JP2018060176A - 半導体装置、表示システム及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】新規な半導体装置又は表示システムの提供。
【解決手段】複数の表示ユニットを用いて映像の表示を行う際、一部の表示ユニットを用いて調光又は調色などの補正を行い、他の表示ユニットへの映像信号の供給を停止する。これにより、表示システムの消費電力を低減しつつ、表示される映像の品質を向上させることができる。また、表示ユニットに金属酸化物を有するトランジスタを用いる。これにより、表示ユニットに表示された映像を極めて長期間維持することができ、表示システムの消費電力を低減することができる。
【選択図】図1

Description

本発明の一態様は、半導体装置、表示システム及び電子機器に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、表示システム、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。
また、本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。トランジスタ、半導体回路、演算装置、記憶装置等は半導体装置の一態様である。また、撮像装置、電気光学装置、発電装置(薄膜太陽電池、有機薄膜太陽電池等を含む)、及び電子機器は半導体装置を有している場合がある。
液晶表示装置や発光表示装置に代表されるフラットパネルディスプレイは、映像の表示に広く用いられている。これらの表示装置に用いられているトランジスタとしては主にシリコン半導体などが用いられているが、近年、シリコン半導体に代わって、半導体特性を示す金属酸化物をトランジスタに用いる技術が注目されている。例えば特許文献1、2には、半導体層に、酸化亜鉛、又はIn−Ga−Zn系酸化物を用いたトランジスタを、表示装置の画素に用いる技術が開示されている。
特開2007−96055号公報 特開2007−123861号公報
本発明の一態様は、新規な半導体装置又は表示システムの提供を課題とする。又は、本発明の一態様は、消費電力が低い半導体装置又は表示システムの提供を課題とする。又は、本発明の一態様は、高品質な映像の表示を可能とする半導体装置又は表示システムの提供を課題とする。
なお、本発明の一態様は、必ずしも上記の課題の全てを解決する必要はなく、少なくとも一の課題を解決できるものであればよい。また、上記の課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。これら以外の課題は、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様に係る半導体装置は、第1の画像処理部と、第2の画像処理部と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、コントローラと、を有し、第1の画像処理部は、第1の画像データに第1の画像処理を行う機能を有し、第2の画像処理部は、第2の画像データに第2の画像処理を行う機能を有し、第1の駆動回路は、第1の画像処理部から入力されたデータに基づいて映像信号を生成し、第1の表示ユニットに出力する機能を有し、第2の駆動回路は、第2の画像処理部から入力されたデータに基づいて映像信号を生成し、第2の表示ユニットに出力する機能を有し、コントローラは、第1の表示ユニット及び第2の表示ユニットを用いて表示される映像の変化量が基準値未満であり、且つ、外光の変化量が基準値以上である場合に、第1の画像処理部及び第1の駆動回路への電力の供給と、第2の画像処理部及び第2の駆動回路への電力の供給の停止と、を行う機能を有し、第1の画像処理部は、外光の強度に応じて映像を補正するための第3の画像処理を行う機能を有する半導体装置である。
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、レジスタを有し、レジスタは、第3の画像処理に用いられるパラメータを格納する機能を有し、コントローラは、外光の強度に応じて、レジスタに格納されたパラメータを変更する機能を有していてもよい。
また、本発明の一態様に係る半導体装置において、レジスタは、第1の記憶回路と、第2の記憶回路と、を有し、第2の記憶回路は、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有し、パラメータは、第2の記憶回路に入力された後、第1の記憶回路に一括で転送され、第1の画像処理部に出力されてもよい。
また、本発明の一態様に係る半導体装置において、第1の画像処理部は、調光回路、調色回路、及びガンマ補正回路を用いて第3の画像処理を行う機能を有していてもよい。
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、タイミングコントローラを有し、タイミングコントローラは、第1の駆動回路及び第2の駆動回路にタイミング信号を出力する機能を有し、コントローラは、映像の変化量が基準値未満であり、且つ、外光の変化量が基準値未満である場合に、第1の画像処理部、第2の画像処理部、第1の駆動回路、第2の駆動回路、及びタイミングコントローラへの電力の供給を停止する機能を有していてもよい。
また、本発明の一態様にかかる表示システムは、上記半導体装置を用いた制御部と、表示部と、センサ部と、を有し、表示部は、第1の画素を有する1の表示ユニットと、第2の画素を有する第2の表示ユニットと、を有し、センサ部は、外光の強度に応じた信号をコントローラに出力する機能を有し、第1の画素は、発光素子又は透過型の液晶素子を有し、第2の画素は、反射型の液晶素子を有する表示システムである。
また、本発明の一態様にかかる電子機器は、上記表示システムと、ホストと、を有し、ホストは、信号生成部の動作を制御する機能を有するプロセッサによって構成されている電子機器である。
本発明の一態様により、新規な半導体装置又は表示システムを提供することができる。又は、本発明の一態様により、消費電力が低い半導体装置又は表示システムを提供することができる。又は、本発明の一態様により、高品質な映像の表示を可能とする半導体装置又は表示システムを提供することができる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。また、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。これら以外の効果は、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
表示システムの構成例を示す図。 表示部の構成例を示す図。 画素部の構成例を示す図。 フローチャート。 表示システムの動作例を示す図。 駆動回路及び画素群の構成例を示す図。 タイミングチャート。 タイミングチャート。 表示システムの構成例を示す図。 レジスタの構成例を示す図。 補正の例を示す図。 記憶装置の構成例を示す図。 レジスタの構成例を示す図。 レジスタの構成例を示す図。 レジスタの構成例を示す図。 タイミングチャート。 スイッチ回路の構成例を示す図。 表示装置の構成例を示す図。 表示装置の構成例を示す図。 表示装置の構成例を示す図。 表示装置の構成例を示す図。 画素ユニットの構成例を示す図。 画素ユニットの構成例を説明する図。 画素ユニットの構成例を説明する図。 表示モジュールの構成例を示す図。 トランジスタの構成例を示す図。 エネルギーバンド構造を示す図。 電子機器の構成例を示す図。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施の形態における説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
また、本発明の一態様には、半導体装置、記憶装置、表示装置、撮像装置、RF(Radio Frequency)タグなど、あらゆる装置がその範疇に含まれる。また、表示装置には、液晶表示装置、有機発光素子に代表される発光素子を各画素に備えた発光装置、電子ペーパー、DMD(Digital Micromirror Device)、PDP(Plasma Display Panel)、FED(Field Emission Display)などが、その範疇に含まれる。
また、本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い表現での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductorまたは単にOSともいう)などに分類される。例えば、トランジスタのチャネル形成領域に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有する場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)、略してOSと呼ぶことができる。以下、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを、OSトランジスタとも表記する。
また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。金属酸化物の詳細については後述する。
また、本明細書等において、XとYとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図又は文章に示された接続関係に限定されず、図又は文章に示された接続関係以外のものも、図又は文章に記載されているものとする。ここで、X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。
XとYとが直接的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に接続されていない場合であり、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)を介さずに、XとYとが、接続されている場合である。
XとYとが電気的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、オン状態、又は、オフ状態になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。又は、スイッチは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有している。なお、XとYとが電気的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
