KR20180048414A

KR20180048414A - Ionizer unit

Info

Publication number: KR20180048414A
Application number: KR1020170144628A
Authority: KR
Inventors: 다쓰오 나카오; 다이스케 이케다
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2016-11-02
Filing date: 2017-11-01
Publication date: 2018-05-10
Also published as: JP6658459B2; TWI745451B; KR102477949B1; CN108024435A; CN108024435B; TW201831051A; JP2018073733A

Abstract

Provided is an ionizer unit which can be easily installed and cannot easily cause a radiation noise problem. The ionizer unit includes a rectangular electrode substrate (11), a linear discharge electrode (12) arranged on the surface of the electrode substrate (11) and continuously formed in one line along longitudinal direction Y of the electrode substrate (11), a boosting transformer (14) which is electrically connected to the linear discharge electrode (12) and is exclusively installed for the linear discharge electrode (12), and a case (17) which integrally accommodates the electrode substrate (11) and the boosting transformer (14).

Description

IONIZER UNIT

본 발명은, 이온화 물질을 생성하는 이오나이저 유닛(ionizer unit)에 관한 것이다. The present invention relates to an ionizer unit for producing an ionizing material.

이오나이저 유닛을 구비한 이오나이저 장치의 일례가, 일본 공개특허 평9―137634호 공보에 기재되어 있다. 이 이오나이저 장치에는, 선형 방전극을 가지는 1개의 이오나이저 유닛이 구비되어 있다. 이 이오나이저 유닛에서는, 방전극이 선형으로 구성되어 있으므로, 이온화 물질이, 선형의 방전극을 따라 생성된다. 따라서, 국소적으로 설치된 방전극에 의해 이온화 물질을 생성하는 경우와 비교하여, 광범위하고 균일하게 이온화 물질을 생성할 수 있어, 제전(除電) 대상물에서의 제전 대상 개소(箇所)가 일정한 넓이를 가지는 경우에도, 치우치지 않고 제전 작용을 발휘할 수 있도록 되어 있다. An example of an ionizer apparatus having an ionizer unit is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-137634. This ionizer apparatus is provided with one ionizer unit having a linear discharge electrode. In this ionizer unit, since the discharge electrode is linearly formed, an ionized material is generated along the linear discharge electrode. Therefore, it is possible to generate an ionized substance in a wide and uniform manner as compared with the case where the ionized material is generated by the locally provided discharge electrode, and when the target portion (portion) to be erased in the eradication object has a certain width , It is possible to exhibit the antistatic effect without shifting.

이와 같은 이오나이저 유닛에서는, 일반적으로 전원으로부터 공급되는 전압이 승압(昇壓) 트랜스에 의해 승압된 후, 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급된다. 그러므로, 급전선이 굵어짐으로써 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 생기는 경우나, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈의 문제가 생기는 경우가 있다. In such an ionizer unit, a voltage supplied from a power source is generally boosted by a boosting transformer, and then supplied to the ionizer unit through a feeder line. Therefore, there is a case where the installation position of the ionizer unit is limited due to the thickening of the feeder line, and a problem of radiation noise generated from the feeder line may occur.

일본 공개특허 평9―137634호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-137634

그래서, 설치하기 쉽고 또한 방사 노이즈의 문제가 쉽게 생기지 않는 이오나이저 유닛의 실현이 요구된다. Therefore, it is required to realize an ionizer unit which is easy to install and in which the problem of radiation noise is not easily generated.

상기 문제점을 해결하기 위하여 이오나이저 유닛은, 일 태양(態樣)으로서, 직사각형상의 전극 기판과, 상기 전극 기판의 표면에 배치되고, 상기 전극 기판의 길이 방향을 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극과, 1개의 상기 선형 방전극에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 상기 선형 방전극에 대하여 전용(專用)으로 설치된 승압용의 승압 트랜스와, 상기 전극 기판 및 상기 승압 트랜스를 일체로 수용하는 케이스를 구비한다.In order to solve the above problems, an ionizer unit includes a rectangular electrode substrate, a plurality of linearly arranged linear electrodes arranged on a surface of the electrode substrate and extending in the longitudinal direction of the electrode substrate, A step-up transformer for step-up, which is electrically connected to one of the linear discharge poles and provided exclusively for the one linear discharge electrode, and a case for integrally accommodating the electrode substrate and the step-up transformer do.

이 구성에 의하면, 이오나이저 유닛에는, 승압 트랜스에 의해 승압되기 전의 전압을 공급하게 된다. 그러므로, 전원으로부터의 전압을 승압 트랜스에 의해 승압한 후에 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급하는 경우와 비교하여, 급전선을 지나는 전압은 비교적 낮아진다. 그러므로, 급전선이 굵어지는 것을 억제할 수 있어, 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 쉽게 생기지 않는 것으로 할 수 있는 동시에, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈를 작게 하여, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향을 억제할 수 있다. 또한, 전극 기판 및 승압 트랜스는 일체로 케이스에 수용되므로, 승압 트랜스에 의해 승압한 후의 전압이 지나는 배선이나 기판을 짧게 하여 케이스 내에 수용할 수 있다. 그러므로, 이오나이저 유닛으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향도 억제할 수 있다. According to this configuration, the ionizer unit is supplied with the voltage before being stepped up by the step-up transformer. Therefore, as compared with the case where the voltage from the power source is stepped up by the step-up transformer and then supplied to the ionizer unit via the feeder line, the voltage across the feeder line is relatively low. Therefore, it is possible to restrain the thickness of the feeder line from being reduced, and the installation position of the ionizer unit can be prevented from being easily restricted. Moreover, the radiation noise generated from the feeder line can be reduced and the influence of the radiation noise generated from the feeder line to the outside . Further, since the electrode substrate and the step-up transformer are integrally housed in the case, the wiring and the substrate passing the voltage after the step-up by the step-up transformer can be shortened and accommodated in the case. Therefore, the influence of radiation noise generated from the ionizer unit on the outside can be suppressed.

