KR102477949B1

KR102477949B1 - Ionizer unit

Info

Publication number: KR102477949B1
Application number: KR1020170144628A
Authority: KR
Inventors: 다쓰오 나카오; 다이스케 이케다
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2016-11-02
Filing date: 2017-11-01
Publication date: 2022-12-14
Also published as: KR20180048414A; JP6658459B2; TWI745451B; CN108024435A; CN108024435B; TW201831051A; JP2018073733A

Abstract

설치하기 쉽고 또한 방사 노이즈의 문제가 쉽게 생기지 않는 이오나이저 유닛을 제공한다. 직사각형상의 전극 기판(11)과, 전극 기판(11)의 표면에 배치되고, 전극 기판(11)의 길이 방향 Y를 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극(12)과, 1개의 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치된 승압용의 승압 트랜스(14)와, 전극 기판(11) 및 승압 트랜스(14)를 일체로 수용하는 케이스(17)를 구비한다. An ionizer unit that is easy to install and does not easily cause a problem of radiation noise is provided. A rectangular electrode substrate 11, a linear discharge electrode 12 disposed on the surface of the electrode substrate 11 and formed in a continuous line along the longitudinal direction Y of the electrode substrate 11, and one linear discharge electrode ( 12) and integrally housing a step-up transformer 14 for step-up installed exclusively for the one linear discharge electrode 12, an electrode substrate 11, and a step-up transformer 14; ) is provided.

Description

Ionizer unit {IONIZER UNIT}

본 발명은, 이온화 물질을 생성하는 이오나이저 유닛(ionizer unit)에 관한 것이다. The present invention relates to an ionizer unit that produces ionized material.

이오나이저 유닛을 구비한 이오나이저 장치의 일례가, 일본 공개특허 평9―137634호 공보에 기재되어 있다. 이 이오나이저 장치에는, 선형 방전극을 가지는 1개의 이오나이저 유닛이 구비되어 있다. 이 이오나이저 유닛에서는, 방전극이 선형으로 구성되어 있으므로, 이온화 물질이, 선형의 방전극을 따라 생성된다. 따라서, 국소적으로 설치된 방전극에 의해 이온화 물질을 생성하는 경우와 비교하여, 광범위하고 균일하게 이온화 물질을 생성할 수 있어, 제전(除電) 대상물에서의 제전 대상 개소(箇所)가 일정한 넓이를 가지는 경우에도, 치우치지 않고 제전 작용을 발휘할 수 있도록 되어 있다. An example of an ionizer device provided with an ionizer unit is described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-137634. This ionizer device is provided with one ionizer unit having a linear discharge electrode. In this ionizer unit, since the discharge electrode is configured linearly, ionized substances are generated along the linear discharge electrode. Therefore, compared to the case where ionized materials are generated by locally installed discharge electrodes, it is possible to generate ionized materials over a wide range and uniformly, and when the area to be eliminated on the object to be eliminated has a certain area. However, it is designed to be able to exert an antistatic action without being biased.

이와 같은 이오나이저 유닛에서는, 일반적으로 전원으로부터 공급되는 전압이 승압(昇壓) 트랜스에 의해 승압된 후, 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급된다. 그러므로, 급전선이 굵어짐으로써 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 생기는 경우나, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈의 문제가 생기는 경우가 있다. In such an ionizer unit, a voltage supplied from a power supply is generally boosted by a step-up transformer and then supplied to the ionizer unit through a power supply line. Therefore, when the power supply line becomes thick, there are cases in which there is a restriction on the installation position of the ionizer unit or problems with radiation noise generated from the power supply line.

일본 공개특허 평9―137634호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-137634

그래서, 설치하기 쉽고 또한 방사 노이즈의 문제가 쉽게 생기지 않는 이오나이저 유닛의 실현이 요구된다. Therefore, it is desired to realize an ionizer unit that is easy to install and does not easily cause a problem of radiation noise.

상기 문제점을 해결하기 위하여 이오나이저 유닛은, 일 태양(態樣)으로서, 직사각형상의 전극 기판과, 상기 전극 기판의 표면에 배치되고, 상기 전극 기판의 길이 방향을 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극과, 1개의 상기 선형 방전극에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 상기 선형 방전극에 대하여 전용(專用)으로 설치된 승압용의 승압 트랜스와, 상기 전극 기판 및 상기 승압 트랜스를 일체로 수용하는 케이스를 구비한다.In order to solve the above problem, the ionizer unit, as one aspect, is a rectangular electrode substrate, disposed on the surface of the electrode substrate, and formed into one continuous line along the longitudinal direction of the electrode substrate. A discharge electrode, a step-up transformer electrically connected to one linear discharge electrode and provided exclusively for the one linear discharge electrode, and a case for integrally housing the electrode substrate and the boost transformer do.

이 구성에 의하면, 이오나이저 유닛에는, 승압 트랜스에 의해 승압되기 전의 전압을 공급하게 된다. 그러므로, 전원으로부터의 전압을 승압 트랜스에 의해 승압한 후에 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급하는 경우와 비교하여, 급전선을 지나는 전압은 비교적 낮아진다. 그러므로, 급전선이 굵어지는 것을 억제할 수 있어, 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 쉽게 생기지 않는 것으로 할 수 있는 동시에, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈를 작게 하여, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향을 억제할 수 있다. 또한, 전극 기판 및 승압 트랜스는 일체로 케이스에 수용되므로, 승압 트랜스에 의해 승압한 후의 전압이 지나는 배선이나 기판을 짧게 하여 케이스 내에 수용할 수 있다. 그러므로, 이오나이저 유닛으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향도 억제할 수 있다. According to this configuration, the voltage before being boosted by the step-up transformer is supplied to the ionizer unit. Therefore, compared with the case where the voltage from the power supply is boosted by the boosting transformer and then supplied to the ionizer unit through the power supply line, the voltage passing through the power supply line is relatively low. Therefore, it is possible to suppress the power supply line from becoming thick, and it is possible to prevent the installation position of the ionizer unit from being easily restricted, and at the same time, the radiation noise generated from the power supply line is reduced, and the influence of the radiation noise generated from the power supply line to the outside is reduced. can be suppressed Further, since the electrode substrate and the step-up transformer are housed integrally in the case, the wiring or board through which the voltage after being boosted by the step-up transformer passes can be shortened and housed in the case. Therefore, the influence of radiation noise generated from the ionizer unit to the outside can also be suppressed.

