JP2018063968A - 冷却装置、排ガス処理装置、制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めながら、省電力化を図れるようにする。【解決手段】冷却装置１１を、第１クーリングプレート１と、第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレート２と、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部３とを備えるものとする。【選択図】図１

Description

本発明は、冷却装置、排ガス処理装置、制御方法に関する。

従来、電子部品を冷却する冷却装置として、クーリングプレートを用いたものがある。
例えば、電子部品を実装する部品実装基板の表面側及び裏面側のそれぞれにクーリングプレートを設けたものがある。このほか、例えば、プレート積層型冷却装置もある。

特開２０１１−０１７５１６号公報 特開２０１４−０８２３６３号公報

ところで、近年、ディーゼルエンジンで発生する黒鉛などを捕集するディーゼル微粒子捕集フィルタ（Diesel Particulate Filter；ＤＰＦ）に溜まった微粒子にマイクロ波を照射し、燃焼させて再生する排ガス処理装置の開発、あるいは、移動通信基地局用にマイクロ波の高出力送信アンプの開発などが進められている。
例えば、排ガス処理装置に用いられるマイクロ波発生源は、排ガスの熱によって周囲の温度が高温になるため、マイクロ波発生源（特にマイクロ波増幅器）の温度が通常の温度以上に上昇してしまう場合がある。この場合、マイクロ波発生源の温度が通常の温度よりも低いときを通常時といい、通常の温度よりも高いときを非通常時という。

また、例えば、高出力送信アンプに用いられるマイクロ波増幅器は、メインアンプとピークアンプとを備え、通常時はメインアンプのみを動作させ、メインアンプのみでは十分な出力が得られなくなる非通常時はメインアンプに加えてピークアンプも動作させることになる。
このような場合、通常時だけでなく非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めるべく、例えば、冷却装置に備えられるクーリングプレートの数を増やすことが考えられる。

しかしながら、非通常時と同様に通常時にも全てのクーリングプレートに冷媒を供給して冷却を行なうこととすると、通常時には必要以上に冷却を行なうことになり、クーリングプレートへの冷媒の供給に要する電力が無駄になる。
本発明は、非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めながら、省電力化を図れるようにすることを目的とする。

１つの態様では、冷却装置は、第１クーリングプレートと、第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備える。
１つの態様では、排ガス処理装置は、排ガスに含まれる微粒子を処理するためのマイクロ波発生源と、マイクロ波発生源を冷却する冷却装置とを備え、冷却装置は、マイクロ波発生源上に設けられた第１クーリングプレートと、第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備える。

１つの態様では、制御方法は、制御部が、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、制御部が、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート及び第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう。

１つの側面として、非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めながら、省電力化を図れるという効果を有する。

本実施形態にかかる冷却装置の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる冷却装置及び排ガス処理装置の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる冷却装置に備えられる第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートの構成の一例を示す模式図である。 本実施形態にかかる冷却装置に備えられる第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートの構成の他の例を示す模式図である。 本実施形態にかかる冷却装置における制御方法の一例を説明するためのフローチャートである。 本実施形態にかかる冷却装置及び排ガス処理装置に備えられる断熱構造の一例を示す模式図である。 本実施形態にかかる冷却装置による効果を説明するための図である。 本実施形態の第１変形例にかかる冷却装置の構成を示す模式図である。 本実施形態の第１変形例にかかる冷却装置における制御方法の一例を説明するためのフローチャートである。 本実施形態の第２変形例にかかる冷却装置の構成を示す模式図である。 本実施形態の第２変形例にかかる冷却装置における制御方法の一例を説明するためのフローチャートである。

以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる冷却装置、排ガス処理装置、制御方法について、図１〜図１１を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる冷却装置は、図１に示すように、第１クーリングプレート１と、第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２と、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう制御部３とを備える。

本実施形態では、第１クーリングプレート１の上面と第２クーリングプレート２の下面とが接合されている。
ここで、制御部３は、被冷却物１０の温度に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なうようにすれば良い（例えば図１参照）。

また、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒供給管４と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒供給管５と、第１冷媒供給管４に設けられた第１ポンプ６と、第２冷媒供給管５に設けられた第２ポンプ７とを備えるものとし、制御部３は、通常時に第１ポンプ６を制御して第１クーリングプレート１に供給する冷媒の流量を調整し、非通常時に第１ポンプ６及び第２ポンプ７を制御して第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整するようにすれば良い（例えば図１参照）。

また、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２を断熱する断熱構造を備えるものとしても良い（例えば図２、図６参照）。
この場合、断熱構造として、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２を覆う断熱材を備えるものとすれば良い（例えば図２参照）。
また、これに限られるものではなく、断熱構造として、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の周囲を真空状態にして断熱する真空断熱構造を備えるものとしても良い（例えば図６参照）。

また、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒供給管４と、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒排出管８と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒供給管５と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒排出管９と、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を断熱する断熱構造を備えるものとしても良い。

この場合、断熱構造として、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を覆う断熱材を備えるものとすれば良い。
また、これに限られるものではなく、断熱構造として、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９の周囲を真空状態にして断熱する真空断熱構造を備えるものとしても良い。

また、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒供給管４と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒供給管５とを備えるものとし、第１クーリングプレート１は、スリット状の流路１５を備え、側面に第１冷媒供給管４が接続されているものとし、第２クーリングプレート２は、柱状の突起１７を有する流路を備え、上面に第２冷媒供給管５が接続されているものとしても良い（例えば図４参照）。

上述のように構成される冷却装置（冷却構造）１１では、制御部３が、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、制御部３が、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート１及び第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう。
つまり、本実施形態の制御方法は、制御部３が、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、制御部３が、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート１及び第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう。

以下、本実施形態の冷却装置１１を、図２に示すように、排ガス処理装置１２に用いられるマイクロ波発生源（特にマイクロ波増幅器）１０Ｘを冷却する冷却装置に適用する場合を例に挙げて説明する。
この場合、排ガス処理装置１２は、排ガスに含まれる微粒子を処理するためのマイクロ波発生源１０Ｘと、マイクロ波発生源１０Ｘを冷却する冷却装置１１とを備える。

