JP2018074164A - ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハとチャックの相対的関係の監視において、特にウェーハが保持されていない時に、ウェーハがチャックに付着されているかどうかを監視する装置および方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ２２が保持されていない場合、リフトピン１１１は、ウェーハとチャック２１を引き離すようにチャックの外部まで伸びることができる。この時にウェーハとチャック間で検出された静電容量と、ウェーハがチャックに保持されている時の静電容量とを比較することによって、ウェーハがチャックに付着されているかどうかを検出することができるので、ウェーハが適切にリフトピンに支持されているかどうかを検出可能となり、ウェーハの付着が発生した時またはウェーハが不適切に取り外された時に、早期警報を出すことができる。また、ウェーハにリフトピンが接触できるスイッチの電気的接続のオンまたはオフを制御することによって、ウェーハにある電荷を除去できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウェーハとチャックとの相対的関係を監視するための装置および方法に関し、特にウェーハとチャックとの間の幾何学的関係に関連する静電容量関連信号を検出することによって、ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置および方法に関する。

チャック（ｃｈｕｃｋ）、特に静電チャック（ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｃｈｕｃｋ／ｅ−ｃｈｕｃｋ）は、処理中に処理されるべきウェーハを保持するために一般的に使用される。例えば、静電チャックは、一般的に、イオン注入の間に注入されるウェーハを保持するために使用される。処理プロセスが開始する前に、ウェーハはチャック上に置かなければならならず、ひいてはチャックにより保持されなければならない。処理プロセスが完了した後、ウェーハは、チャックから取り外されなければならないか、保持がリリースされなければならない（ｄｅ−ｃｈｕｃｋｅｄ）。

いずれにしても、処理中にウェーハ上に現れる残留電荷（ｒｅｓｉｄｕａｌ ｃｈａｒｇｅｓ）は、ウェーハに対する処理プロセスが終了した後にもウェーハ表面（裏面および前面を含む。）の少なくとも一部にとどまる可能性がある。このため、ウェーハは、チャック上に付着されて適切にチャックから取り除かれない場合や、ウェーハをチャックから取り外す過程において、特にチャックが処理中にウェーハ上に大量の電荷を蓄積する静電チャックであるとき、ウェーハの破損や他の損傷が発生することがある。

要約すると、ウェーハとチャックとの間の相対的関係を監視して、ウェーハの付着、ウェーハの破損、または他の損傷が発生する時、ひいてはそれが発生する前に、早期警報（ｅａｒｌｙ ａｌａｒｍ）を出す装置および方法を開発する必要がある。

本発明は、ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置および方法を提出し、特にウェーハがチャック上に放置されたこと、あるいはチャックにより保持されたこと、或いはチャックに保持されていないこと、或いはチャック上に付着（ｓｔｉｃｋｙ ｏｎ）したこと、或いは既にチャックから取り外されたことを監視する装置および方法を提出する。本発明は、ウェーハとチャックとの相対的関係が変化すべき時に応じてウェーハとチャックとの間の距離を変更することによって、このような装置および方法を実現する。ウェーハとチャックの間の静電容量は、ウェーハとチャックとの相対的関係に応じて、チャック上に放置された状態、或いはチャックにより保持された状態、或いはチャックに保持されない状態、或いはチャックに付着した状態、或いは既にチャックから取り外された状態に変化する時、ウェーハとチャックとの間の距離に応じて変化する。そのため、ウェーハとチャックとの間の実際の静電容量の値を検出して、それぞれのウェーハとチャックとの相対的関係の理想静電容量の値と比較することによって、ウェーハがチャック上に付着しているかどうか、およびウェーハとチャックとの相対的な幾何学的関係を、簡単に検出できる。

本発明に係る装置および方法は、チャック外部まで伸びることができるリフトピン（ｌｉｆｔ ｐｉｎｓ）を利用して、ウェーハを支持し、必要に応じてウェーハとチャックとを互いに分離する。初期交流信号（ｏｒｉｇｉｎａｌ Ａ．Ｃ． ｓｉｇｎａｌ）がチャックに入力され、対応交流信号（ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ Ａ．Ｃ． ｓｉｇｎａｌ）がチャックから出力される。ここで、対応交流信号は、初期交流信号およびウェーハとチャックとの間の相対的関係の関数である。そのため、初期交流信号と対応交流信号とを比較することによって、静電容量関連信号を取得できる。

これによって、ウェーハがチャックに付着した場合（つまり、ウェーハの保持が適切に解除されなかった場合及び／又はチャックから適切に取り外されなかった場合）、検出された静電容量関連信号は、明らかにウェーハが保持されている時あるいは既にチャックから取り外された時の静電容量関連信号と異なることになる。このような方法によって、即時に早期警報を出すことができるようになり、ウェーハを処理するための機器の操作を中止し（ひいては停止し）及び／又は機器の操作員により人為的に現状を処理することによって、損害を最小限にできる。

或いは、ウェーハとチャックとの相対的関係が変化する時にウェーハとチャックとの間の距離を簡単に変更するように、ウェーハとチャックとの相対的関係が変化すると、ウェーハとチャックとの間の吸引力も変化するため、いずれのリフトピンもバネ（ｓｐｒｉｎｇ）に、ひいてはワッシャー（ｗａｓｈｅｒ）に機械的に接続させる。

更に、ウェーハがチャックから適切に取り外されるよう確保するために、特にウェーハの付着が検出された時、いくつかのリフトピンにおけるウェーハと接触する一端が導電性材料からなり、スイッチを介してゼロ電位に電気的に接続する。よって、スイッチのオンまたはオフを制御することによって、ウェーハ上の電荷を除去する時（例えば、ウェーハをチャックから取り外す前）、ウェーハ上に現れる電荷を伝導してウェーハから離れるように、ウェーハをゼロ電位に電気的に接続する。しかし、静電容量関連信号を測定する時、静電容量関連信号の測定に影響を及ぼさないように、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離させる。無論、スイッチを介してゼロ電位に接続するリフトピンおよびウェーハとチャックとを互いに分離するためのリフトピンは、同じリフトピンであって、スイッチのオン／オフで異なる時間で異なる機能を実現してもよいし、異なるリフトピンあって、それぞれ異なる機能を実現してもよい。