XとYとが機能的に接続されている場合の一例としては、XとYとの機能的な接続を可能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅又は電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。なお、XとYとが機能的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合と、XとYとが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
なお、XとYとが電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)とが、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
また、異なる図面間で同じ符号が付されている構成要素は、特に説明がない限り、同じものを表す。
また、図面上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置及び表示システムについて説明する。
<表示システムの構成例>
図1に、表示システム10の構成例を示す。表示システム10は、外部から入力されたデータに基づいて映像を表示するための信号(以下、映像信号ともいう)を生成し、当該映像信号に基づいて映像を表示する機能を有する。表示システム10は、表示部11、信号生成部12、センサ部13を有する。
表示部11は、信号生成部12から入力される映像信号(信号SD)に基づいて、映像を表示する機能を有する。具体的には、表示部11は複数の表示ユニット30を用いて映像の表示を行う機能を有する。図1には一例として、表示部11が2つの表示ユニット30(30a、30b)を有する構成を示している。表示ユニット30aは、信号生成部12から入力される信号SDaに基づいて映像を表示する機能を有し、表示ユニット30bは、信号生成部12から入力される信号SDbに基づいて映像を表示する機能を有する。
映像の表示には、表示ユニット30aと表示ユニット30bの両方を用いてもよいし、一方のみを用いてもよい。両方を用いる場合、表示ユニット30aと表示ユニット30bを用いて1つの映像を表示してもよいし、表示ユニット30aと表示ユニット30bにそれぞれ独立した映像を表示してもよい。なお、表示部11に設けられる表示ユニット30の数は3以上であってもよい。
2つの表示ユニット30を有する表示部11の具体的な構成例を、図2に示す。図2に示す表示部11は、画素部31、駆動回路35a、35bを有する。また、画素部31は、複数の画素33aによって構成される画素群32a、複数の画素33bによって構成される画素群32bを有する。図1における表示ユニット30a、30bはそれぞれ、画素群32aと駆動回路35aによって構成されるユニット、画素群32bと駆動回路35bによって構成されるユニットに相当する。
画素33a、33bは表示素子を有し、所定の階調を表示する機能を有する。複数の画素33a又は複数の画素33bが所定の階調を表示することにより、画素部31に所定の映像が表示される。画素33aが有する表示素子と画素33bが有する表示素子の種類や特性は、同じであっても異なっていてもよい。また、画素33aと画素33bの回路構成は、同じであっても異なっていてもよい。
表示素子の例としては、液晶素子、発光素子などが挙げられる。液晶素子としては、透過型の液晶素子、反射型の液晶素子、半透過型の液晶素子などを用いることができる。また、表示素子として、シャッター方式のMEMS(Micro Electro Mechanical System)素子、光干渉方式のMEMS素子、マイクロカプセル方式、電気泳動方式、エレクトロウェッティング方式、電子粉流体(登録商標)方式等を適用した表示素子などを用いることもできる。また、発光素子の例としては、例えばOLED(Organic Light Emitting Diode)、LED(Light Emitting Diode)、QLED(Quantum−dot Light Emitting Diode)、半導体レーザなどの、自発光性の発光素子が挙げられる。
映像の表示には、複数の画素33aと複数の画素33bの両方を用いてもよいし、一方のみを用いてもよい。両方を用いる場合、複数の画素33a及び複数の画素33bを用いて1つの映像を表示してもよいし、複数の画素33aを用いて表示される映像と複数の画素33bを用いて表示される映像がそれぞれ独立していてもよい。
映像の表示に画素群32aと画素群32bの一方のみを用いる場合は、自動又は手動で、映像を表示する画素群32を切り替えることができる。ここで、画素33aと画素33bに異なる表示素子を設けることにより、画素群32aと画素群32bに表示される映像の特性や品質などを異ならせることができる。この場合、表示を行う画素群32を、周囲の環境や表示内容などに合わせて選択することができる。
駆動回路35は、画素33を選択するための信号(以下、選択信号ともいう)を画素群32に供給する機能を有する。具体的には、駆動回路35aは、画素33aと接続された配線GLaに選択信号を供給する機能を有し、配線GLaは、駆動回路35aから出力された選択信号を伝える機能を有する。駆動回路35bは、画素33bと接続された配線GLbに選択信号を供給する機能を有し、配線GLbは、駆動回路35bから出力された選択信号を伝える機能を有する。
また、画素群32は信号生成部12が有する駆動回路22と接続されている。駆動回路22は、映像信号を生成して画素群32に供給する機能を有する。具体的には、駆動回路22aは、画素33aと接続された配線SLaに映像信号を供給する機能を有し、駆動回路22bは、画素33bと接続された配線SLbに映像信号を供給する機能を有する。配線SLa、SLbに供給された映像信号は、駆動回路35a、35bによって選択された画素33a、33bに書き込まれる。これにより、画素部31に映像が表示される。
図3(A)に、画素部31の構成例を示す。画素部31は、m列n行(m、nは2以上の整数)の画素33a、33bを有する。第i列第j行(iは1以上m以下の整数、jは1以上n以下の整数)の画素33aは、配線SLa[i]及び配線GLa[j]と接続され、第i列第j行の画素33bは、配線SLb[i]及び配線GLb[j]と接続されている。配線GLa[1]乃至[n]は駆動回路35aと接続され、配線GLb[1]乃至[n]は駆動回路35bと接続されている。配線SLa[1]乃至[m]は駆動回路22aと接続され、配線SLb[1]乃至[m]は駆動回路22bと接続されている。
画素33aと画素33bは行方向(紙面上下方向)に交互に設けられており、画素33aと画素33bによって画素ユニット34が構成されている。このように、画素33aと画素33bを同一の画素部31内に混在させることにより、画素33aによる表示と画素33bによる表示を同一の領域において行うことができる。また、画素33aによる表示と画素33bによる表示を同時に行う際は、これらの表示を合成することができる。
ここで、画素33a、33bにはOSトランジスタを用いることが好ましい。金属酸化物は、シリコンなどの半導体よりもエネルギーギャップが大きく、少数キャリア密度を低くすることができるため、OSトランジスタのオフ電流は極めて小さい。そのため、画素33a、33bにOSトランジスタを用いた場合、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタ(以下、Siトランジスタともいう)などを用いる場合と比較して、画素33a、33bに映像信号を長期間にわたって保持することができる。これにより、画素部31に表示される映像に変化がない期間において、画素33a、33bへの映像信号の書き替えの頻度を大幅に減らすことができ、消費電力を削減することができる。映像信号の書き込みの頻度は、例えば、1日に1回以上且つ1秒間に0.1回未満、好ましくは1時間に1回以上且つ1秒間に1回未満、より好ましくは30秒間に1回以上且つ1秒間に1回未満とすることができる。なお、OSトランジスタを用いた画素33の回路構成の詳細については、実施の形態3において説明する。
また、画素33a、33bに設けられる表示素子は自由に選択することができる。例えば、画素33aに透過型の液晶素子又は発光素子を設け、画素33bに反射型の液晶素子を設けることができる。この場合、表示部11は、画素群32aを用いて色再現性が高く(色域が広く)、コントラストの高い、鮮やかな映像の表示を行い、画素群32bを用いて低消費電力の表示を行うことができる。以下では一例として、画素33aが発光素子を有し、画素33bが反射型の液晶素子を有する場合について説明する。
図3(B)は、反射型の液晶素子40と発光素子50の両方を用いて表示を行う画素ユニット34を説明する模式図である。液晶素子40は、反射電極41、液晶層42、透明電極43を有する。
液晶素子40の階調の制御は、反射電極41によって反射された光44に対する液晶層42の透過率を、液晶の配向によって制御することにより行われる。反射電極41によって反射された光44は、液晶層42、透明電極43を通過して外部に放出される。また、反射電極41は開口部45を有し、発光素子50は開口部45と重なる位置に設けられる。発光素子50の階調の制御は、発光素子50に流れる電流を制御して、発光素子50が発する光51の強度を制御することにより行われる。発光素子50が発する光51は、開口部45、液晶層42、透明電極43を通過して外部に放出される。そして、光44及び光51を用いて表示が行われる。なお、光44及び光51が放出される方向が、表示部11の表示面となる。
反射型の液晶素子40は、表示の際に外光以外の光源が不要であるため、低消費電力で映像の表示を行うことができる。一方、発光素子50は、反射型の液晶素子40と比較して動作速度が速いため、表示の高速な切り替えが可能となる。そして、例えば反射型の液晶素子40には背景となる静止画や文字などを表示し、発光素子50には動画などを表示することができる。これにより、消費電力の低減と高品質の映像の表示を両立させることができる。このような構成は、表示装置を教科書などの教材、又はノートなどとして利用する場合などに適している。
また、液晶素子40の反射光と、発光素子50の発光の両方を用いて映像の表示を行う場合、発光素子50の輝度を制御することにより、映像の補正を行うことができる。例えば、外光の変化に応じて発光素子50の輝度を変化させることにより、調光又は調色などの補正を行い、表示部11に表示される映像の視認性を向上させることができる。
図1に示す信号生成部12は、表示部11に表示される映像に対応するデータ(以下、画像データともいう)に基づいて映像信号を生成し、表示部11に出力する機能を有する。信号生成部12は、コントローラ20、画像処理部21、駆動回路22、スイッチ回路23を有する。なお、信号生成部12は半導体装置によって構成することができる。従って、信号生成部12は半導体装置と呼ぶこともできる。また、信号生成部12に含まれる回路の一部又は全ては、1つの集積回路に集約することができる。
コントローラ20は、信号生成部12に含まれる各種回路の動作を制御する機能を有する。具体的には、コントローラ20は、外部から入力された信号に基づいて、画像処理部21などの動作を制御するための制御信号を生成する機能を有する。
