度センサ60と開閉弁52gとの間の第1排出ライン66に存在する流体を超臨界処理装置3の外部に排出してもよい。
超臨界処理装置3の流体が流れるラインの様々な場所に、流体の圧力を検出する圧力センサ及び流体の温度を検出する温度センサが設置される。図4に示す例では開閉弁52aとオリフィス55aとの間に圧力センサ53a及び温度センサ54aが設けられ、オリフィス55aとフィルタ57との間に圧力センサ53b及び温度センサ54bが設けられ、フィルタ57と開閉弁52bとの間に圧力センサ53cが設けられ、開閉弁52bと処理容器301との間に温度センサ54cが設けられ、オリフィス55bと処理容器301との間に温度センサ54dが設けられている。また処理容器301と開閉弁52fとの間に圧力センサ53d及び温度センサ54fが設けられ、濃度センサ60と開閉弁52gとの間に圧力センサ53e及び温度センサ54gが設けられている。さらに、処理容器301内の流体の温度を検出するための温度センサ54eが設けられている。
主供給ライン50及び第1供給ライン63に、処理容器301に供給する処理流体の温度を調節するための4つのヒータHが設けられている。処理容器301よりも下流側の排出ラインにもヒータHを設けてもよい。
主供給ライン50のオリフィス55aとフィルタ57の間には安全弁(リリーフ弁)56aが設けられ、処理容器301と開閉弁52fとの間には安全弁56bが設けられ、濃度センサ60と開閉弁52gの間には安全弁56cが設けられている。これらの安全弁56a〜56cは、これらの安全弁が設けられているライン(配管)内の圧力が過大になった場合等の異常時に、ライン内の流体を緊急的に外部に排出する。
制御部4は、図3に示す各種センサ(圧力センサ53a〜53e、温度センサ54a〜54g及び濃度センサ60等)から計測信号を受信し、各種機能要素に制御信号(開閉弁52a〜52jの開閉信号、背圧弁59の設定圧力調節信号、ニードル弁61a〜61bの開度調節信号等)を送信する。制御部4は、たとえばコンピュータであり、演算部18と記憶部19とを備える。記憶部19には、基板処理システム1において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。演算部18は、記憶部19に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって基板処理システム1の動作を制御する。プログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部4の記憶部19にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。
[超臨界乾燥処理]
次に、超臨界状態の処理流体(例えば二酸化炭素(CO2))を用いたIPAの乾燥メカニズムについて、図5を参照して簡単に説明する。
次に、超臨界状態の処理流体(例えば二酸化炭素(CO2))を用いたIPAの乾燥メカニズムについて、図5を参照して簡単に説明する。
超臨界状態の処理流体Rが処理容器301内に導入された直後は、図5(a)に示すように、ウエハWのパターンPの凹部内にはIPAが存在する。
凹部内のIPAは、超臨界状態の処理流体Rと接触することで、徐々に処理流体Rに溶解し、図5(b)に示すように徐々に処理流体Rと置き換わってゆく。このとき、凹部内には、IPA及び処理流体Rの他に、IPAと処理流体Rとが混合した状態の混合流体Mが存在する。
凹部内でIPAから処理流体Rへの置換が進行するに従って、凹部内に存在するIPAが減少し、最終的には図5(c)に示すように、凹部内には超臨界状態の処理流体Rのみが存在するようになる。
凹部内からIPAが除去された後に、処理容器301内の圧力を大気圧まで下げることによって、図5(d)に示すように、処理流体Rは超臨界状態から気体状態に変化し、凹部内は気体のみによって占められる。このようにしてパターンPの凹部内のIPAが除去され、ウエハWの乾燥処理は完了する。
次に、上記の超臨界処理装置3を用いて実行される乾燥方法(基板処理方法)について説明する。なお、以下に説明する乾燥方法は、記憶部19に記憶された処理レシピ及び制御プログラムに基づいて、制御部4の制御の下で、自動的に実行される。
<搬入工程>
洗浄装置2において洗浄処理が施されたウエハWが、その表面のパターンの凹部内がIPAに充填されかつその表面にIPAのパドルが形成された状態で、第2の搬送機構161により洗浄装置2から搬出される。第2の搬送機構161は、保持板316の上にウエハを載置し、その後、ウエハを載置した保持板316が容器本体311内に進入し、蓋部材315が容器本体311と密封係合する。以上によりウエハの搬入が完了する。
