JP2018065147A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態に係るレーザ加工方法及びレーザ加工装置について説明する。レーザ加工方法は、被加工物Wの被加工面Waにパルスレーザ光LBを照射して被加工面Waを加工する方法である。レーザ加工方法は、切削工程としてのアブレーション工程と、溶融工程とを有する。アブレーション工程は、凹凸を有する被加工面Waにパルスレーザ光LBを照射して凸部P1を切削する工程である。溶融工程は、アブレーション工程後、被加工面Waに残った凸部P2にパルスレーザ光LBを照射し当該凸部P2を溶融して被加工面Waを平坦(平滑)化する工程である。ここで、被加工物Wは、例えば、金属素材等から形成される。以下、レーザ加工方法及びレーザ加工装置について詳細に説明する。
第二パルスレーザ光LB2は、一定の出力を連続して発振する連続波レーザ光でもよい。
10 レーザ光照射部
110 制御部
LB パルスレーザ光(第一レーザ光、第二レーザ光)
LB1 第一パルスレーザ光(第一レーザ光)
LB2 第二パルスレーザ光(第二レーザ光)
P1、P2 凸部
Q 凹部
r1、r2 スポット径
W 被加工物
Wa 被加工面
W1a 第一被加工面
W2a 第二被加工面
W3 加工平坦面
Claims (4)
- 凹凸を有する第一被加工面に第一レーザ光を照射して前記第一被加工面の凸部を切削し、前記第一被加工面の凸部よりも低い凸部を有する第二被加工面を形成する切削工程と、
前記切削工程の後、前記第二被加工面に前記第一レーザ光とは異なる第二レーザ光を照射して前記第二被加工面の凸部を溶融し前記第二被加工面を平坦化した加工平坦面を形成する溶融工程と、
を有することを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記第一レーザ光は、
一定の繰り返し周波数で発振される第一パルスレーザ光を含み、
前記第二レーザ光は、
一定の繰り返し周波数で発振される第二パルスレーザ光、又は、一定の出力を連続して発振する連続波レーザ光からなり、
前記第一パルスレーザ光は、
前記第二レーザ光よりもレーザ強度のピーク値が高い請求項1に記載のレーザ加工方法。 - 前記切削工程は、
前記第一レーザ光により前記第一被加工面の凸部を切削するアブレーション加工を実施する工程である請求項1又は2に記載のレーザ加工方法。 - 凹凸を有する第一被加工面に、第一レーザ光と、前記第一レーザ光とは異なる第二レーザ光とを照射するレーザ光照射部と、
前記レーザ光照射部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記レーザ光照射部を制御し、前記第一レーザ光により第一被加工面の凸部を切削し前記第一被加工面の凸部よりも低い凸部を有する第二被加工面を形成し、
前記第二レーザ光により前記第二被加工面の凸部を溶融し前記第二被加工面を平坦化した加工平坦面を形成することを特徴とするレーザ加工装置。
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JP2023139408A (ja) * | 2022-03-22 | 2023-10-04 | 株式会社ソディック | レーザ加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08112683A (ja) * | 1994-10-12 | 1996-05-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザーによる表面改質処理方法及び装置 |
JP2016525018A (ja) * | 2013-07-23 | 2016-08-22 | 3デー−ミクロマク アクチェンゲゼルシャフト | 平坦なワークピースを複数の部分に分割する方法及び装置 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08112683A (ja) * | 1994-10-12 | 1996-05-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザーによる表面改質処理方法及び装置 |
JP2016525018A (ja) * | 2013-07-23 | 2016-08-22 | 3デー−ミクロマク アクチェンゲゼルシャフト | 平坦なワークピースを複数の部分に分割する方法及び装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020202976A1 (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-08 | ||
WO2020202976A1 (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-08 | 東京エレクトロン株式会社 | レーザー加工装置、基板処理システム、レーザー加工方法、および基板処理方法 |
TWI812848B (zh) * | 2019-04-05 | 2023-08-21 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理系統及基板處理方法 |
JP2023139408A (ja) * | 2022-03-22 | 2023-10-04 | 株式会社ソディック | レーザ加工装置 |
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