JP2018070896A - 有機蒸着膜の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 基材に対する各有機蒸着材料の蒸着量を正確に制御できる有機蒸着膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、内部を真空状態に保持したチャンバー２と、前記チャンバー２内に放出する有機蒸着材料３１を含むｎ個の蒸着源３と、前記ｎ個の蒸着源３に対応して前記有機蒸着材料３の放出レートを測定するｎ個の放出レートセンサ４と、を有する蒸着膜製造装置１を準備する準備工程と、前記蒸着膜製造装置１を用いて、各放出レートセンサ４に対する各有機蒸着材料３１の混入率を算出する前工程と、前記チャンバー２内に基材５を導入し、全ての有機蒸着材料３１を同時に前記チャンバー２内に放出することにより、前記基材５の表面に有機蒸着膜を形成する蒸着工程と、を有する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、有機蒸着膜の製造方法、及び前記製造方法によって形成された有機蒸着膜を有する有機エレクトロルミネッセンス装置に関する。

従来、蒸着法によって蒸着膜を形成することが知られている。一般的に、蒸着法とは、蒸着源に含まれる蒸着材料（例えば、金属酸化物や有機化合物）を加熱し気化させ、この気化させた蒸着材料を基材の表面に付着させることにより、基材の表面に蒸着材料の薄膜（蒸着膜）を形成する方法を指す。
蒸着法の一つとして、共蒸着法が知られている。共蒸着法は、真空チャンバー内に設けられた２個以上の蒸着源に含まれる異なった蒸着材料を同時に加熱することにより、２種以上の蒸着材料を含んだ蒸着膜を基材の表面に形成する方法である。
共蒸着法は、様々な技術分野に用いられている。例えば、有機化合物を含む蒸着材料（有機蒸着材料）であるホスト材料とドーパント材料を共蒸着することで有機蒸着膜を形成し、この有機蒸着膜を発光層として用いた有機エレクトロルミネッセンス装置が知られている（特許文献１）。

共蒸着法を用いる場合、通常、チャンバー内には、各蒸着源に対応した放出レートセンサが設けられており、この放出レートセンサの測定値に基づいて各蒸着材料の蒸着量が推定される。
しかし、放出レートセンサの値に基づいたとしても、所望量の各蒸着材料を基材の表面に正確に蒸着させることは困難であり、この問題は、有機蒸着材料を用いる場合に特に顕著である。
所望量の各有機蒸着材料を正確に蒸着できない場合、得られた有機蒸着膜に含まれる各有機蒸着材料の比率は当然ながら所望の値とならない。その結果、得られた有機蒸着膜の機能性が低下するという問題がある。
例えば、上記発光層において、ホスト材料とドーパント材料が所望の比率で含まれていない場合、有機エレクトロルミネッセンス装置の発光機能が低下し、色むらなどが発生する一因となる。

特開２００３−２２９２７２号公報

本発明の目的は、各有機蒸着材料の蒸着量を正確に制御できる有機蒸着膜の製造方法、及び発光機能に優れた有機蒸着膜を発光層として有する有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することである。

本発明者らは、共蒸着法において、所望量の各有機蒸着材料を正確に蒸着し難い一因は、気化した有機蒸着材料の一部が各蒸着源に対応して設けられた放出レートセンサの測定値に影響するためであることを発見した。
以下、図１を参照しつつ具体的に説明する。なお、本発明では、複数の蒸着源や放出レートセンサを用いる。そのため、本明細書では各蒸着源や各放出レートセンサを区別するため、それらの符号に「ａ」や「ｂ」などの小文字のアルファベットを付記する場合がある。

図１は、一般的な蒸着膜製造装置１の概要図である。蒸着膜製造装置１のチャンバー２内には、有機蒸着材料３１を含む蒸着源３が設けられている。図１において、矢印は、真空状態のチャンバー２内における有機蒸着材料３の流路を示し、矢印の太さは、有機蒸着材料３の流量を反映している。白矢印は、後述する第１有機蒸着材料３１ａの流路及び流量を表し、黒矢印は、後述する第２有機蒸着材料３１ｂの流路及び流量を表す。
図１では、真空チャンバー２内に、２個の蒸着源３（第１蒸着源３ａ及び第２蒸着源３ｂ）が設けられている。第１蒸着源３ａは、第１有機蒸着材料３１ａを含んでおり、第２蒸着源３ｂは、第２有機蒸着材料３１ｂを含んでいる。チャンバー２内には、第１有機蒸着材料３１ａがチャンバー２内に放出される速度（放出レート）を測定する第１放出レートセンサ４ａが第１蒸着源３ａに対応して設けられていると共に、第２有機蒸着材料３１ｂの放出レートを測定する第２放出レートセンサ４ｂが第２蒸着源３ｂに対応して設けられている。また、第１及び第２蒸着源３ａ，３ｂの間には、第１有機蒸着材料３１ａ又は第２有機蒸着材料３１ｂが反対側の第２放出レートセンサ４ｂ又は第１放出レートセンサ４ａに混入しないように隔壁２３が設けられている。

真空状態にしたチャンバー２内で、第１及び第２蒸着源３ａ，３ｂを同時に加熱することにより、気化した第１及び第２有機蒸着材料３１ａ，３１ｂが蒸着対象である基材５に向かって放出される（各太矢印参照）。
しかしながら、隔壁２３を設けたとしても、チャンバー２内において第１及び第２有機蒸着材料３１ａ，３１ｂは気化しているため、第１有機蒸着材料３１ａは、隔壁２３を超えて反対側の第２蒸着源３ｂ側に回り込み、同様に、第２有機蒸着材料３１ｂは、隔壁２３を超えて反対側の第１蒸着源３ａ側に回り込む（各細矢印参照）。そのため、混入を完全に防止することはできない。そして、隔壁２３を超えて回り込んだ第１有機蒸着材料３１ａ又は第２有機蒸着材料３１ｂは、反対側の第２蒸着源３ｂ又は第１蒸着源３ａに対応する第２放出レートセンサ４ｂ又は第１放出レートセンサ４ａに付着するため、各放出レートセンサ４ａ，４ｂの測定値は、各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの真の放出レートを反映しなくなる。

従って、各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂを所望の蒸着レートで蒸着しようとしても、各放出レートセンサ４ａ，４ｂの測定値は各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの真の放出レートを反映していないため、各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの基材５に対する蒸着量を制御することが困難となる。
本発明者らは、このように、気化した各有機蒸着材料が、それに対応する放出レートセンサの測定値だけでなく、チャンバー内に存在する全ての放出レートセンサの測定値に影響することを発見した。さらに、本発明者らは、鋭意研究を行った結果、各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率は、各有機蒸着材料の放出量に関わらず略一定であり、且つ、全ての蒸着源を同時に加熱しても前記混入率は略一定であるという法則性を見出し、本発明を完成させた。