画像処理部21は、画像データとして入力されたデータIDに、画像処置を行う機能を有する。具体的には、画像処理部21は、データIDに対して各種の処理を行うことにより、データIDを補正する機能を有する。画像処理部21によって補正された画像データは、データID´として駆動回路22に出力される。画像処理部21において行われる処理の例としては、調色、調光、ガンマ補正などが挙げられる。
図1においては、表示部11が2つの表示ユニット30a、30bを有し、それに応じて、信号生成部12は2つの画像処理部21a、21b、2つの駆動回路22a、22bを有する。画像処理部21aは、データIDaに画像処理を行い、データIDa´として駆動回路22aに出力する機能を有する。画像処理部21bは、データIDbに画像処理を行い、データIDb´として駆動回路22bに出力する機能を有する。これにより、表示ユニット30a、30bに供給される映像信号を独立して生成することができる。
駆動回路22は、画像処理部21から入力されたデータID´に信号処理を行い、表示部11へ出力する機能を有する。具体的には、データID´にレベルシフトやデジタルアナログ(DA)変換などの処理を施し、表示ユニット30に出力する機能を有する。駆動回路22aは、データIDa´に基づいて映像信号を生成し、信号SDaとして表示ユニット30aに出力する。駆動回路22bは、データIDb´に基づいて映像信号を生成し、信号SDbとして表示ユニット30bに出力する。
スイッチ回路23は、画像処理部21及び駆動回路22への電力の供給を制御する機能を有する。電力の供給の有無は、コントローラ20から入力される制御信号(信号PC)に基づいて決定される。画像処理部21又は駆動回路22を使用しない期間においては、信号PCによってスイッチ回路23の導通状態を制御し、画像処理部21又は駆動回路22への電力の供給を停止することができる。これにより、信号生成部12の消費電力を低減することができる。
センサ部13は、光の強度を検出する機能を有する。具体的には、センサ部13は、外光を検出し、外光の強度に応じた信号SENを信号生成部12に出力する機能を有する。信号SENはコントローラ20に入力され、コントローラ20は信号SENに基づいて制御信号を生成し、画像処理部21に出力する。そして、画像処理部21は信号SENに応じた画像処理を行う。これにより、画像処理部21は、外光の変化に応じて画像処理の内容を変更することができる。
表示ユニット30に表示された映像に変化がない場合、表示ユニット30に直前の表示状態を維持させることにより、映像信号の供給を停止することができる。また、映像信号を生成する回路への電力の供給を停止することができる。具体的には、表示ユニット30aに表示される映像に変化がない場合、コントローラ20は信号PCによってスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a及び駆動回路22aへの電力の供給を停止することができる。また、表示ユニット30bに表示される映像に変化がない場合、コントローラ20は信号PCによってスイッチ回路23を制御し、画像処理部21b及び駆動回路22bへの電力の供給を停止することができる。なお、電力の供給の停止は、映像に変化がない場合の他、映像の変化量が一定未満の場合に行ってもよい。このように、動作させる必要がない回路への電力の供給を停止することにより、信号生成部12の消費電力を削減することができる。
一方、表示ユニット30a、30bに表示される映像に変化がない期間において、画像処理部21a、21b及び駆動回路22a、22bへの電力の供給を常に停止すると、外光の変化に応じて映像を補正するための映像信号が生成されず、表示部11に表示される映像の視認性が低下する場合がある。また、外光が変化した際、映像の補正のために常に画像処理部21a、21b及び駆動回路22a、22bに電力を供給すると、電力の供給を停止できる期間が短くなり、消費電力の低減の効果が十分に得られない場合がある。
ここで、本発明の一態様に係る表示システム10は、外光が変化した際、一部の表示ユニット30によって映像の補正を行い、他の表示ユニット30の表示状態を維持することができる。具体的には、表示ユニット30a、30bに表示された映像に変化がない期間において、外光が変化すると、画像処理部21a及び駆動回路22aには電力が供給され、画像処理部21b及び駆動回路22bへの電力の供給は停止される。そして、外光の強度に応じて表示ユニット30aに供給される信号SDaを補正することにより、表示部11に表示される映像の調光又は調色などが行われる。これにより、画像処理部21b及び駆動回路22bに電力を供給することなく映像の補正を行うことができ、消費電力の増加を抑えつつ、映像の品質を向上させることができる。
以上のように、表示システム10は、映像の変化及び外光の変化に応じて、表示部11及び信号生成部12の動作モードを切り替え、選択的な電力の供給を行うことができる。以下、動作モードの切り替えの詳細を説明する。
<表示システムの動作例>
図4は、表示部11及び信号生成部12の動作例を示すフローチャートである。ここでは、表示ユニット30aと表示ユニット30bの両方を用いて、表示部11に映像が表示されている場合について説明する。
まず、表示部11に表示される映像に変化がある、又は変化量が基準値以上である場合(ステップS10でYES)、信号生成部12にデータIDa、IDbが入力される。また、コントローラ20は信号PCによってスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22bに電力を供給する(ステップS21)。そして、画像処理部21a、21bによってデータIDa´、IDb´がそれぞれ生成され、表示ユニット30aに信号SDaが出力され、表示ユニット30bに信号SDbが出力される(ステップS22)。これにより、表示ユニット30a、30bに表示される映像が更新される(ステップS23)。このときの表示システム10の動作を、図5(A)に示す。
一方、表示部11に表示される映像に変化がない、又は変化量が基準値未満である場合(ステップS10でNO)、電力が供給される回路は外光の変化に応じて選択される。具体的には、外光の変化量が基準値以上である場合(ステップS11でYES)、コントローラ20は信号PCによってスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a、駆動回路22aには電力を供給し、画像処理部21b、駆動回路22bには電力を供給しない(ステップS31)。そして、画像処理部21aは、外光の強度に応じてデータIDaを補正し、データIDa´を生成する。また、駆動回路22aはデータIDa´に基づいて信号SDaを生成し、表示ユニット30aに出力する(ステップS32)。
表示ユニット30aに表示される映像は、信号SDaに基づいて補正される。これにより、表示部11に表示される映像の調光又は調色などが行われる。一方、信号SDbが入力されない表示ユニット30bは、直前の映像を維持する(ステップS33)。このときの表示システム10の動作を、図5(B)に示す。
このように、表示部11に表示される映像に変化がない期間においては、表示部11に表示される映像を外光の変化に応じて補正するための画像処理が、画像処理部21aによって行われ、画像処理部21b及び駆動回路22bへの電力の供給が停止される。これにより、調光又は調色に要する消費電力を低減することができる。例えば、図3(B)に示すように、反射型の液晶素子40と発光素子50によって表示が行われる場合は、信号SDaによって発光素子50の輝度が補正されることにより、光44及び光51によって表示される映像の調光又は調色などが行われる。
なお、外光の変化が著しく大きい場合には、画像処理部21a、21b及び駆動回路22a、22bに電力を供給し、表示ユニット30a、30bの両方を用いて映像の補正を行ってもよい。この場合、表示システム10は、映像の補正を行わないモードと、表示ユニット30a、30bの一方を用いて映像の補正を行うモードと、表示ユニット30a、30bの両方を用いて映像の補正を行うモードと、を切り替えて映像を表示することができる。これにより、著しい外光の変化にも対応可能な、視認性に優れた表示システム10を実現することができる。
外光の変化量が基準値未満である場合(ステップS11でNO)は、コントローラ20は信号PCによってスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22bへの電力の供給を停止する(ステップS41)。そして、信号生成部12から表示部11への信号SDa、SDbの供給は停止され、表示ユニット30a、30bは直前の映像を維持する(ステップS42)。これにより、信号生成部12の消費電力を低減することができる。このときの表示システム10の動作を、図5(C)に示す。
その後、表示部11による映像の表示を続行する場合(ステップS50でNO)は、再度映像の変化が判別される(ステップS10)。
なお、表示部11に表示される映像に変化がない期間において(ステップS33、S42)、所定の周期で映像の更新を行う動作を行ってもよい。これにより、表示部11に表示される映像を正確に維持することができる。この場合、表示ユニット30にOSトランジスタを用いることにより、映像の更新の頻度を極めて低く抑えることができる。
<表示ユニットの動作例>
次に、映像の変化の有無に応じて、電力の供給が制御される表示ユニット30の動作例について説明する。ここでは特に、表示ユニット30が有する画素群32及び駆動回路35と、画素群32と接続された駆動回路22の動作例について説明する。
図6に示す駆動回路22、画素33、駆動回路35はそれぞれ、図2、3における駆動回路22a又は駆動回路22b、画素33a又は画素33b、駆動回路35a又は駆動回路35bに対応する。
駆動回路35には、電源電位VDD1、スタートパルスGSP、クロック信号GCK、信号PWCが供給される。駆動回路35は、電源電位VDD1が供給されている期間に画素群32の各行の画素33の選択信号を生成し、対応する配線GLに供給する機能を有する。具体的には、駆動回路35はn段のシフトレジスタを有し、シフトレジスタにスタートパルスGSP、クロック信号GCKが供給される。そして、シフトレジスタの各段の出力信号と信号PWCとの論理積が、画素群32の各行の画素33の選択信号として配線GL[1]乃至[n]に出力される。信号PWCのパルス幅により、選択信号のパルス幅が制御される。