도 1은 반송 장치(搬送裝置; transport device)의 측면도
도 2는 반송 장치의 평면도
도 3은 이오나이저 장치를 나타낸 도면
도 4는 이오나이저 장치의 종단 측면도
도 5는 이오나이저 장치의 종단 정면도
도 6은 전극 유닛의 분해사시도
도 7은 이오나이저 장치의 주요부를 확대한 종단 측면도1 is a side view of a transport device (transport device)
2 is a plan view
3 is a view of an ionizer device
Figure 4 is a longitudinal side view of the ionizer device
5 is a longitudinal front view of the ionizer device
6 is an exploded perspective view of the electrode unit
Figure 7 is a longitudinal side view of the main part of the ionizer device,

이오나이저 장치의 제1 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 장치(2)는, 예를 들면, 액정용의 유리 기판 등의 판형의 반송물(搬送物)(W)을 반송하는 반송 장치(1)에 장비된다. 반송 장치(1)는, 지지 프레임체(1W)와, 지지 프레임체(1W)에 회전 가능하게 지지된 회전축(1J)을 구비하고 있다. 반송 장치(1)는, 반송 방향(C)으로 배열되는 상태로 회전축(1J)을 복수 구비하고 있다. 복수의 회전축(1J)의 각각에는, 복수의 반송 롤러(1R)가 장착되어 있고, 회전축(1J)에 구비된 복수의 반송 롤러(1R) 중 회전축(1J)의 길이 방향의 단부(端部)에 구비된 반송 롤러(1R)에는 대경부(大徑部)(1RR)가 구비되어 있다. 복수의 회전축(1J)은 벨트(도시하지 않음)에 의해, 연동하여 회전하도록 구성되어 있다. 그리고, 반송 장치(1)는, 도시하지 않은 구동용 모터에 의해 복수의 회전축(1J)을 회전시켜, 회전축(1J)에 구비된 반송 롤러(1R)에 의해 아래쪽으로부터 지지하고 있는 판형의 반송물(W)을, 반송 롤러(1R)의 대경부(1RR)에 의해 가로 방향으로의 이동을 규제하면서 반송 방향(C)으로 반송한다. A first embodiment of the ionizer apparatus will be described with reference to the drawings. As shown in Figs. 1 and 2, the ionizer apparatus 2 is equipped in a transport apparatus 1 for transporting a plate-shaped transport article (transport article) W such as, for example, a liquid crystal glass substrate . The carrying apparatus 1 includes a support frame 1W and a rotary shaft 1J rotatably supported by the support frame 1W. The conveying apparatus 1 is provided with a plurality of rotary shafts 1J in a state of being arranged in the conveying direction C thereof. A plurality of conveying rollers 1R are mounted on each of the plurality of rotary shafts 1J and the end portions in the longitudinal direction of the rotary shaft 1J among the plurality of conveying rollers 1R provided on the rotary shaft 1J, The large-diameter portion 1RR is provided on the conveying roller 1R provided on the conveying path. The plurality of rotary shafts 1J are configured to rotate in cooperation with a belt (not shown). The conveying apparatus 1 rotates the plurality of rotary shafts 1J by a drive motor not shown and is supported by a conveying roller 1R provided on the rotary shaft 1J from the lower side, W are conveyed in the conveying direction C while regulating the movement in the transverse direction by the large diameter portion 1RR of the conveying roller 1R.

지지 프레임체(1W)에는, 소정 간격을 두고 이오나이저 장치(2)가 장비되어 있다. 이오나이저 장치(2)는, 후술하는 방전극으로부터의 방전에 의해 이온화 물질을 생성하여, 제전 대상물을 제전하는 것이며, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 봉형(棒形)으로 형성되어 있다. 지지 프레임체(1W)에는, 반송 방향(C)에 있어서 회전축(1J)의 사이에 위치하도록 장착용 홈(1M)이 형성되어 있고, 이오나이저 장치(2)는, 장착용 홈(1M)에 위쪽으로부터 끼워맞추어지는 형태로 반송 장치(1)에 장비되어 있다. 이와 같이, 장비된 이오나이저 장치(2)는, 반송 방향(C)으로 배열되는 반송 롤러(1R)의 사이에 위치하고, 또한, 반송 장치(1)에 의해 반송되는 반송물(W)보다도 아래쪽에 위치하고 있다. 또한, 이오나이저 장치(2)는, 반송 방향(C)에서 볼 때, 적어도 반송 롤러(1R)와 중첩되는 상태로 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 회전축(1J)과도 중첩되는 상태로 배치되어 있다. In the support frame 1W, an ionizer device 2 is provided at a predetermined interval. The ionizer device 2 generates an ionized material by discharging from a discharge electrode to be described later, and discharges the discharge object, and is formed in a bar shape as shown in Figs. 1 and 2. The supporting frame 1W is provided with a mounting groove 1M so as to be positioned between the rotary shaft 1J in the carrying direction C and the ionizer device 2 is mounted on the mounting groove 1M And is mounted on the conveying device 1 in such a manner as to be fitted from above. The ionizer device 2 thus equipped is positioned between the conveying rollers 1R arranged in the conveying direction C and further below the conveying object W conveyed by the conveying device 1 have. The ionizer device 2 is arranged so as to be overlapped with at least the conveying roller 1R when seen in the conveying direction C and is disposed in a state of being overlapped with the rotating shaft 1J in the present embodiment have.

도 3에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 장치(2)는, 1개의 이오나이저 유닛(3)과, 이오나이저 장치(2)를 전원(4)에 접속하기 위한 급전선(5)을 구비하고 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 복수의 전극 유닛(6)이 구비되어 있다. 또한, 이오나이저 유닛(3)에는, 이오나이저 유닛(3)의 길이 방향 Y를 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극(12)과, 1개의 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치된 승압용의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있다. As shown in Fig. 3, the ionizer device 2 has one ionizer unit 3 and a feeder line 5 for connecting the ionizer device 2 to the power source 4. The ionizer unit (3) is provided with a plurality of electrode units (6). The ionizer unit 3 is further provided with one linearly formed discharge electrode 12 and one linearly-shaped discharge electrode 12 which are electrically connected to each other along the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3, There is provided a step-up transformer 14 for boosting which is provided exclusively for one linear discharge electrode 12. [

