JP2018067596A - 半導体モジュール、駆動装置、電動パワーステアリング装置、車両及び半導体モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体モジュールの小型化を図りつつ、パワー半導体素子とリードフレームとの接合強度を向上させる
【解決手段】半導体モジュール1は、2層のリードフレーム12、13とパワー半導体素子10、11とが積層され、それらがモールドされた立体構造を有している。2層の各リードフレーム12、13とパワー半導体素子10、11は、はんだ20により接合されている。2層目のリードフレーム13のパワー半導体素子10と接合する接合面13aには、はんだ20が入り込む凹み30が形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体モジュール1は、2層のリードフレーム12、13とパワー半導体素子10、11とが積層され、それらがモールドされた立体構造を有している。2層の各リードフレーム12、13とパワー半導体素子10、11は、はんだ20により接合されている。2層目のリードフレーム13のパワー半導体素子10と接合する接合面13aには、はんだ20が入り込む凹み30が形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体モジュールと、駆動装置と、電動パワーステアリング装置と、車両及び半導体モジュールの製造方法に関する。
例えば車両の電動パワーステアリング装置のモータを駆動させるためのインバータ回路等には、半導体モジュールが用いられている。この種の半導体モジュールには、放熱板上にセラミック基板を設け、そのセラミック基板上に導電体板を介して半導体チップを搭載し、それらをケースで囲んでシリコーンゲルで封止した構成となっているものがある(例えば特許文献1参照)。この半導体モジュールのセラミック基板上の導電体板の外周端部には、エポキシ樹脂などの固体絶縁物が配置され、ケースは、放熱板上に設置されている。
しかしながら、上述の構成を有する半導体モジュールは、半導体モジュールの放熱性や絶縁性を向上するための構成となっている反面、構成要素が多くなり、半導体モジュールのサイズが大きくなる。特に半導体チップがセラミック基板に対して平面上に配置されているため、半導体チップのサイズや数から半導体モジュールの平面サイズが大きくなる。
加えて、半導体モジュールにおいては、半導体モジュールを構成する半導体チップとリードフレームの材質及び形状(体積)が異なり、温度の上昇による膨張率が異なる。従って、半導体チップが熱を発し、半導体チップやそのリードフレームが熱膨縮するため、半導体チップとリードフレームとの接合面にひずみが生じる可能性がある。特に、半導体チップが上下からリードフレームに挟まれる構造の場合は、上下両面の接合面にひずみが生じる可能性がある。そこで、このひずみに対して、はんだで接合された半導体チップとリードフレームとの接合面の強度を向上させる必要がある。
本出願はかかる点に鑑みてなされたものであり、半導体モジュールの小型化を図りつつ、上記半導体チップなどのパワー半導体素子とリードフレームとの接合強度を向上させることができる半導体モジュール、駆動装置、電動パワーステアリング装置、車両及び半導体モジュールの製造方法を提供することをその目的の一つとする。
上記課題を解決するための本発明は、以下の態様を含む。
本発明には、モータを駆動させるための電子回路に用いられる半導体モジュールにおいて、2層のリードフレームとパワー半導体素子とが積層され、それらがモールドされた立体構造を有し、前記2層の各リードフレームと前記パワー半導体素子は、はんだにより接合されており、下から1層目のリードフレーム又は2層目のリードフレームの少なくともいずれかの前記パワー半導体素子と接合する接合面には、前記はんだが入り込む凹みが形成されている、半導体モジュールが含まれる。なお、「下から1層目のリードフレーム又は2層目のリードフレーム」は、半導体モジュールを特定の向きに設置した場合の位置関係を示し、本発明の半導体モジュールの設置向きを限定するものではない。
上記構成によれば、半導体モジュールが、2層のリードフレームとパワー半導体素子とが積層され、それらがモールドされた立体構造を有するので、半導体モジュールの小型化を図ることができる。また、リードフレームにおけるパワー半導体素子がはんだ付けされる接合面に、はんだが入り込む凹みが形成されているので、リードフレームにおけるはんだの接合面積が増大し、パワー半導体素子とリードフレームの接合強度を向上させることができる。