ここで、マイクロ波発生源１０Ｘは、マイクロ波増幅器を含む。つまり、マイクロ波発生源１０Ｘは、金属筐体の中にマイクロ波増幅器を備えるものとして構成される。そして、冷却装置１１は、マイクロ波発生源１０Ｘに含まれるマイクロ波増幅器を冷却するものである。
このような排ガス処理装置１２は、例えば、ディーゼルエンジンから排気されるガスに含まれるすす、ＰＭ、黒鉛などを捕集するディーゼル微粒子捕集フィルタ１３に溜まった微粒子にマイクロ波を照射して燃焼させるために、排ガス浄化装置（Diesel Particulate Defuser）１４のディーゼル微粒子捕集フィルタ１３が設けられている箇所に取り付けられる。

そして、冷却装置１１は、液冷方式を用いた冷却装置であって、図１、図２に示すように、マイクロ波発生源１０Ｘ上に設けられた第１クーリングプレート１と、第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２と、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時（非常時）に第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう制御部（制御器）３とを備える。

ここでは、後述するように、被冷却物であるマイクロ波増幅器の温度に基づいて、通常時であるか、非通常時であるかを判定するようになっている。つまり、マイクロ波増幅器の温度が基準設定値以下である時を通常時であると判定し、基準設定値よりも高い時を非通常時であると判定するようになっている。例えば、マイクロ波増幅器が動作していない時、及び、マイクロ波増幅器が動作しており、マイクロ波増幅器の温度が基準設定値以下である時が、通常時であると判定されることになる。一方、マイクロ波増幅器が動作しており、マイクロ波増幅器の温度が基準設定値よりも高くなっている時が、非通常時であると判定されることになる。

なお、ここでは、マイクロ波増幅器が動作していない時も通常時に含め、第１クーリングプレート１による冷却を行なうようにしているが、これは、マイクロ波増幅器が動作していない時も、エンジンが動いていると、排気ガスの熱で周囲の温度が約１００℃程度の高温になり、また、夏などにも周囲の温度が高くなるため、電子部品であるマイクロ波増幅器が高温にならないようにして、その劣化を防止するためである。

また、マイクロ波発生源１０Ｘの上面と第１クーリングプレート１の下面（底板）が接合され、第１クーリングプレート１の上面（天板）と第２クーリングプレート２の下面（底板）が接合されて、マイクロ波発生源１０Ｘ上に第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２が積層されている。
この場合、第１クーリングプレート１は、マイクロ波発生源１０Ｘ（特にマイクロ波増幅器）から熱を奪って冷却し、第２クーリングプレート２は、第１クーリングプレート１から熱を奪って冷却することになる。

また、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の内部は、例えば図３、図４に示すように、スリット状の流路１５、１６、又は、柱状の突起１７を有する流路が形成されており、底板と天板との間が熱的に結合されている。
また、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒供給管４と、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒排出管８と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒供給管５と、第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒排出管９とを備える。ここでは、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９は、例えば銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、ステンレス材などからなる金属配管である。

ここでは、第１冷媒供給管４及び第１冷媒排出管８の他端は、図１に示すように、第１熱交換器１８に接続されており、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９の他端は、第２熱交換器１９に接続されている。
また、ここでは、図３に示すように、第１クーリングプレート１は、スリット状の流路１５を備え、側面に第１冷媒供給管４及び第１冷媒排出管８が接続されている。また、第２クーリングプレート２は、スリット状の流路１６を備え、側面に第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９が接続されている。

なお、図４に示すように、第１クーリングプレート１は、スリット状の流路１５を備え、側面に第１冷媒供給管４が接続されているものとし、第２クーリングプレート２は、柱状の突起１７を有する流路を備え、上面に第２冷媒供給管５が接続されているものとしても良い。これにより、ホットスポットに対して効果的な冷却を行なうことが可能となる。
また、図１に示すように、第１冷媒供給管４に設けられた第１ポンプ６と、第２冷媒供給管５に設けられた第２ポンプ７とを備える。

そして、制御部３は、通常時に第１ポンプ６を制御して第１クーリングプレート１に供給する冷媒の流量を調整し、非通常時に第１ポンプ６及び第２ポンプ７を制御して第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整する。
ここでは、制御部３は、第１ポンプ６に接続された第１電源２０を制御することで、第１ポンプ６を制御し、第２ポンプ７に接続された第２電源２１を制御することで、第２ポンプ７を制御するようになっている。

このように、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２には、それぞれ個別に、冷媒供給管４、５及び冷媒排出管８、９が取り付けられており、それぞれの配管４、５、８、９に流れる冷媒の流量を個別に調整することができるようになっている。また、第１クーリングプレート１と第２クーリングプレート２は、個別のポンプ６、７を用いて、それぞれ独立して流量調整が可能になっている。

ここでは、被冷却物１０としてのマイクロ波発生源１０Ｘに備えられるマイクロ波増幅器に設けられた温度測定部２２を備える。
ここで、温度測定部２２は、例えば、温度センサ、熱電対、赤外線センサなどである。
そして、制御部３は、温度測定部２２によって測定されたマイクロ波増幅器の温度に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なう。

このように、制御部３は、被冷却物１０の温度に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なう。つまり、被冷却物１０の温度をモニタして第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の流量調整を行なう。
なお、ここでは、制御部３は、マイクロ波増幅器（マイクロ波発生源１０Ｘ）の制御も行なうようになっている。

次に、このような制御系を備える冷却装置１１における制御方法について説明する。
本実施形態では、制御部３が、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、制御部３が、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート１及び第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう。

具体的には、以下のような制御を行なう。
図５に示すように、通常時、即ち、通常動作では、マイクロ波発生源１０Ｘに含まれるマイクロ波増幅器の動作と連動して、制御部３は、第１ポンプ６を動作させる制御を行なう（ステップＳ１）。
つまり、制御部３は、マイクロ波増幅器を稼動させると、これに連動して、第１電源２０を制御して、第１ポンプ６を稼動させる。