洗浄装置2において洗浄処理が施されたウエハWが、その表面のパターンの凹部内がIPAに充填されかつその表面にIPAのパドルが形成された状態で、第2の搬送機構161により洗浄装置2から搬出される。第2の搬送機構161は、保持板316の上にウエハを載置し、その後、ウエハを載置した保持板316が容器本体311内に進入し、蓋部材315が容器本体311と密封係合する。以上によりウエハの搬入が完了する。
次に、図6のタイムチャートに示した手順に従い、処理流体(CO2)が処理容器301内に供給され、これによりウエハWの乾燥処理が行われる。図6に示す折れ線Aは、乾燥処理開始時点からの経過時間と処理容器301内の圧力との関係を示している。
<昇圧工程>
まず昇圧工程T1が行われ、流体供給タンク51から処理容器301内に処理流体としてのCO2(二酸化炭素)が供給される。この昇圧工程が開始される直前の時点では開閉弁52aが閉状態となっており、主供給ライン50の流体供給タンク51と開閉弁52aとの間の区間は、臨界圧力より高い圧力(つまり流体供給タンク51から供給される処理流体の圧力例えば16〜20MPa)のCO2、つまり超臨界状態のCO2で満たされている。また、開閉弁52bは閉状態、また、開閉弁52cは開状態となっており、主供給ライン50のうちの開閉弁52aよりも下流側の区間内の圧力及び第2供給ライン64内の圧力は、処理容器301内と同じ常圧となっている。また、開閉弁52f,52g,52h,52iが開状態となっており、開閉弁52d,52e,52jが閉状態となっている。ニードル弁61a,61bが予め定められた開度に調整されている。背圧弁59の設定圧力は、処理容器301内のCO2が超臨界状態を維持できる圧力例えば15MPaに設定される。
まず昇圧工程T1が行われ、流体供給タンク51から処理容器301内に処理流体としてのCO2(二酸化炭素)が供給される。この昇圧工程が開始される直前の時点では開閉弁52aが閉状態となっており、主供給ライン50の流体供給タンク51と開閉弁52aとの間の区間は、臨界圧力より高い圧力(つまり流体供給タンク51から供給される処理流体の圧力例えば16〜20MPa)のCO2、つまり超臨界状態のCO2で満たされている。また、開閉弁52bは閉状態、また、開閉弁52cは開状態となっており、主供給ライン50のうちの開閉弁52aよりも下流側の区間内の圧力及び第2供給ライン64内の圧力は、処理容器301内と同じ常圧となっている。また、開閉弁52f,52g,52h,52iが開状態となっており、開閉弁52d,52e,52jが閉状態となっている。ニードル弁61a,61bが予め定められた開度に調整されている。背圧弁59の設定圧力は、処理容器301内のCO2が超臨界状態を維持できる圧力例えば15MPaに設定される。
上記の状態から開閉弁52aを開くことにより昇圧工程が開始される。開閉弁52aを開くと、超臨界状態にあるCO2が下流側に流れ、オリフィス55aを通過する。オリフィス55aの通過に伴い生じる圧力損失により、CO2の圧力が臨界圧力より低くなり、超臨界状態にあるCO2が気体状態のCO2に変化する。気体状態のCO2はフィルタ57を通過し、このときCO2ガス中に含まれるパーティクルがフィルタ57により捕捉される。フィルタ57を通過したCO2ガスは、ウエハWの中央部の真下にある流体供給ノズル341から保持板316の下面に向けて吐出される。
流体供給ノズル341から吐出されたCO2(図3の矢印F1参照)は、ウエハWの下面を覆う保持板316に衝突した後に、保持板316の下面に沿って放射状に広がり(図3の矢印F2参照)、その後、保持板316の端縁と容器本体311の側壁との間の隙間及び保持板316の開口316aを通って、ウエハWの上面側の空間に流入する(図3の矢印F3参照)。背圧弁59は設定圧力(15MPa)まで全閉に維持されるので、処理容器301からCO2は流出しない。このため、処理容器301内の圧力は徐々に上昇してゆく。
昇圧工程T1の初期では、流体供給タンク51から超臨界状態で送り出されたCO2の圧力は、オリフィス55aを通過するときに低下し、また、常圧状態にある処理容器301内に流入したときにも低下する。従って、昇圧工程T1の初期では、処理容器301内に流入するCO2の圧力は臨界圧力(例えば約7MPa)より低く、つまり、CO2は気体(ガス)の状態で処理容器301内に流入する。その後、処理容器301内へのCO2の充填の進行とともに処理容器301内の圧力は増加してゆき、処理容器301内の圧力が臨界圧力を越えると、処理容器301内に存在するCO2は超臨界状態となる。