前記凹みは、前記リードフレームにおける前記パワー半導体素子との接合面の端部に形成されていてもよい。かかる場合、リードフレームの接合面方向の熱膨縮により生じる接合面のひずみを効果的に吸収でき、この結果、ひずみによる接合面の端部のクラックの発生を抑制できる。また、接合面の端部にはんだが入り込む凹みがあるので、その部分を目視しやすく、はんだ付けが適正に行われたかの確認を容易に行うことができる。
前記凹みは、前記2層目のリードフレームにおける下層側のパワー半導体素子との接合面に形成されていてもよい。かかる場合、パワー半導体素子とリードフレームとの接合強度を効果的に向上させることができる。
前記2層のリードフレームのうちの少なくともいずれかのリードフレームには、はんだが入り込む貫通孔が形成されていてもよい。かかる場合、パワー半導体素子とリードフレームの接合強度をさらに向上させることができる。
前記2層のリードフレームは、モジュール表面に露出する放熱面を有するようにしてもよい。かかる場合、半導体モジュールの放熱性を向上させることができる。
別の観点による本発明には、上記半導体モジュールを備えた駆動装置が含まれる。
別の観点による本発明には、上記半導体モジュールを備えた電動パワーステアリング装置が含まれる。
別の観点による本発明には、上記半導体モジュールを備えた車両が含まれる。
別の観点による本発明には、モータを駆動させるための電子回路に用いられる半導体モジュールの製造方法において、2層のリードフレームとパワー半導体素子とを積層し、それらをモールドして立体構造を形成し、前記立体構造を形成するにあたり、前記2層の各リードフレームと前記パワー半導体素子をはんだにより接合し、下から1層目のリードフレーム又は2層目のリードフレームの少なくともいずれかの前記パワー半導体素子と接合する接合面には、前記はんだが入り込む凹みが形成されている、半導体モジュールの製造方法が含まれる。
本発明によれば、半導体モジュールの小型化を図りつつ、パワー半導体素子とリードフレームの接合強度を向上させる。
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は、図示の比率に限定されるものではない。また、以下の実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明はこの実施の形態に限定されるものではない。
図1に示すように、半導体モジュール1は、モータを駆動させるための例えばインバータ回路(図示省略)に用いられている。半導体モジュール1は、パワー半導体素子10、11と2層の配線部材としてのリードフレーム12、13が交互に積層され、それらの全体がトランスファー成形によりモールドされた立体構造を有している。すなわち、最下層には、1層目の2つのリードフレーム12が左右対称に配置され、1層目の各リードフレーム12上にそれぞれ1層目のパワー半導体素子10が配置され、2つのパワー半導体素子10上に2層目の単一のリードフレーム13が配置され、2層目のリードフレーム13上に2層目のパワー半導体素子11が配置されている。そして、半導体モジュール1は、これらの構成を封止する、縦断面が略方形のモールド14を備えている。
1層目の各リードフレーム12は、半導体モジュール1のモジュール下面に露出するように当該下面に沿って配置されている。これにより、リードフレーム12の下面は、放熱面Sになっている。各リードフレーム12の左右方向の外側の端部は、モジュール下面から一段上がってモジュール側面から外側に突出している。リードフレーム12は、例えば銅などの導電性材料により構成されている。
1層目のパワー半導体素子10は、例えばMOSFETであって、SiまたはSiCのベアチップ(ベアダイ)の状態のものである。パワー半導体素子10は、厚み方向に電流を流す構造のため、ベアチップ上面および下面に電極を有している。パワー半導体素子10は、はんだ20を介して上下のリードフレーム12及びリードフレーム13に接合されている。
2層目のリードフレーム13は、例えば左右のパワー半導体素子10に亘り左右方向に延設されている。リードフレーム13は、例えば一方のパワー半導体素子10の外側端部から他方のパワー半導体素子10の外側端部まで形成されている。すなわち、一方のパワー半導体素子10の外側の端から他方のパワー半導体素子10の外側の端までの長さと、リードフレーム10の長さがほぼ等しくなっている。リードフレーム13の下面、すなわちパワー半導体素子10がはんだ付けされる接合面13aには、はんだ20が入り込む凹み30が形成されている。凹み30は、例えば接合面13aの両端部に形成されている。凹み30は、縦断面が略方形になる溝状に形成されている。各接合面13aの左右の凹み30のうちの外側に位置する凹み30は、その外側の面が開口(モールドに露出)している。一方、はんだ20は、凹み30に入り込んでおり、その部分がリードフレーム13側に凸状に突出している。図示はしていないが、凹み30は、図面の前から奥に向かう方向に伸びている。なお、凹み30は断続的に形成されていても良い。