図１は、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視する機構を概略的に示す。 図２Ａは、周知技術を使用する場合に検出された静電容量関連信号の例を示す。 図２Ｂは、本発明を使用する場合に検出された静電容量関連信号の例を示す。 図２Ｃは、本発明に係る装置の交流信号発生器と比較回路の例を示す。 図２Ｄは、いくつかのサンプルの比較を示す。ここで、異なるサンプルに使用される異なるリフトピンは、異なる長さを有し、異なる弾性を有するバネを備え、そして、ワッシャーを使ってもよいし、使わなくてもよい。 図３Ａは、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法を概略的に示す。 図３Ｂは、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法を概略的に示す。 図４Ａは、本発明に係るウェーハの電荷を除去する機構を概略的に示す。 図４Ｂは、本発明に係るウェーハの電荷を除去する機構を概略的に示す。 図５は、本発明に係るウェーハの電荷を除去する１種の方法を概略的に示す。

以下、本発明の実施例の中の図面と合わせて、発明の実施例に係る技術的発明を明確に、完全に説明する。当然、説明した実施例は、ただ本発明の一部の実施例に過ぎず、すべての実施例ではない。本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な創作をしていない前提で取得したすべての他の実施例も、本発明の範囲に属する。

図１は、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視するための機構を概略的に示す。このような機構は、少なくともウェーハ２２を保持するためのチャック２１の外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリ１１と、初期交流信号を出力するための交流信号発生器１２と、初期交流信号とチャック２１から転送してきた対応交流信号とを比較するための比較回路１３を有する。リフトピンアセンブリ１１は、チャック２１の外部まで伸びることができる一つまたは複数のリフトピン１１１と、それらのリフトピン１１１をそれぞれ支持して移動させる一つまたは複数の支持ユニット１１２を含む。なお、交流信号発生器１２は、チャック２１と比較回路１３にそれぞれ電気的に結合し、比較回路１３は、交流信号発生器１２とチャック２１にそれぞれ電気的に結合する。無論、本発明に係る装置や、チャック２１とウェーハ２２との関係を表すために、チャック２１とウェーハ２２を説明しているだけであり、本発明は、チャック２１とウェーハ２２の詳細を制限する必要がない。例えば、チャック２１は、一般的に静電チャックであるが、機械式のチャックまたは他の形式のチャックであってもよい。

このように、ウェーハ２２を保持している状態で、ウェーハ２２とチャック２１とが機械的に接触し、リフトピンアセンブリ１１がチャック２１の内部に位置する。しかし、ウェーハ２２の保持をリリースした状態で、ウェーハ２２とチャック２１とがリフトピンアセンブリ１１により引き離され、少なくとも一つのリフトピン１１１がチャック２２の外部まで伸びる。また、ウェーハ２２を取り外した状態で、ウェーハ２２がチャック２１から離れてリフトピンアセンブリ１１により支持されていない。明らかに、ウェーハ２２とチャック２１との間の静電容量は、それぞれ第１状態では第１数値、第２状態では第２数値、第３状態では第３数値を有する。従って、ウェーハがチャックに付着されている状態で、ウェーハ２２とチャック２１との間の距離（即ち、ウェーハ２２とチャック２１との間の相対的な幾何学的関係）が前の３つの状態と異なるため、ウェーハとチャックとの間の実際の静電容量は、いずれかの第１数値、第２数値および第３数値と異なるわけである。

これに対し、周知の従来技術では、一般的に、ウェーハとチャックとがお互いに機械的に接触している場合のみに、ウェーハとチャックとの間の静電容量を測定するため、ウェーハがチャックに保持される状態とウェーハがチャックに付着される状態とをはっきり区別できない。

言い換えると、リフトピンアセンブリ１１を用いて、ウェーハとチャックとの相対的関係が保持と保持解除との間で変更する時、チャック２１とウェーハ２２とを引き離す。本発明は、ウェーハ２２とチャック２１との間の複数種類の静電容量の値を検出することができる。そして、ウェーハ２２がチャック２１に付着される時、他の状態と明らかに異なる静電容量の値を検出できる。これによって、本発明は、より正確でより敏感にウェーハがチャックに付着されているかどうかを検出できる。

本発明の利点は、図２Ａと図２Ｂを比較することによって概要的に示される。図２Ａは、周知技術で検出された静電容量関連信号の例を示す。ウェーハをチャック上に保持してウェーハの処理プロセス（例えば、イオンをウェーハに注入すること）を行うそれぞれのサイクルにおいて、およそ同じの静電容量関連信号の値（ウェーハの処理プロセスの進行に伴ってやや起伏する。）を検出する。しかし、隣接する二つのサイクルの間に、チャック上に位置するウェーハを交換する時に静電容量関連信号の値がゼロに近づくことを明確に検出できるが、ウェーハの保持を解除したがウェーハが依然としてチャック上に位置する時に静電容量関連信号の強度がおよそ半分低減する状況を毎回検出できるわけではない。また、ウェーハのすべての処理プロセスが完了した後、ウェーハの保持を解除してウェーハをチャックから取り外す過程において静電容量関連信号の強度がおよそゼロとなってやや起伏することしか検出できない。ウェーハがチャックに付着している時、異なる静電容量関連信号の強度を効果的に検出することができない。図２Ｂは、本発明を利用して検出された静電容量関連信号の一例を示す。ウェーハをチャック上に保持しながらウェーハの処理プロセス（例えば、ウェーハへのイオン注入）を行うサイクルにおいて、静電容量関連信号の値のある範囲内における動きを検出できる。ウェーハの前回処理プロセスが完了した後にウェーハがチャックに放置されて保持されていない段階、ウェーハの前回処理プロセスが完了した後にウェーハがチャックから離れた段階、およびウェーハの今回処理プロセスが施行される前にウェーハがチャックに放置されて保持された段階、という三つの段階における明らかに異なる静電容量関連信号の値を、その前に、まだそれぞれ検出できる。そして、ウェーハの今回処理プロセスが完了した時、保持が解除された後、静電容量関連信号の値が降下することを認識できるのみならず、ひいてはウェーハがチャックに付着している時、これまでの各段階のいずれとも異なる静電容量関連信号の値を検出できる。つまり、本発明を利用する場合、周知技術と比べて、ウェーハがチャックに付着している状況が発生するかどうかをより効率的に検出することができる。図２Ａと図２Ｂにおいて、静電容量関連信号の振幅の単位はボルト（Ｖｏｌｔｓ）であり、検出期間（ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ ｐｅｒｉｏｄ）における静電容量関連信号の最小値（Ｍｉｎ， ｍｉｎｉｍｕｍ ｖａｌｕｅ）、最大値（Ｍａｘ， ｍａｘｉｍｕｍ ｖａｌｕｅ）、中間値（Ｍｅａｎ， ｍｅａｎ ｖａｌｕｅ）および標準偏差（ＳＤ， ｓｔａｎｄａｒｄ ｄｅｖｉａｔｉｏｎ）を特別に表示する。無論、関連議論を簡素化するために、2つの例のその他の詳細はここでは説明しない。

