JP2018073733A - Ionizer unit - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ionizer unit which is easy to install and less liable to cause radiation noise problems.SOLUTION: The ionizer unit includes: a rectangular electrode substrate 11; a linear discharge electrode 12 which is disposed on a surface of the electrode substrate 11 and which is formed in a linear shape continuing along a longitudinal direction Y of the electrode substrate 11; a step-up transformer 14 that is electrically connected to one linear discharge electrode 12 and provided exclusively for the one linear discharge electrode 12; and a case 17 integrally housing the electrode substrate 11 and the step-up transformer 14.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、長方形状の電極基板と、電極基板の表面に配置され、電極基板の長手方向に沿って連続する１本の線状に形成された線状放電極と、を備えたイオナイザーユニットに関する。   The present invention relates to an ionizer unit comprising a rectangular electrode substrate, and a linear discharge electrode that is disposed on the surface of the electrode substrate and is formed in a single linear shape along the longitudinal direction of the electrode substrate. .

かかるイオナイザーユニットを備えたイオナイザー装置の一例が、特開平９−１３７６３４号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１のイオナイザー装置は、１つのイオナイザーユニットが備えられている。そして、当該イオナイザーユニットでは、放電極が線状に構成されているため、イオン化物質が、線状の放電極に沿って生成される。したがって、局所的に設けられた放電極によってイオン化物質を生成する場合に比べて、広範囲にて均一にイオン化物質を生成することができ、除電対象物における除電対象箇所が一定の広がりを有する場合においても、偏りなく除電作用を発揮することができるようになっている。そして、このようなイオナイザーユニットは、電源から供給される電圧は昇圧トランスによって昇圧された後、給電線を通してイオナイザーユニットに供給される。   An example of an ionizer device provided with such an ionizer unit is described in JP-A-9-137634 (Patent Document 1). The ionizer device of Patent Document 1 includes one ionizer unit. In the ionizer unit, since the discharge electrode is formed in a linear shape, an ionized substance is generated along the linear discharge electrode. Therefore, compared with the case where the ionized substance is generated by the discharge electrode provided locally, the ionized substance can be generated uniformly in a wide range, and the static elimination target portion in the static elimination target has a certain spread. However, the neutralization effect can be exhibited without any bias. In such an ionizer unit, a voltage supplied from a power source is boosted by a step-up transformer and then supplied to the ionizer unit through a power supply line.

特開２０１５−１９１８１３号公報JP, 2015-191813, A

上記したようなイオナイザーユニットには、昇圧トランスによって昇圧された電圧が給電線を通してイオナイザーユニットに供給されるため、給電線が太くなることでイオナイザーユニットの設置位置に制限が生じる場合や、給電線から生じる放射ノイズの問題が生じる場合がある。   In the ionizer unit as described above, the voltage boosted by the step-up transformer is supplied to the ionizer unit through the power supply line. Therefore, when the power supply line becomes thick, the installation position of the ionizer unit is limited, or from the power supply line. The problem of radiated noise that occurs can arise.

そこで、設置し易く且つ放射ノイズの問題が生じ難いイオナイザーユニットの実現が望まれる。   Therefore, it is desired to realize an ionizer unit that is easy to install and hardly causes a problem of radiation noise.

上記に鑑みた、イオナイザーユニットの特徴構成は、長方形状の電極基板と、前記電極基板の表面に配置され、前記電極基板の長手方向に沿って連続する１本の線状に形成された線状放電極と、１本の前記線状放電極に電気的に接続され、当該１本の前記線状放電極に対して専用に設けられた昇圧用の昇圧トランスと、前記電極基板及び前記昇圧トランスを一体的に収容するケースと、を備える点にある。   In view of the above, the characteristic configuration of the ionizer unit includes a rectangular electrode substrate and a linear shape that is disposed on the surface of the electrode substrate and that is continuous in the longitudinal direction of the electrode substrate. A step-up transformer which is electrically connected to the discharge electrode, is electrically connected to the one linear discharge electrode, and is provided exclusively for the one linear discharge electrode; the electrode substrate; and the step-up transformer And a case that integrally accommodates.

これらの特徴構成によれば、イオナイザーユニットには、昇圧トランスによって昇圧される前の電圧を供給することになるため、電源からの電圧を昇圧トランスによって昇圧した後に給電線を通してイオナイザーユニットに供給する場合に比べて、給電線を通る電圧は比較的低くなる。そのため、給電線が太くなることを抑えることができて、イオナイザーユニットの設置位置に制限が生じ難いものにできるとともに、給電線から生じる放射ノイズを小さくして、給電線から生じる放射ノイズが外部に与える影響を抑えることができる。さらに、電極基板及び昇圧トランスは一体的にケースに収容されるため、昇圧トランスによって昇圧した後の電圧が通る配線や基板を短くしてケース内に収容できるので、イオナイザーユニットから生じる放射ノイズが外部に与える影響も抑えることができる。   According to these characteristic configurations, since the voltage before being boosted by the step-up transformer is supplied to the ionizer unit, the voltage from the power source is boosted by the step-up transformer and then supplied to the ionizer unit through the feeder line. In comparison with the above, the voltage passing through the feeder line is relatively low. For this reason, it is possible to prevent the feeder line from becoming thicker, making it difficult to limit the installation position of the ionizer unit, reducing radiation noise generated from the feeder line, and reducing radiation noise generated from the feeder line to the outside. The influence that it has can be suppressed. Furthermore, since the electrode substrate and the step-up transformer are integrally housed in the case, the wiring and substrate through which the voltage after boosting by the step-up transformer passes can be shortened and housed in the case, so that radiation noise generated from the ionizer unit is externally Can also be suppressed.

