JP2018077163A - 光学特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学特性の測定値の変動を抑制できる光学特性測定装置を提供する。【解決手段】発光素子に電力供給するプローブと、該発光素子から放射された光を検出する受光部と、を備えた光学特性測定装置において、前記プローブは、表面に黒色化成被膜を有し、前記発光素子に接触する先端が該黒色化成被膜に覆われずに露出する、ことを特徴とする。【選択図】図2
Description
本発明は、LEDチップ等の測定対象の光学特性を測定する光学特性測定装置に関する。
このような光学特性測定装置5の例を図1に示す。光学特性を測定する際には、ステージ2上に配置されたLEDチップなど発光素子1の電極にプローブ3を接触させ、所定の電力を供給することで発光素子を発光させる。そして発光素子1から放出された光を受光部4で検出することで、波長や光度などの光学特性を測定している。
このような方式では、プローブ3が発光素子1から放出された光の一部を遮り、乱反射してしまうことで、測定誤差が大きくなってしまう問題がある。
また、従来のプローブ3は、繰り返しの測定で電圧が何度も印加されることで、表面が変色し、光反射率が低下してしまう。この結果、プローブ3の使用回数により測定値が徐々にずれてしまい、より誤差が大きくなってしまうことが判明した。
そこで本発明では、光学特性の測定値の変動を抑制できる光学特性測定装置を提供する。
本発明は、発光素子に電力供給するプローブと、発光素子から放射された光を検出する受光部と、を備えた光学特性測定装置において、プローブは表面に黒色化成被膜を有し、発光素子に接触する先端が黒色化成被膜に覆われず露出する、ことを最も主要な特徴とする。
本発明の光学特性測定装置によれば、プローブ略全体が黒色であるため、発光素子から放射された光を吸収することで、周囲に乱反射してしまうことを防止でき、測定誤差を小さくすることができる。また繰り返しの使用によりプローブ自体が劣化しても、表面をあらかじめ黒色としているため、表面の変色による光反射率の低下を抑制でき、測定値の変動を抑制できる。
本発明の光学特性測定装置50について図2を引用しながら説明する。なお各図は説明のために各要素を簡略化して示したもので、実際の縮尺、大きさとは異なっている。
図2は本実施例の光学特性測定装置50を示した概略図である。光学特性測定装置50は、被測定対象である発光素子10を搭載するステージ20、発光素子10に電力供給するためのプローブ30、発光素子10から放射される光を検出する受光部40を備えている。以下、各部の詳細について説明する。
本実施例において、発光素子10は上面に電極(図略)を備える青色LEDチップである。なお発光素子10としては、個片化されたLEDチップではなく、複数のLEDチップが形成されたウエハ状態であってもよい。またLEDに限らず、LD(レーザーダイオード)チップやEL(エレクトロルミネッセンス)チップなど、プローブ30の電力供給により発光する素子であればよい。なお後述のよう、プローブ30には乱反射を抑制するための黒色化成被膜31が設けられることから、黒色で吸収される可視光を発光するものが特に好ましい。
ステージ20は、搭載された発光素子10と、プローブ30や受光部40とを位置合わせする可動式のステージである。なおプローブ30や受光部40自体が可動することとすれば、ステージ20はなくても良い。
プローブ30は、電源(図略)に接続されており、発光素子10の電極に接触し電力供給することで、発光素子10を発光させる。プローブ30は6元合金などの金属母材からなり、その表面には黒色化成被膜31が形成される。また先端32は、発光素子10の電極へ直接接触することから、黒色化成被膜31が形成されずに母材が露出している。これにより、繰り返し使用した場合にその摩擦等により黒色化成被膜31が剥れることを防止し、また発光素子10の電極表面を汚染してしまうことを防止できる。
黒色化成被膜31は、導電性を有しており、レイデント処理などの既知の方法で形成することができる。化成被膜であるため、その表面の耐食性を高めることができる。また黒色であるため、繰り返し使用によりプローブ30の母材が劣化しても、光反射率が低下することを防止でき、測定時の誤差を最小限に抑えることができる。
受光部40は、光学特性を測定するコンピュータに接続されており(図略)、発光素子10から放射された光を検出し、光度や波長スペクトルなどの光学特性を測定する。
以上のよう構成された本発明では、プローブ30が黒色化成被膜で覆われていることで光反射率の低下を防止でき、光学特性の測定値の変動を抑制できる。
発明者の検討によれば、およそ120万回使用した場合、従来のプローブ3では光学特性(光度)の測定値が0.8%低下してしまっていたところ、黒色化成被膜31で被覆した本発明のプローブ30では0.4%の低下にとどまり、光学特性の測定値の変動を抑制できることが確認された。
発明者の検討によれば、およそ120万回使用した場合、従来のプローブ3では光学特性(光度)の測定値が0.8%低下してしまっていたところ、黒色化成被膜31で被覆した本発明のプローブ30では0.4%の低下にとどまり、光学特性の測定値の変動を抑制できることが確認された。
以上のよう、プローブ表面を黒色化成被膜で覆うことで、使用時の乱反射による測定値の変動を抑制しつつ、プローブ自体の劣化に伴う光反射率の低下による測定値の変動をも抑制できる。
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において、様々な構成で実現することができる。
1、10 発光素子
2、20 ステージ
3、30 プローブ
31 黒色化成被膜
32 先端
4、40 受光部
5、50 光学特性測定装置
2、20 ステージ
3、30 プローブ
31 黒色化成被膜
32 先端
4、40 受光部
5、50 光学特性測定装置
Claims (2)
- 発光素子に電力供給するプローブと、該発光素子から放射された光を検出する受光部と、を備えた光学特性測定装置において、
前記プローブは、表面に黒色化成被膜を有し、前記発光素子に接触する先端が該黒色化成被膜に覆われずに露出する、
ことを特徴とする光学特性測定装置。 - 前記発光素子は可視光を発光する、ことを特徴とする請求項1に記載の光学特性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016219825A JP2018077163A (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016219825A JP2018077163A (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学特性測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2018077163A true JP2018077163A (ja) | 2018-05-17 |
Family
ID=62150228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016219825A Pending JP2018077163A (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学特性測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2018077163A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0732954U (ja) * | 1993-11-29 | 1995-06-16 | 日本電子材料株式会社 | 光素子用プローブ及びこれを用いた光素子用プローブカード |
JP2002009117A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-11 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード |
US20130043875A1 (en) * | 2011-08-21 | 2013-02-21 | Bruker Nano, Inc. | Testing of electroluminescent semiconductor wafers |
-
2016
- 2016-11-10 JP JP2016219825A patent/JP2018077163A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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