駆動回路22には、電源電位VDD2、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、ラッチ信号SLAT、画像データDATAが供給される。駆動回路22は、電源電位VDD2が供給されている期間に、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、画像データDATA、ラッチ信号SLATを用いて画素群32の各列の画素33の映像信号を生成し、対応する配線SLに供給する機能を有する。具体的には、駆動回路22はm段のシフトレジスタ、各段に対応した複数ビットの第1のラッチ、第2のラッチ、D/Aコンバータを有する。当該シフトレジスタにスタートパルスSSP、クロック信号SCKが供給されると、シフトレジスタの各段の出力信号が順次選択信号として生成され、対応する列の第1のラッチに画像データDATAが順次格納される。各列の第1のラッチに画像データDATAが格納された後、ラッチ信号SLATにより、第1のラッチのデータを第2のラッチに格納する。そして、D/Aコンバータで第2のラッチのデータに対応したアナログ信号である映像信号を生成する。
図7は、図6に示す駆動回路35の動作例を示すタイミングチャートである。図7において、期間T10は映像信号が配線SLに供給される期間であり、期間T20は映像信号の供給が停止される期間であり、期間T30は映像信号の供給が再開される期間である。なお、期間T10、T30に含まれる期間FPは、1フレーム期間を表す。また、電位VGL[1]乃至[n]はそれぞれ、配線GL[1]乃至[n]の電位を表す。
まず、期間T10において、駆動回路35に電源電位VDD1、スタートパルスGSP、クロック信号GCK、信号PWCが供給され、駆動回路35によって選択信号が生成される。そして、配線GL[1]乃至[n]に順次選択信号が供給され、電位VGL[1]乃至[n]が順次ハイレベルとなる。
選択信号が供給された配線GLと接続された画素33には、駆動回路22から映像信号が供給される。これにより、画素群32に表示される映像が更新される。
次に、期間T20において、駆動回路35への電源電位VDD1の供給が停止され、駆動回路35は停止状態となる。また、駆動回路35へのスタートパルスGSP、クロック信号GCK、信号PWCの供給が停止される。そのため、期間T20において選択信号は生成されず、画素群32は直前の表示状態を維持する。このように、映像信号が供給されない期間において、駆動回路35を停止状態とすることにより、消費電力を削減することができる。
次に、期間T30において、駆動回路35への電源電位VDD1の供給が再開され、スタートパルスGSP、クロック信号GCK、信号PWCが供給される。これにより、駆動回路35による選択信号の生成が再開される。
なお、駆動回路22も、映像信号の供給の有無に応じて動作状態を制御することができる。図8は、図6に示す駆動回路22の動作例を示すタイミングチャートである。なお、電位VSL[1]乃至[m]はそれぞれ、配線SL[1]乃至[m]の電位を表す。
画素33の選択が行われる期間FPにおいて、駆動回路22には電源電位VDD2、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、ラッチ信号SLATが供給される。駆動回路22は、期間FPにおいて映像信号の生成及び出力を行う。
まず、期間T11において、画像データDATAとして、画像処理部21(図1等参照)からデータID´が供給される。そして、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、データID´に基づいて、配線GL[1]と接続された行の各列の画素33に対応する画像データが各列の第1のラッチに順次格納される。
次に、期間T12において、ラッチ信号SLATがハイレベルとなる。これにより、期間T11において各列の第1のラッチに格納された画像データが各列の第1のラッチに格納され、さらに各列のD/Aコンバータにより生成された映像信号が配線SL[1]乃至[m]に供給され、電位VSL[1]乃至[m]はそれぞれ映像信号に対応する電位となる。
次に、期間T13において、電位GL[1]がハイレベルとなり、配線GL[1]と接続された行の各列の画素33に電位VSL[1]乃至[m]が供給される。これにより、配線GL[1]と接続された行の各列の画素33の階調が更新される。また、期間T13において、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、データID´に基づいて、配線GL[2]と接続された行の各列の画素33に対応する画像データが各列の第1のラッチに順次格納される。
次に、期間T14において、ラッチ信号SLATがハイレベルとなる。これにより、期間T13において各列の第1のラッチに格納された画像データが各列の第2のラッチに格納され、さらに各列のD/Aコンバータにより生成された映像信号が配線SL[1]乃至[m]に供給され、電位VSL[1]乃至[m]はそれぞれ映像信号に対応する電位となる。
次に、期間T15において、電位GL[2]がハイレベルとなり、配線GL[2]と接続された行の各列の画素33に電位VSL[1]乃至[m]が供給される。これにより、配線GL[2]と接続された行の各列の画素33の階調が更新される。また、期間T15において、スタートパルスSSP、クロック信号SCK、データID´に基づいて、配線GL[3](図示せず)と接続された行の各列の画素33に対応する画像データが各列の第1のラッチに順次格納される。
次に、期間T16において、ラッチ信号SLATがハイレベルとなる。これにより、期間T15において各列の第1のラッチに格納された画像データが各列の第2のラッチに格納され、さらに各列のD/Aコンバータにより生成された映像信号が配線SL[1]乃至[m]に供給され、電位VSL[1]乃至[m]はそれぞれ映像信号に対応する電位となる。
同様の動作により、配線GL[4]乃至[n]と接続された行の各列の画素33に映像信号が供給される。期間T17は、配線GL[n]と接続された行の各列の画素33に映像信号が供給される期間である。このようにして、画素群32に表示される映像が更新される。
その後、映像信号の供給が停止される期間T20となると、駆動回路22への電源電位VDD2の供給が停止され、駆動回路22は停止状態となる。また、駆動回路22へのスタートパルスSSP、クロック信号SCK、ラッチ信号SLATの供給が停止される。このように、映像信号が供給されない期間において、駆動回路22を停止状態とすることにより、消費電力を削減することができる。
期間T30における駆動回路22の動作は、期間T10と同様である。なお、期間T20においては、駆動回路22、駆動回路35の双方を停止状態としてもよいし、一方のみを停止状態としてもよい。また、図8では映像信号が全ての配線SLに一斉に供給される線順次駆動について説明したが、配線SLに順次に映像信号が供給される点順次駆動を用いてもよいし、複数の配線SLごとに順に映像信号が供給される方式を用いてもよい。
このように、画素群32に表示される映像に変化がない期間において、駆動回路22又は駆動回路35を停止状態とすることにより、表示システムの消費電力を削減することができる。
以上の通り、本発明の一態様においては、複数の表示ユニット30を用いて映像の表示を行う際、一部の表示ユニット30を用いて調光又は調色などの補正を行い、他の表示ユニット30への映像信号の供給を停止することができる。これにより、表示システム10の消費電力を低減しつつ、表示される映像の品質を向上させることができる。また、本発明の一態様において、表示ユニット30にOSトランジスタを用いることにより、表示ユニット30に表示された映像を極めて長期間維持することができ、表示システム10の消費電力をさらに低減することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示システムのより具体的な構成例について説明する。
<表示システムの構成例>
図9に、表示部11、信号生成部12、センサ部13によって構成される表示システム10の具体例を示す。図9に示す信号生成部12は、図1に示す回路に加え、インターフェース70、フレームメモリ71a、71b、レジスタ72、タイミングコントローラ73、センサコントローラ74、クロック生成回路75、タッチセンサコントローラ76を有する。また、画像処理部21a、21bはそれぞれ、調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83を有する。また、レジスタ72は、記憶回路85、記憶回路86を有する。
表示部11は、画素33aが設けられた表示ユニット30a、画素33bが設けられた表示ユニット30bを有する。ここでは一例として、画素33aが発光素子を有し、画素33bが反射型の液晶素子を有する場合について説明する。また、表示部11は、タッチの有無、タッチ位置などの情報を得る機能を有するタッチセンサユニット36を有していてもよい。表示部11がタッチセンサユニット36を有しない場合、タッチセンサコントローラ76は省略することができる。
信号生成部12は、ホスト14と通信を行う機能を有する。信号生成部12とホスト14との通信は、インターフェース70を介して行われる。ホスト14から信号生成部12には、画像データ、各種制御信号などが送られる。また、信号生成部12からホスト14には、タッチセンサコントローラ76が取得したタッチの有無、タッチ位置などの情報が送られる。なお、信号生成部12が有する回路は、ホスト14の規格、表示部11の仕様等によって、適宜取捨される。ホスト14は、信号生成部12の動作を制御する機能を有するプロセッサなどに相当し、CPU(Central Processor Unit)、やGPU(Graphics Processing Unit)などによって構成することができる。
フレームメモリ71a、71bは、信号生成部12に入力された画像データを記憶する機能を有する。具体的には、フレームメモリ71aは、データIDaを記憶し、画像処理部21aに出力する機能を有する。また、フレームメモリ71bは、データIDbを記憶し、画像処理部21bに出力する機能を有する。
ホスト14から信号生成部12に入力された画像データが圧縮されている場合は、フレームメモリ71には圧縮データが格納される。そして、フレームメモリ71から出力された圧縮データは、デコーダによって伸長された後、画像処理部21に出力される。なお、デコーダはフレームメモリ71とインターフェース70との間に配置することもできる。
レジスタ72は、信号生成部12の動作に用いられるデータを格納する機能を有する。レジスタ72が格納するデータとしては、コントローラ20が行う信号処理に用いられるデータ、画像処理部21が補正処理を行うために使用するパラメータ、タイミングコントローラ73がタイミング信号を生成するために使用するパラメータなどが挙げられる。
タイミングコントローラ73は、駆動回路22、タッチセンサコントローラ76、表示ユニット30が有する駆動回路35(図2参照)などで用いられるタイミング信号を生成する機能を有する。タイミング信号の生成に用いられるパラメータは、レジスタ72に格納される。タイミングコントローラ73に入力されるパラメータを変更することにより、タイミングコントローラ73によって生成されるタイミング信号の波形を制御することができる。