本発明で使用するリフトピンアセンブリ１１のオプションの（ｏｐｔｉｏｎａｌ）詳細は、以下のように説明する。ある例では、リフトピンアセンブリ１１が複数のリフトピン１１１を有して、ウェーハとチャックとを互いに分離する。一つの例では、リフトピンアセンブリ１１が唯一のリフトピン１１１を有して、ウェーハとチャックとを互いに分離する。ある例では、ウェーハとチャックとを引き離す時にウェーハを安定に支持するように、リフトピンアセンブリ１１が少なくとも四つのリフトピン１１１を有する。注意すべきは、それらのリフトピン１１１の長さ、断面積および形状（ひいては他の幾何学的要素）が本発明で制限する必要がない。ある例では、それらのリフトピン１１１において、少なくとも一つがバネにより機械的に支持される。ここで、異なるリフトピン１１１は、異なるバネによりそれぞれ機械的に支持される。更に、ある例では、それぞれのバネがワッシャーにより機械的に支持され、異なるバネが異なるワッシャーによりそれぞれ機械的に支持される。これによって、ウェーハ２２がチャック２１により保持されている時、リフトピンアセンブリ１１はチャック２１の内部に位置することができる。ここで、それらのバネの弾力は、ワッシャーがバネを圧縮した後に増加した弾力を加えて、ウェーハ２２とチャック２１との間の吸引力よりも小さい（或いは、当該吸引力とウェーハ２２の重量の合計より小さいとみなす）。なお、少なくともリフトピンアセンブリ１１におけるそれらのリフトピン１１１は、ウェーハ２２がチャック２１に保持されていない時、チャック２１の外部まで伸びることができる。ここで、これらのバネの弾力は、ワッシャーがバネを圧縮したことにより増加した弾力を加えて、少なくともウェーハ２２の重量（あるいは、ウェーハ２２が保持されていない時にウェーハ２２を押してチャック２１から離れる力と言える）よりも大きい。明らかに、バネを利用して（ひいてはワッシャーを利用して）支持ユニット１１２を形成するのは、簡単にそして効果的にそれらのリフトピン１１１を移動させてチャック２１とウェーハ２２との間の距離を変更できる。いずれにしても、リフトピン１１１と支持ユニット１１２の詳細は、どちらでも本発明で制限しなければならない詳細ではない。例えば、図示しないある例では、リフトピン１１１と支持ユニット１１２は、テレスコープ形に一体化されることができる。そのほか、ウェーハ２２とチャック２１との間の静電容量が影響されてチャック２１とウェーハ２２との間の距離に線形的な反比例とならないことを減少するために、ある例において、それぞれのリフトピン１１１は、ウェーハ２２とチャック２１とを互いに分離する時、適切に電気的に隔離するように、誘電体リフトピンである。また、他の例において、それぞれのリフトピン１１１は、リフトピン１１１が誘電体端子を介して機械的にウェーハ２２に接触するように、一つの誘電体端子を有する。

加えて、単なる例として、図２Ｃは本発明に係る交流信号発生器１２と比較回路１３の一例を示す。図示される当該例において、交流信号発生器１２は、ウェーブジェネレータ（ｗａｖｅ ｇｅｎｅｒａｔｏｒ）であり、周波数５ＫＨＺのクロックウェーブ（ｃｌｏｃｋ ｗａｖｅ）を生成して出力するように配置される。比較回路１３は、反転増幅器（ｉｎｖｅｒｔ ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）１３１、データマルチプレクサ（ｄａｔａ ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ）１３２、および差動増幅器（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）１３３を有する。よって、対応交流信号は、チャック２１から出力されて反転されてから、初期交流信号（即ち、周波数５ＫＨＺのクロックウェーブ）と相互比較される。その後、比較結果は、増幅されて静電容量関連信号として転換される。図示を簡素化するために、ここでリフトピンアセンブリ１１におけるリフトピン１１１のみが示されている。単なる例として、図２Ｄに示すように、異なる長さまたは異なる弾性を持つ異なるバネ、或いはワッシャーを利用またはワッシャーを利用しない異なる例を比較することによって、ウェーハとチャックとの相対的関係を検出する結果が好ましくなるために、一つの選択肢は、短いリフトピン、柔軟なバネ（低い弾性係数）、およびワッシャーを総合的に利用することである。ここで、単なる例として説明を行ったが、リフトピンやバネなどの寸法、輪郭、および材料の詳細は、具体的に説明されていない。実は、本発明はリフトピンおよびバネのこれらの詳細を限定する必要はない。

なお、本発明は、交流信号発生器１２と比較回路１３の詳細を制限する必要がない。従来、進化中または将来に出現しうる交流信号を発生する回路及び／或は異なる交流信号を比較する回路のすべてが利用可能である。一つの理由としては、これによって、一つまたは複数の交流信号を使ってウェーハとチャックとの間の静電容量の変化を検出してウェーハとチャックとの相対的関係を監視することが既知の概念である。例えば、ＵＳ ５１０３３６７、ＵＳ ５４３６７９０、 ＵＳ ５８７２６９４、 ＵＳ ６０７５３９５、ＵＳ ６４３００２２および ＵＳ ６３７７０６０は、関連する開示文献である。即ち、如何に交流信号発生器１２と比較回路１３を実現できるのは、当業者にとって周知のことである。注意すべきは、いくつかの関連する開示文献が「静電容量測量回路／ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｃｉｒｃｕｉｔ」または「静電容量測定回路／ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｃｉｒｃｕｉｔ」のような技術的用語を使って、静電容量を測定するための交流信号および静電容量の変化量を反映する交流信号の変化量を検出するための装置を意味する。もう一つの理由として、本発明は、ウェーハとチャックとの相対的関係が被保持から未保持に変更及び／或いは未保持から被保持に変更された時、ウェーハとチャックとの間の距離を変えることによって、静電容量を測定する精度と感度を改善する。そのため、交流信号発生器１２と比較回路１３の詳細は、本発明にとって大切なものではない。

