JP2018061347A5 - - Google Patents
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Description
本発明に係る振動型駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する接触体とを有し、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧が印加されて前記振動体に振動が励起されることにより、前記振動体と前記接触体とが相対移動する振動型アクチュエータと、前記交流電圧を制御することによって前記振動型アクチュエータを制御する制御装置と、を備える振動型駆動装置であって、前記制御装置は、前記振動体と前記接触体とを相対移動させるための負荷が相対的に大きい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記振動型アクチュエータの推力が最も大きくなる周波数を含む周波数範囲にある第1の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、前記負荷が相対的に小さい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記第1の周波数よりも低く且つ第2の周波数よりも高い第3の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、前記第2の周波数は、前記振動体と前記接触体の相対的な移動速度が最大となる周波数であることを特徴とする。
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明に係る振動型駆動装置として、図12を参照して説明した振動型アクチュエータ300と同様の構成を有する振動型アクチュエータを用いて構成された駆動ユニットを備える並進駆動装置を取り上げることとする。最初に、並進駆動装置の駆動ユニット構成について説明する。
図1(a)は、並進駆動装置に用いられる駆動ユニット1の概略構成を示す斜視図である。図1(b)は、駆動ユニット1の分解斜視図である。駆動ユニット1は、振動体30と被駆動体(接触体)であるスライダ29とを備える振動型アクチュエータを、並進駆動装置に設置することができるようにユニット化したものである。振動体30の基本的な構成は、図12を参照して説明した振動体305に準ずる。つまり、振動体30は、平板状の弾性体と、弾性体の一方の面に設けられた電気−機械エネルギ変換素子(圧電素子)と、弾性体の他方の面に設けられてスライダ29と加圧接触する突起部とを有しており、駆動原理等についての説明は省略する。また、スライダ29は、図12を参照して説明した被駆動体301に相当する。
3つの転動ボール24がそれぞれ、スライダ29において3カ所に形成されたボール受部33と第1の固定レール22において2カ所に形成された溝部27及び第2の固定レール23に設けられた1カ所の溝部28とによって転動可能に挟持されている。第1の固定レール22と第2の固定レール23は基台20に固定され、これにより、スライダ29の駆動方向と位置が定められている。なお、スライダ29の移動方向と位置を決める方法は、転動ボール24を用いる方法に限定されず、スライドレールのように直線的な移動が可能な部材を用いても構わない。
次に、駆動ユニット1を用いた並進駆動装置について説明する。図2は、並進駆動装置100の概略構成を示す平面図である。説明の便宜上、図2に示すように直交座標系(X軸,Y軸)を定める。なお、並進駆動装置100の厚み方向は、X軸方向及びY軸方向の両方向と直交する方向であり、Z軸方向(不図示)とする。
よって、駆動ユニット1A,1Bを駆動すると、移動体4は、駆動ユニット1A,1B以外から推力を受けることなく、推力受け部11A,11Bを介して出力軸10A,10Bから推力を受けてXY平面内を移動することができる。つまり、並進駆動装置100では、移動体4は、支持コロ5とコロ受け部との摺動嵌合と、出力軸10A,10Bと推力受け部11A,11Bとの摺動嵌合により、Z軸方向での移動が規制された状態でXY平面内の一定範囲において移動可能となっている。
ステップS7において制御装置は、ロック解除された状態での第1の変位センサ6a,6b及び第2の変位センサ7による検出位置を移動体4の並進動作時の原点として再設定する。具体的には、ステップS6でロック解除が終了したときに検出されたX=X1、Y=Y1をX1→X0、Y1→Y0となるように再設定する。但し、θについては、再度、ロック動作を行う際に必要となるためにリセットせず、検出されたθ1をそのまま記憶しておく。なお、ステップS5において、移動体4の位置がX=X0、Y=Y0となるように移動体4のX軸方向及びY軸方向への移動量を制御してもよい。X軸方向及びY軸方向への移動量を制御するのは、ロック解除動作の直後に行ってもよいし、ロック解除動作中にX軸方向及びY軸方向への移動を制御することによって行ってもよい。その場合、ロック状態とロック解除状態とでは、移動体4のX0とX1、Y0とY1の値がそれぞれ略等しくなるため、ステップS7で行っている原点の再設定を省略することが可能となる。
Claims (11)
- 電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する接触体とを有し、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧が印加されて前記振動体に振動が励起されることにより、前記振動体と前記接触体とが相対移動する振動型アクチュエータと、
前記交流電圧を制御することによって前記振動型アクチュエータを制御する制御装置と、を備える振動型駆動装置であって、
前記制御装置は、