これにより、冷媒が第１冷媒供給管４、第１クーリングプレート１、第１冷媒排出管８、第１熱交換器１８を循環し、第１クーリングプレート１のみによってマイクロ波増幅器（マイクロ波発生源１０Ｘ）の冷却が行なわれる（図１参照）。
そして、制御部３は、マイクロ波増幅器に内蔵された温度測定部（温度センサ）２２によって測定される温度をモニタしながら、全体の冷却系の制御を行なう（ステップＳ２〜ステップＳ１３）。

つまり、まず、制御部３は、温度測定部２２によって測定された温度を取り込み（ステップＳ２）、その温度（温度センサの値）が、予め定めてある基準設定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ３）。
ここでは、基準設定値は、マイクロ波増幅器を動作させるのに適した温度に設定されている。この基準設定値を超えた状態でマイクロ波増幅器の動作を継続するとマイクロ波増幅器の寿命に影響を与えることになる。

この判定の結果、基準設定値以下であると判定した場合、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、温度をモニタしながら、第１ポンプ６を動作させる制御を継続する。
一方、基準設定値を超えたと判定した場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、第２ポンプ７を動作させる制御を行なう（ステップＳ４）。つまり、制御部３は、第２電源２１を制御して、第２ポンプ７を稼動させる。

これにより、冷媒が第２冷媒供給管５、第２クーリングプレート２、第２冷媒排出管９、第２熱交換器１９を循環し、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２によってもマイクロ波増幅器（マイクロ波発生源１０Ｘ）の冷却が行なわれる（図１参照）。
そして、制御部３は、温度測定部２２によって測定された温度を取り込み（ステップＳ５）、その温度（温度センサの値）が、予め定めてある基準設定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ６）。

この判定の結果、基準設定値以下であると判定した場合、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、マイクロ波による処理が完了するまで、温度をモニタしながら、第２ポンプ７を動作させる制御を継続し、ステップＳ７で、マイクロ波による処理が完了したと判定したら、制御を終了する。
一方、基準設定値を超えたと判定した場合、即ち、第２ポンプ７を動作させても温度測定部２２によって測定された温度が基準設定値以下にならない場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、第１ポンプ６及び第２ポンプ７の動作状況を確認する（ステップＳ８）。

ここでは、第１ポンプ６及び第２ポンプ７の動作状況は、例えば回転数、電圧、電流などをモニタすることによって行なう。
この判定の結果、両方のポンプ６、７が動作（稼動）していると判定した場合は、冷却能力の限界であると考えられるため、制御部３は、その時の温度が限界設定値以下であるか否かを判定し（ステップＳ９）、限界設定値以下であると判定した場合、即ち、限界設定値を超えていないと判定した場合は、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、マイクロ波による処理が完了するまで、制御を継続し、ステップＳ１０で、マイクロ波による処理が完了したと判定したら、制御を終了する。ここで、限界設定値は、マイクロ波増幅器の限界温度に設定されている。

一方、ステップＳ９で、限界設定値以下でないと判定した場合、即ち、限界設定値を超えていると判定した場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、マイクロ波増幅器を停止させて（ステップＳ１１）、制御を終了する。
ところで、ステップＳ８で、第１ポンプ６及び第２ポンプ７の動作状況を確認した結果、いずれか一方のポンプが停止しているなど動作不良を起こしていると判定した場合は、制御部３は、その時の温度が限界設定値以下であるか否かを判定し（ステップＳ１２）、限界設定値以下であると判定した場合、即ち、限界設定値を超えていないと判定した場合は、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、マイクロ波による処理が完了するまで、制御を継続し、ステップＳ１３で、マイクロ波による処理が完了したと判定したら、制御を終了する。

一方、ステップＳ１２で、限界設定値以下でないと判定した場合、即ち、限界設定値を超えていると判定した場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、マイクロ波増幅器を停止させて（ステップＳ１１）、制御を終了する。
ところで、排ガス処理装置１２は、排ガス浄化装置１４に取り付けられるため（図２参照）、排気ガスの熱によって、その周囲の温度は例えば約１００℃程度になる。また、夏などに周囲の温度が高くなることもある。

このため、周囲の温度の影響を小さくするために、図２に示すように、第１クーリングプレート及び第２クーリングプレートを断熱する断熱構造２３を備える。これにより、高温である周囲から受ける熱を低減し、冷却性能の低下を抑制し、冷却性能を確保することができる。
この場合、断熱構造２３として、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２を覆う断熱材２３Ｘを備えるものとすれば良い。

ここでは、マイクロ波発生源１０Ｘも断熱材２３Ｘによって覆われるようにしている。つまり、マイクロ波発生源１０Ｘ、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２は、断熱材２３Ｘによって覆われている。そして、これらをカバー２４（例えばステンレスなどの金属製のカバー）で覆い、カバー２４を排ガス浄化装置１４に取り付けている。

ここで、断熱材２３Ｘとしては、例えば、ガラスウール、羊毛などの繊維系や硬質ウレタンフォーム、フェノールフォームなどの発砲樹脂系など、外部の熱を遮断できる材料を使用すれば良い。
また、断熱性をさらに高めたい場合には、例えば、図６に示すように、断熱構造２３として、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の周囲を真空状態にして断熱する真空断熱構造２３Ｙを備えるものとすれば良い。なお、図６では、説明を分かり易くするために、真空断熱構造２３Ｙになっている部分に模様を付している。

ここでは、マイクロ波発生源１０Ｘも真空断熱構造２３Ｙによって断熱されるようになっている。
この場合、マイクロ波発生源１０Ｘ、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２を覆うようにカバー２４を設け、その内部を真空状態にして真空断熱構造２３Ｙとすれば良い。

例えば、カバー２４の内部、即ち、マイクロ波発生源１０Ｘ、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の周囲の真空断熱構造２３Ｙとなる部分を真空引きし、真空引き口に設けられたパイプ部をピンチオフして真空状態が保持されるようにすれば良い。
また、例えば、図６に示すように、例えば第１クーリングプレート１と第１ポンプ６の間の冷媒供給管４にアスピレータ又はエジェクタ２５を設け、これの減圧口に減圧用パイプ２６の一端を取り付け、この減圧用パイプ２６の他端をカバー２４の真空引き口に取り付け、水冷系の冷媒を利用してアスピレータ又はエジェクタ２５を動作させて、中央部のベンチュリ効果によって減圧された減圧口に減圧用パイプ２６を介して接続された真空断熱構造２３Ｙとなる部分を真空引きし、ポンプ動作時は常時真空状態が保持されるようにしても良い。