センサコントローラ74は、信号SENに基づいて制御信号を生成し、コントローラ20に出力する機能を有する。そして、コントローラ20は入力された制御信号に基づいて、画像処理部21a、21b、スイッチ回路23、レジスタ72の動作を制御する機能を有する。クロック生成回路75は、信号生成部12で使用されるクロック信号を生成する機能を有する。
タッチセンサコントローラ76は、タッチセンサユニット36の動作を制御する機能を有する。タッチセンサユニット36で検出されたタッチ情報を含む信号は、タッチセンサコントローラ76で処理された後、インターフェース70を介してホスト14に送信される。そして、ホスト14は、タッチ情報を反映した画像データを生成し、信号生成部12に送信することができる。なお、信号生成部12が画像データにタッチ情報を反映させる機能を有していてもよい。また、タッチセンサコントローラ76は、タッチセンサユニット36に設けられていてもよい。
画像処理部21は、調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83を用いることにより、データIDを補正する機能を有する。調光回路81は、データIDを補正することにより、画素33の輝度を補正する機能を有する。調色回路82は、データIDを補正することにより、画素33の色調を補正する機能を有する。ガンマ補正回路83は、データIDにガンマ補正を施す機能を有する。調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83による補正の程度は、これらの回路に入力されるパラメータを変更することにより制御することができる。
調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83において用いられるパラメータは、レジスタ72に格納される。そして、補正を行う際は、レジスタ72に格納されたパラメータが調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83に出力される。ここで、コントローラ20は、センサ部13によって検出された外光の強度に応じたパラメータをレジスタ72に格納し、当該パラメータをレジスタ72から調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83に出力させることができる。これにより、画像処理部21において外光の強度に応じた補正が行われる。
パラメータが格納されるレジスタ72は、記憶回路85、86を有する。記憶回路85には、レジスタ72から外部に出力されるデータが記憶される。一方、記憶回路86は、記憶回路85から転送されたデータを保持する機能を有する。記憶回路85、86の間のデータの送受信は、コントローラ20によって制御される。
ここで、記憶回路86は、記憶回路86に電力が供給されていない期間にもデータを保持することが可能な回路である。すなわち、記憶回路86は不揮発性の記憶回路としての機能を有する。そのため、レジスタ72への電力の供給が停止される直前に、記憶回路85に格納されたデータを記憶回路86に退避させることにより、レジスタ72にデータを保持したまま、レジスタ72への電力の供給を停止することができる。
なお、電力の供給が停止された期間においても記憶回路86に記憶されたデータを保持するためには、記憶回路86にオフ電流が極めて小さいトランジスタを用いることが好ましい。ここで、記憶回路86に用いるトランジスタとして、OSトランジスタを用いることができる。記憶回路86にOSトランジスタを用いた場合、記憶回路86に保持された電位を長期間にわたって保持することができる。これにより、レジスタ72への電力の供給が停止された期間においても、長期間データを保持することができる。
また、画像処理部21は、レジスタ72から入力されたパラメータを格納するための記憶装置を有していてもよい。この場合、当該記憶装置にはOSトランジスタを用いることが好ましい。これにより、画像処理部21への電力の供給が停止された期間においてもパラメータを保持することができ、電力の供給が再開された際に画像処理を素早く再開することができる。
スイッチ回路23は、画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22b、フレームメモリ71a、71b、レジスタ72、タイミングコントローラ73への電力の供給を制御する機能を有する。これらの回路への電力の供給の有無は、コントローラ20から出力される信号PCに基づいて決定される。信号PCは、表示部11に表示される映像の変化、及び外光の変化に応じて、コントローラ20によって生成される。
また、駆動回路22aが画素33aに設けられた発光素子に流れる電流を検出する機能を有する回路(電流検出回路)を有する場合、画像処理部21aにはEL補正回路84を設けてもよい。EL補正回路84は、電流検出回路から送信される信号に基づいて、発光素子の輝度を調節する機能を有する。
また、画像処理部21は、表示部11の仕様によって、RGB−RGBW変換回路など、他の処理回路を有していてもよい。RGB−RGBW変換回路とは、RGB(赤、緑、青)画像データを、RGBW(赤、緑、青、白)画像信号に変換する機能をもつ回路である。すなわち、表示部11がRGBW4色の画素を有する場合、画像データ内のW(白)成分を、W(白)画素を用いて表示することで、消費電力を低減することができる。なお、表示部11がRGBYの4色の画素を有する場合、例えば、RGB−RGBY(赤、緑、青、黄)変換回路を用いることができる。
<表示システムの動作例>
次に、図9に示す表示システム10の動作例について説明する。ここでは、表示ユニット30aと表示ユニット30bの両方を用いて、表示部11に映像が表示されている場合について説明する。
[映像の更新]
表示部11に表示される映像に変化がある場合は、ホスト14からインターフェース70にデータIDa、IDbが入力される。また、コントローラ20はスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22b、フレームメモリ71a、71b、レジスタ72、タイミングコントローラ73に電力を供給する。そして、データIDaはフレームメモリ71aに格納され、データIDbはフレームメモリ71bに格納される。その後、画像処理部21aは、フレームメモリ71aから入力されたデータIDaに調光、調色、ガンマ補正を施し、データIDa´として駆動回路22aに出力する。また、画像処理部21bは、フレームメモリ71bから入力されたデータIDbに調光、調色、ガンマ補正を施し、データIDb´として駆動回路22bに出力する。
駆動回路22aは、データIDa´に基づいて信号SDaを生成し、画素33aに供給する。駆動回路22bは、データIDb´に基づいて信号SDbを生成し、画素33bに供給する。これにより、映像の更新が行われる。なお、信号SDa、SDbが表示部11に出力されるタイミングは、タイミングコントローラ73によって生成されたタイミング信号によって制御される。
[映像の補正]
表示部11に表示される映像が変化せず、且つ、センサ部13によって検出された外光の変化量が基準値以上である場合は、外光の変化に応じてデータIDaが補正される。具体的には、まず、コントローラ20はスイッチ回路23を制御し、画像処理部21a、駆動回路22a、フレームメモリ71a、レジスタ72、タイミングコントローラ73に電力を供給する。そして、フレームメモリ71aから画像処理部21aにデータIDaが入力され、レジスタ72から画像処理部21aに外光の変化に応じたパラメータが入力され、画像処理部21aによってデータIDaの調光、調色、ガンマ補正が行われる。その後、駆動回路22aから信号SDaが出力され、画素33aの輝度、色調が補正される。これにより、表示部11に表示される映像の補正が行われる。
上記のように、フレームメモリ71aに記憶されたデータIDaが画像処理部21aに入力される構成とすることにより、ホスト14から画像データを受信することなくデータIDaの補正を行うことができる。よって、データの送受信に要する消費電力を削減することができる。
画像処理部21aによってデータIDaの補正が行われる場合、コントローラ20は画像処理部21b、駆動回路22b、フレームメモリ71bへの電力の供給を停止する。これにより、信号生成部12の消費電力を削減することができる。
なお、図10に示すように、レジスタ72には、画像処理部21aで用いられるパラメータが記憶される記憶回路85a、86aと、画像処理部21bで用いられるパラメータが記憶される記憶回路85b、86bを独立して設けることができる。そして、画像処理部21aによってデータIDaの補正が行われる際は、記憶回路85bに記憶されたデータを記憶回路86bに退避させた後、記憶回路85b、86bへの電力の供給を停止することができる。このように、レジスタ72の内部において、画像データの補正に使用される領域に選択的に電力を供給することにより、レジスタ72の消費電力を削減することができる。
[映像の維持]
表示部11に表示される映像が変化せず、且つ、センサ部13によって検出された外光の変化量が基準値未満である場合は、信号生成部12による映像信号の生成を停止し、映像信号の生成に用いられる回路への電力の供給を停止することができる。具体的には、コントローラ20が画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22b、フレームメモリ71a、71b、レジスタ72、タイミングコントローラ73への電力の供給を停止する。これにより、信号生成部12の消費電力を低減することができる。
なお、記憶回路85に記憶されたデータは、レジスタ72への電力の供給が停止される直前に、記憶回路86に退避させることができる。これにより、レジスタ72への電力の供給が停止された期間においても、レジスタ72に記憶されたデータを保持することができる。
以上のように、信号生成部12は、表示部11に表示される映像の変化及び外光の変化に応じて、電力を供給する回路を変更することができる。これにより、信号生成部12の消費電力を削減することができる。
なお、コントローラ20にはタイマ機能を搭載することもできる。この場合、タイマで測定した時間に基づいて、電力供給の停止又は再開するタイミングを決定することができる。
<パラメータ>
画像処理部21における画像処理は、入力された画像データXに対して調光、調色、ガンマ補正などの補正を施し、補正データYを生成することにより行われる。この補正の方法は、補正の内容や精度に応じて自由に設定することができる。ここでは一例として、テーブル方式による補正と関数近似方式による補正について説明する。
テーブル方式は、図11(A)に示すように、画像処理部21に入力され得る画像データXそれぞれに対応する補正データYを予め準備しておき、入力された画像データXに対応する補正データYを出力する方法である。この方法を用いる場合、画像データXと補正データYの対応を表すルックアップテーブルが、パラメータとしてレジスタ72に格納される。