도 1은 반송 장치(搬送裝置; transport device)의 측면도
도 2는 반송 장치의 평면도
도 3은 이오나이저 장치를 나타낸 도면
도 4는 이오나이저 장치의 종단 측면도
도 5는 이오나이저 장치의 종단 정면도
도 6은 전극 유닛의 분해사시도
도 7은 이오나이저 장치의 주요부를 확대한 종단 측면도1 is a side view of a transport device;
2 is a plan view of the conveying device;
3 is a view showing an ionizer device
4 is a longitudinal side view of the ionizer device;
5 is a longitudinal front view of the ionizer device;
6 is an exploded perspective view of the electrode unit
7 is an enlarged longitudinal side view of the main part of the ionizer device;

이오나이저 장치의 제1 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 장치(2)는, 예를 들면, 액정용의 유리 기판 등의 판형의 반송물(搬送物)(W)을 반송하는 반송 장치(1)에 장비된다. 반송 장치(1)는, 지지 프레임체(1W)와, 지지 프레임체(1W)에 회전 가능하게 지지된 회전축(1J)을 구비하고 있다. 반송 장치(1)는, 반송 방향(C)으로 배열되는 상태로 회전축(1J)을 복수 구비하고 있다. 복수의 회전축(1J)의 각각에는, 복수의 반송 롤러(1R)가 장착되어 있고, 회전축(1J)에 구비된 복수의 반송 롤러(1R) 중 회전축(1J)의 길이 방향의 단부(端部)에 구비된 반송 롤러(1R)에는 대경부(大徑部)(1RR)가 구비되어 있다. 복수의 회전축(1J)은 벨트(도시하지 않음)에 의해, 연동하여 회전하도록 구성되어 있다. 그리고, 반송 장치(1)는, 도시하지 않은 구동용 모터에 의해 복수의 회전축(1J)을 회전시켜, 회전축(1J)에 구비된 반송 롤러(1R)에 의해 아래쪽으로부터 지지하고 있는 판형의 반송물(W)을, 반송 롤러(1R)의 대경부(1RR)에 의해 가로 방향으로의 이동을 규제하면서 반송 방향(C)으로 반송한다. A first embodiment of an ionizer device will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2 , the ionizer device 2 is installed in a conveying device 1 that conveys a plate-shaped conveyed object W such as, for example, a glass substrate for liquid crystal. . The conveying device 1 includes a support frame body 1W and a rotational shaft 1J rotatably supported by the support frame body 1W. The transport device 1 includes a plurality of rotational shafts 1J arranged in a transport direction C. A plurality of transport rollers 1R are attached to each of the plurality of rotation shafts 1J, and an end portion in the longitudinal direction of the rotation shaft 1J among the plurality of transport rollers 1R provided on the rotation shaft 1J The conveying roller 1R provided in is provided with a large-diameter portion 1RR. The plurality of rotation shafts 1J are configured to rotate in conjunction with each other by belts (not shown). Then, in the transport device 1, a plurality of rotational shafts 1J are rotated by a drive motor (not shown), and a plate-shaped conveyed object supported from below by a transport roller 1R provided on the rotational shaft 1J ( W) is conveyed in the conveyance direction C while regulating movement in the lateral direction by the large-diameter portion 1RR of the conveyance roller 1R.

지지 프레임체(1W)에는, 소정 간격을 두고 이오나이저 장치(2)가 장비되어 있다. 이오나이저 장치(2)는, 후술하는 방전극으로부터의 방전에 의해 이온화 물질을 생성하여, 제전 대상물을 제전하는 것이며, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 봉형(棒形)으로 형성되어 있다. 지지 프레임체(1W)에는, 반송 방향(C)에 있어서 회전축(1J)의 사이에 위치하도록 장착용 홈(1M)이 형성되어 있고, 이오나이저 장치(2)는, 장착용 홈(1M)에 위쪽으로부터 끼워맞추어지는 형태로 반송 장치(1)에 장비되어 있다. 이와 같이, 장비된 이오나이저 장치(2)는, 반송 방향(C)으로 배열되는 반송 롤러(1R)의 사이에 위치하고, 또한, 반송 장치(1)에 의해 반송되는 반송물(W)보다도 아래쪽에 위치하고 있다. 또한, 이오나이저 장치(2)는, 반송 방향(C)에서 볼 때, 적어도 반송 롤러(1R)와 중첩되는 상태로 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 회전축(1J)과도 중첩되는 상태로 배치되어 있다. The support frame body 1W is equipped with ionizer devices 2 at predetermined intervals. The ionizer device 2 generates an ionized substance by discharge from a discharge electrode described later to remove static electricity from an object to be neutralized, and is formed in a bar shape as shown in FIGS. 1 and 2 . In the support frame body 1W, a mounting groove 1M is formed so as to be positioned between the rotating shafts 1J in the transport direction C, and the ionizer device 2 is attached to the mounting groove 1M. It is equipped in the conveying device 1 in a form fitted from above. In this way, the equipped ionizer device 2 is located between the conveying rollers 1R arranged in the conveying direction C, and is located below the conveyed material W conveyed by the conveying device 1. have. In addition, the ionizer device 2 is arranged so as to overlap at least the conveyance roller 1R when viewed from the conveyance direction C, and in the present embodiment, it is arranged so as to overlap the rotational shaft 1J as well. have.

도 3에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 장치(2)는, 1개의 이오나이저 유닛(3)과, 이오나이저 장치(2)를 전원(4)에 접속하기 위한 급전선(5)을 구비하고 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 복수의 전극 유닛(6)이 구비되어 있다. 또한, 이오나이저 유닛(3)에는, 이오나이저 유닛(3)의 길이 방향 Y를 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극(12)과, 1개의 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치된 승압용의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있다. As shown in FIG. 3 , the ionizer device 2 includes one ionizer unit 3 and a power supply line 5 for connecting the ionizer device 2 to a power supply 4 . The ionizer unit 3 is equipped with a plurality of electrode units 6 . In addition, the ionizer unit 3 is electrically connected to a linear discharge electrode 12 formed in a continuous line along the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3 and to the single linear discharge electrode 12, A step-up transformer 14 for step-up installed exclusively for one linear discharge electrode 12 is provided.