昇圧工程T1において、処理容器301内の圧力が増大して臨界圧力を越えると、処理容器301内の処理流体が超臨界状態となり、ウエハW上のIPAが超臨界状態の処理流体に溶け込み始める。すると、CO2及びIPAからなる混合流体中におけるIPAとCO2との混合比が変化してゆく。なお、混合比はウエハW表面全体において均一とは限らない。不測の混合流体の気化によるパターン倒れを防止するため、昇圧工程T1では、処理容器301内の圧力を、混合流体中のCO2濃度に関わらず処理容器301内のCO2が超臨界状態となることが保証される圧力ここでは15MPaまで昇圧する。ここで、「超臨界状態となることが保証される圧力」とは、図7のグラフの曲線Cで示す圧力の極大値より高い圧力である。この圧力(15MPa)は、「処理圧力」と呼ばれる。
処理容器301内の圧力が上昇するに従い、第1及び第2供給ライン63,64及び主供給ライン50内の圧力も上昇する。主供給ライン50内の圧力がCO2の臨界圧力を上回ると、フィルタ57を通過するCO2が超臨界状態となる。
<保持工程>
上記昇圧工程T1により、処理容器301内の圧力が上記処理圧力(15MPa)まで上昇したら、処理容器301の上流側及び下流側にそれぞれ位置する開閉弁52b及び開閉弁52fを閉じて、処理容器301内の圧力を維持する保持工程T2に移行する。この保持工程は、ウエハWのパターンPの凹部内にある混合流体中のIPA濃度及びCO2濃度が予め定められた濃度(例えばIPA濃度が30%以下、CO2濃度が70%以上)になるまで継続される。保持工程T2の時間は、実験により定めることができる。この保持工程T2において、他のバルブの開閉状態は、昇圧工程T1における開閉状態と同じである。
上記昇圧工程T1により、処理容器301内の圧力が上記処理圧力(15MPa)まで上昇したら、処理容器301の上流側及び下流側にそれぞれ位置する開閉弁52b及び開閉弁52fを閉じて、処理容器301内の圧力を維持する保持工程T2に移行する。この保持工程は、ウエハWのパターンPの凹部内にある混合流体中のIPA濃度及びCO2濃度が予め定められた濃度(例えばIPA濃度が30%以下、CO2濃度が70%以上)になるまで継続される。保持工程T2の時間は、実験により定めることができる。この保持工程T2において、他のバルブの開閉状態は、昇圧工程T1における開閉状態と同じである。
<流通工程>
保持工程T2の後、流通工程T3が行われる。流通工程T3は、処理容器301内からCO2及びIPAの混合流体を排出して処理容器301内を降圧する降圧段階と、流体供給タンク51から処理容器301内にIPAを含まない新しいCO2を供給して処理容器301内を昇圧する昇圧段階とを交互に繰り返すことにより行うことができる。
保持工程T2の後、流通工程T3が行われる。流通工程T3は、処理容器301内からCO2及びIPAの混合流体を排出して処理容器301内を降圧する降圧段階と、流体供給タンク51から処理容器301内にIPAを含まない新しいCO2を供給して処理容器301内を昇圧する昇圧段階とを交互に繰り返すことにより行うことができる。
流通工程T3は、例えば、開閉弁52b及び開閉弁52fを開状態として、背圧弁59の設定圧力の上昇及び下降を繰り返すことにより行われる。これに代えて、流通工程T3を、開閉弁52bを開きかつ背圧弁59の設定圧力を低い値に設定した状態で、開閉弁52fの開閉を繰り返すことにより行ってもよい。
流通工程T3では、流体供給ヘッダー317を用いて処理容器301内にCO2が供給される(図3の矢印F4参照)。流体供給ヘッダー317は、流体供給ノズル341よりも大流量でCO2を供給することができる。流通工程T3では、処理容器301内の圧力は臨界圧力よりも十分に高い圧力に維持されているため、大流量のCO2がウエハW表面に衝突したり、ウエハW表面近傍を流れても乾燥の問題は無い。このため、処理時間の短縮を重視して流体供給ヘッダー317が用いられる。
昇圧段階では、処理容器301内の圧力を上記処理圧力(15MPa)まで上昇させる。降圧段階では、処理容器301内の圧力を上記処理圧力から予め定められた圧力(臨界圧力よりも高い圧力)まで低下させる。降圧段階では、流体供給ヘッダー317を介して処理容器301内に処理流体が供給されるとともに流体排出ヘッダー318を介して処理容器301から処理流体が排気されることになるため、処理容器301内には、ウエハWの表面と略平行に流動する処理流体の層流が形成される(図3の矢印F6参照)。