이하, 이오나이저 유닛(3)에 대하여 설명하는데 있어서, 이오나이저 유닛(3)의 길이 방향 Y에 대하여 직교하는 방향이면서 또한 전극 기판(11)과 접속 기판(13)이 배열되는 방향을 두께 방향 X라고 하여 설명한다(도 4 등 참조). 또한, 길이 방향 Y의 일방향을 제1 길이 방향 Y1이라고 하고, 길이 방향 Y 다른 방향을 제2 길이 방향 Y2라고 한다. 또한, 두께 방향 X에 있어서, 접속 기판(13)에 대하여 전극 기판(11)이 존재하는 방향을 제1 두께 방향 X1이라고 하고, 그 반대 방향을 제2 두께 방향 X2라고 한다. Hereinafter, the ionizer unit 3 will be described in which the direction in which the electrode substrate 11 and the connecting board 13 are arranged in the direction perpendicular to the longitudinal direction Y of the ionizer unit 3 is referred to as the thickness direction X (See FIG. 4, etc.). One direction in the longitudinal direction Y is referred to as a first longitudinal direction Y1, and the other direction in the longitudinal direction Y is referred to as a second longitudinal direction Y2. In the thickness direction X, the direction in which the electrode substrate 11 is present with respect to the connecting board 13 is referred to as a first thickness direction X1, and the opposite direction is referred to as a second thickness direction X2.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 유닛(3)은, 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 전열체(傳熱體)(15)와 연결 기판(16)과 케이스(17)를 구비하고 있다. 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 전열체(15)와 연결 기판(16)은 케이스(17)에 수용되어 있다. 케이스(17)는, 제1 커버(18)와 제2 커버(19)로 구성되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 전극 기판(11)과 선형 방전극(12)과 접속 기판(13)과 승압 트랜스(14)와 제1 커버(18)와 전극 유닛(6)이 구성되어 있고, 이오나이저 유닛(3)에는, 1개 또는 복수의 전극 유닛(6)[본 실시형태에서는 6개의 전극 유닛(6)]이 길이 방향 Y로 배열되는 상태로 구비되어 있다. 4 and 5, the ionizer unit 3 includes an electrode substrate 11, a linear discharge electrode 12, a connection substrate 13, a step-up transformer 14, and a heat transfer body 15, a connecting board 16, and a case 17. The electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13, the step-up transformer 14, the heat transfer member 15 and the connection substrate 16 are housed in a case 17. The case 17 is composed of a first cover 18 and a second cover 19. 6, the electrode substrate 11, the linear discharge electrode 12, the connection substrate 13, the step-up transformer 14, the first cover 18, and the electrode unit 6 are constituted, The ionizer unit 3 is provided with one or a plurality of electrode units 6 (six electrode units 6 in this embodiment) arranged in the longitudinal direction Y. [

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 이오나이저 유닛(3)에는, 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각이 복수 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 전극 기판(11)은, 길이 방향 Y를 따라 배열된 상태로 6개 구비되어 있다. 접속 기판(13)은, 길이 방향 Y를 따라 배열된 상태로 전극 기판(11)과 같은 수의 6개 구비되어 있고, 그 6개의 전극 기판(11)의 각각에 승압 트랜스(14)가 배치되어 있다. 즉, 1개의 전극 기판(11)에 대하여, 1개의 접속 기판(13)과 1개의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있다. As shown in Figs. 4 and 5, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 and a plurality of connection substrates 13, respectively. In the present embodiment, six electrode substrates 11 are arranged along the longitudinal direction Y. The number of the connecting boards 13 arranged in the longitudinal direction Y is the same as the number of the electrode boards 11 and the step-up transformer 14 is disposed on each of the six electrode boards 11 have. That is, one connection substrate 13 and one step-up transformer 14 are provided for one electrode substrate 11.

도 4∼도 6에 나타낸 바와 같이, 전극 기판(11)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 전극 기판(11)의 표면에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에 선형 방전극(12)이 배치되어 있다. 선형 방전극(12)은, 길이 방향 Y를 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성되어 있고, 1개의 전극 기판(11)에는 선형 방전극(12)이 1개만 설치되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 이와 같이, 선형 방전극(12)이 형성된 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 배열되는 상태로 복수 구비되어 있고, 전극 기판(11)이 구비되는 것에 의해, 선형 방전극(12)이 길이 방향 Y로 배열된 상태로 복수 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에는, 6개의 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되는 동시에, 6개의 선형 방전극(12)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되어 있다. As shown in Figs. 4 to 6, the electrode substrate 11 is a substrate which is thin in the thickness direction X and long in the longitudinal direction Y, and is rectangular when viewed in the thickness direction X. The linear discharge electrode 12 is disposed on the surface of the electrode substrate 11 facing the first thickness direction X1. The linear discharge electrode 12 is formed in a linear shape continuous along the longitudinal direction Y and only one linear discharge electrode 12 is provided on one electrode substrate 11. The ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 on which the linear discharge electrodes 12 are formed in such a manner that the electrode plates 11 are arranged in the longitudinal direction Y. By providing the electrode substrates 11, (12) are arranged in the longitudinal direction (Y). In this embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a row in the longitudinal direction Y and six linear electric discharge electrodes 12 arranged in a row in the longitudinal direction Y Respectively.

접속 기판(13)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 접속 기판(13)은, 전극 기판(11)에 대하여 제2 두께 방향 X2로, 전극 기판(11)과 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 구비되어 있고, 접속 기판(13)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 제1 면(13A)은, 전극 기판(11)과 대향하고 있다. 구체적으로는, 접속 기판(13)은, 그 길이 방향 Y의 중심이 전극 기판(11)의 길이 방향 Y의 중심과 길이 방향 Y과 같은 위치로 되도록 구비되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에는, 전극 기판(11)과 같은 수의 접속 기판(13)이 길이 방향 Y로 배열된 상태로 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에는, 6개의 전극 기판(11)이 길이 방향 Y로 일렬로 배열된 상태로 구비되어 있다. The connecting board 13 is a board thin in the thickness direction X and long in the length direction Y, and is rectangular when viewed in the thickness direction X. The connecting substrate 13 is provided so as to overlap with the electrode substrate 11 in the thickness direction X2 with respect to the electrode substrate 11 in the thickness direction X. The connecting substrate 13 is bonded to the connecting substrate 13 in the first thickness direction The first surface 13A facing X1 is opposed to the electrode substrate 11. Concretely, the connecting board 13 is provided such that the center in the longitudinal direction Y thereof is located at the same position as the center in the longitudinal direction Y of the electrode substrate 11 and the longitudinal direction Y. The ionizer unit 3 is provided with the same number of connecting substrates 13 as the electrode substrate 11 in the longitudinal direction Y. [ In the present embodiment, the ionizer unit 3 is provided with six electrode substrates 11 arranged in a row in the longitudinal direction Y.