이하, 이오나이저 유닛(3)에 대하여 설명하는데 있어서, 이오나이저 유닛(3)의 길이 방향 Y에 대하여 직교하는 방향이면서 또한 전극 기판(11)과 접속 기판(13)이 배열되는 방향을 두께 방향 X라고 하여 설명한다(도 4 등 참조). 또한, 길이 방향 Y의 일방향을 제1 길이 방향 Y1이라고 하고, 길이 방향 Y 다른 방향을 제2 길이 방향 Y2라고 한다. 또한, 두께 방향 X에 있어서, 접속 기판(13)에 대하여 전극 기판(11)이 존재하는 방향을 제1 두께 방향 X1이라고 하고, 그 반대 방향을 제2 두께 방향 X2라고 한다. Hereinafter, in the description of the ionizer unit 3, the direction orthogonal to the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3 and the direction in which the electrode substrate 11 and the connecting substrate 13 are arranged is referred to as the thickness direction X (refer to FIG. 4, etc.). In addition, one direction of the longitudinal direction Y is referred to as the first longitudinal direction Y1, and the other direction of the longitudinal direction Y is referred to as the second longitudinal direction Y2. In addition, in the thickness direction X, the direction in which the electrode substrate 11 exists with respect to the connecting substrate 13 is referred to as the first thickness direction X1, and the opposite direction is referred to as the second thickness direction X2.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 유닛(3)은, 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 전열체(傳熱體)(15)와 연결 기판(16)과 케이스(17)를 구비하고 있다. 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 전열체(15)와 연결 기판(16)은 케이스(17)에 수용되어 있다. 케이스(17)는, 제1 커버(18)와 제2 커버(19)로 구성되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 제1 커버(18)와 전극 유닛(6)이 구성되어 있고, 이오나이저 유닛(3)에는, 1개 또는 복수의 전극 유닛(6)[본 실시형태에서는 6개의 전극 유닛(6)]이 길이 방향 Y로 배열되는 상태로 구비되어 있다. 4 and 5, the ionizer unit 3 includes an electrode substrate 11, a linear discharge electrode 12, a connection substrate 13, a step-up transformer 14, and a heat transfer body ( 15), a connection board 16, and a case 17. The electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connecting substrate 13, the step-up transformer 14, the heating element 15, and the connecting substrate 16 are accommodated in the case 17. The case 17 is composed of a first cover 18 and a second cover 19 . And, as shown in FIG. 6, the electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connecting substrate 13, the step-up transformer 14, the first cover 18, and the electrode unit 6 are constituted, The ionizer unit 3 is provided with one or a plurality of electrode units 6 (six electrode units 6 in this embodiment) arranged in the longitudinal direction Y.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 유닛(3)에는, 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각이 복수 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 전극 기판(11)은, 길이 방향 Y를 따라 배열된 상태로 6개 구비되어 있다. 접속 기판(13)은, 길이 방향 Y를 따라 배열된 상태로 전극 기판(11)과 같은 수의 6개 구비되어 있고, 그 6개의 전극 기판(11)의 각각에 승압 트랜스(14)가 배치되어 있다. 즉, 1개의 전극 기판(11)에 대하여, 1개의 접속 기판(13)과 1개의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있다. As shown in FIGS. 4 and 5 , the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 and connection substrates 13 , respectively. In this embodiment, six electrode substrates 11 are provided in a state arranged along the longitudinal direction Y. The connecting substrates 13 are provided with six of the same number as the electrode substrates 11 in a state arranged along the longitudinal direction Y, and a step-up transformer 14 is disposed on each of the six electrode substrates 11. have. That is, for one electrode substrate 11, one connecting substrate 13 and one boosting transformer 14 are provided.

도 4∼도 6에 나타낸 바와 같이, 전극 기판(11)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 전극 기판(11)의 표면에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에 선형 방전극(12)이 배치되어 있다. 선형 방전극(12)은, 길이 방향 Y를 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성되어 있고, 1개의 전극 기판(11)에는 선형 방전극(12)이 1개만 설치되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 이와 같이, 선형 방전극(12)이 형성된 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 배열되는 상태로 복수 구비되어 있고, 전극 기판(11)이 구비되는 것에 의해, 선형 방전극(12)이 길이 방향 Y로 배열된 상태로 복수 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에는, 6개의 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되는 동시에, 6개의 선형 방전극(12)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되어 있다. As shown in FIGS. 4 to 6 , the electrode substrate 11 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. A linear discharge electrode 12 is arranged on the surface of the electrode substrate 11 facing the first thickness direction X1. The linear discharge electrode 12 is formed in one linear shape continuous along the longitudinal direction Y, and only one linear discharge electrode 12 is provided on one electrode substrate 11 . In this way, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 on which the linear discharge electrodes 12 are formed, arranged in the longitudinal direction Y, and the electrode substrates 11 are provided to form a linear discharge electrode A plurality of (12) are provided in a state arranged in the longitudinal direction Y. In this embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a row in the longitudinal direction Y, and six linear discharge electrodes 12 arranged in a row in the longitudinal direction Y It is available as is.

접속 기판(13)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 접속 기판(13)은, 전극 기판(11)에 대하여 제2 두께 방향 X2로, 전극 기판(11)과 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 구비되어 있고, 접속 기판(13)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 제1 면(13A)은, 전극 기판(11)과 대향하고 있다. 구체적으로는, 접속 기판(13)은, 그 길이 방향 Y의 중심이 전극 기판(11)의 길이 방향 Y의 중심과 길이 방향 Y과 같은 위치로 되도록 구비되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 전극 기판(11)과 같은 수의 접속 기판(13)이 길이 방향 Y로 배열된 상태로 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에는, 6개의 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되어 있다. The connecting substrate 13 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. The connection substrate 13 is provided in a state in which it overlaps the electrode substrate 11 in the second thickness direction X2 and the electrode substrate 11 in the thickness direction X with respect to the electrode substrate 11, and is provided in the first thickness direction in the connection substrate 13. The first surface 13A facing X1 faces the electrode substrate 11 . Specifically, the connecting substrate 13 is provided so that the center of the longitudinal direction Y is at the same position as the center of the longitudinal direction Y of the electrode substrate 11 and the longitudinal direction Y. The ionizer unit 3 is provided with the same number of connecting substrates 13 as the electrode substrates 11 arranged in the longitudinal direction Y. In this embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a row in the longitudinal direction Y.