流通工程を行うことにより、ウエハWのパターンの凹部内においてIPAからCO2への置換が促進させる。凹部内においてIPAからCO2への置換が進行してゆくに従って、図7の左側に示すように混合流体の臨界圧力が低下してゆくので、各降圧段階の終了時における処理容器301内の圧力を、混合流体中のCO2濃度に対応する混合流体の臨界圧力よりも高いという条件を満たしながら、徐々に低くしてゆくことができる。
<排出工程>
流通工程T3により、パターンの凹部内においてIPAからCO2への置換が完了したら、排出工程T4が行われる。排出工程T4は、開閉弁52aを閉状態とし、背圧弁59の設定圧力を常圧とし、開閉弁52b,52c,52d,52e,52f,52g,52h,52iを開状態とし、開閉弁52jを閉状態とすることにより行うことができる。排出工程T4により処理容器301内の圧力がCO2の臨界圧力より低くなると、超臨界状態のCO2は気化し、パターンの凹部内から離脱する。これにより、1枚のウエハWに対する乾燥処理が終了する。
流通工程T3により、パターンの凹部内においてIPAからCO2への置換が完了したら、排出工程T4が行われる。排出工程T4は、開閉弁52aを閉状態とし、背圧弁59の設定圧力を常圧とし、開閉弁52b,52c,52d,52e,52f,52g,52h,52iを開状態とし、開閉弁52jを閉状態とすることにより行うことができる。排出工程T4により処理容器301内の圧力がCO2の臨界圧力より低くなると、超臨界状態のCO2は気化し、パターンの凹部内から離脱する。これにより、1枚のウエハWに対する乾燥処理が終了する。
なお、排出工程の終了時には開閉弁52aが閉じられているので、昇圧工程が開始される直前の時点と同様に、主供給ライン50の流体供給タンク51と開閉弁52aとの間の区間は、超臨界状態のCO2で満たされることになる。また、このとき、図4に示された全ての流体ライン(配管)のうち開閉弁52aよりも下流側に位置する流体ラインは常圧の大気雰囲気となっている。
上記実施形態によれば、流体供給タンク51から処理容器301に供給されるCO2(処理流体)中に含まれるパーティクルをフィルタ57により効率良く捕捉することができる。つまり、上記実施形態によれば、昇圧工程の開始後、主供給ライン50のフィルタ57付近の圧力が処理流体であるCO2の臨界圧力を越えるまでの間は、フィルタ57を気体状態のCO2が通過する。フィルタ57の濾過性能は、通過する流体が気体状態であるときの方が、超臨界状態であるときと比較して大幅に高い。従って、充填工程において、フィルタ57を通過するCO2が気体状態である期間内におけるフィルタの濾過性能を大幅に向上させることができ、処理容器301内に供給されるパーティクルの量を大幅に減少させることができる。これにより、処理後のウエハに付着するパーティクルの量を大幅に減少させることができる。
もし仮に、昇圧工程が開始される直前の時点において開閉弁52aが開状態、開閉弁52b,52cが閉状態となっていて、流体供給タンク51から開閉弁52b,52cまでの間の区間が超臨界状態のCO2で満たされており、この状態から開閉弁52cを開くことにより昇圧工程を開始したとする(比較例)。この場合、フィルタ57を通過するCO2は昇圧工程の開始直後から超臨界状態であり、フィルタ57の濾過性能を十分に発揮させることはできない。
なお、上記実施形態に係る手順で実際にウエハWの処理を行ったところ、処理後のウエハWに付着している30nm以上の大きさのパーティクルは約680個であった。これに対して、上記比較例では、処理後のウエハWに付着している30nm以上の大きさのパーティクルは約55300個であった。
上記実施形態では、流体供給タンク51と処理容器301とを接続する供給ライン(主供給ライン50)に、1つのオリフィス55aと1つのフィルタ57が直列に配置されていたが、これには限定されない。
例えば図9に概略的に示すように、オリフィス(第1絞り)55aの上流側で主供給ライン50から分岐してオリフィス55aの下流側で再び主供給ライン50に合流する分岐ライン50Aを設け、この分岐ライン50Aにオリフィス(第2絞り)55aAを設けてもよい。オリフィスが設けられた分岐ラインを2つ以上設けてもよい。このようにすると、フィルタ57を通過する流体の流速を低下させることができるため、フィルタ57の濾過性能をさらに向上させることができる。
また、図10に概略的に示すように、主供給ライン50に、オリフィス55a(第1絞り)の上流側で主供給ライン50から分岐してフィルタ(第1フィルタ)57の下流側で再び主供給ライン50に合流する分岐ライン50Bを設け、この分岐ライン50Bにオリフィス(第2絞り)55aB及びフィルタ(第2フィルタ)57Bを設けてもよい。このようにしても、フィルタ57を通過する流体の流速を低下させることができるため、フィルタ57の濾過性能をさらに向上させることができる。