접속 기판(13)에서의 제1 면(13A)에는, 상기 접속 기판(13)을 전극 기판(11)에 전기적으로 접속하기 위한 접속 단자(13C)가 배치되어 있다. 이 접속 단자(13C)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분과 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분과의 각각에, 제1 면(13A)으로부터 제1 두께 방향 X1을 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. 이 1개의 접속 기판(13)에 구비된 한 쌍의 접속 단자(13C)는, 같은 전극 기판(11)에 접촉되고 있다. 이로써, 1개의 접속 기판(13)이 1개의 전극 기판(11)에만 전기적으로 접속되어 있다. A connection terminal 13C for electrically connecting the connection substrate 13 to the electrode substrate 11 is disposed on the first surface 13A of the connection substrate 13. [ The connection terminal 13C is provided on the connecting board 13 in the first longitudinal direction Y1 from the center in the longitudinal direction Y and in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y, Protrudes from the first thickness direction 13A toward the first thickness direction X1. The pair of connection terminals 13C provided on the single connection substrate 13 are in contact with the same electrode substrate 11. [ Thereby, one connecting substrate 13 is electrically connected to only one electrode substrate 11.

접속 기판(13)에서의 제1 면(13A)과는 반대측의 제2 면(13B)은, 제2 두께 방향 X2를 향하고 있다. 이 접속 기판(13)에서의 제2 면(13B)에는, 상기 접속 기판(13)을 연결 기판(16)에 전기적으로 접속하기 위한 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)가 배치되어 있다. 제1 피연결 단자(13D)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분에 구비되어 있다. 제2 피연결 단자(13E)는, 접속 기판(13)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분에 구비되어 있다. 이들 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)의 각각은, 제2 면(13B)으로부터 제2 두께 방향 X2를 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. 접속 기판(13)에 구비된 제1 피연결 단자(13D) 및 제2 피연결 단자(13E)는, 길이 방향 Y에 있어서, 이들이 구비되어 있는 접속 기판(13)의 한 쌍의 접속 단자(13C)의 사이에 위치하도록 구비되어 있다. 그리고, 1개의 접속 기판(13)에 구비된 제1 피연결 단자(13D)와 제2 피연결 단자(13E)는, 상이한 연결 기판(16)에 연결되어 있다. 이로써, 1개의 접속 기판(13)이 한 쌍의 연결 기판(16)에 전기적으로 접속되어 있다. The second surface 13B of the connecting board 13 opposite to the first surface 13A faces the second thickness direction X2. A first connected terminal 13D and a second connected terminal 13E for electrically connecting the connecting substrate 13 to the connecting substrate 16 are formed on the second surface 13B of the connecting substrate 13, . The first connected terminal 13D is provided at a portion of the connecting board 13 in the first longitudinal direction Y1 from the center in the longitudinal direction Y. [ The second connected terminal 13E is provided in a portion of the connecting board 13 in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y. [ Each of the first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E is provided so as to protrude from the second surface 13B toward the second thickness direction X2. The first connected terminal 13D and the second connected terminal 13E provided on the connecting board 13 are electrically connected to the pair of connecting terminals 13C As shown in Fig. The first connection terminal 13D and the second connection terminal 13E provided on one connection substrate 13 are connected to different connection substrates 16. Thereby, one connecting board 13 is electrically connected to the pair of connecting boards 16.

접속 기판(13)에서의 제2 면(13B)에, 승압 트랜스(14)가 배치되어 있다. 승압 트랜스(14)는, 길이 방향 Y에 있어서 한 쌍의 접속 단자(13C)의 사이에 위치하고 또한 제1 피연결 단자(13D)보다도 제1 길이 방향 Y1 측에 위치하도록 접속 기판(13)에 배치되어 있다. 1개의 접속 기판(13) 및 1개의 전극 기판(11)에 대하여 2개의 승압 트랜스(14)가 구비되어 있고, 승압 트랜스(14)는, 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치되어 있다. 상세하게는, 승압 트랜스(14)는, 상기 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13)과 접속 전기적으로 접속된 전극 기판(11)에 배치된 1개의 선형 방전극(12)에 대하여 전용으로 설치되어 있다. 그리고, 승압 트랜스(14)는, 접속 기판(13)과 전극 기판(11)을 통하여 2개의 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속되어 있다. A step-up transformer 14 is disposed on the second surface 13B of the connecting board 13. [ The step-up transformer 14 is disposed on the connecting board 13 so as to be located between the pair of connecting terminals 13C in the longitudinal direction Y and to be positioned in the first longitudinal direction Y1 side with respect to the first connected terminal 13D . Two step-up transformers 14 are provided for one connection substrate 13 and one electrode substrate 11 and the step-up transformer 14 is provided exclusively for one linear discharge electrode 12 . Specifically, the step-up transformer 14 is dedicated to one linear discharge electrode 12 disposed on the electrode substrate 11 connected and electrically connected to the connecting substrate 13 on which the step-up transformer 14 is disposed Is installed. The step-up transformer 14 is electrically connected to the two linear discharge electrodes 12 through the connection substrate 13 and the electrode substrate 11. [