前記振動体と前記接触体とを相対移動させるための負荷が相対的に大きい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記振動型アクチュエータの推力が最も大きくなる周波数を含む周波数範囲にある第1の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、
前記負荷が相対的に小さい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記第1の周波数よりも低く且つ第2の周波数よりも高い第3の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、
前記第2の周波数は、前記振動体と前記接触体の相対的な移動速度が最大となる周波数であることを特徴とする振動型駆動装置。 - 前記第1の周波数は、前記負荷が相対的に大きい場合の前記負荷の大きさを超える推力を発生することができる周波数の範囲内の周波数であることを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置。
- 前記第2の周波数は、前記接触体に対して外部から負荷を与えない状態で前記振動体と前記接触体とを相対移動させたときの速度が最大となる周波数であることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型駆動装置。
- 前記制御装置は、前記交流電圧の起動周波数を前記第1の周波数に設定して前記振動型アクチュエータを起動した場合、予め設定された位相差の上限値から下限値までの範囲で前記第1の周波数の位相差を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
- 前記制御装置は、前記交流電圧の起動周波数を前記第3の周波数に設定して前記振動型アクチュエータを起動した場合、予め設定された位相差の上限値から下限値までの範囲で前記第3の周波数の位相差を変更することにより、前記振動体と前記接触体との相対的な移動速度を制御することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
- 前記制御装置は、前記交流電圧の位相差が前記予め設定された位相差の上限値または下限値となった場合、前記第2の周波数を下限として前記交流電圧の周波数を変更することにより前記振動体と前記接触体との相対的な移動速度を制御することを特徴とする請求項5に記載の振動型駆動装置。
- 前記振動型アクチュエータを前記負荷が相対的に大きい状態で駆動する場合とは、前記振動体または前記接触体を摩擦により所定の位置に係合させまたは係合された状態を解除する動作を行う場合であり、
前記振動型アクチュエータを前記負荷が相対的に小さい状態で駆動する場合とは、前記振動体または前記接触体の前記摩擦による係合が解除された状態を維持して前記振動体と前記接触体とを相対移動させる動作を行う場合であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。 - 移動体と、
前記振動型アクチュエータを備える複数の駆動ユニットと、
前記複数の駆動ユニットを支持する支持部材と、を更に備え、
前記移動体と前記支持部材とは、前記移動体が前記複数の駆動ユニットからの出力を受けることによって相対的に移動可能に配置され、
前記振動型アクチュエータを前記負荷が相対的に大きい状態で駆動する場合とは、前記移動体を摩擦により所定の位置に係合させる動作または係合された状態を解除する動作を行う場合であり、
前記振動型アクチュエータを前記負荷が相対的に小さい状態で駆動する場合とは、前記移動体の前記摩擦による係合が解除された状態を維持して、前記駆動ユニットと前記移動体とを相対移動させる動作を行う場合であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。 - 前記振動体は、
平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の面に設けられ、前記接触体と接触する突起部と、を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記弾性体の他方の面に設けられ、
前記振動体に2つの異なる振動モードの振動を同時に励起することによって前記突起部に生じさせた楕円振動により前記接触体が摩擦駆動されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。 - 電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する接触体とを有し、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧が印加されて前記振動体に振動が励起されることにより前記振動体と前記接触体とが相対移動する振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記振動体と前記接触体とを相対移動させるための負荷が相対的に大きい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記振動型アクチュエータの推力が最も大きい領域にある第1の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、
前記負荷が相対的に小さい状態で前記振動型アクチュエータを駆動する場合には、前記第1の周波数よりも低く且つ第2の周波数よりも高い第3の周波数を前記交流電圧の起動周波数に設定し、
前記第2の周波数は、前記振動体と前記接触体の相対的な移動速度が最大となる周波数であることを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動型駆動装置と、
前記振動型駆動装置が備える振動型アクチュエータの出力を用いて位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
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