JP2018080959A - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
コーティングを施した後、チップ単位に分離している。従来、このような製造工程では、コーティングの前後にてバーの表面もしくは端面にミクロンオーダの異物やキズ、欠けなどの欠陥部の有無を目視により外観検査をしてきた。しかし、バー自体が長さ15mm程度、幅300μm、厚さ150μmと非常に小さいため、取扱い難く、また目視検査には熟練度を有することから、外観検査の自動化が望まれてきた。
従来、このような検査を行う検査装置として、半導体ウエハなどの平板状の基板の端部周辺を、例えば、事前にウエハの反り、ひずみを撮像前に検出し、その量に応じて、ウエハ上下面を撮像する各々カメラの位置を光軸方向に調整し、また端面については、反り、ひずみなどにより、撮像対象が視野から外れないように、端面撮像カメラを上下していた(例えば、特許文献1参照)。
バー形状の被検査物では長手方向に長いため、被検査物の回転方向の位置決め精度が粗いと、高倍率の端面カメラにおいては被写界深度内に収まらない問題がある。このため、高精度に位置決めする必要があるが、そのための動作時間が新たに発生してしまい、コストもかかるといった問題がある。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、バー形状の被検査物の表面および端面を高速に撮像、検査できるようにするものである。
図1は本発明の実施の形態1の外観検査装置を示す側面図である。外観検査装置は、検査ステージ2、変位計3、表面カメラ4、端面カメラ(前)5、端面カメラ(後)6、表面カメラ駆動部104、端面カメラ(前)駆動部105、端面カメラ(後)駆動部106、を含んで構成されている。
図2は本発明の実施の形態1の被検査物1の斜視図であり、形状および検査する対象面である表面11、端面(前)12、および端面(後)13を示している。被検査物1はバー形状となっており、長手方向にチップ1aが複数個並んで構成されている。
表面カメラ駆動部104は、検査ステージ2の上部に装備され、検査ステージ2の位置に基づいて被検査物1のチップ1aの画像を撮像する。その際、変位計3によって測定された高さ情報に基づき、被写界深度内に収まるよう、検査ステージ2の位置情報に応じて、表面カメラ4の光軸方向の位置を調整することができる。表面カメラ4で撮像された画像から、後述の画像処理1部301により、チップ1aの中心位置およびエッジ位置を示すエッジ線(外周の縁)を検出し、後述するコントローラ200に供給される。
図1においては、外観検査装置は、端面カメラ(前)5、端面カメラ(前)駆動部105、端面カメラ(後)6、および端面カメラ(後)駆動部106により、被検査物1の前後端面の画像を撮像・検査するよう説明しているが、端面カメラ(前)5と端面カメラ(前)駆動部105、または端面カメラ(後)6と端面カメラ(後)駆動部106のいずれか一方を有するものであってもよい。
なお、被検査物1の厚みが変位計3の測定範囲よりも厚い場合は、変位計3に高さ方向に駆動できる変位計駆動部を設け、被検査物1の厚みに応じて、変位計3の高さを調整すればよい。
なお、制御部400は、図4に示すように、プロセッサ(MPU)とメモリに格納されたコンピュータプログラムの組合せによって実現してもよいし、ASIC等の専用のハードウエアによって実現してもよいし、FPGAのような再構成可能なゲートアレイによって実現してもよいし、これらの組合せによって実現してもよい。
検査ステージ駆動部102は、検査ステージ2を駆動させるためのモータと、モータを駆動させるためのドライバ、ステージ位置を検出するエンコーダで構成される(いずれも図示せず)。コントローラ200は、検査ステージ駆動部102を制御して、検査ステージ2を水平移動させる。エンコーダからの検出信号はコントローラ200に供給される。
コントローラ200は、検査ステージ駆動部102を制御して、検査ステージ2を水平移動させながら、予め登録していた位置にて変位計3にトリガ信号を出力し、被検査物1の高さ情報を取得する。この時、検査ステージ2と変位計3の高さ情報は、コントローラ200内部に記憶される。
画像処理1部301は、上記交点座標を算出した後、外観検査を実施し、その結果をコ
ントローラ200へ供給する。
コントローラ200は、画像処理1部301、画像処理2部302および、画像処理3部303の検査結果をまとめ、チップ単位、およびバー単位での検査結果を出力する。
出について説明したものである。表面カメラ4で撮像された画像4aにおいては、チップ1aが必ずしも画像の中心になく、傾きを有している。また被検査物1の外形は製造上、同じ長さ・幅になるとはいえない。このため端面検査においては、幅(図5中、Y軸方向の長さ)の変動分を考慮し、画像処理1部301により、パターンマッチング処理などによりチップ1aの中心位置1bを検出し、その後、エッジ検出処理などにより、被検査物1のエッジ線1c、1dを検出し、チップ中心位置1bを通る直線との交点1e、1fを求めることで、外形のばらつきに影響を受けずに、撮像することができる。
上述したように、外観検査装置においては、検査ステージ2を所定の速度で水平移動させ、変位測定、表面の撮像及び検査、交点検出、端面(前)の撮像と検査、および端面(後)の撮像と検査、結果の出力などが、実行されているが、ここでは、一連の処理を、フローチャートを用いて順を追って説明する。
ステップS01において、コントローラ200は検査ステージ2に被検査物1が搭載されたかどうかの信号を受け取る。
ステップS03において、コントローラ200は検査ステージ駆動部102を制御して、検査ステージ2の移動を開始する。この時、あらかじめセットしておいたトリガ位置にて変位測定を実施する。