접속 기판(13)에서의 제1 면(13A)에는, 상기 접속 기판(13)을 전극 기판(11)에 전기적으로 접속하기 위한 접속 단자(13C)가 배치되어 있다. 이 접속 단자(13C)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분과 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분과의 각각에, 제1 면(13A)으로부터 제1 두께 방향 X1을 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. 이 1개의 접속 기판(13)에 구비된 한 쌍의 접속 단자(13C)는, 같은 전극 기판(11)에 접촉되고 있다. 이로써, 1개의 접속 기판(13)이 1개의 전극 기판(11)에만 전기적으로 접속되어 있다. On the first surface 13A of the connection substrate 13, connection terminals 13C for electrically connecting the connection substrate 13 to the electrode substrate 11 are disposed. This connection terminal 13C is provided on the first surface of the connection board 13 at a portion in the first longitudinal direction Y1 from the center in the longitudinal direction Y and a portion in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y. It is provided in a state protruding from 13A toward the first thickness direction X1. A pair of connection terminals 13C provided on this one connection substrate 13 are in contact with the same electrode substrate 11 . In this way, one connection substrate 13 is electrically connected only to one electrode substrate 11 .

접속 기판(13)에서의 제1 면(13A)과는 반대측의 제2 면(13B)은, 제2 두께 방향 X2를 향하고 있다. 이 접속 기판(13)에서의 제2 면(13B)에는, 상기 접속 기판(13)을 연결 기판(16)에 전기적으로 접속하기 위한 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)가 배치되어 있다. 제1 피연결 단자(13D)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분에 구비되어 있다. 제2 피연결 단자(13E)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분에 구비되어 있다. 이들 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)의 각각은, 제2 면(13B)으로부터 제2 두께 방향 X2를 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. 접속 기판(13)에 구비된 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)는, 길이 방향 Y에 있어서, 이들이 구비되어 있는 접속 기판(13)의 한 쌍의 접속 단자(13C)의 사이에 위치하도록 구비되어 있다. 그리고, 1개의 접속 기판(13)에 구비된 제1 피연결 단자(13D)와 제2 피연결 단자(13E)는, 상이한 연결 기판(16)에 연결되어 있다. 이로써, 1개의 접속 기판(13)이 한 쌍의 연결 기판(16)에 전기적으로 접속되어 있다. The second surface 13B on the opposite side to the first surface 13A of the connecting substrate 13 faces the second thickness direction X2. On the second surface 13B of this connection board 13, there are first connected terminals 13D and second connected terminals 13E for electrically connecting the connection board 13 to the connection board 16. ) is placed. The first to-be-connected terminal 13D is provided in a portion in the first longitudinal direction Y1 from the center of the longitudinal direction Y in the connection board 13 . The second to-be-connected terminal 13E is provided in a portion of the second longitudinal direction Y2 from the center of the longitudinal direction Y in the connection board 13 . Each of these first to-be-connected terminals 13D and second to-be-connected terminals 13E is provided in a state of protruding from the second surface 13B toward the second thickness direction X2. The first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E provided on the connecting board 13 are a pair of connecting terminals 13C of the connecting board 13 provided with them in the longitudinal direction Y. ) is provided to be located between. And the first to-be-connected terminal 13D and the second to-be-connected terminal 13E provided on one connecting substrate 13 are connected to different connecting substrates 16 . In this way, one connecting board 13 is electrically connected to the pair of connecting boards 16 .

접속 기판(13)에서의 제2 면(13B)에, 승압 트랜스(14)가 배치되어 있다. 승압 트랜스(14)는, 길이 방향 Y에 있어서 한 쌍의 접속 단자(13C)의 사이에 위치하고 또한 제1 피연결 단자(13D)보다도 제1 길이 방향 Y1 측에 위치하도록 접속 기판(13)에 배치되어 있다. 1개의 접속 기판(13) 및 1개의 전극 기판(11)에 대하여 2개의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있고, 승압 트랜스(14)는, 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치되어 있다. 상세하게는, 승압 트랜스(14)는, 상기 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13)과 접속 전기적으로 접속된 전극 기판(11)에 배치된 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치되어 있다. 그리고, 승압 트랜스(14)는, 접속 기판(13)과 전극 기판(11)을 통하여 2개의 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속되어 있다. A step-up transformer 14 is disposed on the second surface 13B of the connecting substrate 13 . The step-up transformer 14 is disposed on the connection board 13 so as to be located between the pair of connection terminals 13C in the longitudinal direction Y and to be located on the side of the first longitudinal direction Y1 from the first connected terminal 13D. has been Two step-up transformers 14 are provided for one connection board 13 and one electrode board 11, and the step-up transformer 14 is provided exclusively for one linear discharge electrode 12. . Specifically, the step-up transformer 14 is dedicated to one linear discharge electrode 12 disposed on an electrode substrate 11 electrically connected to the connecting substrate 13 on which the boosting transformer 14 is disposed. It is installed. Then, the step-up transformer 14 is electrically connected to the two linear discharge electrodes 12 through the connecting substrate 13 and the electrode substrate 11 .