搬送装置の側面図Side view of transfer device 搬送装置の平面図Plan view of transfer device イオナイザー装置を示す図Diagram showing ionizer device イオナイザー装置の縦断側面図Longitudinal side view of ionizer イオナイザー装置の縦断正面図Longitudinal front view of ionizer device 電極ユニットの分解斜視図Exploded perspective view of electrode unit イオナイザー装置の要部を拡大した縦断側面図An enlarged side view of the main part of the ionizer

１．実施形態
イオナイザー装置の第一の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、イオナイザー装置２は、例えば、液晶用のガラス基板等の板状の搬送物Ｗを搬送する搬送装置１に装備される。
搬送装置１は、支持枠体１Ｗと、支持枠体１Ｗに回転自在に支持された回転軸１Ｊと、を備えている。搬送装置１は、搬送方向Ｃに並ぶ状態で回転軸１Ｊを複数備えている。
複数の回転軸１Ｊの夫々には、複数の搬送ローラ１Ｒが取り付けられており、回転軸１Ｊに備えられた複数の搬送ローラ１Ｒのうち回転軸１Ｊの長手方向の端部に備えられた搬送ローラ１Ｒには大径部が備えられている。複数の回転軸１Ｊはベルト（図示省略）にて、連動して回転するように構成されている。そして、搬送装置１は、図外の駆動用モータにより複数の回転軸１Ｊを回転させて、回転軸１Ｊに備えられた搬送ローラ１Ｒにより下方から支持している板状の搬送物Ｗを、搬送ローラ１Ｒの大径部にて横方向への移動を規制しながら搬送方向Ｃに搬送する。 1. Embodiment A first embodiment of an ionizer device will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG.1 and FIG.2, the ionizer apparatus 2 is equipped with the conveying apparatus 1 which conveys plate-shaped conveyance objects W, such as a glass substrate for liquid crystals, for example.
The transport apparatus 1 includes a support frame 1W and a rotation shaft 1J that is rotatably supported by the support frame 1W. The transport apparatus 1 includes a plurality of rotating shafts 1J in a state of being aligned in the transport direction C.
Each of the plurality of rotating shafts 1J is provided with a plurality of conveying rollers 1R, and among the plurality of conveying rollers 1R provided on the rotating shaft 1J, a conveying roller provided at an end in the longitudinal direction of the rotating shaft 1J. 1R has a large diameter portion. The plurality of rotating shafts 1J are configured to rotate in conjunction with a belt (not shown). And the conveying apparatus 1 rotates the some rotating shaft 1J with the drive motor outside a figure, and conveys the plate-shaped conveyed product W currently supported from the downward direction by the conveyance roller 1R with which the rotating shaft 1J was equipped. The roller 1R is transported in the transport direction C while restricting lateral movement at the large diameter portion.

支持枠体１Ｗには、所定の間隔を開けてイオナイザー装置２が装備されている。イオナイザー装置２は、後述する放電極からの放電によりイオン化物質を生成して、除電対象物を除電するものであり、図１及び図２に示すように棒状に形成されている。支持枠体１Ｗには、搬送方向Ｃにおいて回転軸１Ｊの間に位置するように取付用溝１Ｍが形成されており、イオナイザー装置２は、取付用溝１Ｍに上方から嵌合させる形態で搬送装置１に装備されている。このように装備されたイオナイザー装置２は、搬送方向Ｃに並ぶ搬送ローラ１Ｒの間に位置し、且つ、搬送装置１によって搬送される搬送物Ｗより下方に位置している。また、イオナイザー装置２は、搬送方向Ｃに見て、少なくとも搬送ローラ１Ｒと重なる状態で配置されており、本実施形態では、回転軸１Ｊとも重なる状態で配置されている。   The support frame 1W is equipped with an ionizer device 2 at a predetermined interval. The ionizer device 2 generates an ionized substance by discharge from a discharge electrode, which will be described later, and removes a charge removal object, and is formed in a rod shape as shown in FIGS. 1 and 2. A mounting groove 1M is formed in the support frame 1W so as to be positioned between the rotation shafts 1J in the transport direction C, and the ionizer device 2 is configured to be fitted into the mounting groove 1M from above. Equipped to 1. The ionizer device 2 equipped in this way is positioned between the transport rollers 1R arranged in the transport direction C and is positioned below the transported object W transported by the transport device 1. Further, the ionizer device 2 is disposed so as to overlap at least the transport roller 1R when viewed in the transport direction C, and is disposed so as to overlap the rotating shaft 1J in the present embodiment.

図３に示すように、イオナイザー装置２は、１つのイオナイザーユニット３と、イオナイザー装置２を電源４に接続するための給電線５と、を備えている。イオナイザーユニット３には、複数の電極ユニット６が備えられている。また、イオナイザーユニット３には、イオナイザーユニット３の長手方向Ｙに沿って連続する１本の線状に形成された線状放電極１２と、１本の線状放電極１２に電気的に接続され、当該１本の線状放電極１２に対して専用に設けられた昇圧用の昇圧トランス１４と、が備えられている。   As shown in FIG. 3, the ionizer device 2 includes one ionizer unit 3 and a power supply line 5 for connecting the ionizer device 2 to a power source 4. The ionizer unit 3 includes a plurality of electrode units 6. In addition, the ionizer unit 3 is electrically connected to one linear discharge electrode 12 formed in a single linear shape along the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3 and one linear discharge electrode 12. And a step-up transformer 14 for step-up provided exclusively for the one linear discharge electrode 12.

次に、イオナイザーユニット３について説明を加える。尚、イオナイザーユニット３について説明するに当たり、イオナイザーユニット３の長手方向Ｙに対して直交する方向であり且つ電極基板１１と接続基板１３とが並ぶ方向を厚み方向Ｘとして説明する。また、長手方向Ｙの一方向を第一長手方向Ｙ１とし、長手方向Ｙの他方向を第二長手方向Ｙ２とする。また、厚み方向Ｘにおいて、接続基板１３に対して電極基板１１が存在する方向を第一厚み方向Ｘ１とし、その反対方向を第二厚み方向Ｘ２とする。   Next, the ionizer unit 3 will be described. In the description of the ionizer unit 3, the direction perpendicular to the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3 and the direction in which the electrode substrate 11 and the connection substrate 13 are arranged will be described as the thickness direction X. One direction of the longitudinal direction Y is defined as a first longitudinal direction Y1, and the other direction of the longitudinal direction Y is defined as a second longitudinal direction Y2. In the thickness direction X, the direction in which the electrode substrate 11 exists with respect to the connection substrate 13 is defined as a first thickness direction X1, and the opposite direction is defined as a second thickness direction X2.