テーブル方式にはルックアップテーブルが用いられるため、補正に必要なパラメータの数は比較的多くなる。しかしながら、画像データXに対応する補正データYを個別に設定できるため、精度の高い補正を行うことができる。
一方、あらかじめ経験的に画像データXに対する補正データYを決定できる場合には、関数近似方式を用いることができる。関数近似方式は、画像処理部21に入力され得る画像データXの範囲を複数の領域に区分し、各領域において画像データXと補正データYの関係を近似式によって規定する方式である。図11(B)では、Xの範囲を領域A、B、Cに区分し、各領域の画像データXと補正データYの関係をそれぞれ直線で近似している。そして、画像処理部21に画像データXが入力されると、当該データXが属する領域の近似直線に基づいて補正データYが算出される。
図11(B)に示す関数近似方式を用いる場合、領域の区分数や、直線を定義するための値a、a、a、b、b、bなどが、補正のパラメータとしてレジスタ72に格納される。
関数近似方式は、補正データYを近似によって算出する方法であるため、補正の精度はテーブル方式に劣る。しかしながら、補正に必要なパラメータの数はテーブル近似よりも少ないため、レジスタ72に格納されるデータの量を抑えることができる。
なお、関数近似方式における領域の区分数は特に限られない。区分数が多いほど補正の精度は向上し、区分数が少ないほど簡易に補正を行うことができる。また、ここでは線形関数によって近似が行われる場合について説明したが、非線形関数によって近似してもよい。
以上のように、画像処理部21は、レジスタ72に格納されたパラメータを用いて画像処理を行うことができる。また、コントローラ20によって、レジスタ72に格納されたパラメータが外光の強度に応じて変更されることにより、画像処理部21は外光の強度に合わせた画像処理を行うことができる。
また、タイミングコントローラ73は、レジスタ72に格納されたパラメータを用いて、タイミング信号を生成することができる。図11(C)に、タイミング信号を生成するタイミングコントローラ73の動作例を示す。信号Srefはタイミングコントローラ73に入力される基準信号であり、信号TSはタイミングコントローラ73によって生成されるタイミング信号である。
タイミングコントローラ73は、基準信号Srefを基準として、信号TSがローレベルからハイレベルになるタイミング、及びハイレベルからローレベルになるタイミングを設定することにより、信号TSの波形を変更することができる。そして、これらのタイミングの設定は、レジスタ72から入力されたパラメータを用いて行われる。図11(C)において、Raは、基準信号Srefがハイレベルになってから信号TSがローレベルである期間を定義するパラメータであり、Rbは、Raに対応する期間後に信号TSがハイレベルになってから、信号TSがハイレベルを維持し続ける期間を定義するパラメータである。よって、レジスタ72から入力されるパラメータを変更することにより、タイミングコントローラ73によって生成されるタイミング信号の波形を変更することができる。
なお、レジスタ72には、上記以外のパラメータを格納することもできる。レジスタ72に格納できる他のパラメータとしては、例えば、EL補正回路84のデータ、ユーザーによって設定される、映像の輝度、映像の色調、省エネルギー設定(表示を暗くする、または表示を消す、までの時間)、タッチセンサコントローラ76の感度などが挙げられる。
<フレームメモリの構成例>
次に、フレームメモリ71の構成例について説明する。図12(A)に、フレームメモリ71a、71bに用いることができる記憶装置100の構成例を示す。記憶装置100は、制御部101、セルアレイ102、周辺回路103を有する。周辺回路103は、センスアンプ回路104、駆動回路105、メインアンプ106、入出力回路107を有する。
制御部101は、記憶装置100を制御する機能を有する。例えば、制御部101は、駆動回路105、メインアンプ106、および入出力回路107を制御する機能を有する。
駆動回路105には、複数の配線WL、配線CSELが接続されている。駆動回路105は、複数の配線WL、配線CSELに出力する信号を生成する。
セルアレイ102は、複数のメモリセル108を有する。メモリセル108は、配線WL、配線LBL(又は配線LBLB)、配線BGLと接続されている。配線WLはワード線であり、配線LBL、配線LBLBは、ローカルビット線である。図12(A)の例では、セルアレイ102の構成は、折り返しビット線方式であるが、開放ビット線方式とすることもできる。
図12(B)に、メモリセル108の構成例を示す。メモリセル108は、トランジスタMW1、容量素子CS1を有する。メモリセル108は、DRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)のメモリセルと同様の回路構成を有する。ここでは、トランジスタMW1はバックゲートをもつトランジスタである。トランジスタMW1のバックゲートは、配線BGLに電気的に接続されている。配線BGLには、電位Vbgが入力される。
トランジスタMW1は、OSトランジスタである。OSトランジスタはオフ電流が極めて小さいため、OSトランジスタでメモリセル108を構成することで、容量素子CS1から電荷がリークすることを抑えられるため、フレームメモリ71が有する記憶装置100のリフレッシュ動作の頻度を低減できる。また、電力の供給が遮断されても、フレームメモリ71が有する記憶装置100は長時間画像データを保持することが可能である。また、電位Vbgを負電位にすることで、トランジスタMW1の閾値電圧を正電位側にシフトさせることができ、メモリセル108の保持時間を長くすることができる。
ここでいう、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態のときにソースとドレインとの間に流れる電流をいう。チャネル幅で規格化したOSトランジスタのオフ電流は、ソースドレイン間電圧が10V、室温(25℃程度)の状態で10×10−21A/μm(10ゼプトA/μm)以下とすることが可能である。トランジスタMW1に用いるOSトランジスタのオフ電流は、室温(25℃程度)にて1×10−18A以下、又は、1×10−21A以下、又は1×10−24A以下が好ましい。又は、オフ電流は85℃にて1×10−15A以下、又は1×10−18A以下、又は1×10−21A以下であることが好ましい。
また、OSトランジスタのチャネル形成領域に含まれる金属酸化物は、インジウム(In)および亜鉛(Zn)の少なくとも一方を含むこと好ましい。このような金属酸化物としては、In酸化物、Zn酸化物、In−Zn酸化物、In−M−Zn酸化物(元素Mは、Al、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、Nd、又はHf)が代表的である。これら金属酸化物は、電子供与体(ドナー)となる水素などの不純物を低減し、かつ酸素欠損も低減することで、金属酸化物をi型半導体(真性半導体)にする、あるいはi型半導体に限りなく近づけることができる。このような金属酸化物は、高純度化された金属酸化物と呼ぶことができる。例えば、金属酸化物のキャリア密度は、8×1015cm−3未満、好ましくは1×1011cm−3未満、より好ましくは1×1010cm−3未満であり、且つ、1×10−9cm−3以上とすることができる。
また、金属酸化物はエネルギーギャップが大きく、電子が励起されにくく、ホールの有効質量が大きい。このため、OSトランジスタはSiトランジスタと比較して、アバランシェ崩壊等が生じにくい場合がある。アバランシェ崩壊に起因するホットキャリア劣化等が抑制されることで、OSトランジスタは高いドレイン耐圧を有することとなり、高いドレイン電圧で駆動することが可能である。そのため、トランジスタMW1にOSトランジスタを用いることにより、容量素子CS1に保持される電位の範囲を広げることができる。
メモリセル108以外の回路が有するトランジスタとしては、OSトランジスタ以外のトランジスタを用いてもよい。例えば、金属酸化物以外の単結晶半導体を有する基板の一部にチャネル形成領域が形成されるトランジスタを用いてもよい。このような基板としては、単結晶シリコン基板や単結晶ゲルマニウム基板などが挙げられる。また、トランジスタ161として、金属酸化物以外の半導体材料を含む膜に、チャネル形成領域が形成されるトランジスタを用いることもできる。このようなトランジスタとしては、例えば、非晶質シリコン膜、微結晶シリコン膜、多結晶シリコン膜、単結晶シリコン膜、非晶質ゲルマニウム膜、微結晶ゲルマニウム膜、多結晶ゲルマニウム膜、又は単結晶ゲルマニウム膜を半導体層に用いたトランジスタが挙げられる。例えば、メモリセル108以外の回路が有するトランジスタをシリコンウエハに作製されるSiトランジスタとすると、セルアレイ102をセンスアンプ回路104に積層して設けることができる。よって、記憶装置100の回路面積を縮小できる。
セルアレイ102は、センスアンプ回路104に積層して設けられている。センスアンプ回路104は、複数のセンスアンプSAを有する。センスアンプSAは隣接する配線LBL、配線LBLB(ローカルビット線対)、配線GBL、配線GBLB(グローバルビット線対)、複数の配線CSELに電気的に接続されている。センスアンプSAは、配線LBLと配線LBLBとの電位差を増幅する機能を有する。
センスアンプ回路104には、4本の配線LBLに対して1本の配線GBLが設けられ、4本の配線LBLBに対して1本の配線GBLBが設けられているが、センスアンプ回路104の構成は、図12(A)の構成例に限定されない。
メインアンプ106は、センスアンプ回路104および入出力回路107と接続されている。メインアンプ106は、配線GBLと配線GBLBの電位差を増幅する機能を有する。メインアンプ106は省略することができる。
入出力回路107は、書き込みデータに対応する電位を配線GBLと配線GBLB、またはメインアンプ106に出力する機能、配線GBLと配線GBLBの電位、またはメインアンプ106の出力電位を読み出し、データとして外部に出力する機能を有する。配線CSELの信号によって、データを読み出すセンスアンプSA、およびデータを書き込むセンスアンプSAを選択することができる。よって、入出力回路107は、マルチプレクサなどの選択回路が不要であるため、回路構成を簡単化でき、占有面積を縮小することができる。
上記のように、フレームメモリ71a、71bをOSトランジスタを用いて構成することにより、電力の供給が停止された期間においても、画像データを保持することができる。そのため、フレームメモリ71a、71bへの電力の供給が再開された際、ホスト14(図9参照)から画像データが入力される前に映像信号の生成を開始することができる。よって、クイックスタートが可能なパワーゲーティングを行うことができる。