도 6에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 판형으로 형성되어 있다. 전열체(15)는, 절연성 재료에 의해 구성되어 있다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 전극 기판(11)에 대하여 제1 두께 방향 X1로, 전극 기판(11)과 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 구비되어 있다. 그리고, 전열체(15)에서의 선형 방전극(12)과 두께 방향 X로 중첩되는 부분에는, 개구(15A)가 형성되어 있다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 전열체(15)는, 전극 기판(11)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면의 외주 에지부와 제1 커버(18)와의 사이에 개재(介在)하는 상태로 구비되어 있다. As shown in Fig. 6, the heat transfer element 15 is thin in the thickness direction X and formed in a long plate shape in the longitudinal direction Y. The heat conductor (15) is made of an insulating material. As shown in Figs. 5 and 6, the heat transfer element 15 is provided so as to overlap with the electrode substrate 11 in the thickness direction X with respect to the electrode substrate 11 in the first thickness direction X1. An opening 15A is formed in the portion of the heat transfer member 15 overlapping with the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X. [ 5, the heat transfer element 15 is interposed between the outer peripheral edge portion of the surface of the electrode substrate 11 facing the first thickness direction X1 and the first cover 18 Respectively.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 커버(18)는, 길이 방향 Y에서 볼 때, 제2 두께 방향 X2이 개구되는 U자형으로 형성되어 있다. 제1 커버(18)에는, 선형 방전극(12)과 두께 방향 X로 중첩되는 부분에 개구(18A)가 형성되어 있다. 이 제1 커버(18)의 내부 공간에, 제1 두께 방향 X1로부터, 전열체(15), 선형 방전극(12)이 배치된 전극 기판(11), 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13)의 순으로 두께 방향 X로 중첩되는 상태로 설치되어 있다. 그리고, 이와 같이, 설치된 전열체(15), 선형 방전극(12)을 구비한 전극 기판(11), 승압 트랜스(14)가 배치된 접속 기판(13), 및 이들을 수용하는 제1 커버에 의해, 전극 유닛(6)이 구성되어 있다. As shown in Figs. 5 and 6, the first cover 18 is formed in a U-shape in which the second thickness direction X2 is opened when viewed in the longitudinal direction Y. As shown in Fig. In the first cover 18, an opening 18A is formed in a portion overlapping with the linear discharge electrode 12 in the thickness direction X. An electrode substrate 11 on which the heat transfer member 15 and the linear discharge electrode 12 are disposed and a connection substrate on which the voltage boost transformer 14 is disposed are formed in the inner space of the first cover 18 from the first thickness direction X1 13 in the thickness direction X in this order. The electrode substrate 11 provided with the heat transfer member 15, the linear discharge electrode 12, the connecting substrate 13 on which the step-up transformer 14 is disposed, and the first cover for accommodating the electrode substrate 11, An electrode unit 6 is constituted.

도 4, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 연결 기판(16)은, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13)을 연결하여, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 전극 유닛(6)을 연결한다. 연결 기판(16)은, 두께 방향 X로 얇고 길이 방향 Y로 긴 기판이며, 두께 방향 X에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 연결 기판(16)은, 접속 기판(13)에 대하여 제2 두께 방향 X2 측에 배치되어 있고, 접속 기판(13)의 제2 면(13B)에 대향하도록, 한 쌍의 접속 기판(13)의 사이에 걸쳐 배치되어 있다. 연결 기판(16)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에는, 한 쌍의 접속 기판(13)의 한쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제1 연결 단자(16A)와, 한 쌍의 접속 기판(13) 의 다른 쪽에게 전기적으로 접속하기 위한 제2 연결 단자(16B)를 구비하고 있다. 제1 연결 단자(16A)는, 연결 기판(16)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제2 길이 방향 Y2의 부분에 구비되어 있다. 제2 연결 단자(16B)는, 연결 기판(16)에서의 길이 방향 Y의 중심으로부터 제1 길이 방향 Y1의 부분에 구비되어 있다. 이들 제1 연결 단자(16A) 및 제2 연결 단자(16B)의 각각은, 연결 기판(16)에서의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면으로부터 제1 두께 방향 X1을 향해 돌출하는 상태로 구비되어 있다. As shown in Figs. 4, 5 and 7, the connecting board 16 is formed by connecting a pair of connecting boards 13 adjacent in the longitudinal direction Y and connecting a pair of electrode units 6). The connecting board 16 is a board thin in the thickness direction X and long in the length direction Y, and is formed in a rectangular shape when viewed in the thickness direction X. The connecting board 16 is arranged on the side of the connecting board 13 in the second thickness direction X2 so that the connecting board 16 faces the second surface 13B of the connecting board 13, Respectively. A first connection terminal 16A for electrically connecting to one of the pair of connection substrates 13 and a pair of connection substrates 13 for electrically connecting to one of the pair of connection substrates 13 are formed on the surface of the connection substrate 16 facing the first thickness direction X1, And a second connection terminal 16B for electrically connecting to the other side of the second connection terminal 16B. The first connection terminal 16A is provided in a portion of the connection board 16 in the second longitudinal direction Y2 from the center in the longitudinal direction Y. [ The second connection terminal 16B is provided in a portion of the connection board 16 in the first longitudinal direction Y1 from the center in the longitudinal direction Y. [ Each of the first connection terminal 16A and the second connection terminal 16B is provided so as to protrude from a surface of the connection substrate 16 facing the first thickness direction X1 toward the first thickness direction X1 .

길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13) 중, 제1 길이 방향 Y1 측의 접속 기판(13)을 제1 접속 기판(13)으로 하고, 제2 길이 방향 Y2 측의 접속 기판(13)을 제2 접속 기판(13)으로 하여, 연결 기판(16)은, 제1 접속 기판(13)의 바로 아래로부터 제2 접속 기판(13)의 바로 아래에 걸쳐 설치되어 있다. 그리고, 제1 연결 단자(16A)는, 제2 접속 기판(13)의 제1 피연결 단자(13D)에 연결되고, 제2 연결 단자(16B)는, 제1 접속 기판(13)의 제2 피연결 단자(13E)에 연결되어 있다. 이와 같이, 연결 기판(16)은, 제1 접속 기판(13)과 제2 접속 기판(13)과의 양쪽에 전기적으로 연결되어 있다. The connecting board 13 on the first longitudinal direction Y1 side is used as the first connecting board 13 and the connecting board 13 on the second longitudinal direction Y2 side Is used as the second connecting substrate 13 and the connecting substrate 16 is provided just below the first connecting substrate 13 and directly below the second connecting substrate 13. [ The first connection terminal 16A is connected to the first connection terminal 13D of the second connection substrate 13 and the second connection terminal 16B is connected to the second connection terminal 13B of the second connection substrate 13, And is connected to the connection terminal 13E. As described above, the connection substrate 16 is electrically connected to both the first connection substrate 13 and the second connection substrate 13.