図４及び図５に示すように、イオナイザーユニット３は、電極基板１１と線状放電極１２と接続基板１３と昇圧トランス１４と伝熱体１５と連結基板１６とケース１７とを備えている。電極基板１１と線状放電極１２と接続基板１３と昇圧トランス１４と伝熱体１５と連結基板１６とはケース１７に収容されている。ケース１７は、第一カバー１８と第二カバー１９とで構成されている。そして、図６に示すように、電極基板１１と線状放電極１２と接続基板１３と昇圧トランス１４と第一カバー１８とで電極ユニット６が構成されており、イオナイザーユニット３には、１つ又は複数の電極ユニット６（本実施形態では６つの電極ユニット６）が長手方向Ｙに並ぶ状態で備えられている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the ionizer unit 3 includes an electrode substrate 11, a linear discharge electrode 12, a connection substrate 13, a step-up transformer 14, a heat transfer body 15, a connection substrate 16, and a case 17. The electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13, the step-up transformer 14, the heat transfer body 15, and the connection substrate 16 are accommodated in a case 17. The case 17 includes a first cover 18 and a second cover 19. As shown in FIG. 6, the electrode unit 11 is composed of the electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13, the step-up transformer 14, and the first cover 18, and one ionizer unit 3 is provided. Alternatively, a plurality of electrode units 6 (six electrode units 6 in the present embodiment) are arranged in the longitudinal direction Y.

図４及び図５に示すように、イオナイザーユニット３には、電極基板１１及び接続基板１３の夫々が複数備えられている。本実施形態では、電極基板１１は、長手方向Ｙに沿って配列された状態で６枚備えられている。接続基板１３は、長手方向Ｙに沿って配列された状態で電極基板１１と同数の６枚備えられており、その６枚の電極基板１１の夫々に昇圧トランス１４が配置されている。つまり、１枚の電極基板１１に対して、１枚の接続基板１３と１個の昇圧トランス１４とが備えられている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the ionizer unit 3 includes a plurality of electrode substrates 11 and connection substrates 13. In the present embodiment, six electrode substrates 11 are provided in a state of being arranged along the longitudinal direction Y. The connection substrate 13 is provided in the same number as the electrode substrate 11 in the state of being arranged along the longitudinal direction Y, and the step-up transformer 14 is disposed on each of the six electrode substrates 11. That is, one connection substrate 13 and one step-up transformer 14 are provided for one electrode substrate 11.

図４〜図６に示すように、電極基板１１は、厚み方向Ｘに薄く長手方向Ｙに長い基板であり、厚み方向Ｘに見て長方形状に形成されている。電極基板１１の表面における第一厚み方向Ｘ１を向く面に線状放電極１２が配置されている。線状放電極１２は、長手方向Ｙに沿って連続する１本の線状に形成されており、１枚の電極基板１１には線状放電極１２が１本のみ設置されている。イオナイザーユニット３には、このように線状放電極１２が設置された電極基板１１が長手方向Ｙに並ぶ状態で複数備えられており、電極基板１１が備えられることによって、線状放電極１２が長手方向Ｙに配列された状態で複数備えられている。本実施形態では、イオナイザーユニット３には、６枚の電極基板１１が長手方向Ｙに一列に配列された状態で備えられるとともに、６本の線状放電極１２が長手方向Ｙに一列に配列された状態で備えられている。   As shown in FIGS. 4 to 6, the electrode substrate 11 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. A linear discharge electrode 12 is disposed on the surface of the electrode substrate 11 facing the first thickness direction X1. The linear discharge electrode 12 is formed in a single continuous line along the longitudinal direction Y, and only one linear discharge electrode 12 is provided on one electrode substrate 11. The ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 on which the linear discharge electrodes 12 are thus arranged in the longitudinal direction Y. By providing the electrode substrate 11, the linear discharge electrodes 12 are provided. A plurality are provided in a state of being arranged in the longitudinal direction Y. In the present embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a line in the longitudinal direction Y, and six linear discharge electrodes 12 are arranged in a line in the longitudinal direction Y. It is prepared in the state.

接続基板１３は、厚み方向Ｘに薄く長手方向Ｙに長い基板であり、厚み方向Ｘに見て長方形状に形成されている。接続基板１３は、電極基板１１に対して第二厚み方向Ｘ２に、電極基板１１と厚み方向Ｘに重なる状態で備えられており、接続基板１３における第一厚み方向Ｘ１を向く第一面１３Ａは、電極基板１１と対向している。具体的には、接続基板１３は、その長手方向Ｙの中心が電極基板１１の長手方向Ｙの中心と長手方向Ｙで同じ位置となるように備えられている。イオナイザーユニット３には、電極基板１１と同数の接続基板１３が長手方向Ｙに配列された状態で備えられている。本実施形態では、イオナイザーユニット３には、６枚の電極基板１１が長手方向Ｙに一列に配列された状態で備えられている。   The connection substrate 13 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. The connection substrate 13 is provided in the second thickness direction X2 with respect to the electrode substrate 11 so as to overlap the electrode substrate 11 and the thickness direction X, and the first surface 13A of the connection substrate 13 facing the first thickness direction X1 is It faces the electrode substrate 11. Specifically, the connection substrate 13 is provided such that the center in the longitudinal direction Y is the same position as the center in the longitudinal direction Y of the electrode substrate 11. The ionizer unit 3 is provided with the same number of connection substrates 13 as the electrode substrates 11 arranged in the longitudinal direction Y. In the present embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a line in the longitudinal direction Y.