本発明の有機蒸着膜の製造方法は、内部を真空状態に保持したチャンバーと、前記チャンバー内に放出する有機蒸着材料を含むｎ個の蒸着源と、前記ｎ個の蒸着源に対応して前記有機蒸着材料の放出レートを測定するｎ個の放出レートセンサと、を有する蒸着膜製造装置を準備する準備工程と、前記蒸着膜製造装置を用いて、各放出レートセンサに対する各有機蒸着材料の混入率を算出する前工程と、前記チャンバー内に基材を導入し、全ての有機蒸着材料を同時に前記チャンバー内に放出することにより、前記基材の表面に有機蒸着膜を形成する蒸着工程と、を有し、前記前工程が、前記ｎ個の蒸着源から選択した１つである第ｊ蒸着源のみを加熱し、前記第ｊ蒸着源に含まれる第ｊ有機蒸着材料を前記チャンバー内に放出する第１前工程と、前記第１前工程で加熱した前記第ｊ蒸着源に対応する第ｊ放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_ｊ）及び各蒸着源に対応する第ｉ放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_ｉ）から、前記第ｊ有機蒸着材料の前記第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を算出する第２前工程と、前記第ｊ蒸着源を変更し、前記第１及び第２前工程と同じ工程を繰り返すことにより、全ての有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を下記式（１）から算出する第３前工程と、を有し、

前記蒸着工程が、全ての蒸着源を加熱し、各蒸着源に対応した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）を検出する第１蒸着工程と、前記第３前工程で算出した各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）、及び、前記第１蒸着工程で検出した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）に基づき、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）を下記式（２）から算出する第２蒸着工程と、前記第２蒸着工程で算出した各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）と各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_ｊ）との偏差が小さくなるように、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する第３蒸着工程と、を有する。

好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記ｎ個の蒸着源のそれぞれが、有機蒸着材料を収容した収容器を有しており、前記チャンバーが、その内側に、放出口を有する混合室を有しており、前記ｎ個の蒸着源の各収容器が、前記混合室に連通されており、前記蒸着工程において、前記ｎ個の蒸着源に含まれる各有機蒸着材料を前記混合室で混合し、且つ、前記混合した有機蒸着材料を前記放出口から基材の表面に向かって放出する。

好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記ｎ個の蒸着源の各収容器が、気化した有機蒸着材料が通り抜け可能な空洞部を有する筒状部材を介して前記混合室に連通されており、前記筒状部材が、前記空洞部の幅を任意に変更可能なバルブ部を有する。

好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記第３蒸着工程において、各蒸着源の加熱温度を変更することにより、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する。また、好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記第３蒸着工程において、前記バルブ部を用いて前記空洞部の幅を変更することにより、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する。

好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記蒸着工程において、前記混合室の放出口と前記基材の距離が１０ｍｍ以下である。

好ましくは、本発明の有機蒸着膜の製造方法は、前記チャンバー内の真空度が１０^−３Ｐａ以下である。

本発明の別の局面によれば、有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、上記の有機蒸着膜の製造方法によって形成された有機蒸着膜を発光層として有する。

本発明の有機蒸着膜の製造方法は、各有機蒸着材料を所望の放出レートでチャンバー内に放出できるため、基材に対する各有機蒸着材料の蒸着量を正確に制御でき、その結果、各有機蒸着材料を所望の比率で含んだ有機蒸着膜を形成することができる。
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、各有機蒸着材料を所望の比率で含んだ有機蒸着膜を発光層として有するため、発光機能に優れる。

チャンバー内における有機蒸着材料の流路を表す参考図。 本発明の第１実施形態で用いられる蒸着膜製造装置の概要図。 （ａ）は、第１蒸着源のみを加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、第１蒸着源のみを加熱した場合における第１有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を経時的にプロットしたグラフ。 （ａ）は、第２蒸着源のみを加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、第２蒸着源のみを加熱した場合における第２有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を経時的にプロットしたグラフ。 （ａ）は、第１及び第２蒸着源を加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、図３（ａ）と図４（ａ）の各放出レートセンサの測定値を足し合わせたグラフ。 蒸着工程における放出レートの制御工程を表すフロー図。 本発明の第２実施形態で用いられる蒸着膜製造装置を表す概要図。 （ａ）は、実施例において、第１蒸着源のみを加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、第１蒸着源のみを加熱した場合における第１有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を経時的にプロットしたグラフ。 （ａ）は、実施例において、第２蒸着源のみを加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、第２蒸着源のみを加熱した場合における第２有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を経時的にプロットしたグラフ。 （ａ）は、実施例において、第３蒸着源のみを加熱した場合における各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、第３蒸着源のみを加熱した場合における第３有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を経時的にプロットしたグラフ。 （ａ）は、実施例における、各有機蒸着材料の真の放出レート及び各放出レートセンサの測定値を経時的にプロットしたグラフ、（ｂ）は、（ａ）のグラフから各放出レートセンサの測定値を除いたグラフ。

本発明の有機蒸着膜の製造方法は、準備工程と、前工程と、蒸着工程と、を有する。準備工程は、蒸着膜製造装置を準備する工程であり、前工程は、各蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を算出する工程であり、蒸着工程は、基材の表面に有機蒸着材料を共蒸着する工程である。本発明では、準備工程、前工程、及び蒸着工程はこの順に行われる。
以下、各工程について説明する。

＜準備工程＞
準備工程は、蒸着膜製造装置を準備する工程である。
蒸着膜製造装置は、内部を真空状態に保持したチャンバーと、チャンバー内に放出する有機蒸着材料を含むｎ個の蒸着源と、ｎ個の蒸着源に対応して有機蒸着材料の放出レートを測定するｎ個の放出レートセンサと、を有する。ｎ個の蒸着源の各々は、それぞれ異なる有機蒸着材料を含んでいる。
ｎは、２以上の自然数であり、ｎの値は、共蒸着する有機蒸着材料の種類数に合わせて適宜変更することができる。本発明では、ｎ個の蒸着源の各々がそれぞれ異なる種類の有機蒸着材料を含んでいるため、ｎ種類の有機蒸着材料が用いられる。
以下、本発明について、図２に示す本発明の第１実施形態に係る蒸着膜製造装置を例にして説明する。
なお、図２の蒸着膜製造装置１は、２個の蒸着源３ａ，３ｂを有する（即ち、２種類の有機蒸着材料３１ａ，３１ｂを用いている）が、本発明では蒸着源３の数は２個に限定されない。また、チャンバー２や蒸着源３の構造も本実施形態に限定されない。

（チャンバー）
チャンバー２は、その内部を真空状態に保持できる筐体である。チャンバー２には、真空ポンプ（図示せず）が接続されており、この真空ポンプを用いてチャンバー２内部を減圧し、真空状態が保持される。
チャンバー２内の真空度の上限値は特に限定されないが、好ましくは１０^−３Ｐａ（即ち、０．００１Ｐａ）であり、より好ましくは１０^−４Ｐａ（即ち、０．０００１Ｐａ）である。また、真空度の下限値は特に限定されないが、現実的な観点から１０^−６Ｐａ（即ち、０．０００００１Ｐａ）であり、好ましくは１０^−５Ｐａ（即ち、０．００００１Ｐａ）である。
真空度が高ければ高いほど、チャンバー２内に放出された各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの平均自由行程が長くなり、各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂがチャンバー２内で干渉し難くなるため、蒸着工程において各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの真の放出レートを正確に算出することができる（具体的には、後述の前工程の欄にて説明する）。