ステップS05において、コントローラ200は、測定データと検査ステージ2の位置情報、および表面カメラ4の画像中心と変位計3の測定位置との距離から、検査ステージ移動方向(X方向)および、表面カメラ4の移動方向(Z方向)のXZ補間データを算出する。このXZ補間データが、検査ステージ駆動部102と表面カメラ駆動部104に供給される同期のための移動指示情報となる。
ステップS08において、コントローラ200は画像処理1部301において、表面カメラ4が所望の撮像枚数を取得したかどうかをチェックする。
ステップS11において、コントローラ200はステップS09によって求めたXY補間データを元に、検査ステージ駆動部102および、端面カメラ(後)駆動部106を同期制御する。
ステップS15において、コントローラ200は上述の検査結果から、被検査物1の良否を判定する。
実施の形態1では、検査ステージ2に被検査物1が1つ搭載された場合を説明したが、図7に示すように検査ステージ2aへの搭載本数は2つ以上でもよい(図は3つの場合を示している)。その場合、変位計3と表面カメラ4および、端面カメラ(前)5、端面カメラ(後)6の搭載位置を被検査物1よりも長めにすることで、1つめの被検査物1Aの端面検査を実施中に、2つめの被検査物1Bの表面検査が、3つめの被検査物1Cの変位計測が可能となり、検査時間を短縮することができる。
実施の形態1では、被検査物1の短手方向の長さ(幅)が、表面カメラ4の視野内よりも短い場合について説明したが、図8に示すように、被検査物1の短手方向の長さが、表面カメラ4の視野4bよりも長い場合、実施の形態1の検査ステージ駆動部102(図1中、X軸方向)にY軸方向(図1の紙面と垂直方向)の駆動部を追加すればよい(図示せず)。この場合、図9(a)および図9(b)は、被検査物1を表面カメラ4の方向から見た、表面カメラの視野の移動を説明する説明図である。図に示すように被検査物1に対しては1回目の表面カメラ4による撮像の後、Y軸方向に検査ステージ2を移動させるこ
とにより、表面カメラの視野4b内の被検査物1を動かし、2回目を撮像する。Y軸方向のチップの撮像が完了するまで、複数回(n回)これを繰り返す。この実施の形態では、3回(n=3)でY軸方向の被検査物1のチップの撮像を完了する。表面カメラ4および画像処理1部301におけるチップ中心位置、エッジ線の検出については、該当画像を合成して実施すればよい。このような構成により、被検査物1が表面カメラ4よりも大きい場合にも、高倍率のレンズを有したカメラにおいて、効率よくピントが合う画像が撮像できる。
なお、画像の合成の仕方としては、撮像した全ての画像を合成しても良いが、Y軸方向の撮像回数(n)が3回以上である場合、中央の撮像画像とエッジが画像内に存在する撮像画像のみを合成することで時間短縮が図れる。これは1回目からn回目までのX軸方向
のトリガ位置が同じであることを利用するものである。例えばn=5の場合、5枚の画像を合成する代わりに、中央の画像、および1回目と5回目の画像からチップ中心位置とエッジ線の検出を行い、チップ中心位置とエッジ線との交点を算出することが可能である。これにより、全ての画像を合成する場合に比べ、1チップあたり、2枚の画像が不要となり、被検査物1に60チップが並んでいるとすると、120枚の画像が不要となる。上述
した実施の形態2のように検査ステージ2a上に被検査物1A、1B、1C搭載されている場合、1走査あたり、360枚分の画像が不要となる。
図中、同一符号は、同一または相当の構成を示す。
Claims (4)
- 複数のチップが並んでバー形状に形成されている被検査物の長手方向に前記被検査物を移動させる移動手段と、
前記チップの表面の高さを測定する測定手段と、
少なくとも1つのチップの表面の画像を撮像する第1の撮像手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記第1の撮像手段のチップ表面までの距離を制御する第1の制御手段と、
前記撮像手段の画像から、前記チップの中心位置におけるエッジ位置を検出するエッジ位置検出手段と、
前記チップの端面の画像を撮像する第2の撮像手段と、
前記エッジ位置検出手段の検出結果に基づいて前記第2の撮像手段のチップ端面までの距離を制御する第2の制御手段と、を備え、
前記被検査物の長手方向に、前記測定手段、前記第1の撮像手段、前記第2の撮像手段の順で配置されていることを特徴とする外観検査装置。 - 前記移動手段は、前記被検査物を長手方向に複数搭載することができるとともに、第1の被検査物が測定手段を通過する際、第2の被検査物は第1の撮像手段を通過し、第3の被検査物は第2の撮像手段を通過するように前記測定手段、前記第1の撮像手段、および前記第2の撮像手段を配置したことを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記移動手段は、前記被検査物を前記長手方向と直角方向に移動可能としたことを特徴とする請求項1または2に記載の外観検査装置。
- 複数のチップが並んでバー形状に形成されている被検査物を移動させながら、前記チップの表面の高さを測定し、この測定結果に基づいて少なくとも1つのチップの表面までの距離を制御して前記チップの表面の画像を撮像し、撮像した表面画像から、前記チップの中心位置におけるエッジ位置を検出し、この検出結果に基づいて前記チップの端面までの距離を制御して前記チップの端面の画像を撮像する外観検査方法。
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JP2016222082A JP6775389B2 (ja) | 2016-11-15 | 2016-11-15 | 外観検査装置および外観検査方法 |
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KR102284046B1 (ko) * | 2020-03-23 | 2021-08-02 | 주식회사 나노프로텍 | 이미지 트래킹을 이용한 기판 불량 검사 시스템 |
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