接続基板１３における第一面１３Ａには、当該接続基板１３を電極基板１１に電気的に接続するための接続端子１３Ｃが配置されている。この接続端子１３Ｃは、接続基板１３における長手方向Ｙの中心より第一長手方向Ｙ１の部分と長手方向Ｙの中心より第二長手方向Ｙ２の部分との夫々に、第一面１３Ａから第一厚み方向Ｘ１に向けて突出する状態で備えられている。この一枚の接続基板１３に備えられた一対の接続端子１３Ｃは、同じ電極基板１１に接触している。これにより、１枚の接続基板１３が１枚の電極基板１１にのみ電気的に接続されている。   A connection terminal 13 </ b> C for electrically connecting the connection substrate 13 to the electrode substrate 11 is disposed on the first surface 13 </ b> A of the connection substrate 13. The connection terminal 13C has a first thickness from the first surface 13A to a portion in the first longitudinal direction Y1 from the center in the longitudinal direction Y and a portion in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y. It is provided in a state of protruding toward the direction X1. A pair of connection terminals 13 </ b> C provided on the single connection substrate 13 is in contact with the same electrode substrate 11. Thereby, one connection substrate 13 is electrically connected only to one electrode substrate 11.

接続基板１３における第一面１３Ａとは反対側の第二面１３Ｂは、第二厚み方向Ｘ２を向いている。この接続基板１３における第二面１３Ｂには、当該接続基板１３を連結基板１６に電気的に接続するための第一被連結端子１３Ｄ及び第二被連結端子１３Ｅが配置されている。第一被連結端子１３Ｄは、接続基板１３における長手方向Ｙの中心より第一長手方向Ｙ１の部分に備えられている。第二被連結端子１３Ｅは、接続基板１３における長手方向Ｙの中心より第二長手方向Ｙ２の部分に備えられている。これら第一被連結端子１３Ｄ及び第二被連結端子１３Ｅの夫々は、第二面１３Ｂから第二厚み方向Ｘ２に向けて突出する状態で備えられている。接続基板１３に備えられた第一被連結端子１３Ｄ及び第二被連結端子１３Ｅは、長手方向Ｙにおいて、これらが備えられている接続基板１３の一対の接続端子１３Ｃの間に位置するように備えられている。そして、一枚の接続基板１３に備えられた第一被連結端子１３Ｄと第二被連結端子１３Ｅとは、異なる連結基板１６に連結されている。これにより、１枚の接続基板１３が一対の連結基板１６に電気的に接続されている。   The second surface 13B opposite to the first surface 13A in the connection substrate 13 faces the second thickness direction X2. A first connected terminal 13D and a second connected terminal 13E for electrically connecting the connection board 13 to the connection board 16 are disposed on the second surface 13B of the connection board 13. The first connected terminal 13 </ b> D is provided in a portion in the first longitudinal direction Y <b> 1 from the center in the longitudinal direction Y of the connection substrate 13. The second connected terminal 13E is provided in a portion in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y of the connection substrate 13. Each of the first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E is provided in a state protruding from the second surface 13B in the second thickness direction X2. The first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E provided on the connection board 13 are provided so as to be positioned in the longitudinal direction Y between the pair of connection terminals 13C of the connection board 13 provided with these. It has been. The first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E provided on one connection board 13 are connected to different connection boards 16. Thereby, one connection board 13 is electrically connected to the pair of connection boards 16.

接続基板１３における第二面１３Ｂに、昇圧トランス１４が配置されている。昇圧トランス１４は、長手方向Ｙにおいて一対の接続端子１３Ｃの間に位置し且つ第一被連結端子１３Ｄより第一長手方向Ｙ１側に位置するように接続基板１３に配置されている。１枚の接続基板１３及び１枚の電極基板１１に対して１つの昇圧トランス１４が備えられており、昇圧トランス１４は、１本の線状放電極１２に対して専用に設けられている。詳しくは、昇圧トランス１４は、当該昇圧トランス１４が配置された接続基板１３と接続電気的に接続された電極基板１１に配置された１本の線状放電極１２に対して専用に設けられている。そして、昇圧トランス１４は、接続基板１３と電極基板１１とを介して１本の線状放電極１２に電気的に接続されている。   A step-up transformer 14 is disposed on the second surface 13B of the connection substrate 13. The step-up transformer 14 is disposed on the connection substrate 13 so as to be positioned between the pair of connection terminals 13C in the longitudinal direction Y and on the first longitudinal direction Y1 side from the first connected terminal 13D. One step-up transformer 14 is provided for one connection substrate 13 and one electrode substrate 11, and the step-up transformer 14 is provided exclusively for one linear discharge electrode 12. Specifically, the step-up transformer 14 is provided exclusively for one linear discharge electrode 12 disposed on the electrode substrate 11 connected and electrically connected to the connection substrate 13 on which the step-up transformer 14 is disposed. Yes. The step-up transformer 14 is electrically connected to one linear discharge electrode 12 via the connection substrate 13 and the electrode substrate 11.

図６に示すように、伝熱体１５は、厚み方向Ｘに薄く長手方向Ｙに長い板状に形成されている。伝熱体１５は、絶縁性材料により構成されている。図５及び図６に示すように、伝熱体１５は、電極基板１１に対して第一厚み方向Ｘ１に、電極基板１１と厚み方向Ｘに重なる状態で備えられている。そして、伝熱体１５における線状放電極１２と厚み方向Ｘに重なる部分には、開口１５Ａが形成されている。そして、図５に示すように、伝熱体１５は、電極基板１１における第一厚み方向Ｘ１を向く面の外周縁部と第一カバー１８との間に介在する状態で備えられている。   As shown in FIG. 6, the heat transfer body 15 is formed in a plate shape that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y. The heat transfer body 15 is made of an insulating material. As shown in FIGS. 5 and 6, the heat transfer body 15 is provided in the first thickness direction X <b> 1 with respect to the electrode substrate 11 so as to overlap the electrode substrate 11 in the thickness direction X. An opening 15 </ b> A is formed in a portion of the heat transfer body 15 that overlaps the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X. As shown in FIG. 5, the heat transfer body 15 is provided between the outer peripheral edge portion of the surface of the electrode substrate 11 facing the first thickness direction X <b> 1 and the first cover 18.