さらに、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を断熱する断熱構造を備えるものとしても良い。つまり、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を、断熱管としても良い。これにより、高温である周囲から受ける熱を低減し、冷却性能の低下を抑制し、冷却性能を確保することができる。

例えば、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９に、壁が２重構造になっており（２重管構造）、その内部が真空になっている金属配管を用いれば良い。この場合、断熱構造として、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９が真空断熱構造を備えるものとなる。
また、例えば、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を構成する金属配管（金属材による一層配管）の外部を断熱材で覆っても良い。この場合、断熱構造として、第１冷媒供給管４、第１冷媒排出管８、第２冷媒供給管５及び第２冷媒排出管９を覆う断熱材を備えるものとなる。なお、断熱材としては、上述のクーリングプレート１、２を覆う断熱材と同様の断熱材を用いれば良い。

ところで、上述のように、液冷方式で強制循環用のポンプを用いた冷却装置に備えられるクーリングプレートを、底板と天板が熱的に結合している第１クーリングプレート１上に第２クーリングプレート２を搭載した構造とし、それぞれ独立して制御できるようにしている。
これにより、通常（通常時）は、第１クーリングプレート１で冷却を行なうが、周囲の温度の影響などで冷却能力に不足が予測される場合（非通常時）は、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２が動作して冷却能力をアシストし、冷却性能の低下を抑制できるようになっている。

このように、第１クーリングプレート１と第２クーリングプレート２を積層して２つのクーリングプレート１、２の流量を独立に調整できるようにし、通常時に第１クーリングプレート１のみを用い、非通常時に第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２も用いるようにしている。
これにより、大きな面積を必要とせず、省スペース化を図りながら、非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めながら、例えば２つのクーリングプレートを常時用いる場合と比較して、省電力化を図れるようにしている。

また、このような構成とすることで、第１クーリングプレート１が動作不良を起こした場合などにも、第２クーリングプレート２で冷却を行なうことが可能となり、急激な温度上昇を抑制することができる。
このため、第１クーリングプレート１を保守するまでの間、第２クーリングプレート２で冷却を続けることで、冗長性を持たせることも可能である。

なお、上述の実施形態では、２つのクーリングプレート１、２を用いる場合を例に挙げて説明しているが、クーリングプレートの数は、これに限られるものではなく、２つ以上のクーリングプレートを用いれば良い。
この場合、最も上側に位置するクーリングプレート以外のクーリングプレートは、底板と天板が熱的に結合しているものとし、最も上側に位置するクーリングプレートは、噴流冷却のように中央の上部から冷媒を供給する構造とするのが好ましい。これにより、ホットスポットに対して効果的な冷却を行なうことが可能となる。

具体的には、マイクロ波増幅器を含むマイクロ波発生源１０Ｘのサイズ（大きさ）が約６０ｍｍ×約６０ｍｍの場合、第１クーリングプレート１は、サイズを約８０ｍｍ×約６０ｍｍとし、底板にスリット状の流路１５を設け、これを天板にロウ付け又は溶接したものとし、第２クーリングプレート２は、サイズを約６０ｍｍ×約６０ｍｍとし、底板にサイズ約１ｍｍ×約１ｍｍ、高さ約３ｍｍの柱状の突起１７を約０．５ｍｍ間隔で格子状に設け、これを天板にロウ付け又は溶接したものとすれば良い。

また、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２の材質は、無酸素銅を用いたものとすれば良い。
また、液冷用の冷媒としては、純水を用い、循環用ポンプ６、７で毎分約０．８Ｌの流量で供給するようにすれば良い。
また、熱交換器１８、１９としては、コルゲートフィンタイプのラジエータを用いれば良い。

また、マイクロ波増幅器を含むマイクロ波発生源１０Ｘ、第１クーリングプレート１、第２クーリングプレート２のそれぞれの界面に熱伝導の良いグリース材を介在させて、これらを互いに結合すれば良い。
このような具体的な構成例による冷却装置１１を用い、マイクロ波発生源１０Ｘに含まれるマイクロ波増幅器の発熱量を変化させて、以下の３つの条件でクーリングプレート１、２を動作させて、マイクロ波増幅器の表面温度（部品表面温度）を測定したところ、図７に示すような結果が得られた。

ここでは、第１クーリングプレート１のみを動作させた場合（ＣＰ１）、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２も動作させた場合（ＣＰ１＋ＣＰ２）、第２クーリングプレート２のみを動作させた場合（ＣＰ２）の３つの条件で、マイクロ波増幅器の発熱量を変化させて、その表面温度を測定した。
図７では、第１クーリングプレート１のみを動作させて冷却した場合（ＣＰ１）の表面温度を１００％として示している。

図７に示すように、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２を動作させて冷却した場合（ＣＰ１＋ＣＰ２）、マイクロ波増幅器の表面温度が１００％未満になり、冷却性能が向上していることがわかる。
また、第２クーリングプレート２のみを動作させて冷却した場合（ＣＰ２）、第２クーリングプレート２はマイクロ波増幅器から遠い側に設けられているため（即ち、第２クーリングプレート２はマイクロ波増幅器に第１クーリングプレート１を介して取り付けられているため）、マイクロ波増幅器の表面温度は高くなる傾向にはあるが、それぞれの発熱量ではマイクロ波増幅器が一定温度に保たれており、冗長性を持つことも確認できる。

ところで、上述のように構成しているのは、以下の理由による。
近年、移動通信基地局用にマイクロ波の高出力送信アンプの開発、ディーゼルエンジンで発生する黒鉛などを捕集するディーゼル微粒子捕集フィルタに溜まった微粒子にマイクロ波を照射し、燃焼させて再生する装置の開発などが進んでおり、マイクロ波用のアンプが様々な分野で利用されている。

マイクロ波を高性能な増幅器によって増幅することで高出力が得られるが、それに伴ってデバイスの発熱量が大きくなり、性能安定性や長寿命化のために、その冷却が重要になってきている。
例えば、マイクロ波発生器は、高出力を得るためにマイクロ波を増幅する回路（マイクロ波増幅器）があり、ここから連続波（CW：Continuous Wave）でマイクロ波を発信させると部品自体の温度が上昇し、部品寿命が短くなってしまう。また、冷却性能が悪い場合は部品そのものが破壊してしまうおそれがある。