図３Ａは、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法を概略的に示す。まず、ステップブロック３１に示すように、ここで静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハがチャック上に載置されたことを表す第１数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャック上に載置されているかどうかを監視する。或いは、ステップブロック３２示すように、ここで、静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハがチャックにより保持されたことを表す第２数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャックにより保持されているかどうかを監視する。次に、ステップブロック３３に示すように、ここで、静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハが処理中にあることを表す第３数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハが処理中にあるかどうかを監視する。その後、ステップブロック３４に示すように、ここで静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号において保持がチャックにより解除されたことを表す第４数値を有するかどうかを決定することによって、チャックによるウェーハの保持が解除されたかどうかを監視する。最後に、ステップブロック３５に示すように、ここで静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてチャックから取り外されたことを表す第５数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャックから取り外されたかどうかを監視する。その他、ステップブロック３１〜ステップブロック３５で特別に表示しなくても、理想的な状況では、ウェーハがチャックに保持されていない時、ウェーハとチャックとが互いに分離すべきであり、ウェーハがチャックに保持されている時、ウェーハとチャックとが互いに機械的に接触すべきである。そのため、実際の状況では、ウェーハがチャックに付着している時（例えば、チャックと完全に互いに分離せず、僅か一部でチャックと互いに機械的に接触する時）、本発明は、ウェーハがチャック上に付着されたという相対的関係と、ウェーハとチャックとの間のその他の相対的関係とを区別できる。その原因は、ウェーハとチャックとの間の異なる相対的関係が対応する静電容量の値も異なるからである。そして、ウェーハがチャックに付着している時の静電容量関連信号も上記の第１数値〜第５数値のいずれとも異なる（ウェーハがチャックに付着している時、ウェーハとチャックの間の静電容量の値と第１数値〜第５数値のいずれとも異なるからである）。

図３Ｂは、本発明に係るもう一つのウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法を概略的に示す。まず、ステップ３６に示すように、ウェーハとチャックを互いに機械的に接触させて、静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号とチャックにより保持されたことを表す第１数値とを比較することによって、ウェーハがチャックにより保持されているかどうかを監視する。次に、ステップ３７に示すように、チャックから伸び出したリフトピンアセンブリを用いてウェーハとチャックを引き離して、静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号と保持がチャックにより解除されたことを表す第２数値とを比較することによって、ウェーハの保持がチャックにより解除されたかどうかを監視する。最後に、ステップ３８に示すように、検出された静電容量関連信号が第１数値および第２数値のどちらにも一致しない場合は、ウェーハがチャックに付着したと判定する。明らかに、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、ステップ３７においてリフトピンアセンブリを用いてウェーハとチャックとを互いに分離したため、ステップ３７において周知技術よりも効率的にウェーハの保持が既にチャックに解除されたことを検出できるだけではなく、ステップ３８においても更に周知技術に比べてより敏感により正確にチャックによるウェーハの保持を解除した後にウェーハがチャックに付着したかどうかを検出できる（即ち、静電容量関連信号に対する測定は、第１数値に等しい又は第２数値に等しいという２種類の測定結果に限らず、当該二つの数値の間にある測定結果も測定できる）。

無論、ウェーハがチャック上に付着したかどうかを検出できるため、本発明には、更にいくつかの選択可能なオプションがある。例えば、ある図示しない例では、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにもなっていない場合に早期警報が出されている。即ち、ウェーハがチャックに付着している状態のときに、早期警報が出されている。例えば、静電容量関連信号が一つの数値からもう一つの数値に変更した過程が、一般的に一つの期間（ｄｕｒａｔｉｏｎ）で継続する。異なる実施例では、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない場合に早期警報を出す他（即ち、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない場合に、すぐに早期警報を出す。）、オプションとして静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない場合の持続時間が第１閾値期間を超えた時に早期警報を出してもよい（即ち、静電容量関連信号が継続的にそれらの数値のいずれかにも一致しないサイクルが第１閾値期間を超えてから、早期警報を出す。）。同様に、ある図示せぬ例では、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない時にウェーハに対する処理を中止してもよいし、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない場合の持続時間が第２閾値期間を超えた時にウェーハに対する処理を中止してもよい。同様に、ある図示しない例では、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない時にウェーハをチャックから取り外す操作を中止してもよいし、静電容量関連信号がそれらの数値のいずれにも一致しない場合の持続時間が第２閾値期間を超えた時にウェーハをチャックから取り外す操作を中止してもよい。

なお、本発明は、周知技術に比べてより效率的にウェーハがチャックに付着しているかどうかを監視できるので、チャック上に現れる電荷などが原因でウェーハがチャックに付着するリスクを積極的に最小限化できるようになる。例えば、プラズマシャワー（ｐｌａｓｍａ ｓｈｏｗｅｒ）を使用して、特にウェーハがチャックに付着したばかりの時、チャック（特に静電チャック）に現れる電荷を中和することができる。例えば、チャックが静電チャックである場合、特にウェーハがチャックに付着したばかりの時、チャック内部にある電極の極性（ｐｏｌａｒｉｔｙ）を反転させることができる。