도 6에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 판형으로 형성되어 있다. 전열체(15)는, 절연성 재료에 의해 구성되어 있다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 전극 기판(11)에 대하여 제1 두께 방향 X1로, 전극 기판(11)과 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 구비되어 있다. 그리고, 전열체(15)에서의 선형 방전극(12)과 두께 방향 X로 중첩되는 부분에는, 개구(15A)가 형성되어 있다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 전극 기판(11)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면의 외주 에지부와 제1 커버(18)와의 사이에 개재(介在)하는 상태로 구비되어 있다. As shown in FIG. 6 , the heat transfer body 15 is formed into a plate shape that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y. The heat transfer body 15 is made of an insulating material. As shown in FIGS. 5 and 6 , the heat transfer body 15 is provided with respect to the electrode substrate 11 in the first thickness direction X1 and in a state overlapping with the electrode substrate 11 in the thickness direction X. And the opening 15A is formed in the part overlapping with the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X in the heat transfer body 15. And, as shown in FIG. 5 , the heat transfer body 15 is interposed between the outer peripheral edge of the surface facing the first thickness direction X1 in the electrode substrate 11 and the first cover 18 available in condition.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 커버(18)는, 길이 방향 Y에서 볼 때, 제2 두께 방향 X2이 개구되는 U자형으로 형성되어 있다. 제1 커버(18)에는, 선형 방전극(12)과 두께 방향 X로 중첩되는 부분에 개구(18A)가 형성되어 있다. 이 제1 커버(18)의 내부 공간에, 제1 두께 방향 X1로부터, 전열체(15), 선형 방전극(12)이 배치된 전극 기판(11), 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13)의 순으로 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 설치되어 있다. 그리고, 이와 같이, 설치된 전열체(15), 선형 방전극(12)을 구비한 전극 기판(11), 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13), 및 이들을 수용하는 제1 커버에 의해, 전극 유닛(6)이 구성되어 있다. As shown in FIGS. 5 and 6 , the first cover 18 is formed in a U shape in which the second thickness direction X2 is opened when viewed in the longitudinal direction Y. In the first cover 18, an opening 18A is formed at a portion overlapping the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X. In the inner space of the first cover 18, from the first thickness direction X1, the electrode substrate 11 on which the heating element 15 and the linear discharge electrode 12 are disposed, and the connection substrate on which the step-up transformer 14 is disposed ( In the order of 13), they are installed in a state of overlapping in the thickness direction X. And, by the thus-installed heating element 15, the electrode substrate 11 provided with the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13 on which the step-up transformer 14 is disposed, and the first cover accommodating them, The electrode unit 6 is comprised.

도 4, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 연결 기판(16)은, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13)을 연결하여, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 전극 유닛(6)을 연결한다. 연결 기판(16)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 연결 기판(16)은, 접속 기판(13)에 대하여 제2 두께 방향 X2 측에 배치되어 있고, 접속 기판(13)의 제2 면(13B)에 대향하도록, 한 쌍의 접속 기판(13)의 사이에 걸쳐 배치되어 있다. 연결 기판(16)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에는, 한 쌍의 접속 기판(13)의 한쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제1 연결 단자(16A)와, 한 쌍의 접속 기판(13) 의 다른 쪽에게 전기적으로 접속하기 위한 제2 연결 단자(16B)를 구비하고 있다. 제1 연결 단자(16A)는, 연결 기판(16)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분에 구비되어 있다. 제2 연결 단자(16B)는, 연결 기판(16)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분에 구비되어 있다. 이들 제1 연결 단자(16A) 및 제2 연결 단자(16B)의 각각은, 연결 기판(16)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면으로부터 제1 두께 방향 X1을 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. As shown in FIGS. 4, 5 and 7, the connecting substrate 16 connects a pair of connecting substrates 13 adjacent in the longitudinal direction Y, and connects a pair of electrode units adjacent in the longitudinal direction Y ( 6) connect. The connecting substrate 16 is a substrate that is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. The connecting substrate 16 is disposed on the second thickness direction X2 side with respect to the connecting substrate 13, and is a pair of connecting substrates 13 so as to face the second surface 13B of the connecting substrate 13. are placed in between. On the surface of the connecting substrate 16 facing the first thickness direction X1, a first connecting terminal 16A for electrically connecting to one of the pair of connecting substrates 13 and a pair of connecting substrates 13 and a second connection terminal 16B for electrically connecting to the other side of. 16 A of 1st connection terminals are provided in the part of the 2nd longitudinal direction Y2 from the center of the longitudinal direction Y in the connection board|substrate 16. The 2nd connection terminal 16B is provided in the part of the 1st longitudinal direction Y1 from the center of the longitudinal direction Y in the connection board|substrate 16. Each of these 1st connection terminal 16A and 2nd connection terminal 16B is provided in the state which protrudes toward the 1st thickness direction X1 from the surface which faces the 1st thickness direction X1 in the connection board 16. .

길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13) 중, 제1 길이 방향 Y1 측의 접속 기판(13)을 제1 접속 기판(13)으로 하고, 제2 길이 방향 Y2 측의 접속 기판(13)을 제2 접속 기판(13)으로 하여, 연결 기판(16)은, 제1 접속 기판(13)의 바로 아래로부터 제2 접속 기판(13)의 바로 아래에 걸쳐 설치되어 있다. 그리고, 제1 연결 단자(16A)는, 제2 접속 기판(13)의 제1 피연결 단자(13D)에 연결되고, 제2 연결 단자(16B)는, 제1 접속 기판(13)의 제2 피연결 단자(13E)에 연결되어 있다. 이와 같이, 연결 기판(16)은, 제1 접속 기판(13)과 제2 접속 기판(13)과의 양쪽에 전기적으로 연결되어 있다. Among a pair of adjacent connection boards 13 in the longitudinal direction Y, the connection board 13 on the side of the first longitudinal direction Y1 is used as the first connection board 13, and the connection board 13 on the side of the second longitudinal direction Y2 ) as the second connection substrate 13, the connection substrate 16 is provided from right below the first connection substrate 13 to directly below the second connection substrate 13. Further, the first connection terminal 16A is connected to the first connected terminal 13D of the second connection board 13, and the second connection terminal 16B is connected to the second connection terminal 13D of the first connection board 13. It is connected to the connected terminal 13E. In this way, the connecting substrate 16 is electrically connected to both the first connecting substrate 13 and the second connecting substrate 13 .