図５及び図６に示すように、第一カバー１８は、長手方向Ｙに見て、第二厚み方向Ｘ２が開口するＵ字状に形成されている。第一カバー１８には、線状放電極１２と厚み方向Ｘに重なる部分に開口１８Ａが形成されている。この第一カバー１８の内部空間に、第一厚み方向Ｘ１から、伝熱体１５、線状放電極１２が配置された電極基板１１、昇圧トランス１４が配置された接続基板１３、の順に厚み方向Ｘに重なる状態で配設されている。そして、このように配設された伝熱体１５、線状放電極１２を備えた電極基板１１、昇圧トランス１４が配置された接続基板１３、及び、これらを収容する第１カバーにより、電極ユニット６が構成されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the first cover 18 is formed in a U shape that is open in the second thickness direction X2 when viewed in the longitudinal direction Y. An opening 18 </ b> A is formed in the first cover 18 at a portion overlapping the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X. In the inner space of the first cover 18, from the first thickness direction X1, the heat transfer body 15, the electrode substrate 11 on which the linear discharge electrode 12 is arranged, and the connection substrate 13 on which the step-up transformer 14 is arranged are arranged in the thickness direction. It is arranged so as to overlap X. The electrode unit includes the heat transfer body 15, the electrode substrate 11 including the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13 where the step-up transformer 14 is disposed, and the first cover that accommodates these. 6 is configured.

図４、図５及び図７に示すように、連結基板１６は、長手方向Ｙに隣り合う一対の接続基板１３を連結して、長手方向Ｙに隣り合う一対の電極ユニット６を連結する。連結基板１６は、厚み方向Ｘに薄く長手方向Ｙに長い基板であり、厚み方向Ｘに見て長方形状に形成されている。連結基板１６は、接続基板１３に対して第二厚み方向Ｘ２側に配置されており、接続基板１３の第二面１３Ｂに対向するように、一対の接続基板１３の間に亘って配置されている。連結基板１６における第一厚み方向Ｘ１を向く面には、一対の接続基板１３の一方に電気的に接続するための第一連結端子１６Ａと、一対の接続基板１３の他方に電気的に接続するための第二連結端子１６Ｂと、を備えている。第一連結端子１６Ａは、連結基板１６における長手方向Ｙの中心より第二長手方向Ｙ２の部分に備えられている。第二連結端子１６Ｂは、連結基板１６における長手方向Ｙの中心より第一長手方向Ｙ１の部分に備えられている。これら第一連結端子１６Ａ及び第二連結端子１６Ｂの夫々は、連結基板１６における第一厚み方向Ｘ１を向く面から第一厚み方向Ｘ１に向けて突出する状態で備えられている。   As shown in FIGS. 4, 5, and 7, the connection substrate 16 connects a pair of connection substrates 13 adjacent in the longitudinal direction Y and connects a pair of electrode units 6 adjacent in the longitudinal direction Y. The connection substrate 16 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. The connection board 16 is arranged on the second thickness direction X2 side with respect to the connection board 13, and is arranged between the pair of connection boards 13 so as to face the second surface 13B of the connection board 13. Yes. A first connection terminal 16 </ b> A for electrically connecting to one of the pair of connection substrates 13 and a second connection substrate 13 are electrically connected to a surface of the connection substrate 16 facing the first thickness direction X <b> 1. A second connection terminal 16B. 16 A of 1st connection terminals are provided in the part of the 2nd longitudinal direction Y2 from the center of the longitudinal direction Y in the connection board | substrate 16. FIG. The second connection terminal 16 </ b> B is provided in a portion in the first longitudinal direction Y <b> 1 from the center in the longitudinal direction Y of the connection substrate 16. Each of the first connection terminal 16A and the second connection terminal 16B is provided in a state protruding from the surface of the connection substrate 16 facing the first thickness direction X1 in the first thickness direction X1.

長手方向Ｙに隣り合う一対の接続基板１３のうち、第一長手方向Ｙ１側の接続基板１３を第一の接続基板１３とし、第二長手方向Ｙ２側の接続基板１３を第二の接続基板１３として、連結基板１６は、第一の接続基板１３の直下から第二の接続基板１３の直下に亘って配設されている。そして、第一連結端子１６Ａは、第二の接続基板１３の第一被連結端子１３Ｄに連結され、第二連結端子１６Ｂは、第一の接続基板１３の第二被連結端子１３Ｅに連結されている。このように、連結基板１６は、第一の接続基板１３と第二の接続基板１３との双方に電気的に連結されている。   Of the pair of connection boards 13 adjacent to each other in the longitudinal direction Y, the connection board 13 on the first longitudinal direction Y1 side is used as the first connection board 13 and the connection board 13 on the second longitudinal direction Y2 side is the second connection board 13. As described above, the connection board 16 is disposed from directly below the first connection board 13 to directly below the second connection board 13. The first connecting terminal 16A is connected to the first connected terminal 13D of the second connecting board 13, and the second connecting terminal 16B is connected to the second connected terminal 13E of the first connecting board 13. Yes. As described above, the connection board 16 is electrically connected to both the first connection board 13 and the second connection board 13.