なお、図12に示す記憶装置100は、図9における画像処理部21a、21bに設けることもできる。この場合、画像処理部21a、21bに設けられた当該記憶装置100に、調光回路81、調色回路82、ガンマ補正回路83において用いられるパラメータを記憶することができる。そして、画像処理部21a、21bへの電力の供給が停止された期間においても、画像処理部21a、21b設けられた当該記憶装置100に、当該パラメータを保持することができる。
<レジスタの構成例>
次に、レジスタ72の構成例について説明する。図13(A)は、レジスタ72の構成例を示すブロック図である。レジスタ72は、レジスタ部110A、スキャンチェーンレジスタ部110Bを有する。レジスタ部110Aは、複数のレジスタ111aを有する。スキャンチェーンレジスタ部110Bは、複数のレジスタ111bを有する。複数のレジスタ111bによって、スキャンチェーンレジスタが構成されている。
レジスタ111aは揮発性レジスタである。レジスタ111aの回路構成には特段の制約はなく、データを記憶することが可能な回路であればよく、ラッチ回路、フリップフロップ回路などで構成すればよい。コントローラ20、画像処理部21、タイミングコントローラ73は、レジスタ部110Aにアクセスし、対応するレジスタ111aからデータを取り込む。また、コントローラ20、画像処理部21、タイミングコントローラ73は、レジスタ部110Aから供給されるデータにしたがって、処理内容が制御される。
レジスタ111bは、電源が遮断された状態でもデータが消失しない不揮発性レジスタである。レジスタ111bを不揮発化するため、ここでは、レジスタ111bは、OSトランジスタを用いた記憶回路を備えている。
なお、レジスタ部110Aは、図9における記憶回路85に対応する。また、スキャンチェーンレジスタ部110Bは、図9における記憶回路86に対応する。
レジスタ72に格納しているデータを更新する場合、まず、スキャンチェーンレジスタ部110Bのデータを変更する。スキャンチェーンレジスタ部110Bの各レジスタ111bのデータを書き換えた後、スキャンチェーンレジスタ部110Bの各レジスタ111bのデータを、レジスタ部110Aの各レジスタ111aに一括してロードする。
これにより、コントローラ20、画像処理部21、タイミングコントローラ73は、一括して更新されたデータを使用して、各種処理を行うことができる。データの更新に同時性が保たれるため、信号生成部12の安定した動作を実現できる。例えば、外光の変化によってレジスタ72に格納されたパラメータが変更される場合、コントローラ20からスキャンチェーンレジスタ部110Bに順次入力されたパラメータを、レジスタ部110Aに一括で転送し、レジスタ部110Aから画像処理部21に同時に出力することができる。これにより、画像処理部21で用いられる複数のパラメータを同時に更新することができ、補正を正確に行うことができる。
また、レジスタ部110Aとスキャンチェーンレジスタ部110Bとを備えることで、コントローラ20、画像処理部21、タイミングコントローラ73が動作中でも、スキャンチェーンレジスタ部110Bのデータを更新することができる。これにより、レジスタ72に格納されるパラメータを、表示の変化及び外光の変化に応じて、リアルタイムで変更することができ、映像の品質を向上させることができる。
レジスタ72への電力の供給を停止する際は、レジスタ111bにデータを退避(セーブ)させてから電力を遮断する。また、電力が復帰した後は、レジスタ111bに退避させたデータをレジスタ111aに復帰(ロード)させて通常動作を再開する。なお、レジスタ111aに格納されているデータとレジスタ111bに格納されているデータとが整合しない場合は、レジスタ111aのデータをレジスタ111bにセーブした後、あらためて、レジスタ111bの保持回路にデータを格納する構成が好ましい。データが整合しない場合としては、スキャンチェーンレジスタ部110Bに更新データを挿入中などが挙げられる。
なお、図13(B)に示すように、レジスタ72には、画像処理部21aで用いられるパラメータを格納するレジスタ部110Aa及びスキャンチェーンレジスタ部110Baと、画像処理部21bで用いられるパラメータを格納するレジスタ部110Ab及びスキャンチェーンレジスタ部110Bbと、を個別に設けることもできる。そして、画像処理部21aへの電力の供給が停止される期間においては、スイッチ回路23によって、レジスタ部110Aa及びスキャンチェーンレジスタ部110Baへの電力の供給を停止することができる。また、画像処理部21bへの電力の供給が停止される期間においては、スイッチ回路23によって、レジスタ部110Ab及びスキャンチェーンレジスタ部110Bbへの電力の供給を停止することができる。これにより、レジスタ72への電力の供給を選択的に行うことができ、消費電力の削減を図ることができる。
図14に、レジスタ111a、レジスタ111bの回路構成例を示す。図14には、スキャンチェーンレジスタ部110Bの2段分のレジスタ111bと、これらレジスタ111bに対応する2個のレジスタ111aを示している。
レジスタ111bは、保持回路120、セレクタ130、フリップフロップ回路140を有する。セレクタ130とフリップフロップ回路140とでスキャンフリップフロップ回路が構成されている。
保持回路120には、信号SAVE2、信号LOAD2が入力される。保持回路120は、トランジスタTr1乃至Tr6、容量素子C1、C2を有する。トランジスタTr1、Tr2はOSトランジスタである。トランジスタTr1、Tr2をメモリセル108のトランジスタMW1(図12(B)参照)と同様にバックゲート付きのOSトランジスタとしてもよい。
トランジスタTr1、Tr3、Tr4および容量素子C1により、3トランジスタ型のゲインセルが構成される。同様に、トランジスタTr2、Tr5、Tr6および容量素子C2により、3トランジスタ型のゲインセルが構成される。2個のゲインセルによって、フリップフロップ回路140が保持する相補データを記憶する。ここで、トランジスタTr1、Tr2はOSトランジスタであるため、トランジスタTr1、Tr2をオフ状態とすることにより、容量素子C1、C2に蓄積された電荷を長期間にわたって保持することができる。そのため、レジスタ72に保持されたデータを容量素子C1、C2に退避させることにより、電力の供給が停止された状態でも長時間データを保持することが可能なレジスタ72を実現することができる。なお、レジスタ111bにおいて、トランジスタTr1、Tr2以外のトランジスタはSiトランジスタで構成すればよい。
保持回路120は、信号SAVE2に従い、フリップフロップ回路140が保持する相補データを格納し、信号LOAD2に従い、保持しているデータをフリップフロップ回路140にロードする。
フリップフロップ回路140の入力端子には、セレクタ130の出力端子が接続され、データ出力端子には、レジスタ111aの入力端子が接続されている。フリップフロップ回路140は、インバータ141乃至146、アナログスイッチ147、148を有する。アナログスイッチ147、148の導通状態は、スキャンクロック(Scan Clockと表記)信号によって制御される。フリップフロップ回路140は、図14の回路構成に限定されず、様々なフリップフロップ回路140を適用することができる。
セレクタ130の2個の入力端子の一方には、レジスタ111aの出力端子が接続され、他方には、前段のフリップフロップ回路140の出力端子が接続されている。なお、スキャンチェーンレジスタ部110Bの初段のセレクタ130の入力端子は、レジスタ72の外部からデータが入力される。
レジスタ111は、インバータ151乃至153、クロックドインバータ154、アナログスイッチ155、バッファ156を有する。レジスタ111aは信号LOAD1に基づいて、フリップフロップ回路140のデータをロードする。レジスタ111aのトランジスタはSiトランジスタで構成すればよい。
次に、レジスタ72の動作例を説明する。図15に、図14に示すレジスタ72の構成を簡略化して示す。ここでは、レジスタ72がN段(Nは2以上の整数)のレジスタ111a(111a[1]乃至[N])、保持回路120(120[1]乃至[N])、フリップフロップ回路140(140[1]乃至[N])を有する場合について説明する。
図15において、データDRはフリップフロップ回路140からレジスタ111aに出力されるデータを示し、データDSはレジスタ111aからフリップフロップ回路140に出力されるデータを示し、データDSRはフリップフロップ回路140と保持回路120の間で入出力されるデータを示し、データDOSは保持回路120に格納されているデータを表す。また、レジスタ111a[1]乃至[N]からは、それぞれデータQ1乃至QNが出力される。データQ1乃至QNは、図9においてレジスタ72から出力されるパラメータなどに対応する。
図16は、図15に示すレジスタ72の動作例を示すタイミングチャートである。ここでは一例として、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に、データD乃至Dが格納される場合について説明する。
まず、期間T41において、データD乃至Dが、信号Scan Inとして順に入力され、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]にデータD乃至Dが格納される。その結果、データDR[1]乃至[N]、及びデータDSR[1]乃至[N]として、データD乃至Dが出力される。
次に、期間T42において、信号LOAD1がハイレベルとなる。これにより、データDR[1]乃至[N]として出力されたデータD乃至Dが、レジスタ111a[1]乃至[N]に格納される。その結果、データQ1乃至QN、及びデータDS[1]乃至[N]として、データD乃至Dが出力される。このように、信号Scan Inとして順次入力されたデータは、データQ1乃至QNとして一括で出力される。これにより、レジスタ72から出力されるパラメータなどを一括して変更することが出来る。
次に、期間T43において、信号SAVE1がハイレベルとなる。これにより、データDS[1]乃至[N]として出力されたデータD乃至Dが、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納される。その結果、データDR[1]乃至[N]、及びデータDSR[1]乃至[N]として、データD乃至Dが出力される。
なお、図16に示すように、期間T42と期間T43の間の期間において、信号Scan Inが変動し、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納されたデータが変更されても、データQ1乃至QNは変更されない。また、期間T43における動作により、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]のデータを、データQ1乃至QNで上書きすることができ、レジスタ111a[1]乃至[N]に格納されているデータとフリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納されているデータを整合させることができる。これにより、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納されるデータが更新されている最中に後述するデータの退避を行う場合でも、データの整合性が保たれた状態でデータを退避することができる。また、退避されたデータの復帰を高速に行うことができる。