도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 커버(19)는, 길이 방향 Y에서 볼 때, 제1 두께 방향 X1이 개구되는 U자형으로 형성되어 있다. 제2 커버(19)는, 길이 방향 Y에 있어서 이오나이저 유닛(3)과 같은 길이로 형성되어 있다. 그리고, 제2 커버(19)의 제1 두께 방향 X1으로 제1 커버(18)를 중첩시키도록 연결되어 있다. 이 제2 커버(19)에 연결되어 있는 제1 커버(18)는, 길이 방향 Y를 따라 복수 나란히 배치되어 있고, 1개의 제2 커버(19)와 복수의 제1 커버(18)에 의해, 통형(筒形)의 케이스(17)가 형성되어 있다. As shown in FIG. 5 , the second cover 19 is formed in a U-shape in which the first thickness direction X1 is opened when viewed in the longitudinal direction Y. The second cover 19 is formed to have the same length as the ionizer unit 3 in the longitudinal direction Y. And it connects so that the 1st cover 18 may overlap in the 1st thickness direction X1 of the 2nd cover 19. A plurality of first covers 18 connected to this second cover 19 are arranged side by side along the longitudinal direction Y, and by one second cover 19 and a plurality of first covers 18, A tubular case 17 is formed.

도 4에 나타낸 바와 같이, 제2 커버(19)에는, 복수의 연결 기판(16)이 길이 방향 Y로 1열로 정렬된 상태로 수용되어 있고, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 상기 연결 기판(16)은, 제2 커버(19)의 바닥부(19A)에 고정되어 있다. 접속 기판(13)의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에는 연결 부재(20)가 고정되어 있고, 상기 연결 부재(20)가, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 제1 커버(18)에 연결되어 있다. 이와 같이, 접속 기판(13)과 연결 부재(20)에 의해, 제1 커버(18)가 제2 커버(19)에 고정되어 있다. As shown in Fig. 4, a plurality of connection boards 16 are accommodated in the second cover 19 aligned in a row in the longitudinal direction Y, and as shown in Figs. The connection board 16 is fixed to the bottom 19A of the second cover 19 . A connecting member 20 is fixed to a surface of the connecting substrate 13 facing the first thickness direction X1, and the connecting member 20 is connected to a pair of first covers 18 adjacent in the longitudinal direction Y. has been In this way, the first cover 18 is fixed to the second cover 19 by the connecting substrate 13 and the connecting member 20 .

그리고, 연결 기판(16)에는, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13)이 전기적으로 연결되어 있고, 이오나이저 유닛(3)[이오나이저 장치(2)]에 구비되어 있는 복수의 접속 기판(13)이 전기적으로 접속되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에서의 가장 제2 길이 방향 Y2에 위치하는 전극 유닛(6)에 급전선(5)이 접속되어 있다. 그러므로, 전극 유닛(6)의 각각에 구비되어 있는 접속 기판(13)은, 급전선(5)이나 연결 기판(16)이나 다른 접속 기판(13)을 통하여, 전원(4)에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 전극 유닛(6)에서는, 승압 트랜스(14)에 의해 승압된 전압이, 접속 기판(13) 및 전극 기판(11)을 통하여 선형 방전극(12)에 공급된다. 선형 방전극(12)이 이온화 물질을 생성하고, 그 이온화 물질은, 전열체(15)의 개구(15A) 및 제1 커버(18)의 개구(18A)를 통하여, 전극 유닛(6)[이오나이저 유닛(3)]의 제1 두께 방향 X1으로 방출된다. Further, a pair of connecting substrates 13 adjacent in the longitudinal direction Y are electrically connected to the connecting substrate 16, and a plurality of ionizer units 3 (ionizer device 2) provided with The connection board 13 is electrically connected. A power supply line 5 is connected to an electrode unit 6 positioned in the second longitudinal direction Y2 at the furthest end of the ionizer unit 3 . Therefore, the connection board 13 provided in each of the electrode units 6 is electrically connected to the power source 4 via the power supply line 5, the connection board 16, or another connection board 13. . Then, in the electrode unit 6, the voltage boosted by the step-up transformer 14 is supplied to the linear discharge electrode 12 via the connecting substrate 13 and the electrode substrate 11. The linear discharge electrode 12 generates ionizing material, and the ionizing material passes through the opening 15A of the heating element 15 and the opening 18A of the first cover 18 to the electrode unit 6 (ionizer unit 3] in the first thickness direction X1.

[그 외의 실시형태][Other embodiments]

다음에, 이오나이저 유닛의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. Next, other embodiments of the ionizer unit will be described.

(1) 상기 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각을 복수 구비하였지만, 이오나이저 유닛(3)에 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각을 1개씩만 구비해도 된다. 즉, 상기 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에 복수의 전극 유닛(6)을 구비하였지만, 이오나이저 유닛(3)에 전극 유닛(6)을 1개만 구비해도 된다. (1) In the above embodiment, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of each of the electrode substrate 11 and the connection substrate 13, but the ionizer unit 3 has the electrode substrate 11 and the connection substrate 13 ) may be provided with only one of each. That is, in the above embodiment, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode units 6, but the ionizer unit 3 may be provided with only one electrode unit 6.

(2) 상기 실시형태에서는, 이오나이저 장치(2)에 1개의 이오나이저 유닛(3)을 구비하는 형태를 예시하였다. 그러나, 이오나이저 장치(2)에 2개 이상의 이오나이저 유닛(3)을 구비하는 등, 이오나이저 장치(2)에 구비하는 이오나이저 유닛(3)의 수는 적절히 변경해도 된다. (2) In the above embodiment, the form in which the ionizer device 2 is provided with one ionizer unit 3 is exemplified. However, the number of ionizer units 3 included in the ionizer device 2 may be appropriately changed, such as providing the ionizer device 2 with two or more ionizer units 3 .

(3) 상기 실시형태에서는, 접속 기판(13)의 제2 면(13B)에 승압 트랜스(14)를 장비하고, 그 접속 기판(13)을 전극 기판(11)에 전기적으로 접속함으로써, 승압 트랜스(14)를 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속하였으나, 승압 트랜스(14)를 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속하는 구성은 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 접속 기판(13)의 제1 면(13A)에 승압 트랜스(14)를 배치해도 되고, 또한, 승압 트랜스(14)를 전극 기판(11)에서의 제2 두께 방향 X2를 향하는 면에 장비해도 된다. 또한, 이오나이저 유닛(3)에 접속 기판(13)을 구비하지 않고, 승압 트랜스(14)와 전극 기판(11)을 배선에 의해 전기적으로 접속하도록 해도 된다. (3) In the above embodiment, the step-up transformer 14 is equipped on the second surface 13B of the connection board 13, and the connection board 13 is electrically connected to the electrode board 11, thereby boosting the transformer. (14) is electrically connected to the linear discharge electrode 12, but the configuration of electrically connecting the step-up transformer 14 to the linear discharge electrode 12 may be appropriately changed. Specifically, for example, the step-up transformer 14 may be disposed on the first surface 13A of the connection substrate 13, and the step-up transformer 14 may be further disposed in the second thickness direction in the electrode substrate 11. It may be equipped on the side facing X2. Alternatively, the ionizer unit 3 may not be provided with the connection board 13, and the step-up transformer 14 and the electrode board 11 may be electrically connected by wiring.