図４及び図５に示すように、第二カバー１９は、長手方向Ｙに見て、第一厚み方向Ｘ１が開口するＵ字状に形成されている。第二カバー１９は、長手方向Ｙにおいてイオナイザーユニット３と同じ長さに形成されている。そして、第二カバー１９の第一厚み方向Ｘ１に第一カバー１８を重ねるように連結されている。この第二カバー１９に連結されている第一カバー１８は、長手方向Ｙに沿って複数並んでおり、１つの第二カバー１９と複数の第一カバー１８とで、筒状のケース１７が形成されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the second cover 19 is formed in a U shape that is open in the first thickness direction X1 when viewed in the longitudinal direction Y. The second cover 19 is formed in the same length as the ionizer unit 3 in the longitudinal direction Y. And it connects so that the 1st cover 18 may overlap in the 1st thickness direction X1 of the 2nd cover 19. FIG. A plurality of first covers 18 connected to the second cover 19 are arranged along the longitudinal direction Y, and a cylindrical case 17 is formed by one second cover 19 and the plurality of first covers 18. Has been.

第二カバー１９には、複数の連結基板１６が長手方向Ｙに１列に整列された状態で収容されており、当該複数の連結基板１６は、第二カバー１９の底部１９Ａに固定されている。接続基板１３の第一厚み方向Ｘ１を向く面には連結部材２０が固定されており、当該連結部材２０が、長手方向Ｙに隣り合う一対の第一カバー１８に連結されている。このように、接続基板１３と連結部材２０とによって、第一カバー１８が第二カバー１９に固定されている。   The second cover 19 accommodates a plurality of connection boards 16 arranged in a line in the longitudinal direction Y, and the plurality of connection boards 16 are fixed to the bottom 19 </ b> A of the second cover 19. . A connecting member 20 is fixed to a surface of the connection substrate 13 facing the first thickness direction X1, and the connecting member 20 is connected to a pair of first covers 18 adjacent to each other in the longitudinal direction Y. As described above, the first cover 18 is fixed to the second cover 19 by the connection substrate 13 and the connecting member 20.

そして、連結基板１６には、長手方向Ｙに隣り合う一対の接続基板１３が電気的に連結されており、イオナイザーユニット３（イオナイザー装置２）に備えられている複数の接続基板１３が電気的に接続されている。イオナイザーユニット３における最も第二長手方向Ｙ２に位置する電極ユニット６に給電線５が接続されている。そのため、電極ユニット６の夫々に備えられている接続基板１３は、給電線５や連結基板１６や他の接続基板１３を介して、電源４に電気的に接続されている。そして、電極ユニット６では、昇圧トランス１４によって昇圧された電圧が、接続基板１３及び電極基板１１を介して線状放電極１２に供給される。線状放電極１２がイオン化物質を生成し、そのイオン化物質は、伝熱体１５の開口１５Ａ及び第一カバー１８の開口１８Ａを通って、電極ユニット６（イオナイザーユニット３）の第一厚み方向Ｘ１に放出される。   A pair of connection boards 13 adjacent to each other in the longitudinal direction Y are electrically connected to the connection board 16, and the plurality of connection boards 13 provided in the ionizer unit 3 (ionizer device 2) are electrically connected. It is connected. A power supply line 5 is connected to the electrode unit 6 located in the second longest longitudinal direction Y2 in the ionizer unit 3. Therefore, the connection board 13 provided in each of the electrode units 6 is electrically connected to the power supply 4 via the feeder line 5, the connection board 16, and another connection board 13. In the electrode unit 6, the voltage boosted by the step-up transformer 14 is supplied to the linear discharge electrode 12 through the connection substrate 13 and the electrode substrate 11. The linear discharge electrode 12 generates an ionized substance, and the ionized substance passes through the opening 15A of the heat transfer body 15 and the opening 18A of the first cover 18, and the first thickness direction X1 of the electrode unit 6 (ionizer unit 3). To be released.

２．その他の実施形態
次に、イオナイザーユニットのその他の実施形態について説明する。 2. Other Embodiments Next, other embodiments of the ionizer unit will be described.

（１）上記実施形態では、イオナイザーユニット３に電極基板１１及び接続基板１３の夫々を複数備えたが、イオナイザーユニット３に電極基板１１及び接続基板１３の夫々を１つずつのみ備えてもよい。つまり、上記実施形態では、イオナイザーユニット３に複数の電極ユニット６を備えたが、イオナイザーユニット３に電極ユニット６を１つのみ備えてもよい。 (1) In the above embodiment, the ionizer unit 3 includes a plurality of the electrode substrates 11 and the connection substrates 13, but the ionizer unit 3 may include only one each of the electrode substrate 11 and the connection substrate 13. That is, in the above embodiment, the ionizer unit 3 includes the plurality of electrode units 6, but the ionizer unit 3 may include only one electrode unit 6.

（２）上記実施形態では、イオナイザー装置２に１つ又は３つのイオナイザーユニット３を備えたが、イオナイザー装置２に２つのイオナイザーユニット３を備える等、イオナイザー装置２に備えるイオナイザーユニット３の数は適宜変更してもよい。 (2) In the above embodiment, the ionizer device 2 includes one or three ionizer units 3, but the ionizer device 2 includes two ionizer units 3, and the number of ionizer units 3 included in the ionizer device 2 is appropriate. It may be changed.

（３）上記実施形態では、接続基板１３の第二面１３Ｂに昇圧トランス１４を装備し、その接続基板１３を電極基板１１に電気的に接続することで、昇圧トランス１４を線状放電極１２に電気的に接続したが、昇圧トランス１４を線状放電極１２に電気的に接続する構成は適宜変更してもよい。具体的には、例えば、接続基板１３の第一面１３Ａに昇圧トランス１４を配置してもよく、また、昇圧トランス１４を電極基板１１における第二厚み方向Ｘ２を向く面に装備してもよい。また、イオナイザーユニット３に接続基板１３を備えずに、昇圧トランス１４と電極基板１１とを配線によって電気的に接続するようにしてもよい。 (3) In the above-described embodiment, the step-up transformer 14 is equipped on the second surface 13B of the connection substrate 13 and the connection substrate 13 is electrically connected to the electrode substrate 11 so that the step-up transformer 14 is connected to the linear discharge electrode 12. However, the configuration in which the step-up transformer 14 is electrically connected to the linear discharge electrode 12 may be appropriately changed. Specifically, for example, the step-up transformer 14 may be disposed on the first surface 13A of the connection substrate 13, and the step-up transformer 14 may be provided on the surface of the electrode substrate 11 facing the second thickness direction X2. . Further, the step-up transformer 14 and the electrode substrate 11 may be electrically connected by wiring without providing the connection substrate 13 in the ionizer unit 3.