2層目のリードフレーム13は、左右方向の中央に下方に延設する延設部40を有している。延設部40は、リードフレーム13の中央から、左右のパワー半導体素子10、左右の1層目のリードフレーム12の間を通って半導体モジュール1のモジュール下面に到達している。よって、延設部40の下面は放熱面Sとなっている。リードフレーム13は、例えば銅などの導電性材料により構成されている。
2層目のパワー半導体素子11は、例えばMOSFETであって、SiまたはSiCのベアチップ(ベアダイ)の状態のものである。パワー半導体素子11は、厚み方向に電流を流す構造のため、ベアチップ上面および下面に電極を有している。パワー半導体素子11は、2層目のリードフレーム13の左右方向の中央に配置されている。パワー半導体素子11の下面の電極は、はんだ20を介してリードフレーム13に接合されている。パワー半導体素子11の上面の電極には、はんだ20を介してバスバー50が接続されている。バスバー50は、1層目のリードフレーム12に接続されている。
モールド14は、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂を用いたトランスファー成形により成形されている。
本実施の形態によれば、半導体モジュール1が、2層のリードフレーム12、13とパワー半導体素子10、11が交互に積層され、それらがモールドされた立体構造を有するので、各層のパワー半導体素子10、11間の配線距離が短くなり、またパワー半導体素子10、11の搭載スペースを削減でき、これによって半導体モジュール1の小型化を図ることができる。また、2層目のリードフレーム13におけるパワー半導体素子10がはんだ付けされる接合面13aに、はんだ20が入り込む凹み30が形成されているので、リードフレーム13におけるはんだ20の接合面積が増大し、パワー半導体素子10とリードフレーム13との接合強度を向上させることができる。
また、はんだ付けの際に2層目のリードフレーム13の自重により、例えば2層目のリードフレーム13とパワー半導体素子10の接合面13aのはんだ20や、1層目のリードフレーム12とパワー半導体素子10の接合面12aのはんだ20がつぶれるようなことがあっても、凹み30のはんだ20により接合面積が確保され、接合強度を維持できる。また、凹み30は、リードフレーム13の成型時に押出し工法又は引き抜き工法により容易に加工することができる。
ところで、図1に矢印で示したようにリードフレーム13やリードフレーム12が接合面方向に熱膨縮すると、接合面13aの端部にひずみが生じる力が作用する。また、リードフレーム13の接合面方向は、厚さ方向よりも寸法が大きいので膨張率も大きくなる。よって、寸法の大きい接合面方向のひずみに対して、生じる変形を抑制するのが効果的である。本実施の形態によれば、凹み30が、リードフレーム13の接合面13aの端部に接合面方向に対して鉛直方向に伸びて形成されているので、凹み30の接合面方向の壁部がひずみの抵抗になり、リードフレーム13の接合面13aの変形を効果的に吸収し、この結果、接合面13aの端部にひずみによりクラックや亀裂が発生することを抑制できる。また、リードフレーム13上に凹み30を形成することで、リードフレーム30に応力緩和作用が生じるので、パワー半導体素子10の両端のはんだの接合面積を増大させると、パワー半導体素子10の中央部の変形を少なく抑えることができる。また、接合面13aの端部にはんだ20が入り込む凹み30があるので、その部分を目視しやすく、はんだ付けが適正に行われたかの確認を容易に行うことができる。
凹み30は、2層目のリードフレーム13の下層のパワー半導体素子10と接合する接合面13aに形成されているので、パワー半導体素子10とリードフレーム13の接合強度を効果的に向上させることができる。
2層のリードフレーム12、13は、モジュール下面に露出する放熱面Sを有するので、半導体モジュール1の放熱性を向上させることができる。
ここで、2層のリードフレーム12、13についてNch−MOSFETを使用してインバータの1アーム分の回路を構成する場合の例について説明する。
この回路においては、例えば図2に示すように電源ラインを起点とし上アームのMOSFETのドレイン電極からソース電極、続いて下アームのドレイン電極からソース電極、最後にグランドに接続する必要がある。またモータ遮断用にMOSFETを配置する場合には、上アームのソース(同じく下アームのドレイン)と同電位の接点からモータ遮断MOSFETのソース電極に配線する。