加えて、本発明に係るウェーハとチャックとの相対的関係を監視するための方法は、如何に容量関連信号を生成するのか、および如何にウェーハとチャックを互いに分離するのかを制限する必要はない。上記したウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置がこの方法を実施するために適用できるが、本方法は、必ずしも上記装置を使用するものではない。実は、この方法を実施するために、静電容量関連信号およびウェーハとチャックとの引き離しを実現するために使用することができれば、任意のハードウェア、任意のファームウェア、および/または任意のソフトウェアを使用することができる。
強調すべきは、本発明は、ウェーハがチャック上に付着したかどうかを監視するほか、ウェーハとチャックとの相対的関係（例えば、ウェーハが保持されているか、ウェーハの保持が解除されているかまたは他のウェーハとチャックとの相対的関係）も監視できる。上記議論では、如何にウェーハがチャックに付着したことを監視するのかに焦点を当てているが、本発明は、必要に応じてウェーハとチャックを分離していくつかの著しく異なる静電容量の値（即ち、いくつかの著しく異なる静電容量関連信号の数値）を生成できるので、本発明は、他の用途を有してもよい。ここで、本発明は、実際の静電容量関連信号を検出してから理想の静電容量関連信号と比較することによって、効果的にウェーハとチャックとの異なる相対的関係を監視することもできる。

更に、ウェーハの付着中にウェーハ上に電荷が存在するし、本発明が保持を解除する時にリフトピンを用いてウェーハとチャックとを互いに分離して周知技術に比べてより正確により敏感でウェーハの付着を有するかどうかを検出するので、本発明に係る実施例は、更にウェーハと接触するリフトピンを用いて、ウェーハから離れるように電荷をガイドし、ウェーハの付着を改善ひいては排除することもできる。

本発明に係る実施例はウェーハ上にある電荷を除去する装置である。図４Ａに示すように、当該装置は、少なくとも一つまたは複数のリフトピン４０１およびひとつまたは複数のスイッチ４０２を有する。いずれか１個のリフトピン４０１は、チャック４２の内部に位置し、チャック４２の外部に位置するウェーハ４１と接触できる（即ち、いずれか１個のリフトピン４０１がチャック４２の内部に位置するが、チャック４２の外部まで伸びる），スイッチ４０２は、リフトピン４０１とゼロ電位４０３とを接続し、リフトピン４０１とゼロ電位４０３との電気的接続がスイッチ４０２のオンまたはオフにより制御される。勿論、効率的な動作のためには、少なくともリフトピン４０１のゼロ電位４０３に連結する部分や、リフトピン４０１の先端のウェーハに接触できる部分や，ひいては全体のリフトピン４０１は、導体材料で形成される。図４Ｂに示すように、本発明に係る実施例では、リフトピン４０１の一部が導体材料で形成される（つまり、リフトピン４０１の導体端子４０１５）。よって、電荷がウェーハからリフトピン４０１の当該部分を経由してスイッチ４０２へ伝導されるように確保する。しかし、リフトピン４０２の他の部分は誘電材料によって形成される（つまり、リフトピン４０１の誘電体端子４０１６）。よって、スイッチのオンとオフは、リフトピン４０２を経由してウェーハ４１以外の他のハードウェア（例えば、チャック４２ひいては反応チャンバ内に位置してチャック４２と接触するハードウェア）に影響を及ぼさないように確保する。明らかに、スイッチ４０２のオンまたはオフを制御することによって、これらの状況でウェーハ４１をアースするようにスイッチ４０２をオンすることができるし、ウェーハ４１に現れる電荷をゼロ電位４０３へ伝導できる。これらの状況で、ウェーハ４１の状態とウェーハ４１への処理がゼロ電位４０３への電気的接続により影響されないように、スイッチ４０２をオフすることもできる。

上記したウェーハ上にある電荷を除去する装置に対応して，本発明に係る実施例はウェーハ上にある電荷を除去する方法である。図５に示すステップブロック５１とステップブロック５２のように、まずはチャックを用意し、このチャック内部において、チャックの外部に位置するウェーハと接触できる一つまたは複数のリフトピンがある。いずれのリフトピンも、スイッチによってゼロ電位に電気的に接続してから、スイッチのオンとオフを調整し、ウェーハ上にある電荷を除去しようとする時、スイッチによって電荷をゼロ電位に伝導する。

例えば、チャックによるウェーハの保持を解除した後、或いはチャックによるウェーハの保持を解除する時，或いはウェーハをチャックから取り外す前に、或いはウェーハをチャックから取り外す時、或いはウェーハがチャックに付着している時、スイッチ４０２をオンして、ウェーハ４１に現る電荷のすべてをゼロ電位４０３に伝導し、再びウェーハ４１がチャック４２に付着しないように確保する。例えば、或いはウェーハがチャックに載置されてまだ保持されていない時、或いはウェーハがチャックに保持されている時、或いはウェーハが処理されている時（例えば、イオン注入の時、エッチングの時、堆積の時など）、或いはウェーハがチャックから取り外された後、スイッチ４０２をオフして、ウェーハの状態とウェーハへの処理がウェーハとゼロ電位の電気的接続により影響されないように確保する。

例えば、ウェーハとチャックとの間の相対的関係を監視する上述の方法を実施する際に、ウェーハ上の電荷を除去する装置内のスイッチをオフして、静電容量関連信号に対する測定がゼロ電位に接続スイッチにより影響されないように確保する。チャックから出力した対応交流信号がスイッチを経由してゼロ電位に伝導されて静電容量関連信号に対する測定への影響を回避する。

例えば、ウェーハをチャックに載置する直前にスイッチをオフし、その後、ウェーハをチャックから取り外す前に、特にウェーハ付着の発生を検出した時、オフであったスイッチをオンであるスイッチに変更する。よって、ウェーハ上にある電荷がゼロ電位にガイドされるように確保する。これにより、ウェーハがウェーハ上に現る電荷の原因で順調かつ適切にチャックから取り外されない可能性を大幅に低減することができる。

例えば、ウェーハがチャックに載置される時、特にウェーハの処理過程において、オフであったスイッチをオンであるスイッチに変更する。ある処理プロセスが既に完了した後かつ次の処理プロセスがまだ開始していない間に、スイッチをオンして、ウェーハ上に蓄積する電荷（通常稼働時に蓄積した電荷または予期せぬ状況で蓄積した電荷を問わず）をゼロ電位にガイドする。これにより、電荷がウェーハに蓄積することに起因してウェーハの処理結果を影響する可能性を低減することができる。