（４）上記実施形態では、電極基板１１を長手方向Ｙに沿って一列に配列された状態で複数備えたが、電極基板１１を長手方向Ｙに沿って二列又は三列以上の複数列に配列された状態で複数備えてもよい。 (4) In the above embodiment, a plurality of electrode substrates 11 are provided in a state of being arranged in a line along the longitudinal direction Y, but the electrode substrates 11 are arranged in a plurality of rows in two or more rows along the longitudinal direction Y. A plurality may be provided in an arrayed state.

（５）上記実施形態では、ガラス基板を搬送する搬送装置１にイオナイザー装置２を装備したが、フィルムを搬送する搬送装置等の他の搬送物Ｗを搬送する装置にイオナイザー装置２を装備してもよい。また、イオナイザー装置２が搬送物Ｗに対して下方に位置するようにイオナイザー装置２を搬送装置１に装備したが、イオナイザー装置２が搬送物Ｗに対して上方や側方に位置するようにイオナイザー装置２を装備する等、搬送装置１においてイオナイザー装置２を装備する高さや向きは適宜変更してもよい。 (5) In the said embodiment, although the ionizer apparatus 2 was equipped in the conveying apparatus 1 which conveys a glass substrate, the apparatus which conveys other conveyance objects W, such as a conveying apparatus which conveys a film, is equipped with the ionizer apparatus 2. Also good. In addition, the ionizer device 2 is installed in the transport device 1 so that the ionizer device 2 is positioned below the transported material W. However, the ionizer is configured so that the ionizer device 2 is positioned above or laterally with respect to the transported material W. The height and direction in which the ionizer device 2 is equipped in the transport device 1 may be changed as appropriate, for example, equipped with the device 2.

（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。 (6) Note that the configurations disclosed in the above-described embodiments can be applied in combination with the configurations disclosed in other embodiments as long as no contradiction arises. Regarding other configurations, the embodiments disclosed herein are merely examples in all respects. Accordingly, various modifications can be made as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure.

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明したイオナイザーユニットの概要について説明する。 3. Outline of the above embodiment Hereinafter, an outline of the ionizer unit described above will be described.

イオナイザーユニットは、長方形状の電極基板と、前記電極基板の表面に配置され、前記電極基板の長手方向に沿って連続する１本の線状に形成された線状放電極と、１本の前記線状放電極に電気的に接続され、当該１本の前記線状放電極に対して専用に設けられた昇圧用の昇圧トランスと、前記電極基板及び前記昇圧トランスを一体的に収容するケースと、を備える。   The ionizer unit includes a rectangular electrode substrate, a linear discharge electrode that is disposed on the surface of the electrode substrate, and is formed in a linear shape along the longitudinal direction of the electrode substrate. A step-up step-up transformer that is electrically connected to the linear discharge electrode and provided exclusively for the one linear discharge electrode; and a case that integrally accommodates the electrode substrate and the step-up transformer. .

このような構成により、イオナイザーユニットには、昇圧トランスによって昇圧される前の電圧を供給することになるため、電源からの電圧を昇圧トランスによって昇圧した後に給電線を通してイオナイザーユニットに供給する場合に比べて、給電線を通る電圧は比較的低くなる。そのため、給電線が太くなることを抑えることができて、イオナイザーユニットの設置位置に制限が生じ難いものにできるとともに、給電線から生じる放射ノイズを小さくして、給電線から生じる放射ノイズが外部に与える影響を抑えることができる。さらに、電極基板及び昇圧トランスは一体的にケースに収容されるため、昇圧トランスによって昇圧した後の電圧が通る配線や基板を短くしてケース内に収容できるので、イオナイザーユニットから生じる放射ノイズが外部に与える影響も抑えることができる。   With this configuration, the voltage before being boosted by the step-up transformer is supplied to the ionizer unit, so that the voltage from the power source is boosted by the step-up transformer and then supplied to the ionizer unit through the feeder line. Thus, the voltage passing through the feeder line is relatively low. For this reason, it is possible to prevent the feeder line from becoming thicker, making it difficult to limit the installation position of the ionizer unit, reducing radiation noise generated from the feeder line, and reducing radiation noise generated from the feeder line to the outside. The influence that it has can be suppressed. Furthermore, since the electrode substrate and the step-up transformer are integrally housed in the case, the wiring and substrate through which the voltage after boosting by the step-up transformer passes can be shortened and housed in the case, so that radiation noise generated from the ionizer unit is externally Can also be suppressed.

ここで、前記電極基板と平行に配置された長方形状の接続基板を更に備え、前記接続基板は、前記ケースに収容されると共に電源に接続され、前記接続基板における前記電極基板に対向する第一面に、当該接続基板を前記電極基板に電気的に接続するための接続端子が配置され、前記第一面とは反対側の第二面に、前記昇圧トランスが配置されていると好適である。   Here, it further includes a rectangular connection board arranged in parallel with the electrode substrate, the connection board being housed in the case and connected to a power source, and facing the electrode board in the connection board. It is preferable that a connection terminal for electrically connecting the connection substrate to the electrode substrate is disposed on the surface, and the step-up transformer is disposed on the second surface opposite to the first surface. .