このため、様々な利用シーンにおいて、マイクロ波増幅器の温度を必要以上に上昇させないように効果的な冷却を行うことが重要である。
例えば、ディーゼルエンジンのディーゼル微粒子捕集フィルタの周囲の温度は高温であり、クーリングプレートは周囲からも熱を受けるため、限られたスペースで、限られた電源供給で、必要な冷却性能に対して、電力効率を上げて冷却することが重要である。

また、例えばポンプなどが故障したり、配管にごみがつまったりするなどして、冷却系が突然動作停止状態になりそうな状況下でも、部品を故障させないために、冗長性（又は延命性）を持たせて、マイクロ波増幅器を動作させることも重要である。
そこで、上述のように構成している。
したがって、本実施形態にかかる冷却装置、排ガス処理装置、制御方法によれば、非通常時においても冷却性能が確保されるようにして装置の信頼性を高めながら、省電力化を図れるという効果を有する。

なお、上述の実施形態では、第１冷媒供給管４に設けられた第１ポンプ６と、第２冷媒供給管５に設けられた第２ポンプ７とを備えるものとし、制御部３が、通常時に第１ポンプ６を制御して第１クーリングプレート１に供給する冷媒の流量を調整し、非通常時に第１ポンプ６及び第２ポンプ７を制御して第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整するようにしているが、これに限られるものではない。

例えば、図８に示すように、第１冷媒供給管４及び第２冷媒供給管５に接続された流量調整器３０と、流量調整器３０に接続された第３冷媒供給管３１と、第３冷媒供給管３１に設けられたポンプ３２とを備えるものとし、制御部３は、通常時にポンプ３２及び流量調整器３０を制御して第１クーリングプレート１に供給する冷媒の流量を調整し、非通常時にポンプ３２及び流量調整器３０を制御して第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整するようにしても良い。これを第１変形例という。

この場合、第１クーリングプレート１と第２クーリングプレート２は、１つのポンプ３２を用い、流量調整器３０を用いて、それぞれ独立して流量調整が可能となる。このように、ポンプを１つにして、２つのクーリングプレート１、２を独立に制御することも可能である。
具体的には、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒供給管４及び第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒供給管５を、流量調整器３０及び第３冷媒供給管３１を介して、熱交換器３３に接続し、第３冷媒供給管３１にポンプ３２を設ければ良い。

このようにして、ポンプ３２の下流側に流量調整器３０が設けられるようにし、第１クーリングプレート１側、第２クーリングプレート２側のそれぞれに流す流量を調整できるようにすれば良い。
この場合、流量調整器３０、及び、ポンプ３２に接続された電源３４に制御部３を接続し、制御部３によって、流量調整器３０及びポンプ３２を制御して、第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整できるようにすれば良い。

なお、この場合、１つの熱交換器３３を用いれば良くなるため、第１クーリングプレート１に接続された第１冷媒排出管８及び第２クーリングプレート２に接続された第２冷媒排出管９を合流させて熱交換器３３に接続すれば良い。
このようにして冷却装置１１を構成する場合、その制御方法は、以下のようにすれば良い。

図９に示すように、通常時、即ち、通常動作では、マイクロ波発生源１０Ｘに含まれるマイクロ波増幅器の動作と連動して、制御部３は、ポンプ３２を動作させる制御を行ない（ステップＡ１）、さらに、流量調整器３０の第１クーリングプレート１側をオープンにする制御を行なう（ステップＡ２）。
つまり、制御部３は、マイクロ波発生源１０Ｘに含まれるマイクロ波増幅器を稼動させると、これに連動して、電源３４を制御して、ポンプ３２を稼動させるとともに、流量調整器３０の第１クーリングプレート１側をオープンにする。

これにより、冷媒が第１クーリングプレート１側のみに流れ、即ち、冷媒が第３冷媒供給管３１、第１冷媒供給管４、第１クーリングプレート１、第１冷媒排出管８、熱交換器３３を循環し、第１クーリングプレート１のみによってマイクロ波増幅器（マイクロ波発生源１０Ｘ）の冷却が行なわれる（図８参照）。
そして、制御部３は、マイクロ波増幅器に内蔵された温度測定部（温度センサ）２２によって測定される温度をモニタしながら、全体の冷却系の制御を行なう（ステップＡ３〜ステップＡ１１）。

つまり、まず、制御部３は、温度測定部２２によって測定された温度を取り込み（ステップＡ３）、その温度（温度センサの値）が、予め定めてある基準設定値以下であるか否かを判定する（ステップＡ４）。
ここでは、基準設定値は、マイクロ波増幅器を動作させるのに適した温度に設定されている。この基準設定値を超えた状態でマイクロ波増幅器の動作を継続するとマイクロ波増幅器の寿命に影響を与えることになる。

この判定の結果、基準設定値以下であると判定した場合、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、温度をモニタしながら、ポンプ３２を動作させる制御、及び、流量調整器３０の第１クーリングプレート１側をオープンにする制御を継続する。
一方、基準設定値を超えたと判定した場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、流量調整器３０の第１クーリングプレート１側に加えて第２クーリングプレート２側もオープンにする制御を行なう（ステップＡ５）。

これにより、冷媒が第２クーリングプレート２側にも流れ、即ち、冷媒が第２冷媒供給管５、第２クーリングプレート２、第２冷媒排出管９にも循環し、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２によってもマイクロ波増幅器（マイクロ波発生源１０Ｘ）の冷却が行なわれる（図８参照）。
そして、制御部３は、温度測定部２２によって測定された温度を取り込み（ステップＡ６）、その温度（温度センサの値）が、予め定めてある基準設定値以下であるか否かを判定する（ステップＡ７）。