本実施形態において、チャンバー２の内部は、水平方向に架設された第１隔壁２３１によって、蒸着エリア２１と非蒸着エリア２２に区画されている。蒸着エリア２１は、基材５に有機蒸着材料３１ａ，３１ｂを蒸着するエリアであり、蒸着工程において有機蒸着材料３１ａ，３１ｂによって満たされるエリアである。他方、非蒸着エリアは、基材５を蒸着しないエリアであり、蒸着工程において有機蒸着材料３１ａ，３１ｂが殆ど存在しないエリアである。
また、本実施形態では、蒸着エリア２１内には、各放出レートセンサ４ａ，４ｂ間における各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの混入を防止するために、第２隔壁２３２が立設されている。
なお、第１隔壁２３１及び第２隔壁２３２は、必ずしも設けられていなくてもよい。もっとも、第２隔壁２３２が存在しない場合、各有機蒸着材料３１ａ，３１ｂの各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入量が多くなり、結果として蒸着工程における蒸着効率が低下する。そのため、各蒸着源３ａ，３ｂ間には第２隔壁２３２が設けられることが好ましい。

本実施形態では、基材５は、長尺状であり、チャンバーの外側にある第１ロールＡに巻回されている。蒸着工程では、この巻回された基材５を繰り出し、順次チャンバー２内に導入することで基材５の表面に有機蒸着膜が形成される。具体的には、第１ロールＡから繰り出された基材５は、チャンバー２内の非蒸着エリア２２に導入され、その後、非蒸着エリア２２と蒸着エリア２１に跨がる第２ロールＢを介して蒸着エリア２１に導入される。その後、再び、基材５は非蒸着エリア２２に導入され、チャンバー２の外側にある第３ロールＣに再び巻回される。基材５は、蒸着エリア２１に露出している間だけ、有機蒸着材料３１ａ，３１ｂによって共蒸着される。図２において、矢印は、基材５の繰り出し方向を表す。
なお、図２では、基材５はチャンバー２内に導入されているが、準備工程及び後述する前工程の段階では、基材５はチャンバー２内に導入しなくてもよい。

（蒸着源）
蒸着源３は、有機蒸着材料３１と、有機蒸着材料３１を収容した収容器３２を有する。収容器３２は、その上部にチャンバー２内に向かって開口した開口部３２１を有する。収容器３２には、開口部３２１の開口度を調整するシャッターが設けられていてもよい（図示せず）。シャッターは、開口部３２１を覆うことにより、有機蒸着材料３１の放出量を調整できる部材である。シャッターが開口部３２１を覆う面積は、任意に変更することができる。
収容器３２は、耐熱性を有するものであれば特に限定されず、例えば、酸化アルミニウムや窒化ホウ素などからなる坩堝を用いることができる。収容器３２を加熱すると、間接的に収容器に収容された有機蒸着材料３１が加熱される。加熱された有機蒸着材料３１は気化し、収容器３２の開口部３２１を介してチャンバー２内に放出される。
なお、蒸着源３（収容器３２）を加熱する方法は、特に限定されず、例えば、赤外線ランプや、タングステンやタンタルなどの金属ワイヤーを用いたワイヤーヒーターなどを用いた抵抗加熱方式などが用いられる。ワイヤーヒーターを用いる場合、収容器３２の外周面に金属ワイヤーが巻き付けられる（図示せず）。

蒸着源３の数は、有機蒸着材料３１の種類数と等しく、その数はｎ個である。図２では、２個の蒸着源３（即ち、第１蒸着源３ａ及び第２蒸着源３ｂ）が用いられているため、この蒸着膜製造装置１によって形成される有機蒸着膜は、２種の有機蒸着材料３１ａ，３１ｂを含んでいる。

有機蒸着材料は、有機化合物を含んだ蒸着材料であり、好ましくは実質的に有機化合物のみからなる蒸着材料である。なお、「実質的に有機化合物のみからなる」とは、完全に有機化合物のみからなる場合だけでなく、本発明の効果を損なわない範囲で有機化合物以外の化合物が含まれている場合を含み、例えば、蒸着材料全体における有機化合物の割合が９８質量％以上である場合を含む。

有機蒸着材料に含まれる有機化合物は特に限定されず、蒸着膜の用途に応じて適宜選択することができる。
なお、有機化合物とは、構造の基本骨格に炭素原子を有する化合物（但し、一酸化炭素、二酸化炭素、金属炭酸塩、青酸、金属青酸塩、金属シアン酸塩、金属チオシアン酸塩、その他の歴史的に無機化合物として扱われるものを除く）をいう。

例えば、有機蒸着膜を有機エレクトロルミネッセンス装置の発光層として用いる場合、ホスト材料やドーパント材料が有機蒸着材料として用いられる。
ホスト材料は、発光層中において主に電子や正孔の電荷輸送機能を有する化合物であり、ドーパント材料は、発光層中において主に発光機能を有する化合物である。
ホスト材料としては、例えば、１，３，５−トリス（カルバゾ−９−イル）ベンゼン（略称：ＴＣＰ）、１，３−ビス（Ｎ−カルバゾリル）ベンゼン（略称：ｍＣＰ）、２，６−ビス（Ｎ−カルバゾリル）ピリジン、９，９−ジ（４−ジカルバゾール−ベンジル）フルオレン（略称：ＣＰＦ）、４，４’−ビス（カルバゾール−９−イル）−９，９−ジメチル−フルオレン（略称：ＤＭＦＬ−ＣＢＰ）などのカルバゾール誘導体などを用いることができる。
また、ドーパント材料としては、例えば、スチリル誘導体；ペリレン誘導体；トリス（２−フェニルピリジル）イリジウム（ＩＩＩ）（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）、トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム（ＩＩＩ）（Ｉｒ（ｐｉｑ）３）、ビス（１−フェニルイソキノリン）（アセチルアセトナト）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：Ｉｒ（ｐｉｑ）２（ａｃａｃ））などの有機イリジウム錯体などの燐光発光性金属錯体；などを用いることができる。

ホスト材料とドーパント材料を含む有機蒸着膜（発光層）を形成する場合、有機蒸着材料としてホスト材料を含む蒸着源と、有機蒸着材料としてドーパント材料を含む蒸着源が用いられる。
発光層に含まれるホスト材料やドーパント材料はそれぞれ１種類ずつであってもよく、２種類以上であってもよい。どちらの場合でも、ホスト材料及びドーパント材料の種類数に対応した数（即ち、少なくとも２個以上）の蒸着源が設けられる。
ホスト材料を含む蒸着源の数は２個以上であることが好ましい。２種以上のホスト材料を含む発光層は、発光効率に優れるためである。ドーパント材料を含む蒸着源の数についても同様である。