도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 커버(19)는, 길이 방향 Y에서 볼 때, 제1 두께 방향 X1이 개구되는 U자형으로 형성되어 있다. 제2 커버(19)는, 길이 방향 Y에 있어서 이오나이저 유닛(3)과 같은 길이로 형성되어 있다. 그리고, 제2 커버(19)의 제1 두께 방향 X1으로 제1 커버(18)를 중첩시키도록 연결되어 있다. 이 제2 커버(19)에 연결되어 있는 제1 커버(18)는, 길이 방향 Y를 따라 복수 나란히 배치되어 있고, 1개의 제2 커버(19)와 복수의 제1 커버(18)에 의해, 통형(筒形)의 케이스(17)가 형성되어 있다. 5, the second cover 19 is formed in a U-shape in which the first thickness direction X1 is opened when viewed in the longitudinal direction Y. As shown in Fig. The second cover (19) is formed to have the same length as the ionizer unit (3) in the longitudinal direction (Y). The first cover 18 is connected to the second cover 19 so as to overlap the first cover 18 in the first thickness direction X1. A plurality of first covers 18 connected to the second cover 19 are arranged side by side along the longitudinal direction Y. A plurality of first covers 18, And a tubular case 17 is formed.

도 4에 나타낸 바와 같이, 제2 커버(19)에는, 복수의 연결 기판(16)이 길이 방향 Y로 1열로 정렬된 상태로 수용되어 있고, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 상기 연결 기판(16)은, 제2 커버(19)의 바닥부(19A)에 고정되어 있다. 접속 기판(13)의 제1 두께 방향 X1을 향하는 면에는 연결 부재(20)가 고정되어 있고, 상기 연결 부재(20)가, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 제1 커버(18)에 연결되어 있다. 이와 같이, 접속 기판(13)과 연결 부재(20)에 의해, 제1 커버(18)가 제2 커버(19)에 고정되어 있다. As shown in Fig. 4, a plurality of connecting boards 16 are accommodated in the second cover 19 in a state in which they are aligned in one row in the longitudinal direction Y, and as shown in Figs. 4 and 5, The connecting board 16 is fixed to the bottom portion 19A of the second cover 19. [ A connecting member 20 is fixed to the surface of the connecting board 13 facing the first thickness direction X1 and the connecting member 20 is connected to a pair of first covers 18 adjacent in the longitudinal direction Y . As described above, the first cover 18 is fixed to the second cover 19 by the connecting board 13 and the connecting member 20.

그리고, 연결 기판(16)에는, 길이 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 접속 기판(13)이 전기적으로 연결되어 있고, 이오나이저 유닛(3)[이오나이저 장치(2)]에 구비되어 있는 복수의 접속 기판(13)이 전기적으로 접속되어 있다. 이오나이저 유닛(3)에서의 가장 제2 길이 방향 Y2에 위치하는 전극 유닛(6)에 급전선(5)이 접속되어 있다. 그러므로, 전극 유닛(6)의 각각에 구비되어 있는 접속 기판(13)은, 급전선(5)이나 연결 기판(16)이나 다른 접속 기판(13)을 통하여, 전원(4)에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 전극 유닛(6)에서는, 승압 트랜스(14)에 의해 승압된 전압이, 접속 기판(13) 및 전극 기판(11)을 통하여 선형 방전극(12)에 공급된다. 선형 방전극(12)이 이온화 물질을 생성하고, 그 이온화 물질은, 전열체(15)의 개구(15A) 및 제1 커버(18)의 개구(18A)를 통하여, 전극 유닛(6)[이오나이저 유닛(3)]의 제1 두께 방향 X1으로 방출된다. A pair of connecting boards 13 adjacent to each other in the longitudinal direction Y are electrically connected to the connecting board 16 and a plurality of connecting boards 13 provided in the ionizer unit 3 (ionizer apparatus 2) And the connecting board 13 is electrically connected. The feeder line 5 is connected to the electrode unit 6 located in the second longitudinal direction Y2 in the ionizer unit 3. [ The connecting board 13 provided in each of the electrode units 6 is electrically connected to the power source 4 through the feeder line 5 and the connecting board 16 or other connecting board 13 . In the electrode unit 6, the voltage stepped up by the step-up transformer 14 is supplied to the linear discharge electrode 12 through the connecting substrate 13 and the electrode substrate 11. The linear discharge electrode 12 generates an ionizing material which is supplied to the electrode unit 6 through the opening 15A of the heat transfer member 15 and the opening 18A of the first cover 18 Unit 3) in the first thickness direction X1.

[그 외의 실시형태][Other Embodiments]

다음에, 이오나이저 유닛의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. Next, another embodiment of the ionizer unit will be described.

(1) 상기 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각을 복수 구비하였지만, 이오나이저 유닛(3)에 전극 기판(11) 및 접속 기판(13)의 각각을 1개씩만 구비해도 된다. 즉, 상기 실시형태에서는, 이오나이저 유닛(3)에 복수의 전극 유닛(6)을 구비하였지만, 이오나이저 유닛(3)에 전극 유닛(6)을 1개만 구비해도 된다. (1) In the above embodiment, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode substrates 11 and a plurality of connection substrates 13, respectively. However, the ionizer unit 3 is provided with the electrode substrate 11 and the connection substrate 13 ) May be provided only one at a time. That is, in the above embodiment, the ionizer unit 3 is provided with a plurality of electrode units 6, but the ionizer unit 3 may be provided with only one electrode unit 6.

(2) 상기 실시형태에서는, 이오나이저 장치(2)에 1개의 이오나이저 유닛(3)을 구비하는 형태를 예시하였다. 그러나, 이오나이저 장치(2)에 2개 이상의 이오나이저 유닛(3)을 구비하는 등, 이오나이저 장치(2)에 구비하는 이오나이저 유닛(3)의 수는 적절히 변경해도 된다. (2) In the above embodiment, a configuration in which one ionizer unit 3 is provided in the ionizer device 2 is exemplified. However, the number of ionizer units 3 provided in the ionizer device 2, such as two or more ionizer units 3 in the ionizer device 2, may be changed as appropriate.