本発明のこれらの実施形態は、これらのスイッチによって電位ゼロに接続されるリフトピンの数および位置を制限する必要はない。しかし、一般的な選択肢は、これらのリフトピンの位置を、電荷の蓄積が起こりやすいウェーハ上の位置に対応させるように配置することである。例えば、チャックがいくつかの電極を有する静電チャックである場合、それらのリフトピンの位置がこれらの電極に1対1で隣接するように配置することができる。

本発明に係るそれらの実施例は、それらのリフトピンに電気的に接続するスイッチの種類や位置を制限する必要がない。使用されるスイッチがオンの場合にリフトピンをゼロ電位に電気的に接続して高抵抗などの欠点がないし、オフの場合にリフトピンをゼロ電位から電位隔離して電気漏れなどの欠点がなければよい。例えば、チャックの稼働が高電圧を利用する場合、本発明に係るそれらの実施例で使用されるスイッチは、高電圧リレーであってもよい。

本発明に係るそれらの実施例は、スイッチが電気的に接続するゼロ電位の詳細を制限する必要がない。例えば、ゼロ電位は、チャックのゼロ電位でもよいし、チャックが配置された反応チャンバのゼロ電位でもよいし、地球のゼロ電位でもよい。

本発明に係るそれらの実施例は、スイッチを介してゼロ電位に接続するリフトピンの材料や輪郭を制限する必要がない。例えば、それらのリフトピンにおけるウェーハに接触する部分とスイッチに接続する部分は、ニッケル、銅または他の高い導電率の材料により作製されてもよい。例えば、それらのリフトピンにおけるウェーハに接触しなくかつスイッチに接続しない部分は、ポリエーテルエーテルケトン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ，ＰＥＥＫ）または他のエンジニアリングプラスチックにより作製されてもよい。

特に、周知技術に比べてより敏感により正確に静電容量関連信号を測定するようにウェーハを押してチャックから離れるためのリフトピンの機能と、ウェーハ上の電荷を除去するようにスイッチを介してゼロ電位に電気的に接続するためのリフトピンの機能とが、異なる。本発明に係る異なる実施例は、同じリフトピンを使って切換スイッチによるオンとオフを介して段階的に静電容量関連信号の測定およびウェーハ上の電荷をゼロ電位に伝導する操作を実施してもよいし、或いは異なるリフトピンを使って静電容量関連信号の測定およびウェーハ上の電荷をゼロ電位に伝導する操作をそれぞれ実施してもよい。

例えば、ウェーハ上の電荷を除去する装置のある実施例は、更にウェーハを保持するためのチャックの外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリを含む。ここで、リフトピンアセンブリは、チャックから伸び出すことができる一つまたは複数のリフトピン及び異なるリフトピンをそれぞれ支持かつ移動させる一つまたは複数の支持ユニットを含む。ここで、リフトピンアセンブリは、距離を取るようにウェーハとチャックとを引き離すことができる。ここで、少なくとも一つのリフトピンは、ウェーハと接触してスイッチに電気的に接続する導体端子と、支持ユニットに接続する誘電体端子を含む。

更に、ウェーハ上の電荷を除去する当該装置は、前述したウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置と一緒に統合することができる。言い換えると、本発明に係る一つの実施例において、ウェーハ上の電荷を除去する当該装置は、更に、ウェーハを保持するためのチャックの外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリと、初期交流信号を出力するための交流信号発生器と、初期交流信号とチャックから出力された対応交流信号とを比較するための比較回路を含む。ここで、交流信号発生器は、チャックと比較回路にそれぞれ電気的に結合する。比較回路は、交流信号発生器とチャックにそれぞれ電気的に結合する。ここで、リフトピンアセンブリは、チャックから伸び出すことができる一つまたは複数のリフトピンおよび異なるリフトピンをそれぞれ支持して移動させる一つまたは複数の支持ユニットを含む。ここで、リフトピンアセンブリ距離を取るようにウェーハとチャックを引き離すことができる。そして、対応交流信号は、当該距離に応じて変化する。ここで、比較回路による比較結果によってウェーハがチャックに付着しているかどうかを判断する。ある実施例において、リフトピンアセンブリにおける少なくとも一つのリフトピンは、ウェーハと接触してスイッチに電気的に接続する導体端子（つまり、少なくとも一つのリフトピンが電荷を伝導してウェーハから離れるのに用いられる。）を有することができる。ひいては、少なくとも一つの導体端子を有するリフトピンは、更に誘電体端子を有する。ここで、誘電体端子は、支持ユニットに接続して、このリフトピンがウェーハとスイッチ（或いは、ゼロ電位）をこの装置外部に電気的に接続しないように確保するためのハードウェアである。ある実施例において、少なくとも一つのリフトピンが誘電体リフトピンであってもよいし、或いは、少なくとも一つのリフトピンがウェーハに機械的に接触するための一つの誘電体端子を有して、ウェーハとチャックとを互いに分離する過程において不意にウェーハを外部に電気的に接続する確率を低減する。ある実施例において、異なるリフトピンは、ウェーハの保持が解除される時、ウェーハとそれぞれ機械的に接触して、ウェーハとチャックとを分離させる。或いは、異なるリフトピンは、ウェーハの保持が解除される時、ウェーハとそれぞれ機械的に接触し、ウェーハとチャックとを分離させて、少なくとも一つのリフトピンがバネにより機械的に支持される。ここで、異なるリフトピンは、異なるバネによりそれぞれ機械的に支持される。或いは、異なるリフトピンは、ウェーハの保持が解除される時、ウェーハとそれぞれ機械的に接触して、ウェーハとチャックとを分離させて、少なくとも一つのリフトピンバネにより機械的に支持される。ここで、異なるリフトピンは異なるバネによりそれぞれ機械的に支持されて、それぞれのバネはワッシャーにより機械的に支持される。ここで、異なるバネは、異なるリフトピンによりそれぞれ機械的に支持される。

明らかに、上記の例に記載されているように、本発明に多くの修正および相違が存在し得る。そのため、添付の特許請求の範囲内に合わせて、理解する必要がある。本発明は、前述の詳細な説明のほか、別の実施例で幅広く実施することができる。上記は、本発明の好ましい実施形態の単なる例示であり、本発明の特許出願の範囲を限定するものではない。本発明で開示された精神から逸脱しない他の等価物または改変も、以下の特許請求の範囲内に含まれる。