（放出レートセンサ）
放出レートセンサ４は、有機蒸着材料３が収容器３２から放出される速度（放出レート）を検出する装置である。放出レートセンサ４は各蒸着源３に対応して設けられているため、放出レートセンサの数はｎ個である。なお、図２に示す実施形態では、蒸着源３の数は２個であるため、放出レートセンサの数も２個である。
放出レートセンサ４の配置は特に限定されず、例えば、図２に示すように、収容器３２の開口部３２１近傍に設けることができる。また、収容器３２の側周面に微細孔（ピンホール）を設け、この微細孔の近傍に放出レートセンサ４を設けてもよい（図示せず）。

放出レートセンサは、有機蒸着材料の放出レートを測定できる装置であれば特に限定されないが、好ましくは、水晶振動子マイクロバランス法を用いたＱＣＭセンサが用いられる。
ＱＣＭセンサは、一般的に、水晶を極薄い板状に切り出した切片の両側に金属薄膜を取り付けた構造を有する。ＱＣＭセンサは、金属薄膜に交流電力を印加するとある一定の周波数（共振周波数）で振動する。そして、金属薄膜上に有機蒸着材料が付着すると、有機蒸着材料の質量に比例して共振周波数が減少するため、共振周波数の減少量から有機蒸着材料の放出レートを算出することができる。

＜前工程＞
前工程は、ｎ個の蒸着源に含まれる各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率を算出する工程である。前工程は、第１前工程と第２前工程と第３前工程をこの順に有する。
前工程にて算出した混入率に基づき、後述する蒸着工程により各有機蒸着材料の真の放出レート及び蒸着レートを算出することができる。

（第１前工程）
第１前工程は、上記準備工程にて準備した蒸着膜製造装置が有する第ｊ蒸着源を加熱し、第ｊ蒸着源に含まれる第ｊ有機蒸着材料をチャンバー内に放出する工程である。第ｊ蒸着源は、ｎ個の蒸着源から選択した何れか１つの蒸着源である。
第１前工程では、第ｊ蒸着源のみが加熱され、それ以外の蒸着源は非加熱である。従って、第１前工程において、チャンバー内には気化した第ｊ有機蒸着材料のみが放出される。

（第２前工程）
第２前工程は、第１前工程にて選択した第ｊ蒸着源に含まれる第ｊ有機蒸着材料の、第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を算出する工程である。混入率（ＣＲ_ｉｊ）を算出する第ｉ放出レートセンサは、ｎ個の放出レートセンサから選択される。
第ｊ蒸着材料の混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、下記式（１）によって算出される。

式（１）において、ＰＭＶ_ｊは、第１前工程にて第ｊ蒸着源を加熱した際における第ｊ放出レートセンサの測定値である。第ｊ放出レートセンサは、第ｊ蒸着源に対応して設けられているため、該測定値は、第ｊ有機蒸着材料が第ｊ放出レートセンサに付着する速度である。また、ＰＭＶ_ｉは、第ｉ放出レートセンサの測定値であり、第ｊ有機蒸着材料が第ｉ放出レートセンサに付着する速度である。
ｊとｉは、共に１以上ｎ以下の自然数であり、ｊ＝ｉとなり得る。ｊ＝ｉである場合、混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、１である。

（第３前工程）
第３前工程は、第ｊ蒸着源を変更し、上記第１前工程及び第２前工程と同じ工程を繰り返すことにより、全ての有機蒸着材料（第１有機蒸着材料〜第ｎ有機蒸着材料）について各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を算出する工程である。
第３前工程において変更する第ｊ蒸着源は、第１前工程にて選択した第ｊ蒸着源と異なっていればどの蒸着源を選択してもよい。第ｊ蒸着源は、１〜ｎの順に変更してもよく、全くアトランダムに変更してもよい。どのような順で第ｊ蒸着源を変更したとしても、第３前工程において、全ての有機蒸着材料について混入率（ＣＲ_ｉｊ）が算出される。

以下、２個の蒸着源を有する本願発明の第１実施形態（図２）を参考に、上記第１前工程〜第３前工程を具体的に説明する。
本発明の第１実施形態では、蒸着膜製造装置は２個の蒸着源３（第１蒸着源３ａと第２蒸着源３ｂ）を有する。そのため、第１前工程にて選択される蒸着源３は、第１蒸着源３ａ又は第２蒸着源３ｂである。

第１前工程において、第１蒸着源３ａを選択した場合、第１蒸着源３ａのみが加熱され、チャンバー２内に第１蒸着源３ａに含まれた第１有機蒸着材料３１ａのみが放出される。
続いて、第２前工程において、第１有機蒸着材料３１ａの第１放出レートセンサ４ａ及び第２放出レートセンサ４ｂに対する、混入率（ＣＲ_１１及びＣＲ_２１）を算出する。
例えば、第１放出レートセンサ４ａの測定値が９Å／秒であり、第２放出レートセンサ４ｂの測定値が１Å／秒であった場合、第１有機蒸着材料３１ａの第１放出レートセンサ４ａに対する混入率（ＣＲ_１１）は、１（９／９）であり、第１有機蒸着材料３１ａの第２放出レートセンサ４ｂに対する混入率（ＣＲ_２１）は、１／９（１／９）である。

続いて、第３前工程において、加熱する蒸着源３を第１前工程で選択した第１蒸着源３ａから第２蒸着源３ｂに変更し、第２蒸着源３ｂのみが加熱される。その結果、チャンバー２内に第２蒸着源３ｂに含まれた第２有機蒸着材料３１ｂのみが放出される。続いて、前記第２前工程と同様に、第２有機蒸着材料３１ｂの第１放出レートセンサ４ａ及び第２放出レートセンサ４ｂに対する混入率（ＣＲ_１２及びＣＲ_２２）を算出する。
例えば、第２放出レートセンサ４ｂの測定値が８Å／秒であり、第１放出レートセンサ４ａの測定値が２Å／秒であった場合、第２有機蒸着材料３１ｂの第２放出レートセンサ４ｂに対する混入率（ＣＲ_２２）は、１（８／８）であり、第２有機蒸着材料３１ｂの第１放出レートセンサ４ａに対する混入率（ＣＲ_１２）は、１／４（２／８）である。
このようにして、全ての有機蒸着材料３１（第１有機蒸着材料３１ａ及び第２有機蒸着材料３１ｂ）について、各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入率（ＣＲ_１１、ＣＲ_２１、ＣＲ_１２、及びＣＲ_２２）を算出する。

上記前工程にて算出した、各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、各有機蒸着材料の放出量に関わらず略一定であり、且つ、全ての蒸着源を同時に加熱しても前記混入率（ＣＲ_ｉｊ）は略一定である。この法則性は、本発明者らが新たに見出した知見である。
従って、上記前工程にて算出した混入率（ＣＲ_ｉｊ）を基にして、後述する蒸着工程にて各有機蒸着材料の真の放出レートを算出することができる。
以下、本発明者らが見出した法則性について、本発明の第１の実施形態で用いた蒸着膜製造装置（図２）を例にして説明する。