なお、図8は、図4の配管系等図から上記作用の説明をする上で不要な構成要素を省略することにより描かれた簡略図であり、図9及び図10は、図8に基づいて描かれている。従って、図9及び図10の構成例においても、図8で省略されている構成要素を含めることができる。
上記実施形態では、主供給ライン50を流れる超臨界状態にあるCO2の圧力を低下させて気体状態とするための絞りとしてオリフィス(55a、55aA,55aB)を用いたが、これには限定されない。(なお、本明細書では、「オリフィス」とは、流体が通る孔径が不変の細孔を有する部材を意味している。)絞りとして、オリフィスのような固定絞りに代えて、ニードル弁のような可変絞り弁を用いてもよい。
上記実施形態のように流体供給タンク51と処理容器301とを接続する供給ライン(主供給ライン50)が途中で2つ以上の供給ライン(第1供給ライン63及び第2供給ライン64)に分岐しているのではなく、流体供給タンク51と処理容器301とが単一の供給ラインで接続されている形式の装置においては、フィルタ(57)と処理容器301との間にある開閉弁(52b)は設けなくてもよい。
W 基板(半導体ウエハ)
4 制御部(制御装置)
301 処理容器
50,63,64 供給ライン(主供給ライン、第1、第2供給ライン)
52a 第1開閉弁
55a 第1絞り
57 第1フィルタ
50A,50B 分岐ライン
55aA,55aB 第2絞り
57A,57B 第2フィルタ
4 制御部(制御装置)
301 処理容器
50,63,64 供給ライン(主供給ライン、第1、第2供給ライン)
52a 第1開閉弁
55a 第1絞り
57 第1フィルタ
50A,50B 分岐ライン
55aA,55aB 第2絞り
57A,57B 第2フィルタ
Claims (8)
- 超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板が収容される処理容器と、
超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、
前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、
前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられ、前記処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、前記供給ラインを流れる超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させる第1絞りと、
前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、
を備えた基板処理装置。 - 前記第1絞りは、孔径が不変の細孔を有するオリフィス、または可変絞り弁からなる、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1絞りと前記第1フィルタとの間の位置において前記供給ラインに合流する分岐ラインを更に備え、前記分岐ラインに第2絞りが設けられている、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1フィルタと前記処理容器との間の位置において前記供給ラインに合流する分岐ラインを更に備え、前記分岐ラインに第2絞り及び第2フィルタが設けられている、請求項1記載の基板処理装置。
- 超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板が収容される処理容器と、
超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、
前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、
前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられた第1絞りと、
前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、
前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1絞りと前記第1フィルタとの間の位置において前記供給ラインに合流する第1分岐ラインと、