１１ リフトピンアセンブリ
１１１ リフトピン
１１２ 支持ユニット
１２ 交流信号発生器
１３ 比較回路
１３１ 反転増幅器
１３２ データマルチプレクサ
１３３ 差動増幅器
２１ チャック
２２ ウェーハ
３１ ステップブロック
３２ ステップブロック
３３ ステップブロック
３４ ステップブロック
３５ ステップブロック
３６ ステップブロック
３７ ステップブロック
３８ ステップブロック
４０１ リフトピン
４０２ スイッチ
４０３ ゼロ電位
４０１５ 導体端子
４０１６ 誘電体端子
４１ ウェーハ
４２ チャック
５１ ステップブロック
５２ ステップブロック

Claims (30)

1. ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する装置であって、
   ウェーハを保持するためのチャックの外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリと、
   初期交流信号を出力するための交流信号発生器と、
   初期交流信号とチャックから出力された対応交流信号とを比較するための比較回路と、
   を含み、
   交流信号発生器は、チャックと比較回路にそれぞれ電気的に結合し、
   比較回路は、交流信号発生器とチャックにそれぞれ電気的に結合し、
   リフトピンアセンブリは、チャックから伸び出すことができる一つまたは複数のリフトピン、及び異なるリフトピンをそれぞれ支持して移動させる一つまたは複数の支持ユニットを含み、
   リフトピンアセンブリは、距離を取るようにウェーハとチャックを引き離すことができ、対応交流信号は、当該距離に応じて変化する装置。
2. 異なるリフトピンは、ウェーハの保持が解除される時、ウェーハとチャックとを引き離すように、ウェーハにそれぞれ機械的に接触する請求項１に記載の装置。
3. 少なくとも一つのリフトピンは、バネにより機械的に支持され、異なるリフトピンは、異なるバネによりそれぞれ機械的に支持される請求項２に記載の装置。
4. それぞれのバネは、いずれもワッシャーにより機械的に支持され、異なるバネは、異なるリフトピンによりそれぞれ機械的に支持される請求項３に記載の装置。
5. リフトピンは、いずれも誘電体リフトピンである請求項２から４のいずれか一項に記載の装置。
6. リフトピンは、いずれも誘電体端子を有し、当該誘電体端子は、ウェーハに機械的に接触するのに用いられる請求項２から４のいずれか一項に記載の装置。
7. ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法であって、
   静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハがチャック上に載置されたことを表す第１数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャック上に載置されているかどうかを監視するステップと、
   静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハがチャックに保持されたことを表す第２数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャックに保持されているかどうかを監視するステップと、
   静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてウェーハが処理中であることを表す第３数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハが処理中であるかどうかを監視するステップと、
   静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてチャックによる保持が解除されたことを表す第４数値を有するかどうかを決定することによって、チャックによるウェーハの保持が解除されているかどうかを監視するステップと、
   静電容量関連信号を検出して、検出された静電容量関連信号においてチャックから取り外されたことを表す第５数値を有するかどうかを決定することによって、ウェーハがチャックから取り外されているかどうかを監視するステップと、
   を含み、
   ウェーハがチャックに保持されていない場合は、ウェーハとチャックとが互いに分離し、ウェーハがチャックに保持されている場合は、ウェーハとチャックとが互いに機械的に接触する方法。
8. 初期交流信号と対応交流信号とを比較することによって静電容量関連信号を生成するステップを更に含み、対応交流信号の生成は、初期交流信号をチャックに伝送して通過させることによって取得されるものである請求項７に記載の方法。
9. 静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない時、早期警報を出すステップと、
   静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない持続時間が第１閾値期間を超えた時、早期警報を出すステップと、
   静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない時、ウェーハに対する処理を中止するステップと、
   静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない持続時間が第二閾値期間を超えた時、ウェーハに対する処理を中止するステップと、
   静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない時、ウェーハをチャックから取り外す操作を中止するステップと、
   静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない持続時間が第二閾値期間を超えた時、ウェーハをチャックから取り外す操作を中止するステップとのうち、
   少なくとも一つのステップを含む請求項７または８に記載の方法。
10. チャックが静電チャックである場合、静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない時、プラズマノズルを使ってチャックに現れる電荷を中和するステップを更に含む請求項７から９のいずれか一項に記載の方法。
11. 静電容量関連信号が第１−第５数値のいずれにも一致しない時、自発的にチャック内部に位置する電極の極性を反転させるステップを更に含む請求項７から１０のいずれか一項に記載の方法。
12. ウェーハとチャックとの相対的関係を監視する方法であって、
    前記ウェーハがリフトピンアセンブリにより保持が解除され支持されている場合に検出される静電容量関連信号である予め定められた数値を規定するステップと、
    前記リフトピンアセンブリにより前記チャックから前記ウェーハを離すステップと、
    前記静電容量関連信号を検出して、第１数値を生成するステップと、
    前記第１数値を前記予め定められた数値と比較するステップと、
    前記ウェーハと前記チャックとの相対的関係を判断するステップであって、前記第１数値が前記予め定められた数値より大きい場合に前記ウェーハが前記チャックに付着している、判断するステップと
    を含む方法。
13. 前記静電容量関連信号を検出して、第１数値を生成する前記ステップは、
    初期交流信号を前記チャックに伝送して、前記チャックから対応交流信号を受信するステップと、
    前記初期交流信号と前記対応交流信号とを比較することによって前記静電容量関連信号を生成するステップとを更に含む請求項１２に記載の方法。
14. ウェーハがチャックに付着している時、早期警報を出すステップと、
    ウェーハがチャックに付着している持続時間が第１閾値期間を超えた時、早期警報を出すステップと、
    ウェーハがチャックに付着している時、ウェーハをチャックから取り外す操作を中止するステップと、
    ウェーハがチャックに付着している持続時間が第二閾値期間を超えた時、ウェーハをチャックから取り外す操作を中止するステップとのうち、