図３（ａ）は、図２の蒸着膜製造装置１を用いて第１蒸着源３ａのみを加熱した場合における第１放出レートセンサ４ａの測定値Ｖ_ａ１及び第２放出レートセンサ４ｂの測定値Ｖ_ｂ１の変化を表すグラフである。図３（ａ）において、第１蒸着源３ａの加熱温度は一定（３２０℃）であるが、収容器３２ａの開口度を０％〜３０％まで１．５％毎に４秒間隔で経時的に変更させた後、再び３０％〜０％まで１．５％毎に４秒間隔で経時的に変更させた。収容器３２ａの開口度は、シャッターを用いて調整した。開口度０％とは、収容器３２ａの開口部３２１ａが、シャッターによって完全に塞がれていることを意味する。なお、第１蒸着源３ａに含まれる第１有機蒸着材料３１ａとして、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｑ_３ ）を使用し、チャンバー内の真空度は、４×１０^−４Ｐａであった。
図３（ａ）の結果から、収容器３２ａの開口度に比例して第１有機蒸着材料３１ａがチャンバー２内に放出される量（Ｖ_ａ１及びＶ_ｂ１）が増加していることが分かる。

図３（ｂ）は、図３（ａ）の結果と上記式（１）に基づき第１有機蒸着材料３１ａの第２放出レートセンサ４ｂに対する混入率（ＣＲ_２１）を収容器３２ａの開口度の変化に合わせて算出したグラフである。
なお、開口度０％〜１９．５％及び１９．５％〜０％の間において、第１有機蒸着材料３１ａは、第２放出レートセンサ４ｂで殆ど検出できないほど微量しか放出されなかったため、この間における混入率（ＣＲ_２１）は算出していない。
この結果から、混入率（ＣＲ_２１）は、収容器３２ａの開口度に関わらず常に略一定の値（約０．３１）を示していることがわかる。即ち、第１有機蒸着材料３１ａの放出量に関わらず混入率（ＣＲ_２１）は、常に略一定である。

図４（ａ）は、図２の蒸着膜製造装置１を用いて第２蒸着源３ｂのみを加熱した場合における第１放出レートセンサ４ａの測定値Ｖ_ａ２及び第２放出レートセンサ４ｂの測定値Ｖ_ｂ２の変化を表すグラフである。図４（ａ）において、第２蒸着源３ｂの加熱温度は一定（２９０℃）であるが、収容器３２ｂの開口度を０％〜２０％まで１．０％毎に４秒間隔で経時的に変更させた後、再び２０％〜０％まで１．０％毎に４秒間隔で経時的に変更させた。収容器３２ｂの開口度は、シャッターを用いて調整した。なお、第２蒸着源３ｂに含まれる第２有機蒸着材料３１ｂとして、ビス（２−フェニルキノリナト−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（ＩＩＩ）アセチルアセトナート（略称：Ｉｒ（ｐｑ）_２（ａｃａｃ））を使用し、チャンバー内の真空度は、４×１０^−４Ｐａであった。
図４（ａ）の結果から、収容器３２ｂの開口度に比例して第２有機蒸着材料３１ｂがチャンバー２内に放出される量（Ｖ_ａ２及びＶ_ｂ２）が増加していることが分かる。

図４（ｂ）は、図４（ａ）の結果と上記式（１）に基づき第２有機蒸着材料３１ｂの第１放出レートセンサ４ａに対する混入率（ＣＲ_１２）を収容器３２１ｂの開口度の変化に合わせて算出したグラフである。
なお、開口度０％〜１５％及び１５％〜０％の間において、第２有機蒸着材料３１ｂは、第１放出レートセンサ４ａで検出できないほど微量しか放出されなかったため、この間における混入率（ＣＲ_１２）は算出していない。
この結果から、混入率（ＣＲ_１２）は、収容器３２ｂの開口度に関わらず常に略一定の値（約０．２１）を示していることがわかる。即ち、第２有機蒸着材料３１ｂの放出量に関わらず混入率（ＣＲ_１２）は、常に略一定である。

図３（ａ）及び図３（ｂ）並びに図４（ａ）及び図４（ｂ）の結果から、真空状態のチャンバー内において、第ｊ有機蒸着材料の第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、第ｊ有機蒸着材料の放出量に関わらず常に略一定であることが分かる。
また、本発明者が、さらに検討したところ、上記法則性は、有機蒸着材料の種類や、チャンバー内部の機械的構造、蒸着源の数（有機蒸着材料の種類）に関わらず成立することが分かった。

図５（ａ）は、図２の蒸着膜製造装置１を用いて第１蒸着源３ａ及び第２蒸着源３ｂの両方を加熱した場合における第１放出レートセンサ４ａの測定値Ｖ_ａ３及び第２放出レートセンサ４ｂの測定値Ｖ_ｂ３の変化を表すグラフである。第１蒸着源３ａの加熱温度や開口度は図３（ａ）の条件と同じであり、第２蒸着源３ｂの加熱温度や開口度は図４（ａ）の条件と同じである。
図５（ｂ）は、図３（ａ）に示す、第１蒸着源３ａのみを加熱した場合における第１放出レートセンサ４ａの測定値（Ｖ_ａ１）及び第２放出レートセンサ４ｂの測定値（Ｖ_ｂ１）と、図４（ａ）に示す、第２蒸着源３ｂのみを加熱した場合における第１放出レートセンサ４ａの測定値（Ｖ_ａ２）及び第２放出レートセンサ４ｂの測定値（Ｖ_ｂ２）を加算した結果を表すグラフである。
図５（ａ）における第１及び第２放出レートセンサ４ａ，４ｂの測定値（Ｖ_ａ３及びＶ_ｂ３）の変化と、図５（ｂ）における第１及び第２放出レートセンサ４ａ，４ｂの測定値の変化（Ｖ_ａ１＋Ｖ_ａ２及びＶ_ｂ１＋Ｖ_ｂ２）は、略一致することが分かる。
ここから、第１有機蒸着材料３１ａの各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入率（ＣＲ_１１及びＣＲ_２１）は第２有機蒸着材料３１ｂの存在に影響されないこと、及び、第２有機蒸着材料３１ｂの各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入率（ＣＲ_１２及びＣＲ_２２）は、第１有機蒸着材料３１ａの存在に影響されないことが分かる。即ち、共蒸着法では、チャンバー内において、気化した第ｊ有機蒸着材料は、それ以外の気化した有機蒸着材料に影響を受けずに各放出レートセンサに混入することが分かる。
従って、第ｊ有機蒸着材料の第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、各蒸着源を個別に加熱した場合であっても、全ての蒸着源を同時に加熱した場合であっても同じ値となる。