(4) 상기 실시형태에서는, 전극 기판(11)을 길이 방향 Y를 따라 1열로 배열된 상태로 복수 구비하였지만, 전극 기판(11)을 길이 방향 Y를 따라 2열 또는 3열 이상의 복수 열로 배열된 상태로 복수 구비해도 된다. (4) In the above embodiment, a plurality of electrode substrates 11 are provided in a state in which a plurality of electrode substrates 11 are arranged in one row along the longitudinal direction Y, but the electrode substrates 11 are arranged in a plurality of rows of two or three or more rows along the longitudinal direction Y. You may provide a plurality in the state.

(5) 상기 실시형태에서는, 유리 기판을 반송하는 반송 장치(1)에 이오나이저 장치(2)를 장비하였으나, 필름을 반송하는 반송 장치 등의 다른 반송물(W)을 반송하는 장치에 이오나이저 장치(2)를 장비해도 된다. 또한, 이오나이저 장치(2)가 반송물(W)에 대하여 아래쪽에 위치하도록 이오나이저 장치(2)를 반송 장치(1)에 장비하였으나, 이오나이저 장치(2)가 반송물(W)에 대하여 위쪽이나 측방에 위치하도록 이오나이저 장치(2)를 장비하는 등, 반송 장치(1)에 있어서 이오나이저 장치(2)를 장비하는 높이나 방향은 적절히 변경해도 된다. (5) In the above embodiment, the conveying device 1 for conveying the glass substrate is equipped with the ionizer device 2, but the conveying device for conveying other objects W such as the conveying device for conveying the film is provided with an ionizer device (2) may be equipped. In addition, although the ionizer device 2 is installed in the conveying device 1 so that the ionizer device 2 is positioned downward with respect to the conveyed object W, the ionizer device 2 is positioned upward or downward with respect to the conveyed object W. The height and direction of equipping the ionizer device 2 in the transport device 1 may be appropriately changed, such as equipping the ionizer device 2 so as to be located on the side.

(6) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다. (6) And, the structure disclosed in each embodiment described above may be applied in combination with the structure disclosed in other embodiments as long as no contradiction occurs. Regarding other configurations, the embodiments disclosed in this specification are mere examples in all respects. Accordingly, various modifications can be made as appropriate within a range not departing from the spirit of the present disclosure.

[실시형태의 개요][Overview of Embodiments]

이하, 상기에 있어서 설명한 이오나이저 유닛의 개요에 대하여 설명한다. Hereinafter, an outline of the ionizer unit described above will be described.

일 태양으로서, 이오나이저 유닛은, 직사각형상의 전극 기판과, 상기 전극 기판의 표면에 배치되고, 상기 전극 기판의 길이 방향을 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극과, 1개의 상기 선형 방전극에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 상기 선형 방전극에 대하여 전용으로 설치된 승압용의 승압 트랜스와, 상기 전극 기판 및 상기 승압 트랜스를 일체로 수용하는 케이스를 구비한다. In one aspect, the ionizer unit includes a rectangular electrode substrate, one linear discharge electrode disposed on the surface of the electrode substrate and formed in a continuous line along the longitudinal direction of the electrode substrate, and one linear discharge electrode electrically connected to the electrode substrate. and a step-up transformer for step-up installed exclusively for the one linear discharge electrode, and a case for integrally housing the electrode substrate and the step-up transformer.

이와 같은 구성에 의해, 이오나이저 유닛에는, 승압 트랜스에 의해 승압되기 전의 전압을 공급하게 된다. 그러므로, 전원으로부터의 전압을 승압 트랜스에 의해 승압한 후에 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급하는 경우와 비교하여, 급전선을 지나는 전압은 비교적 낮아진다. 그러므로, 급전선이 굵어지는 것을 억제할 수 있어, 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 쉽게 생기지 않는 것으로 할 수 있는 동시에, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈를 작게 하여, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향을 억제할 수 있다. 또한, 전극 기판 및 승압 트랜스는 일체로 케이스에 수용되므로, 승압 트랜스에 의해 승압한 후의 전압이 지나는 배선이나 기판을 짧게 하여 케이스 내에 수용할 수 있다. 그러므로, 이오나이저 유닛으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향도 억제할 수 있다. With such a configuration, the voltage before being boosted by the step-up transformer is supplied to the ionizer unit. Therefore, compared with the case where the voltage from the power supply is boosted by the boosting transformer and then supplied to the ionizer unit through the power supply line, the voltage passing through the power supply line is relatively low. Therefore, it is possible to suppress the power supply line from becoming thick, and it is possible to prevent the installation position of the ionizer unit from being easily restricted, and at the same time, the radiation noise generated from the power supply line is reduced, and the influence of the radiation noise generated from the power supply line to the outside is reduced. can be suppressed Further, since the electrode substrate and the step-up transformer are housed integrally in the case, the wiring or board through which the voltage after being boosted by the step-up transformer passes can be shortened and housed in the case. Therefore, the influence of radiation noise generated from the ionizer unit to the outside can also be suppressed.

여기서, 상기 전극 기판과 평행하게 배치된 직사각형상의 접속 기판을 더 구비하고, 상기 접속 기판은, 상기 케이스에 수용되는 동시에 전원에 접속되고, 상기 접속 기판에서의 상기 전극 기판에 대향하는 제1 면에, 상기 접속 기판을 상기 전극 기판에 전기적으로 접속하기 위한 접속 단자가 배치되고, 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면에, 상기 승압 트랜스가 배치되어 있는 것이 바람직하다. Here, a rectangular connection substrate disposed in parallel with the electrode substrate is further provided, the connection substrate is accommodated in the case and connected to a power source, and a first surface of the connection substrate facing the electrode substrate is provided. , It is preferable that connection terminals for electrically connecting the connection substrate to the electrode substrate are disposed, and the step-up transformer is disposed on a second surface opposite to the first surface.