    少なくとも一つのステップを更に含む請求項１２または１３に記載の方法。
15. ウェーハの付着が発生した時、プラズマノズルを利用してチャックに現れる電荷を中和するステップと、
    ウェーハの付着が発生した時、チャック内部に位置する電極の極性を反転させるステップとのうち、
    少なくとも一つのステップを更に含む請求項１２から１４のいずれか一項に記載の方法。
16. ウェーハにある電荷を除去する装置であって、
    チャック内部に位置してチャック外部のウェーハに接触できる一つまたは複数のリフトピンと、
    リフトピンとゼロ電位とを電気的に接続させるスイッチと、
    を含む装置。
17. スイッチは、ウェーハがチャックに付着している時、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにオンすることと、
    スイッチは、ウェーハがチャックから取り外された時、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにオンすることと、
    スイッチは、ウェーハがチャックから取り外される前に、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにオンすることとのうち、
    少なくとも一つを更に含む請求項１６に記載の装置。
18. スイッチは、ウェーハがチャックにより保持されている時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離させるようにオフすることと、
    スイッチは、ウェーハがチャックに位置するが保持されていない時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離させるようにオフすることと、
    スイッチは、ウェーハが処理されている時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離させるようにオフすることと、
    スイッチは、ウェーハがチャックから取り外された後、オフすることとのうち、
    少なくとも一つを更に含む請求項１６または１７に記載の装置。
19. ゼロ電位はチャックのゼロ電位であることと、
    ゼロ電位はチャックが配置された反応チャンバのゼロ電位であることと、
    ゼロ電位は地球のゼロ電位であることとのうち、
    少なくとも一つを更に含む請求項１６から１８のいずれか一項に記載の装置。
20. チャックが複数の電極を有するチャックである場合、それぞれそれらの電極の付近に位置する複数のリフトピンと、
    リフトピンとゼロ電位とを電気的に接続させるスイッチは高電圧リレーであることとのうち、
    少なくとも一つを更に含む請求項１６から１９のいずれか一項に記載の装置。
21. ウェーハを保持するためのチャックの外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリを更に含み、
    リフトピンアセンブリは、チャックから伸び出すことができる一つまたは複数のリフトピンと、異なるリフトピンをそれぞれ支持して移動させる一つまたは複数の支持ユニットとを含み、
    リフトピンアセンブリは、距離を取るようにウェーハとチャックとを分離でき、
    少なくとも一つのリフトピンは導体端子と誘電体端子を有し、導体端子はウェーハに接触してスイッチに電気的に接続でき、誘電体端子は支持ユニットに接続する請求項１６から２０のいずれか一項に記載の装置。
22. 初期交流信号を出力するための交流信号発生器と、
    初期交流信号とチャックから出力された対応交流信号とを比較するための比較回路と、
    を含み、
    交流信号発生器は、チャックと比較回路にそれぞれ電気的に結合し、
    比較回路は、交流信号発生器とチャックにそれぞれ電気的に結合し、
    対応交流信号は、前記距離に応じて変化する請求項２１に記載の装置。
23. ウェーハにある電荷を除去する方法であって、
    外部に位置するウェーハに接触できる一つまたは複数のリフトピンを内部に有するチャックを用意して、これらのリフトピンのいずれも、スイッチを介してゼロ電位に電気的に接続するステップと、
    ウェーハにある電荷を除去すべき時、スイッチを介して電荷をゼロ電位に伝導するように、スイッチのオンとオフを調整するステップと、
    を含む方法。
24. ウェーハを処理する時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離するようにスイッチをオフするステップと、
    ウェーハをチャックから取り外す前に、ウェーハにある電荷がスイッチを介してゼロ電位に伝導されるように、スイッチをオンするステップと、
    を更に含む請求項２３に記載の方法。
25. ウェーハがチャックに付着している時、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにスイッチをオンするステップと、
    ウェーハをチャックから取り外す時、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにスイッチをオンするステップと、
    ウェーハをチャックから取り外す前、電荷をウェーハからゼロ電位に伝導するようにスイッチをオンするステップとのうち、
    少なくとも一つのステップを更に含む請求項２３または２４に記載の方法。
26. ウェーハがチャックにより保持されている時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離するようにスイッチをオフするステップと、
    ウェーハがチャックに位置するが保持されていない時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離するように、スイッチをオフするステップと、
    ウェーハを処理している時、ウェーハとゼロ電位とを電気的に隔離するように、スイッチをオフするステップと、
    ウェーハがチャックから取り外された後、スイッチをオフするステップとのうち、
    少なくとも一つのステップを更に含む請求項２３から２５のいずれか一項に記載の方法。
27. チャックのゼロ電位をスイッチに電気的に接続するゼロ電位とするステップと、
    チャックが配置された反応チャンバのゼロ電位をスイッチに電気的に接続するゼロ電位とするステップと、
    地球のゼロ電位をスイッチに電気的に接続するゼロ電位とするステップにおいて、
    少なくとも一つの上記ステップを更に含む請求項２３から２６のいずれか一項に記載の方法。
28. チャックが複数の電極を有するチャックである場合、それぞれの電極の付近に少なくとも一つのリフトピンを配置するステップと、
    高電圧リレーをリフトピンとゼロ電位とを電気的に接続するスイッチとするステップとのうち、
    少なくとも一つのステップを更に含む請求項２３から２７のいずれか一項に記載の方法。
29. リフトピンを、ウェーハを保持するためのチャックの外部まで伸びることができるリフトピンアセンブリに所属させるステップを更に含み、
    リフトピンアセンブリは、チャックから伸び出すことができる一つまたは複数のリフトピンと、異なるリフトピンをそれぞれ支持して移動させる一つまたは複数の支持ユニットを含み、
    リフトピンアセンブリは、距離を取るようにウェーハとチャックを分離でき、
    少なくとも一つのリフトピンは、ウェーハに接触してスイッチに電気的に接続できる導体端子と、支持ユニットに接続する誘電体端子とを有する請求項２３から２８のいずれか一項に記載の方法。
30. 初期交流信号を出力するための交流信号発生器と、
    初期交流信号とチャックから出力された対応交流信号とを比較するための比較回路と、
    を更に含み、
    交流信号発生器は、チャックと比較回路にそれぞれ電気的に結合し、
    比較回路は、交流信号発生器とチャックにそれぞれ電気的に結合し、
    対応交流信号は、前記距離に応じて変化する請求項２９に記載の方法。