(3) 상기 실시형태에서는, 접속 기판(13)의 제2 면(13B)에 승압 트랜스(14)를 장비하고, 그 접속 기판(13)을 전극 기판(11)에 전기적으로 접속함으로써, 승압 트랜스(14)를 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속하였으나, 승압 트랜스(14)를 선형 방전극(12)에 전기적으로 접속하는 구성은 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 접속 기판(13)의 제1 면(13A)에 승압 트랜스(14)를 배치해도 되고, 또한, 승압 트랜스(14)를 전극 기판(11)에서의 제2 두께 방향 X2를 향하는 면에 장비해도 된다. 또한, 이오나이저 유닛(3)에 접속 기판(13)을 구비하지 않고, 승압 트랜스(14)와 전극 기판(11)을 배선에 의해 전기적으로 접속하도록 해도 된다. (3) In the above embodiment, the step-up transformer 14 is provided on the second surface 13B of the connecting board 13, and the connecting board 13 is electrically connected to the electrode substrate 11, The configuration in which the step-up transformer 14 is electrically connected to the linear discharge electrode 12 may be appropriately changed. Specifically, for example, the step-up transformer 14 may be disposed on the first surface 13A of the connecting board 13 and the step-up transformer 14 may be disposed on the electrode substrate 11 in the second thickness direction It may be equipped on the surface facing X2. The step-up transformer 14 and the electrode substrate 11 may be electrically connected to each other by wiring without providing the connecting substrate 13 in the ionizer unit 3. [

(4) 상기 실시형태에서는, 전극 기판(11)을 길이 방향 Y를 따라 1열로 배열된 상태로 복수 구비하였지만, 전극 기판(11)을 길이 방향 Y를 따라 2열 또는 3열 이상의 복수 열로 배열된 상태로 복수 구비해도 된다. (4) In the above embodiment, a plurality of the electrode substrates 11 are arranged in one row along the longitudinal direction Y. However, the electrode substrates 11 may be arranged in two or more rows in the longitudinal direction Y May be provided.

(5) 상기 실시형태에서는, 유리 기판을 반송하는 반송 장치(1)에 이오나이저 장치(2)를 장비하였으나, 필름을 반송하는 반송 장치 등의 다른 반송물(W)을 반송하는 장치에 이오나이저 장치(2)를 장비해도 된다. 또한, 이오나이저 장치(2)가 반송물(W)에 대하여 아래쪽에 위치하도록 이오나이저 장치(2)를 반송 장치(1)에 장비하였으나, 이오나이저 장치(2)가 반송물(W)에 대하여 위쪽이나 측방에 위치하도록 이오나이저 장치(2)를 장비하는 등, 반송 장치(1)에 있어서 이오나이저 장치(2)를 장비하는 높이나 방향은 적절히 변경해도 된다. (5) In the above embodiment, the ionizer device 2 is mounted on the conveying device 1 for conveying the glass substrate. However, in the device for conveying another conveyed product W such as a conveying device for conveying the film, (2). The ionizer device 2 is mounted on the transfer device 1 so that the ionizer device 2 is positioned below the transported product W but the ionizer device 2 is mounted above the transported product W The height or direction of the ionizer device 2 in the transfer device 1 may be appropriately changed by equipping the ionizer device 2 so as to be located on the side of the ionizer device 2.

(6) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다. (6) The configurations disclosed in the above-described respective embodiments may be applied in combination with the configurations disclosed in the other embodiments as long as no inconsistency arises. As for the other configurations, the embodiments disclosed in this specification are merely examples in all respects. Accordingly, various modifications can be appropriately made without departing from the spirit of the present disclosure.

[실시형태의 개요][Outline of Embodiment]

이하, 상기에 있어서 설명한 이오나이저 유닛의 개요에 대하여 설명한다. Hereinafter, the outline of the ionizer unit described above will be described.

일 태양으로서, 이오나이저 유닛은, 직사각형상의 전극 기판과, 상기 전극 기판의 표면에 배치되고, 상기 전극 기판의 길이 방향을 따라 연속되는 1개의 선형으로 형성된 선형 방전극과, 1개의 상기 선형 방전극에 전기적으로 접속되고, 상기 1개의 상기 선형 방전극에 대하여 전용으로 설치된 승압용의 승압 트랜스와, 상기 전극 기판 및 상기 승압 트랜스를 일체로 수용하는 케이스를 구비한다. In one aspect, an ionizer unit includes: a rectangular electrode substrate; a linear discharge electrode arranged on the surface of the electrode substrate and extending in the longitudinal direction of the electrode substrate, the discharge electrode being electrically connected to one linear discharge electrode; And a case integrally accommodating the electrode substrate and the step-up transformer, the step-up transformer being provided exclusively for the one linear magnetic pole.

이와 같은 구성에 의해, 이오나이저 유닛에는, 승압 트랜스에 의해 승압되기 전의 전압을 공급하게 된다. 그러므로, 전원으로부터의 전압을 승압 트랜스에 의해 승압한 후에 급전선을 통해 이오나이저 유닛에 공급하는 경우와 비교하여, 급전선을 지나는 전압은 비교적 낮아진다. 그러므로, 급전선이 굵어지는 것을 억제할 수 있어, 이오나이저 유닛의 설치 위치에 제한이 쉽게 생기지 않는 것으로 할 수 있는 동시에, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈를 작게 하여, 급전선으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향을 억제할 수 있다. 또한, 전극 기판 및 승압 트랜스는 일체로 케이스에 수용되므로, 승압 트랜스에 의해 승압한 후의 전압이 지나는 배선이나 기판을 짧게 하여 케이스 내에 수용할 수 있다. 그러므로, 이오나이저 유닛으로부터 생기는 방사 노이즈가 외부에 주는 영향도 억제할 수 있다. With this configuration, the ionizer unit is supplied with the voltage before being boosted by the step-up transformer. Therefore, as compared with the case where the voltage from the power source is stepped up by the step-up transformer and then supplied to the ionizer unit via the feeder line, the voltage across the feeder line is relatively low. Therefore, it is possible to restrain the thickness of the feeder line from being reduced, and the installation position of the ionizer unit can be prevented from being easily restricted. Moreover, the radiation noise generated from the feeder line can be reduced and the influence of the radiation noise generated from the feeder line to the outside . Further, since the electrode substrate and the step-up transformer are integrally housed in the case, the wiring and the substrate passing the voltage after the step-up by the step-up transformer can be shortened and accommodated in the case. Therefore, the influence of radiation noise generated from the ionizer unit on the outside can be suppressed.