MOSFETは縦構造のパワー半導体素子10、11であり、ドレイン電極が各パワー半導体素子10、11の下面電極、ソース電極が各パワー半導体素子10、11の上面電極となっているため、前述の上アームのMOSFET(例えば図1の右側のパワー半導体素子10)から下アームのMOSFET(パワー半導体素子11)への配線は、上アームのMOSFET(図1の右側のパワー半導体素子10)の上面にあるソース電極から、2層目のリードフレーム13を通過し、下アームのMOSFET(パワー半導体素子11)の下面にあるドレイン電極に配線ができる。さらに2層目のリードフレーム13からモータ遮断用MOSFET(図1の左側のパワー半導体素子10)の上面のソース電極への配線も同時に可能となる。
1層構造の場合、上アームから下アームの配線の場合バスバーを使う必要があり、バスバー分の実装スペースが発生するのに対し、本実施形態のごとく2層目のリードフレーム13を採用することでスペースを削減できる。さらに配線も短くすることができる。
また、2層目のリードフレーム13の一部(延設部40)は、1層目のリードフレーム12と同じモジュール下面の放熱面Sまで導出されている(図1参照)。この延設部40により、2層目に搭載したパワー半導体素子11の熱を放熱することができる。当該延設部40は、熱伝導性のよい金属、例えば銅製であり、放熱経路として機能しながら、なおかつ一定の熱量を一時的に貯熱しておく熱容量としても機能する。
以上の実施の形態における半導体モジュール1の凹み30の形状、位置、数はこれに限られない。
例えば凹み30は、図3に示すようにリードフレーム13側に尖がる形状、例えば縦断面が三角形状になる形状を有していてもよい。またこの場合、パワー半導体素子10の左右方向の外側に位置する凹み30は、面取りされていてもよい。
また、凹み30は、図4に示すようにリードフレーム13側に凸になめらかに湾曲するものであってもよい。
また、凹み30は、図5に示すようにリードフレーム13の接合面13aの端部ではなく、中央部に形成されていてもよい。中央部に凹み30を形成する場合は、パワー半導体素子10の平面サイズの範囲内で収まる程度の大きさに形成するとよい。
上記実施の形態において、凹み30は、図6に示すように1層目のリードフレーム12におけるパワー半導体素子10が接合する接合面12aにも設けられてもよい。これにより、パワー半導体素子10の接合強度をさらに向上させることができる。また、このとき、凹部30を接合面12aの端部に形成することにより、リードフレーム12、13の熱膨縮による接合面12aのひずみを効果的に吸収し、この結果、接合面12aの端部にクラックや亀裂が発生することを抑制できる。
凹み30は、2層目のリードフレーム13におけるパワー半導体素子10が接合する接合面13a、1層目のリードフレーム12におけるパワー半導体素子10が接合する接合面12aの他、2層目のリードフレーム13におけるパワー半導体素子11が接合する接合面13bに形成されていてもよい。また凹み30は、これらの接合面の少なくとも一つ以上に形成されていてもよい。リードフレーム13の接合面13a以外に凹み30を形成する場合も、上記図3〜図5に示したように凹み30は他の形状を有するものであってもよい。さらに、各接合面における凹み30の数は、1つ、2つに限られず、3つ以上であってもよい。また、接合部の端部に凹み30を形成する場合も、凹み30を両端部に形成する場合に限られず、凹み30を外側の端部だけ、内側の端部だけに形成してもよい。
以上の半導体モジュール1において、2層のリードフレーム12、13のうちの少なくともいずれかに、はんだ20が入り込む貫通孔が形成されていてもよい。例えば図7に示すように2層目のリードフレーム13の接合面13aの中央に上下方向に貫通する貫通孔60が形成されている。こうすることにより、リードフレーム13の接合面13aにおけるはんだ20の接合面積が増大し、接合強度を向上させることができる。なお、この貫通孔60は、リードフレーム12に形成されていてもよいし、リードフレーム12とリードフレーム13の両方に形成されていてもよい。また、貫通孔60の数や位置、形状もこれに限られない。
以上の半導体モジュール1は、車両、各種産業機械及び各種駆動装置等のモータの回路に利用できる。例えば半導体モジュール1は、図8に示すように車両に搭載される駆動装置としての電動パワーステアリング装置100のモータ110に利用することができる。電動パワーステアリング装置100は、例えばコラムタイプのものである。図8において、符号Hはステアリングホイール、符号100aはステアリング入力軸、符号100bはステアリング出力軸、符号111はラック・ピニオン運動変換機構、符号112はウォーム減速機構、符号113はハウジング、符号114はトルクセンサ、符号115はステアリングシャフト、符号116,117は自在継手、符号118は連結部材をそれぞれ示す。