前記第1分岐ラインに設けられた第2絞りと
を備えた基板処理装置。 - 超臨界状態の処理流体を用いて基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板が収容される処理容器と、
超臨界状態の処理流体を送り出す流体供給源と前記処理容器とを接続する供給ラインと、
前記供給ラインに設けられた第1開閉弁と、
前記供給ラインの前記第1開閉弁の下流側に設けられた第1絞りと、
前記供給ラインの前記第1絞りの下流側に設けられた第1フィルタと、
前記第1開閉弁と前記第1絞りの間の位置において前記供給ラインから分岐して、前記第1フィルタと前記処理容器との間の位置において前記供給ラインに合流する第1分岐ラインと、
前記第1分岐ラインに設けられた第2絞り及び第2フィルタと
を備えた基板処理装置。 - 基板が収容される処理容器に前記基板を搬入する搬入工程と、
前記処理容器に流体供給源から処理流体を供給することにより、前記基板を収容している前記処理容器内を超臨界状態の処理流体で満たす充填工程と、
を備え、
前記充填工程において、前記処理容器内の圧力が処理流体の臨界圧力以下の間、前記流体供給源から供給される超臨界状態の処理流体を気体状態に変化させ、第1フィルタを通過させ前記処理容器に供給する、基板処理方法。 - 基板処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記基板処理装置を制御して請求項7記載の基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016221740A JP2018081966A (ja) | 2016-11-14 | 2016-11-14 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
CN201711067648.0A CN108074840B (zh) | 2016-11-14 | 2017-11-03 | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 |
KR1020170147363A KR102480691B1 (ko) | 2016-11-14 | 2017-11-07 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 |
US15/805,291 US20180138058A1 (en) | 2016-11-14 | 2017-11-07 | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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---|---|
JP2018081966A true JP2018081966A (ja) | 2018-05-24 |
Family
ID=62107275
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---|---|---|---|
JP2016221740A Pending JP2018081966A (ja) | 2016-11-14 | 2016-11-14 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
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---|---|
US (1) | US20180138058A1 (ja) |
JP (1) | JP2018081966A (ja) |
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---|---|---|---|---|
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KR102480691B1 (ko) | 2022-12-22 |
KR20180054452A (ko) | 2018-05-24 |
CN108074840B (zh) | 2023-11-17 |
US20180138058A1 (en) | 2018-05-17 |
CN108074840A (zh) | 2018-05-25 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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