여기서, 상기 전극 기판과 평행하게 배치된 직사각형상의 접속 기판을 더 구비하고, 상기 접속 기판은, 상기 케이스에 수용되는 동시에 전원에 접속되고, 상기 접속 기판에서의 상기 전극 기판에 대향하는 제1 면에, 상기 접속 기판을 상기 전극 기판에 전기적으로 접속하기 위한 접속 단자가 배치되고, 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면에, 상기 승압 트랜스가 배치되어 있는 것이 바람직하다. The connecting board further includes a rectangular connecting board disposed parallel to the electrode board. The connecting board is accommodated in the case and is connected to a power source. The connecting board has a first surface opposite to the electrode board on the connecting board A connection terminal for electrically connecting the connection substrate to the electrode substrate is disposed, and the step-up transformer is disposed on the second surface opposite to the first surface.

이 구성에 의하면, 접속 단자의 제2 면에 승압 트랜스가 배치되어 있으므로, 접속 단자와 전극 기판을, 이들 접속 단자와 전극 단자가 배열되는 방향으로 서로 근접한 상태로 설치할 수 있다. 또한, 승압 트랜스를 전극 기판이 아니고 접속 기판에 장비함으로써, 상기 배열되는 방향에 대하여 교차하는 폭 방향으로 전극 기판을 컴팩트하게 구성할 수 있다. 이로써, 이오나이저 유닛을 폭 방향으로 컴팩트하게 구성할 수 있다. According to this configuration, since the step-up transformer is disposed on the second surface of the connection terminal, the connection terminal and the electrode substrate can be provided in a state in which they are close to each other in the direction in which the connection terminal and the electrode terminal are arranged. Further, by mounting the step-up transformer on the connecting substrate instead of the electrode substrate, the electrode substrate can be compactly formed in the width direction crossing the arranging direction. In this way, the ionizer unit can be configured to be compact in the width direction.

또한, 길이 방향을 따라 배열된 상태로 상기 접속 기판을 복수 구비하는 동시에, 인접하는 한 쌍의 상기 접속 기판을 연결하는 연결 기판을 더 구비하고, 상기 연결 기판은, 상기 접속 기판의 상기 제2 면에 대향하도록, 한 쌍의 상기 접속 기판의 사이에 걸쳐 배치되고, 또한, 상기 연결 기판은, 한 쌍의 상기 접속 기판의 한쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제1 연결 단자와, 한 쌍의 상기 접속 기판의 다른 쪽에 전기적으로 접속하기 위한 제2 연결 단자를 구비하고, 한 쌍의 상기 접속 기판은, 상기 연결 기판을 통하여 상기 전원에 접속되는 것이 바람직하다. The apparatus may further include a connecting substrate having a plurality of connecting substrates arranged in a longitudinal direction and connecting a pair of adjacent connecting substrates, Wherein the connection substrate is disposed between a pair of the connection boards so that the connection boards are opposed to the connection boards, and the connection board includes a first connection terminal for electrically connecting to one of the pair of connection boards, And a second connection terminal for electrically connecting to the other side of the connection substrate, wherein a pair of the connection substrates are connected to the power supply through the connection substrate.

이 구성에 의하면, 접속 기판을 길이 방향을 따라 복수 구비하고, 인접하는 한 쌍의 접속 기판을 연결 기판에 의해 접속하는 구성이므로, 이들 접속 기판이나 연결 기판의 수를 변경함으로써, 이오나이저 유닛의 길이 방향의 길이를 변경할 수 있다. 그리고, 이오나이저 유닛의 길이 방향의 길이가 변경되었다고 해도, 전극 기판이나 접속 기판이나 연결 기판을 공통의 것을 사용할 수 있으므로, 길이가 상이한 이오나이저 유닛을 염가로 구성하기 쉽다. According to this configuration, since a plurality of connecting boards are provided along the longitudinal direction, and a pair of adjacent connecting boards are connected by a connecting board, by changing the number of connecting boards and connecting boards, the length of the ionizer unit You can change the length of the direction. Even if the length of the ionizer unit in the longitudinal direction is changed, since the electrode substrate, the connecting board, and the connecting board can be used in common, it is easy to construct the ionizer unit having a different length at low cost.

3: 이오나이저 유닛
4: 전원
11: 전극 기판
12: 선형 방전극
13: 접속 기판
13A: 제1 면
13B: 제2 면
13C: 접속 단자
14: 승압 트랜스
16: 연결 기판
16A: 제1 연결 단자
16B: 제2 연결 단자
17: 케이스
Y: 길이 방향3: ionizer unit
4: Power supply
11: electrode substrate
12: Linear discharge
13: connecting board
13A: first side
13B: second side
13C: Connection terminal
14: Boost transformer
16: connection board
16A: first connection terminal
16B: second connection terminal
17: Case
Y: Longitudinal direction

Claims

A rectangular electrode substrate;
A linear discharge electrode arranged on the surface of the electrode substrate and formed in a linear shape in a longitudinal direction of the electrode substrate;
A step-up transformer which is electrically connected to one of the linear discharge electrodes and is provided exclusively for the one linear discharge electrode; And
A case integrally accommodating the electrode substrate and the step-up transformer;
And an ionizer unit.

The method according to claim 1,
Further comprising a rectangular connecting substrate disposed in parallel with the electrode substrate,
Wherein the connecting board is accommodated in the case and connected to a power source,
A connecting terminal for electrically connecting the connecting substrate to the electrode substrate is disposed on a first surface of the connecting substrate opposite to the electrode substrate and a second surface opposite to the first surface is disposed on the first surface, An ionizer unit in which a transformer is disposed.

3. The method of claim 2,
Further comprising: a connecting substrate having a plurality of connecting substrates arranged in the longitudinal direction and connecting adjacent pairs of the connecting substrates,
Wherein the connecting board is disposed between a pair of the connecting boards so as to face the second surface of the connecting board,
The connecting board may have a first connecting terminal for electrically connecting to one of the pair of connecting boards and a second connecting terminal for electrically connecting to the other of the pair of connecting boards,
And a pair of the connecting boards are connected to the power source through the connecting board.