この判定の結果、基準設定値以下であると判定した場合、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、マイクロ波による処理が完了するまで、温度をモニタしながら、流量調整器３０の第２クーリングプレート２側もオープンにする制御を継続し、ステップＡ８で、マイクロ波による処理が完了したと判定したら、制御を終了する。
一方、基準設定値を超えたと判定した場合、即ち、第２クーリングプレート２側にも冷媒を流しても温度測定部２２によって測定された温度が基準設定値以下にならない場合は、冷却能力の限界であると考えられるため、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、その時の温度が限界設定値以下であるか否かを判定し（ステップＡ９）、限界設定値以下であると判定した場合、即ち、限界設定値を超えていないと判定した場合は、ＬＯＷルートへ進み、制御部３は、マイクロ波による処理が完了するまで、制御を継続し、ステップＡ１０で、マイクロ波による処理が完了したと判定したら、制御を終了する。ここで、限界設定値は、マイクロ波増幅器の限界温度に設定されている。

一方、ステップＡ９で、限界設定値以下でないと判定した場合、即ち、限界設置値を超えていると判定した場合は、ＨＩＧＨルートへ進み、制御部３は、マイクロ波増幅器を停止させて（ステップＡ１１）、制御を終了する。
ところで、上述の実施形態及び第１変形例では、排ガス処理装置１２に用いられるマイクロ波発生源１０Ｘ（特にマイクロ波増幅器）を冷却する冷却装置１１に本発明を適用する場合を例に挙げて説明しているが、これに限られるものではなく、例えば、基地局用のマイクロ波の高出力送信アンプに用いられるマイクロ波増幅器を冷却する冷却装置に本発明を適用することもできる。これを第２変形例という。

この場合、制御部３は、被冷却物１０の出力信号に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なうようにすれば良い（図１０参照）。
つまり、被冷却物１０であるマイクロ波増幅器１０Ｙのマイクロ波信号の出力（出力信号）を検知して、通常時及び非通常時に第１クーリングプレート１、第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整するようにすれば良い（図１０参照）。

なお、上述の実施形態及び第１変形例の場合と同様に、制御部３が、被冷却物１０の温度に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なうようにしても良い。
このように、基地局用のマイクロ波の高出力送信アンプに用いられるマイクロ波増幅器１０Ｙを冷却する冷却装置１１に本発明を適用する場合（図１０参照）、電子装置は、マイクロ波増幅器１０Ｙと、マイクロ波増幅器１０Ｙを冷却する冷却装置１１とを備え、冷却装置１１が、マイクロ波増幅器１０Ｙ上に設けられた第１クーリングプレート１と、第１クーリングプレート１上に設けられた第２クーリングプレート２と、通常時に第１クーリングプレート１に冷媒を供給する制御を行ない、通常時以外の非通常時に第１クーリングプレート１及び第２クーリングプレート２に冷媒を供給する制御を行なう制御部３とを備えるものとなる。

また、マイクロ波増幅器１０Ｙが、第１アンプ４０と、第１アンプ４０に並列に接続された第２アンプ４１とを備え、制御部３が、マイクロ波増幅器１０Ｙに備えられる第２アンプ４１の出力信号に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて通常時の制御及び非通常時の制御を行なうようにすれば良い（図１０参照）。
具体的には、基地局用のマイクロ波の高出力送信アンプに用いられるマイクロ波増幅器１０Ｙとして、基地局用マイクロ波送信用ドハティ増幅器を備える場合がある。

ここで、図１０に示すように、ドハティ増幅器１０Ｙでは、メインアンプ（第１アンプ）４０とピークアンプ（第２アンプ）４１が、並列に接続されて、増幅器筐体内に実装されている。なお、図１０中、符号４２は信号入力端子（同軸コネクタ）であり、符号４３は信号出力端子（同軸コネクタ）である。
そして、ドハティ増幅器１０Ｙでは、メインアンプ４０が最初に動作し始め、メインアンプ４０が最大効率で動作し、さらに入力を増加させていくとピークアンプ４１が動作して、最終的に両方のアンプ４０、４１で単体アンプの２倍の飽和出力が得られるようになっている。

このようなドハティ増幅器１０Ｙを、上述の実施形態のように構成される冷却装置１１によって冷却する場合、温度測定部２２を設けて温度に基づいて制御を行なうのに代えて、出力信号検知部４４、４５を設けて出力信号に基づいて制御を行なうようにすれば良い。
この場合、メインアンプ４０の出力信号を検知するメインアンプ出力信号検知部（第１出力信号検知部）４４と、ピークアンプ４１の出力信号を検知するピークアンプ出力信号検知部（第２出力信号検知部）４５とを備えるものとし、これらの出力信号検知部４４、４５を制御部３に接続し、これらの出力信号検知部４４、４５によって検知された出力信号に基づいて、通常時及び非通常時に第１クーリングプレート１、第２クーリングプレート２に供給する冷媒の流量を調整する制御を行なうようにすれば良い。

また、制御部３は、メインアンプ４０及びピークアンプ４１の動作も制御するようにすれば良い。
また、制御部３は、被冷却物１０の出力信号に基づいて通常時であるか非通常時であるかを判定すれば良い。例えば、被冷却物１０であるドハティ増幅器１０Ｙに含まれるピークアンプ４１の出力信号を検知していない時を通常時であると判定し、ピークアンプ４１の出力信号を検知している時を非通常時であると判定するようにすれば良い。

このようにして冷却装置１１を構成する場合、その制御方法は、以下のようにすれば良い。
図１１に示すように、通常時、即ち、通常動作では、ドハティ増幅器１０Ｙに備えられるメインアンプ４０の動作と連動して、制御部３は、第１ポンプ６を動作させる制御を行なう（ステップＢ１）。

つまり、制御部３は、ドハティ増幅器１０Ｙに備えられるメインアンプ４０を稼動させたら［ここではメインアンプ出力信号検知部４４によって検知されるメインアンプ４０の出力信号（信号出力）をモニタし、メインアンプ４０の出力信号を検知したら］、これに連動して、第１電源２０を制御して、第１ポンプ６を稼動させる。
これにより、冷媒が第１冷媒供給管４、第１クーリングプレート１、第１冷媒排出管８、第１熱交換器１８を循環し、第１クーリングプレート１のみによってドハティ増幅器１０Ｙの冷却が行なわれる（図１０参照）。