半導体モジュール1は、以下のようにして製造することができる。すなわち、1層目のリードフレーム12、パワー半導体素子10、凹み30を有する2層目のリードフレーム13、パワー半導体素子11を下から交互に積層し、互いにはんだ20で接合し、パワー半導体素子11と1層目のリードフレーム12とをバスバー50により接続する。続いて、エポキシ樹脂の熱硬化性樹脂を用いたトランスファー成形により、パワー半導体素子10、11やリードフレーム12、13を封止してモールド14を形成する。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば上記実施の形態において、半導体モジュール1の立体構造は、2層のリードフレームとパワー半導体素子が積層され、互いに電気的に接続されていれば、パワー半導体素子やリードフレームの配置、大きさ、形状、数、接続など他の構成を有するものであってもよい。パワー半導体素子10はMOSFETであったが、ダイオード、他のトランジスタなどの他のパワー半導体素子であってもよい。半導体モジュール1は、電動パワーステアリング装置100のモータ110以外のメガトルクモータなどの他のモータの電子回路にも適用できる。
本発明は、半導体モジュールの小型化を図りつつ、パワー半導体素子とリードフレームとの接合強度を向上させる際に有用である。
1 半導体モジュール
10、11 パワー半導体素子
12、13 リードフレーム
13a 接合面
14 モールド
20 はんだ
30 凹み
S 放熱面
10、11 パワー半導体素子
12、13 リードフレーム
13a 接合面
14 モールド
20 はんだ
30 凹み
S 放熱面
Claims (9)
- モータを駆動させるための電子回路に用いられる半導体モジュールにおいて、
2層のリードフレームとパワー半導体素子とが積層され、それらがモールドされた立体構造を有し、
前記2層の各リードフレームと前記パワー半導体素子は、はんだにより接合されており、
下から1層目のリードフレーム又は2層目のリードフレームの少なくともいずれかの前記パワー半導体素子と接合する接合面には、前記はんだが入り込む凹みが形成されている、半導体モジュール。 - 前記凹みは、前記リードフレームにおける前記パワー半導体素子との接合面の端部に形成されている、請求項1に記載の半導体モジュール。
- 前記凹みは、前記2層目のリードフレームにおける下層側のパワー半導体素子との接合面に形成されている、請求項1又は2に記載の半導体モジュール。
- 前記2層のリードフレームのうちの少なくともいずれかのリードフレームには、はんだが入り込む貫通孔が形成されている、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体モジュール。
- 前記2層のリードフレームは、モジュール表面に露出する放熱面を有する、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体モジュール。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体モジュールを備えた駆動装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体モジュールを備えた電動パワーステアリング装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体モジュールを備えた車両。
- モータを駆動させるための電子回路に用いられる半導体モジュールの製造方法において、
2層のリードフレームとパワー半導体素子とを積層し、それらをモールドして立体構造を形成し、
前記立体構造を形成するにあたり、前記2層の各リードフレームと前記パワー半導体素子をはんだにより接合し、
下から1層目のリードフレーム又は2層目のリードフレームの少なくともいずれかの前記パワー半導体素子と接合する接合面には、前記はんだが入り込む凹みが形成されている、半導体モジュールの製造方法。
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JP6961784B1 (ja) * | 2020-12-28 | 2021-11-05 | 日立Astemo株式会社 | パワー半導体装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6961784B1 (ja) * | 2020-12-28 | 2021-11-05 | 日立Astemo株式会社 | パワー半導体装置 |
WO2022145097A1 (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-07 | 日立Astemo株式会社 | パワー半導体装置 |
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