共蒸着法において、気化した第ｊ有機蒸着材料がそれ以外の気化した有機蒸着材料に影響を受けない理由について明らかではないが、本発明者らは次のように推測している。
チャンバー内の真空度が高ければ高いほど、気化した有機蒸着材料の平均自由行程が長くなる。そのため、有機蒸着材料を用いた共蒸着法では、チャンバー内を真空状態とすることで、第ｊ有機蒸着材料の分子は、それ以外の有機蒸着材料の分子と衝突し難くなる。その結果、気化した各有機蒸着材料は相互に干渉することなく、各放出レートセンサに混入する。
一般的に、真空状態のチャンバー内において、蒸着材料の平均自由行程は、真空度が高ければ高いほど長くなり、蒸着材料の分子量が大きければ大きいほど短くなる。本発明では、一般的に、無機化合物に比して分子量の比較的大きな有機化合物を蒸着材料として用いているため、チャンバー内の真空度の上限値は、１０^−３Ｐａが好ましく、より好ましくは１０^−４Ｐａである。

＜蒸着工程＞
蒸着工程は、実際に基材を真空状態のチャンバー内に導入し、全ての有機蒸着材料を同時にチャンバー内に放出することにより、基材の表面に有機蒸着膜を形成する工程である。蒸着工程は、第１蒸着工程と第２蒸着工程と第３蒸着工程をこの順に有する。

（基材）
チャンバー内に導入される基材は特に限定されず、有機蒸着膜の用途に合わせて適宜変更することができる。基材としては、例えば、ガラス板、セラミック板、合成樹脂製フィルムなどが挙げられる。
また、有機蒸着膜を有機エレクトロルミネッセンス装置の発光層として用いる場合、例えば、電極（陰極又は陽極）、正孔（又は電子）輸送層、及び正孔（又は電子）注入層を有する積層体を基材として用いることができる。この場合、正孔（又は電子）輸送層の表面に有機蒸着膜である発光層が形成される。

（第１蒸着工程）
第１蒸着工程は、全ての（ｎ個の）蒸着源を加熱し、各蒸着源に対応した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）を検出する工程である。
放出レートセンサはｎ個存在するため、放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）も、ｎ個検出される。
なお、基材は、第１蒸着工程中にチャンバー内に導入してもよいが、好ましくは第２蒸着工程以降に導入されることが好ましい。第１蒸着工程中では、各有機蒸着材料の真の蒸着レート（Ｘ_ｊ）が算出されていないため、基材に付着した各有機蒸着材料の量を推定することができないためである。

（第２蒸着工程）
第２蒸着工程は、第３前工程で算出した各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）、及び、前記第１蒸着工程で測定した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）に基づき、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）を下記式（２）から算出する工程である。

式（２）において、ＭＶ_ｉは、第１蒸着工程において全ての蒸着源を加熱した場合における第ｉ放出レートセンサの測定値である。第ｉ放出レートセンサの測定値は、第ｉ有機蒸着材料及び第ｉ放出レートセンサに混入した他の有機蒸着材料を含む有機蒸着材料の放出レートである。ＣＲ_ｉｊは、第ｊ有機蒸着材料の第ｉ放出レートセンサに対する混入率である。
第ｉ放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）と、第ｊ有機蒸着材料の第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を式（２）に代入することにより、第ｊ有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）が算出される。

以下、２個の蒸着源を有する本願発明の第１実施形態（図２）を参考に、上記第２蒸着工程を具体的に説明する。なお、以下の説明において、第１有機蒸着材料３１ａの各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入率（ＣＲ_１１及びＣＲ_２１）及び第２有機蒸着材料３１ｂの各放出レートセンサ４ａ，４ｂに対する混入率（ＣＲ_１２及びＣＲ_２２）は、第３前工程の欄で例示した値を援用する。即ち、ＣＲ_１１＝１であり、ＣＲ_２１＝１／９であり、ＣＲ_１２＝１／４であり、ＣＲ_２２＝１である。
また、第２蒸着工程において測定された第１放出レートセンサ４ａの測定値（ＭＶ_１）は、２２Å／秒と仮定し、第１放出レートセンサ４ａの測定値（ＭＶ_２）は、１８Å／秒と仮定する。
これらの値を、上記式（２）に代入することにより、下記式（３）の２元連立方程式が導きだされる。

式（３）の２元連立方程式を解くと、第１有機蒸着材料３１ａの真の放出レート（Ｘ_１）は、１８Å／秒であり、第２有機蒸着材料３１ｂの真の放出レート（Ｘ_２）は、１６Å／秒であることが分かる。
即ち、第１放出レートセンサ４ａの測定値（ＭＶ_１）と第１有機蒸着材料３１ａの真の放出レート（Ｘ_１）は、４Å／秒の誤差があり、第２放出レートセンサ４ｂの測定値（ＭＶ_２）と第２有機蒸着材料３１ｂの真の放出レート（Ｘ_２）は、２Å／秒の誤差がある。
このように、本発明では、蒸着源の数（ｎ）に対応したｎ元連立方程式を解くことにより、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）を算出することができる。

（第３蒸着工程）
第３蒸着工程は、第２蒸着工程で算出した各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）と各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_ｊ）との偏差が小さくなるように、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する工程である。目標放出レート（ＴＲ_ｊ）は、蒸着膜の用途等に合わせて任意に設定することができる。
本工程では、算出した各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）が各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_ｊ）と異なる場合、両レートが一致するように各有機蒸着材料の放出条件が逐次変更される。
真の放出レート（Ｘ_ｊ）と各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_ｊ）との偏差の絶対値は、目標蒸着レートの５％以内であることが好ましく、より好ましくは３％以内であり、特に好ましくは２％以内である。

放出条件の変更は、各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）が変動するものであれば特に限定されず、例えば、各有機蒸着源の加熱温度や、収容器の開口度の変更が挙げられる。例えば、第ｊ有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）がその目標放出レート（ＴＲ_ｊ）よりも低い場合、第ｊ有機蒸着源の加熱温度や収容器の開口度を高くし、第ｊ有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）がその目標放出レート（ＴＲ_ｊ）よりも高い場合、第ｊ有機蒸着源の加熱温度や収容器の開口度を低くするように放出条件を変更する。
放出条件を変更することで各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_i）が変動し、それに合わせて各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）も変動する。このように放出条件の変更を逐次行うことにより、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）がその目標放出レート（ＴＲ_ｊ）と一致するようにフィードバック制御が行われる。このフィードバック制御により、最終的に、各有機蒸着材料を目標放出レート（ＴＲ_ｊ）にてチャンバー内に放出することができる。

図６は、蒸着工程のフロー図である。図６において、「全蒸着源の加熱」が、第１蒸着工程に相当し、「放出レート（ＭＶ_ｉ）の検出」及び「真の放出レート（Ｘ_ｊ）の算出」が、第２蒸着工程に相当し、それ以降の工程が、第３蒸着工程に相当する。
第３蒸着工程以降、蒸着工程を終了するか否かの条件は特に限定されず、形成する有機蒸着膜の機能や用途に合わせて任意に設定することができる。例えば、真の放出レート（Ｘ_ｊ）と目標放出レート（ＴＲ_ｊ）が一致してから数秒後に蒸着工程を終了するように設定することができる。また、図２に示すように、長尺状の基材をチャンバー内で送り出しつつ共蒸着を行う場合、送り出される基材が尽きた段階で蒸着工程を終了するように設定することもできる。