そして、制御部３は、ドハティ増幅器１０Ｙに内蔵されたピークアンプ出力信号検知部４５によって検知されるピークアンプ４１の出力信号をモニタしながら、全体の冷却系の制御を行なう（ステップＢ２〜ステップＢ７）。
つまり、まず、制御部３は、ピークアンプ出力信号検知部４５によって検知されるピークアンプ４１の出力信号（信号出力）をモニタし（ステップＢ２）、ピークアンプ４１の出力信号を検知しているか否かを判定する（ステップＢ３）。

この判定の結果、ピークアンプ４１の出力信号を検知していないと判定した場合、即ち、ピークアンプ４１が動作していないと判定した場合、ＮＯルートへ進み、制御部３は、ピークアンプ４１の出力信号をモニタしながら、第１ポンプ６を動作させる制御を継続する。
一方、ピークアンプ４１の出力信号を検知していると判定した場合、即ち、ピークアンプ４１が動作を始めたと判定した場合は、ＹＥＳルートへ進み、制御部３は、第２ポンプ７を動作させる制御を行なう（ステップＢ４）。つまり、制御部３は、第２電源２１を制御して、第２ポンプ７を稼動させる。

これにより、冷媒が第２冷媒供給管５、第２クーリングプレート２、第２冷媒排出管９、第２熱交換器１９を循環し、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２によってもドハティ増幅器１０Ｙの冷却が行なわれる（図１０参照）。これにより、２つのアンプ４０、４１の発熱を効果的に冷却することが可能である。
そして、制御部３は、ピークアンプ出力信号検知部４５によって検知されるピークアンプ４１の出力信号（信号出力）をモニタし（ステップＢ５）、ピークアンプ４１の出力信号を検知しているか否かを判定する（ステップＢ６）。

この判定の結果、ピークアンプ４１の出力信号を検知していると判定した場合、ＹＥＳルートへ進み、制御部３は、ピークアンプ４１の出力信号をモニタしながら、第２ポンプ７を動作させる制御を継続する。
一方、ピークアンプ４１の出力信号を検知していないと判定した場合、即ち、ピークアンプ４１の出力信号を検知しなくなった場合、ＮＯルートへ進み、制御部３は、第２ポンプ７を停止させる制御を行ない（ステップＢ７）、ステップＢ２に戻り、制御部３は、ピークアンプ４１の出力信号をモニタしながら、第１ポンプ６を動作させる制御を継続する。

なお、制御部３は、メインアンプ４０を停止させたら（ここではメインアンプ４０の出力信号を検知しなくなったら）、これに連動して、第１ポンプ６を停止させる制御を行なう。
このようにして、メインアンプ４０のみが動作している場合は、第１ポンプ６のみを動作させて、第１クーリングプレート１のみで冷却を行ない、ピークアンプ４１が動作をはじめたら、第２ポンプ７も動作させて、即ち、両方のポンプ６、７を動作させて、第１クーリングプレート１に加えて第２クーリングプレート２も用いて冷却を行なうようにすることで、冷却性能を確保することができる。

なお、この第２変形例は、上述の実施形態の冷却装置と同様の構成を有する冷却装置を用いる場合を例に挙げて説明しているが、これに限られるものではなく、例えば、上述の第１変形例の冷却装置（図８参照）と同様の構成を有する冷却装置を用いることもでき、上述の第１変形例の場合と同様に、１つのポンプ３２を用い、流量調整器３０によって、各クーリングプレート１、２の流量を調整することも可能である。

なお、本発明は、上述した実施形態及び各変形例に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
以下、上述の実施形態及び各変形例に関し、更に、付記を開示する。
（付記１）
第１クーリングプレートと、
前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、
通常時に前記第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする冷却装置。

（付記２）
前記第１クーリングプレートの上面と前記第２クーリングプレートの下面とが接合されていることを特徴とする、付記１に記載の冷却装置。
（付記３）
前記制御部は、被冷却物の温度に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、付記１又は２に記載の冷却装置。

（付記４）
前記制御部は、被冷却物の出力信号に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、付記１又は２に記載の冷却装置。
（付記５）
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
前記第１冷媒供給管に設けられた第１ポンプと、
前記第２冷媒供給管に設けられた第２ポンプとを備え、
前記制御部は、前記通常時に前記第１ポンプを制御して前記第１クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整し、前記非通常時に前記第１ポンプ及び前記第２ポンプを制御して前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整することを特徴とする、付記１〜４のいずれか１項に記載の冷却装置。

（付記６）
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
前記第１冷媒供給管及び前記第２冷媒供給管に接続された流量調整器と、
前記流量調整器に接続された第３冷媒供給管と、
前記第３冷媒供給管に設けられたポンプとを備え、
前記制御部は、前記通常時に前記ポンプ及び前記流量調整器を制御して前記第１クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整し、前記非通常時に前記ポンプ及び前記流量調整器を制御して前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整することを特徴とする、付記１〜４のいずれか１項に記載の冷却装置。

（付記７）
前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートを断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、付記１〜６のいずれか１項に記載の冷却装置。
（付記８）
前記断熱構造として、前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートを覆う断熱材を備えることを特徴とする、付記７に記載の冷却装置。

（付記９）
前記断熱構造として、前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートの周囲を真空状態にして断熱する真空断熱構造を備えることを特徴とする、付記７に記載の冷却装置。
（付記１０）
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒排出管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒排出管と、
前記第１冷媒供給管、前記第１冷媒排出管、前記第２冷媒供給管及び前記第２冷媒排出管を断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、付記１〜９のいずれか１項に記載の冷却装置。

（付記１１）
前記断熱構造として、前記第１冷媒供給管、前記第１冷媒排出管、前記第２冷媒供給管及び前記第２冷媒排出管を覆う断熱材を備えることを特徴とする、付記１０に記載の冷却装置。
（付記１２）
前記断熱構造として、前記第１冷媒供給管、前記第１冷媒排出管、前記第２冷媒供給管及び前記第２冷媒排出管が真空断熱構造を備えることを特徴とする、付記１０に記載の冷却装置。

（付記１３）
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管とを備え、
前記第１クーリングプレートは、スリット状の流路を備え、側面に前記第１冷媒供給管が接続されており、
前記第２クーリングプレートは、柱状の突起を有する流路を備え、上面に前記第２冷媒供給管が接続されていることを特徴とする、付記１〜１２のいずれか１項に記載の冷却装置。