이 구성에 의하면, 접속 단자의 제2 면에 승압 트랜스가 배치되어 있으므로, 접속 단자와 전극 기판을, 이들 접속 단자와 전극 단자가 배열되는 방향으로 서로 근접한 상태로 설치할 수 있다. 또한, 승압 트랜스를 전극 기판이 아니고 접속 기판에 장비함으로써, 상기 배열되는 방향에 대하여 교차하는 폭 방향으로 전극 기판을 컴팩트하게 구성할 수 있다. 이로써, 이오나이저 유닛을 폭 방향으로 컴팩트하게 구성할 수 있다. According to this configuration, since the step-up transformer is disposed on the second surface of the connection terminals, the connection terminals and the electrode substrate can be placed close to each other in the direction in which these connection terminals and electrode terminals are arranged. Further, by mounting the step-up transformer not on the electrode substrate but on the connecting substrate, the electrode substrate can be compactly constructed in the width direction crossing the arrangement direction. In this way, the ionizer unit can be configured compactly in the width direction.

또한, 길이 방향을 따라 배열된 상태로 상기 접속 기판을 복수 구비하는 동시에, 인접하는 한 쌍의 상기 접속 기판을 연결하는 연결 기판을 더 구비하고, 상기 연결 기판은, 상기 접속 기판의 상기 제2 면에 대향하도록, 한 쌍의 상기 접속 기판의 사이에 걸쳐 배치되고, 또한, 상기 연결 기판은, 한 쌍의 상기 접속 기판의 한쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제1 연결 단자와, 한 쌍의 상기 접속 기판의 다른 쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제2 연결 단자를 구비하고, 한 쌍의 상기 접속 기판은, 상기 연결 기판을 통하여 상기 전원에 접속되는 것이 바람직하다. In addition, a plurality of the connection substrates are arranged in a longitudinal direction, and a connection substrate for connecting a pair of adjacent connection substrates is further provided, wherein the connection substrate is the second surface of the connection substrate. the pair of connection boards, and the connection board comprises: a first connection terminal for electrically connecting to one of the pair of connection boards; and a pair of the connection boards. and a second connection terminal for electrically connecting to the other side, and the pair of connection boards are preferably connected to the power source through the connection board.

이 구성에 의하면, 접속 기판을 길이 방향을 따라 복수 구비하고, 인접하는 한 쌍의 접속 기판을 연결 기판에 의해 접속하는 구성이므로, 이들 접속 기판이나 연결 기판의 수를 변경함으로써, 이오나이저 유닛의 길이 방향의 길이를 변경할 수 있다. 그리고, 이오나이저 유닛의 길이 방향의 길이가 변경되었다고 해도, 전극 기판이나 접속 기판이나 연결 기판을 공통의 것을 사용할 수 있으므로, 길이가 상이한 이오나이저 유닛을 염가로 구성하기 쉽다. According to this configuration, since a plurality of connection boards are provided along the longitudinal direction and a pair of adjacent connection boards are connected by the connection board, by changing the number of these connection boards or connection boards, the length of the ionizer unit can be reduced. You can change the length of the direction. And even if the length of the ionizer unit is changed in the longitudinal direction, since a common electrode board, connection board, or connection board can be used, it is easy to configure ionizer units having different lengths at low cost.

3: 이오나이저 유닛
4: 전원
11: 전극 기판
12: 선형 방전극
13: 접속 기판
13A: 제1 면
13B: 제2 면
13C: 접속 단자
14: 승압 트랜스
16: 연결 기판
16A: 제1 연결 단자
16B: 제2 연결 단자
17: 케이스
Y: 길이 방향3: ionizer unit
4: Power
11: electrode substrate
12: linear discharge electrode
13: connection board
13A: first side
13B: second side
13C: connection terminal
14: step-up transformer
16: connecting board
16A: first connection terminal
16B: second connection terminal
17: case
Y: longitudinal direction

Claims

a rectangular electrode substrate;
a linear discharge electrode disposed on the surface of the electrode substrate and formed in a continuous line along the longitudinal direction of the electrode substrate;
a step-up transformer electrically connected to the one linear discharge electrode and provided exclusively for the one linear discharge electrode; and
a case for integrally accommodating the electrode substrate and the step-up transformer;
including,
Further comprising a rectangular connection substrate disposed in parallel with the electrode substrate,
The connection board is accommodated in the case and connected to a power source,
A connection terminal for electrically connecting the connection substrate to the electrode substrate is disposed on a first surface of the connection board facing the electrode substrate, and on a second surface opposite to the first surface, the boosting voltage trans is placed,
Further comprising a connecting substrate having a plurality of the connecting substrates arranged in a longitudinal direction and connecting a pair of adjacent connecting substrates,
The connecting substrate is disposed between the pair of connecting substrates so as to face the second surface of the connecting substrate,
In addition, the connecting board includes a first connecting terminal for electrically connecting to one side of the pair of connecting boards and a second connecting terminal for electrically connecting to the other side of the pair of connecting boards,
The pair of connection boards are connected to the power source through the connection board.
ionizer unit.

According to claim 1,
A pair of the connection terminals are provided so as to protrude from the first surface toward the electrode substrate;
the first connecting terminal and the second connecting terminal are installed so as to protrude toward the connecting substrate from a surface opposite to the second surface of the connecting substrate;
The step-up transformer is disposed between the first connection terminal and the second connection terminal between a pair of the connection terminals on each of the connection substrates in the longitudinal direction.

According to claim 1 or 2,
The case includes a first cover accommodating the electrode substrate, the linear discharge electrode, the step-up transformer, and the connection substrate, and a second cover accommodating the connection substrate,
The connecting substrate is fixed to the second cover,
The ionizer unit, wherein the pair of first covers and the connecting substrate are fixed via a connecting member.