本発明の有機蒸着膜の製造方法を用いれば、各有機蒸着材料を所望の放出レート（目標放出レート）にてチャンバー内に放出することができるため、基材に対する各有機蒸着材料の蒸着量を正確に制御でき、その結果、各有機蒸着材料を所望の比率で含んだ有機蒸着膜を形成することができる。
また、本発明によって形成される有機蒸着膜は有機エレクトロルミネッセンス装置の発光層として用いることができる。この発光層は、各有機蒸着材料を所望の比率で含むため、発光機能に優れる。

本発明の第１実施形態では、図２に示すように、２個の蒸着源を有する蒸着膜製造装置を使用したが、本発明で用いられる蒸着膜製造装置は、第１実施形態で用いたものに限定されない。以下、本発明の第２実施形態で用いられる蒸着膜製造装置について説明するが、主として、第１実施形態の蒸着膜製造装置と異なる部分についてのみ言及する。

図７は、本発明の第２実施形態で用いられる蒸着膜製造装置１を表す概要図である。
本実施形態では、チャンバー２は、その内部に放出口６１を有する混合室６を有する。チャンバー２内において、混合室６の内側と外側は、該放出口６１を介して連通している。混合室６は、ｎ個の蒸着源３に含まれるｎ種類の有機蒸着材料３１を混合するために設けられた室であり、ｎ個の蒸着源３の各収容器３２は、混合室６に筒状部材７を介して連通されている。なお、図７では、各蒸着源３は、チャンバー２の外側に設けられているが、各蒸着源３は、チャンバー２の内部に設けられていてもよい（図示せず）。また、図７では、蒸着源３の数は３個（第１蒸着源３ａ〜第３蒸着源ｃ）であるが、蒸着源３の数は２個であってもよく、４個以上であってもよい。

筒状部材７は、その内側に気化した有機蒸着材料が通り抜け可能な空洞部７１を有しており、さらに、この空洞部７１の幅を任意に変更可能なバルブ部７２を有する。バルブ部７２の構造は特に限定されないが、例えば、図７に示すように、筒状部材の外周面から空洞部にまで貫通した栓部７２１と、栓部７２１の端部（空洞部７１の外側に露出した部分）に設けられた棒部７２２と、を有する。この栓部７２１を筒状部材７の空洞部７１に押し入れる又は空洞部７１から引き抜くことにより、空洞部７１の幅が任意に変更でき、各有機蒸着材料３１が混合室内に流入する量を調整することができる。
本実施形態では、チャンバー２内で且つ混合室６の外側にある筒状部材７の外周面に微細孔（ピンホール）が設けられ（図示せず）、該微細孔の近傍に各放出レートセンサ４が設けられている。微細孔から漏れ出した各有機蒸着材料３１に基づき、各放出レートセンサ４が各有機蒸着材料３１の放出レートを測定する。
なお、各放出レートセンサ４は、混合室６の内側であって筒状部材７の端部近傍に設けられていてもよい（図示せず）。本発明では、放出レートセンサ４の位置に関わらず、各有機蒸着材料３１の真の放出レートを算出することができる。

本実施形態では、各蒸着源３から各筒状部材７を通って混合室６に流入した各有機蒸着材料３１は、混合室６で混合される。その後、混合された有機蒸着材料３は、放出口６１から放出され、基材５の表面に付着する。
放出口６１と基材５の表面の距離Ｄは、特に限定されないが、好ましくは、１０ｍｍ以下であり、より好ましくは５ｍｍ以下であり、特に好ましくは１ｍｍ以下である。また、距離Ｄの下限値は特に限定されないが、現実的には、０．５ｍｍ以上である。距離Ｄが短ければ短いほど、短時間で基材５の表面に蒸着膜を形成することができる。
なお、放出口６１と基材５の表面が近い場合、短時間で蒸着膜が形成されるため、各有機蒸着材料３１のチャンバー２内における放出量の調整は非常に重要となる。この点、本発明の蒸着膜の製造方法を用いれば、各有機蒸着材料３の真の放出レートＸ_ｊが目標放出レートＴＲ_ｊと略一致するため、所望の比率で各有機蒸着材料３を含んだ蒸着膜を高精度で形成することができる。

以下、実施例を示して本発明をさらに説明する。ただし、本発明は、下記実施例のみに限定されるものではない。

（準備工程）
本発明の第２実施形態で用いた混合室を有する蒸着膜製造装置（図７参照）を準備した。蒸着源の数は３個であった。チャンバー内の真空度は、４×１０^−４Ｐａに設定した。
第１蒸着源に含まれる第１有機蒸着材料として、Ａｌｑ_３を用いた。第２蒸着源に含まれる第２有機蒸着材料として、Ｉｒ（ｐｑ）_２（ａｃａｃ）を用いた。第３蒸着源に含まれる第３有機蒸着材料として、４，４’−ビス（α−ナフチルフェニルアミノ）ビフェニル（略称：α−ＮＰＤ）を用いた。
なお、本実施例において、後述する開口度は、バルブ部を押し入れない場合における空洞部の幅（１００％）を基準にしており、バルブを押し入れる又は引き抜くことで開口度を調整した。以下、第ｎ蒸着源に対応するバルブ部を第ｎバルブ部と称する。

（前工程）
第１蒸着源のみを３２０℃に加熱し、第１バルブ部の開口度を０％〜７０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した後、再び７０％〜０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した。なお、第２及び第３バルブ部の開口度は常に１００％とした。
図８（ａ）は、その間における第１放出レートセンサ〜第３放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_１〜ＰＭＶ_３）を経時的にプロットしたグラフであり、図８（ｂ）は、その間における第１有機蒸着材料の第２放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_２１）及び第３放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_３１）の値を経時的にプロットしたグラフである。ＣＲ_２１は、０．０５０で略一定であり、ＣＥ_３１は、０．０５６で略一定であった。
なお、開口度０％〜１５％及び１５％〜０の間は、第２及び第３放出レートセンサに混入する第１有機蒸着源の量が極めて微量であるため、ＣＲ_２１及びＣＲ_３１を算出しなかった。

次に、第２蒸着源のみを３００℃に加熱し、第２バルブ部の開口度を０％〜７０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した後、再び７０％〜０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した。なお、第１及び第３バルブ部の開口度は常に１００％とした。
図９（ａ）は、その間における第１放出レートセンサ〜第３放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_１〜ＰＭＶ_３）を経時的にプロットしたグラフであり、図９（ｂ）は、その間における第２有機蒸着材料の第１放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_１２）及び第３放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_３２）の値を経時的にプロットしたグラフである。ＣＲ_１２は、０．２８０で略一定であり、ＣＥ_３２は、０．２４２で略一定であった。
なお、開口度０％〜２０％及び２０％〜０の間は、第１及び第３放出レートセンサに混入する第２有機蒸着源の量が極めて微量であるため、ＣＲ_１２及びＣＲ_３２を算出しなかった。