（付記１４）
排ガスに含まれる微粒子を処理するためのマイクロ波発生源と、
前記マイクロ波発生源を冷却する冷却装置とを備え、
前記冷却装置は、
前記マイクロ波発生源上に設けられた第１クーリングプレートと、
前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、
通常時に前記第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする排ガス処理装置。

（付記１５）
前記マイクロ波発生源に備えられるマイクロ波増幅器に設けられた温度測定部を備え、
前記制御部は、前記温度測定部によって測定された前記マイクロ波増幅器の温度に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、付記１４に記載の排ガス処理装置。

（付記１６）
前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートを断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、付記１４又は１５に記載の排ガス処理装置。
（付記１７）
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒排出管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒排出管と、
前記第１冷媒供給管、前記第１冷媒排出管、前記第２冷媒供給管及び前記第２冷媒排出管を断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、付記１４〜１６のいずれか１項に記載の排ガス処理装置。

（付記１８）
制御部が、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、
前記制御部が、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なうことを特徴とする制御方法。

（付記１９）
マイクロ波増幅器と、
前記マイクロ波増幅器を冷却する冷却装置とを備え、
前記冷却装置は、
前記マイクロ波増幅器上に設けられた第１クーリングプレートと、
前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、
通常時に前記第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする電子装置。

（付記２０）
前記マイクロ波増幅器は、第１アンプと、前記第１アンプに並列に接続された第２アンプとを備え、
前記制御部は、前記マイクロ波増幅器に備えられる前記第２アンプの出力信号に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、付記１９に記載の電子装置。

１ 第１クーリングプレート
２ 第２クーリングプレート
３ 制御部
４ 第１冷媒供給管
５ 第２冷媒供給管
６ 第１ポンプ
７ 第２ポンプ
８ 第１冷媒排出管
９ 第２冷媒排出管
１０ 被冷却物
１０Ｘ マイクロ波発生源（マイクロ波増幅器）
１０Ｙ ドハティ増幅器（マイクロ波増幅器）
１１ 冷却装置
１２ 排ガス処理装置
１３ ディーゼル微粒子捕集フィルタ
１４ 排ガス浄化装置
１５、１６ スリット状の流路
１７ 柱状の突起
１８ 第１熱交換器
１９ 第２熱交換器
２０ 第１電源
２１ 第２電源
２２ 温度測定部
２３ 断熱構造
２３Ｘ 断熱材
２３Ｙ 真空断熱構造
２４ カバー
２５ アスピレータ又はエジェクタ
２６ 減圧用パイプ
３０ 流量調整器
３１ 第３冷媒供給管
３２ ポンプ
３３ 熱交換器
３４ 電源
４０ メインアンプ（第１アンプ）
４１ ピークアンプ（第２アンプ）
４２ 信号入力端子（同軸コネクタ）
４３ 信号出力端子（同軸コネクタ）
４４ メインアンプ出力信号検知部（第１出力信号検知部）
４５ ピークアンプ出力信号検知部（第２出力信号検知部）

Claims (12)

1. 第１クーリングプレートと、
   前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、
   通常時に前記第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする冷却装置。
2. 前記第１クーリングプレートの上面と前記第２クーリングプレートの下面とが接合されていることを特徴とする、請求項１に記載の冷却装置。
3. 前記制御部は、被冷却物の温度に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、請求項１又は２に記載の冷却装置。
4. 前記制御部は、被冷却物の出力信号に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、請求項１又は２に記載の冷却装置。
5. 前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
   前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
   前記第１冷媒供給管に設けられた第１ポンプと、
   前記第２冷媒供給管に設けられた第２ポンプとを備え、
   前記制御部は、前記通常時に前記第１ポンプを制御して前記第１クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整し、前記非通常時に前記第１ポンプ及び前記第２ポンプを制御して前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の冷却装置。
6. 前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
   前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
   前記第１冷媒供給管及び前記第２冷媒供給管に接続された流量調整器と、
   前記流量調整器に接続された第３冷媒供給管と、
   前記第３冷媒供給管に設けられたポンプとを備え、
   前記制御部は、前記通常時に前記ポンプ及び前記流量調整器を制御して前記第１クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整し、前記非通常時に前記ポンプ及び前記流量調整器を制御して前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに供給する冷媒の流量を調整することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の冷却装置。
7. 前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートを断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の冷却装置。
8. 前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
   前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒排出管と、
   前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管と、
   前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒排出管と、
   前記第１冷媒供給管、前記第１冷媒排出管、前記第２冷媒供給管及び前記第２冷媒排出管を断熱する断熱構造を備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の冷却装置。
9. 前記第１クーリングプレートに接続された第１冷媒供給管と、
   前記第２クーリングプレートに接続された第２冷媒供給管とを備え、
   前記第１クーリングプレートは、スリット状の流路を備え、側面に前記第１冷媒供給管が接続されており、
   前記第２クーリングプレートは、柱状の突起を有する流路を備え、上面に前記第２冷媒供給管が接続されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の冷却装置。
10. 排ガスに含まれる微粒子を処理するためのマイクロ波発生源と、
    前記マイクロ波発生源を冷却する冷却装置とを備え、
    前記冷却装置は、
    前記マイクロ波発生源上に設けられた第１クーリングプレートと、
    前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートと、
    通常時に前記第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする排ガス処理装置。
11. 前記マイクロ波発生源に備えられるマイクロ波増幅器に設けられた温度測定部を備え、
    前記制御部は、前記温度測定部によって測定された前記マイクロ波増幅器の温度に基づいて前記通常時であるか前記非通常時であるかを判定し、この判定結果に基づいて前記通常時の制御及び前記非通常時の制御を行なうことを特徴とする、請求項１０に記載の排ガス処理装置。
12. 制御部が、通常時に第１クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行ない、
    前記制御部が、前記通常時以外の非通常時に前記第１クーリングプレート及び前記第１クーリングプレート上に設けられた第２クーリングプレートに冷媒を供給する制御を行なうことを特徴とする制御方法。

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