この構成によれば、接続端子の第二面に昇圧トランスが配置されているため、接続端子と電極基板とを、これら接続端子と電極端子とが並ぶ方向に互いに近づけた状態で設置できる。また、昇圧トランスを電極基板ではなく接続基板に装備することで、前記並ぶ方向に対して交差する幅方向に電極基板をコンパクトに構成することができ、これにより、イオナイザーユニットを幅方向にコンパクトに構成することができる。   According to this configuration, since the step-up transformer is disposed on the second surface of the connection terminal, the connection terminal and the electrode substrate can be installed in a state where they are close to each other in the direction in which the connection terminal and the electrode terminal are arranged. In addition, by mounting the step-up transformer on the connection board instead of the electrode board, the electrode board can be configured compactly in the width direction that intersects the line-up direction, thereby making the ionizer unit compact in the width direction. Can be configured.

また、長手方向に沿って配列された状態で前記接続基板を複数備えると共に、隣り合う一対の前記接続基板を連結する連結基板を更に備え、前記連結基板は、前記接続基板の前記第二面に対向するように、一対の前記接続基板の間に亘って配置され、更に、前記連結基板は、一対の前記接続基板の一方に電気的に接続するための第一連結端子と、一対の前記接続基板の他方に電気的に接続するための第二連結端子とを備え、一対の前記接続基板は、前記連結基板を介して前記電源に接続されると好適である。   In addition, a plurality of the connection boards are provided in a state of being arranged along the longitudinal direction, and further provided with a connection board that connects a pair of adjacent connection boards, and the connection board is provided on the second surface of the connection board. The connection board is arranged between the pair of connection boards so as to face each other, and the connection board is electrically connected to one of the pair of connection boards, and the pair of connection And a second connection terminal for electrically connecting to the other of the substrates, and the pair of connection substrates are preferably connected to the power source via the connection substrate.

この構成によれば、接続基板を長手方向に沿って複数備え、隣り合う一対の接続基板を連結基板により接続する構成であるため、これら接続基板や連結基板の数を変えることで、イオナイザーユニットの長手方向の長さを変更できる。そして、イオナイザーユニットの長手方向の長さが変わったとしても、電極基板や接続基板や連結基板を共通のものを用いることができるため、長さが異なるイオナイザーユニットを安価に構成し易い。   According to this configuration, a plurality of connection boards are provided along the longitudinal direction, and a pair of adjacent connection boards are connected by the connection board. Therefore, by changing the number of these connection boards and connection boards, the ionizer unit The length in the longitudinal direction can be changed. Even if the length of the ionizer unit in the longitudinal direction is changed, the common electrode substrate, connection substrate, and connection substrate can be used. Therefore, ionizer units having different lengths can be easily constructed at low cost.

本開示に係る技術は、線状放電極を備えたイオナイザーユニットに利用することができる。   The technology according to the present disclosure can be used for an ionizer unit including a linear discharge electrode.

３：イオナイザーユニット
４：電源
１１：電極基板
１２：線状放電極
１３：接続基板
１３Ａ：第一面
１３Ｂ：第二面
１３Ｃ：接続端子
１４：昇圧トランス
１６：連結基板
１６Ａ：第一連結端子
１６Ｂ：第二連結端子
１７：ケース
Ｙ：長手方向 3: Ionizer unit 4: Power supply 11: Electrode substrate 12: Linear discharge electrode 13: Connection substrate 13A: First surface 13B: Second surface 13C: Connection terminal 14: Step-up transformer 16: Connection substrate 16A: First connection terminal 16B : Second connection terminal 17: case Y: longitudinal direction

Claims (3)

長方形状の電極基板と、
前記電極基板の表面に配置され、前記電極基板の長手方向に沿って連続する１本の線状に形成された線状放電極と、
１本の前記線状放電極に電気的に接続され、当該１本の前記線状放電極に対して専用に設けられた昇圧用の昇圧トランスと、
前記電極基板及び前記昇圧トランスを一体的に収容するケースと、
を備えたイオナイザーユニット。 A rectangular electrode substrate;
A linear discharge electrode formed on the surface of the electrode substrate and formed in a single linear shape along the longitudinal direction of the electrode substrate;
A step-up transformer for boosting that is electrically connected to one of the linear discharge electrodes and is provided exclusively for the one linear discharge electrode;
A case for integrally housing the electrode substrate and the step-up transformer;
Ionizer unit equipped with. 前記電極基板と平行に配置された長方形状の接続基板を更に備え、
前記接続基板は、前記ケースに収容されると共に電源に接続され、
前記接続基板における前記電極基板に対向する第一面に、当該接続基板を前記電極基板に電気的に接続するための接続端子が配置され、前記第一面とは反対側の第二面に、前記昇圧トランスが配置されている請求項１に記載のイオナイザーユニット。 Further comprising a rectangular connection substrate arranged in parallel with the electrode substrate,
The connection board is housed in the case and connected to a power source,
A connection terminal for electrically connecting the connection substrate to the electrode substrate is disposed on the first surface of the connection substrate facing the electrode substrate, and on the second surface opposite to the first surface, The ionizer unit according to claim 1, wherein the step-up transformer is arranged. 長手方向に沿って配列された状態で前記接続基板を複数備えると共に、隣り合う一対の前記接続基板を連結する連結基板を更に備え、
前記連結基板は、前記接続基板の前記第二面に対向するように、一対の前記接続基板の間に亘って配置され、
更に、前記連結基板は、一対の前記接続基板の一方に電気的に接続するための第一連結端子と、一対の前記接続基板の他方に電気的に接続するための第二連結端子とを備え、
一対の前記接続基板は、前記連結基板を介して前記電源に接続される請求項２に記載のイオナイザーユニット。 A plurality of the connection boards in a state arranged along the longitudinal direction, and further comprising a connection board for connecting a pair of adjacent connection boards,
The connection substrate is disposed between the pair of connection substrates so as to face the second surface of the connection substrate,
Furthermore, the connection board includes a first connection terminal for electrically connecting to one of the pair of connection boards, and a second connection terminal for electrically connecting to the other of the pair of connection boards. ,
The ionizer unit according to claim 2, wherein the pair of connection boards are connected to the power supply via the connection board.
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