次に、第３蒸着源のみを２８０℃に加熱し、第３バルブ部の開口度を０％〜７０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した後、再び７０％〜０％まで５．０％毎に５秒間隔で経時的に変更した。なお、第１及び第２バルブ部の開口度は常に１００％とした。
図１０（ａ）は、その間における第１放出レートセンサ〜第３放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_１〜ＰＭＶ_３）を経時的にプロットしたグラフであり、図１０（ｂ）は、その間における第３有機蒸着材料の第１放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_１３）及び第２放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_２３）の値を経時的にプロットしたグラフである。ＣＲ_１３は、０．０６７で略一定であり、ＣＥ_２３は、０．０５３で略一定であった。
なお、開口度０％〜１５％及び１５％〜０の間は、第１及び第２放出レートセンサに混入する第３有機蒸着源の量が極めて微量であるため、ＣＲ_１３及びＣＲ_２３を算出しなかった。

図８（ａ）、図９（ａ）、及び図１０（ａ）の結果から、加熱した第ｊ有機蒸着材料の放出レートが上がれば上がるほど、第ｎ放出レートセンサに対する第ｊ有機蒸着材料の混入量が増えることが分かる。
また、図８（ｂ）、図９（ｂ）、及び図１０（ｂ）の結果から、第ｊ有機蒸着材料の放出レートが変動しても、第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）は、略一定であることが読み取れる。

（蒸着工程）
次に、第１〜第３蒸着源を全て加熱し、第１〜第３放出レートセンサの測定値（ＭＶ_１〜ＭＶ_３）を検出した。各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_１〜ＭＶ_３）と前工程で得られた混入率（ＣＲ_２１、ＣＲ_３１、ＣＲ_１２、ＣＲ_３２、ＣＲ_１３、及びＣＲ_２３）を基に、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_１〜Ｘ_３）を算出し、この真の放出レート（Ｘ_１〜Ｘ_３）が各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_１〜ＴＲ_３）となるように各有機蒸着材料の放出条件を逐次変更するフィードバック制御を行った。その結果を、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に表す。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）から、第１〜第３放出レートセンサの測定値（ＭＶ_１〜ＭＶ_３）を除き、第１〜第３有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_１〜ＴＲ_３）を破線で表したグラフである。
なお、放出条件の変更には、第１〜第３バルブ部の開口度の変更、及び、第１〜第３蒸着源の加熱温度の変更を採用した。
図１１（ｂ）の結果から、約１００秒後には、真の放出レート（Ｘ_１〜３）が各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_１〜３）に略一致していることが読み取れる。

１…蒸着膜製造装置、２…チャンバー、３…蒸着源、３１…蒸着材料、３２…収容器、４…放出レートセンサ、５…基材、６…混合室、６１…放出口、７…筒状部材、７１…空洞部、７２…バルブ部

Claims (8)

1. 内部を真空状態に保持したチャンバーと、前記チャンバー内に放出する有機蒸着材料を含むｎ個の蒸着源と、前記ｎ個の蒸着源に対応して前記有機蒸着材料の放出レートを測定するｎ個の放出レートセンサと、を有する蒸着膜製造装置を準備する準備工程と、
   前記蒸着膜製造装置を用いて、各放出レートセンサに対する各有機蒸着材料の混入率を算出する前工程と、
   前記チャンバー内に基材を導入し、全ての有機蒸着材料を同時に前記チャンバー内に放出することにより、前記基材の表面に有機蒸着膜を形成する蒸着工程と、を有し、
   前記前工程が、
   前記ｎ個の蒸着源から選択した１つである第ｊ蒸着源のみを加熱し、前記第ｊ蒸着源に含まれる第ｊ有機蒸着材料を前記チャンバー内に放出する第１前工程と、
   前記第１前工程で加熱した前記第ｊ蒸着源に対応する第ｊ放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_ｊ）及び各蒸着源に対応する第ｉ放出レートセンサの測定値（ＰＭＶ_ｉ）から、前記第ｊ有機蒸着材料の前記第ｉ放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を算出する第２前工程と、
   前記第ｊ蒸着源を変更し、前記第１及び第２前工程と同じ工程を繰り返すことにより、全ての有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）を下記式（１）から算出する第３前工程と、を有し、
   

   

   前記蒸着工程が、
   全ての蒸着源を加熱し、各蒸着源に対応した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）を検出する第１蒸着工程と、
   前記第３前工程で算出した各有機蒸着材料の各放出レートセンサに対する混入率（ＣＲ_ｉｊ）、及び、前記第１蒸着工程で検出した各放出レートセンサの測定値（ＭＶ_ｉ）に基づき、各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）を下記式（２）から算出する第２蒸着工程と、
   前記第２蒸着工程で算出した各有機蒸着材料の真の放出レート（Ｘ_ｊ）と各有機蒸着材料の目標放出レート（ＴＲ_ｊ）との偏差が小さくなるように、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する第３蒸着工程と、を有することを特徴とする有機蒸着膜の製造方法。
   

   
2. 前記ｎ個の蒸着源のそれぞれが、有機蒸着材料を収容した収容器を有しており、
   前記チャンバーが、その内側に、放出口を有する混合室を有しており、
   前記ｎ個の蒸着源の各収容器が、前記混合室に連通されており、
   前記蒸着工程において、前記ｎ個の蒸着源に含まれる各有機蒸着材料を前記混合室で混合し、且つ、前記混合した有機蒸着材料を前記放出口から基材の表面に向かって放出する、請求項１に記載の有機蒸着膜の製造方法。
3. 前記ｎ個の蒸着源の各収容器が、気化した有機蒸着材料が通り抜け可能な空洞部を有する筒状部材を介して前記混合室に連通されており、
   前記筒状部材が、前記空洞部の幅を任意に変更可能なバルブ部を有する、請求項２に記載の有機蒸着膜の製造方法。
4. 前記第３蒸着工程において、各蒸着源の加熱温度を変更することにより、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する、請求項１乃至３の何れか一項に記載の有機蒸着膜の製造方法。
5. 前記第３蒸着工程において、前記バルブ部を用いて前記空洞部の幅を変更することにより、各有機蒸着材料の放出条件をフィードバック制御する、請求項３又は４に記載の有機蒸着膜の製造方法。
6. 前記蒸着工程において、前記混合室の放出口と前記基材の距離が１０ｍｍ以下である、請求項２乃至５の何れか一項に記載の有機蒸着膜の製造方法。
7. 前記チャンバー内の真空度が１０^−３Ｐａ以下である、請求項１乃至６の何れか一項に記載の有機蒸着膜の製造方法。
8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の有機蒸着膜の製造方法によって形成された有機蒸着膜を発光層として有する有機エレクトロルミネッセンス装置。

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