次に、期間T44において、信号SAVE2がハイレベルとなる。これにより、データDSR[1]乃至[N]として出力されたデータD乃至Dが、保持回路120[1]乃至[N]に格納される。すなわち、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納されたデータが、保持回路120[1]乃至[N]に退避される。その結果、データDOS[1]乃至[N]が、データD乃至Dとなる。具体的には、図14の容量素子C1、C2の電極の電位が、データD乃至Dに対応した電位となる。
次に、期間T45において、レジスタ72への電源電位VDD3の供給が停止される、これにより、レジスタ111a、保持回路120、フリップフロップ回路140からのデータの出力が停止される。ただし、保持回路120に格納されているデータDOS[1]乃至[N]は、レジスタ72への電力の供給が停止された期間においても保持されている。具体的には、図14の容量素子C1、C2によって、データD乃至Dに対応した電位が保持されている。
次に、期間T46において、レジスタ72への電力の供給が再開され、信号LOAD2がハイレベルとなる。このとき、保持回路120に保持されていたデータD乃至Dが、データDRS[1]乃至[N]として出力され、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に格納される。すなわち、保持回路120[1]乃至[N]に退避されたデータが、フリップフロップ回路140[1]乃至[N]に復帰される。その結果、データDR[1]乃至[N]としてデータD乃至Dが出力される。
次に、期間T47において、信号LOAD1がハイレベルとなる。これにより、データDR[1]乃至[N]として出力されたデータD乃至Dが、レジスタ111a[1]乃至[N]に格納される。その結果、データQ1乃至QN、及びデータDS[1]乃至[N]として、データD乃至Dが出力される。これにより、保持回路120[1]乃至[N]から復帰されたデータが、データQ1乃至QNとして外部に出力される。
以上のように、レジスタ72は、順次入力されたデータに対応して、外部への出力を一括で変更することができる。また、レジスタ72は、電力の供給が停止される期間において、退避したデータを保持することができる。
<スイッチ回路の構成例>
次に、スイッチ回路23の構成例について説明する。
図17(A)に、信号生成部12が有する回路のパワーゲーティングを制御するスイッチ回路23の構成例を示す。スイッチ回路23は、トランジスタ161を有する。トランジスタ161のゲートは、信号PCが入力される端子と接続され、ソース又はドレインの一方は回路160と接続され、ソース又はドレインの他方は高電源電位VDDが供給される配線と接続されている。なお、ここではトランジスタ161がpチャネル型である場合について説明するが、トランジスタ161はnチャネル型であってもよい。また、トランジスタ161に供給される電源電位は、低電源電位VSSであってもよい。
回路160は、信号生成部12に設けられ、スイッチ回路23によって電力の供給が制御される回路である。例えば回路160は、図9における画像処理部21a、21b、駆動回路22a、22b、フレームメモリ71a、71b、レジスタ72、タイミングコントローラ73などに相当する。
なお、本明細書等において、トランジスタのソースとは、チャネル形成領域として機能する半導体層の一部であるソース領域や、当該半導体層と接続されたソース電極などを意味する。同様に、トランジスタのドレインとは、当該半導体層の一部であるドレイン領域や、当該半導体層と接続されたドレイン電極などを意味する。また、ゲートとは、ゲート電極などを意味する。
また、トランジスタが有するソースとドレインは、トランジスタの導電型及び各端子に与えられる電位の高低によって、その呼び方が入れ替わる。一般的に、nチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる端子がソースと呼ばれ、高い電位が与えられる端子がドレインと呼ばれる。また、pチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる端子がドレインと呼ばれ、高い電位が与えられる端子がソースと呼ばれる。本明細書では、便宜上、ソースとドレインとが固定されているものと仮定して、トランジスタの接続関係を説明する場合があるが、実際には上記電位の関係にしたがってソースとドレインの呼び方が入れ替わる。
コントローラ20から信号PCとしてローレベルの電位が供給されると、トランジスタ161はオン状態となり、回路160に電源電位VDDが供給される。これにより、回路160に電力が供給される。一方、コントローラ20から信号PCとしてハイレベルの電位が供給されると、トランジスタ161はオフ状態となり、回路160への電源電位VDDの供給が停止される。これにより、回路160への電力の供給が停止される。
なお、スイッチ回路23は、1つのトランジスタ161で複数の回路への電力の供給を同時に制御する構成としてもよい。例えば、スイッチ回路23に図17(B)に示す構成を用いることもできる。画像処理部21a、駆動回路22a、フレームメモリ71aへの電力の供給は、トランジスタ161aに供給される信号PCaによって制御され、画像処理部21b、駆動回路22b、フレームメモリ71bへの電力の供給は、トランジスタ161bに供給される信号PCbによって制御される。なお、レジスタ72を図13に示す構成とする場合は、レジスタ部110Aa及びスキャンチェーンレジスタ部110Baをトランジスタ161aと接続し、レジスタ部110Ab及びスキャンチェーンレジスタ部110Bbをトランジスタ161bと接続してもよい。これにより、表示ユニット30a、30bに表示される映像の変化の有無、及び外光の強度に応じて、複数の回路への電力の供給を一括で制御することができる。
なお、トランジスタ161として、OSトランジスタを用いることが好ましい。この場合、トランジスタ161がオフ状態である期間において、電源電位のリークを極めて小さく抑えることができ、消費電力をより効果的に低減することができる。なお、トランジスタ161にはOSトランジスタ以外のトランジスタを用いてもよい。
なお、トランジスタ161は、メモリセル108のトランジスタMW1(図12(B)参照)と同様にバックゲート付きのOSトランジスタとしてもよい。
以上のように、信号生成部12は、処理の内容に応じて電力の供給を制御することができる。これにより、消費電力の削減を図ることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示システムに用いることができる表示装置の構成例について説明する。ここでは特に、異なる複数の種類の表示素子が設けられた表示装置の構成例について説明する。
本実施の形態の表示装置は、ハイブリッド表示を行うことができる。ハイブリッド表示とは、1つのパネルにおいて、反射光と、自発光とを併用して、色調または光強度を互いに補完して、文字または画像を表示する方法である。または、ハイブリッド表示とは、同一画素ユニットにおいて複数の表示素子から、それぞれの光を用いて、文字及び/または画像を表示する方法である。ただし、ハイブリッド表示を行っているハイブリッドディスプレイを局所的にみると、複数の表示素子のいずれか一を用いて表示される画素ユニットと、複数の表示素子の二以上を用いて表示される画素ユニットと、を有する場合がある。
なお、本明細書等において、上記構成のいずれか1つまたは複数の表現を満たすものを、ハイブリッド表示という。
また、ハイブリッドディスプレイは、同一画素ユニットに複数の表示素子を有する。なお、複数の表示素子としては、例えば、光を反射する反射型素子と、光を射出する自発光素子とが挙げられる。なお、反射型素子と、自発光素子とは、それぞれ独立に制御することができる。ハイブリッドディスプレイは、表示部において、反射光、及び自発光のいずれか一方または双方を用いて、文字及び/または画像を表示する機能を有する。
また、本実施の形態の表示装置は、第1の表示素子、第2の表示素子を有する。第1の表示素子が可視光を反射する表示素子であり、第2の表示素子が可視光を発する表示素子である場合について説明する。本実施の形態の表示装置は、第1の表示素子が反射する光と、第2の表示素子が発する光のうち、いずれか一方、または両方により、画像を表示する機能を有する。
第1の表示素子には、外光を反射して表示する素子を用いることができる。このような素子は光源を持たないため、表示の際の消費電力を極めて小さくすることが可能となる。第1の表示素子には、代表的には反射型の液晶素子を用いることができる。または、第1の表示素子として、シャッター方式のMEMS素子、光干渉方式のMEMS素子の他、マイクロカプセル方式、電気泳動方式、エレクトロウェッティング方式、電子粉流体(登録商標)方式等を適用した素子などを用いることができる。
第2の表示素子には、発光素子を用いることが好ましい。このような表示素子が射出する光は、その輝度や色度が外光に左右されることがないため、色再現性が高く(色域が広く)、コントラストの高い、鮮やかな表示を行うことができる。第2の表示素子には、例えばOLED、LED、QLEDなどの自発光性の発光素子を用いることができる。
本実施の形態の表示装置は、第1の表示素子を用いて映像を表示する第1の表示モード、第2の表示素子を用いて映像を表示する第2の表示モード、並びに、第1の表示素子及び第2の表示素子を用いて映像を表示する第3の表示モードを有し、これらの表示モードを自動または手動で切り替えて使用することができる。
第1の表示モードでは、第1の表示素子と外光を用いて映像を表示する。第1の表示モードは光源が不要であるため、極めて低消費電力なモードである。例えば、表示装置に外光が十分に入射されるとき(明るい環境下など)は、第1の表示素子が反射した光を用いて表示を行うことができる。例えば、外光が十分に強く、かつ外光が白色光またはその近傍の光である場合に有効である。第1の表示モードは、文字を表示することに適したモードである。また、第1の表示モードは、外光を反射した光を用いるため、目に優しい表示を行うことができ、目が疲れにくいという効果を奏する。
第2の表示モードでは、第2の表示素子による発光を利用して画像を表示する。そのため、照度や外光の色度によらず、極めて鮮やかな(コントラストが高く、且つ色再現性の高い)表示を行うことができる。例えば、夜間や暗い室内など、照度が極めて低い場合などに有効である。また周囲が暗い場合、明るい表示を行うと使用者が眩しく感じてしまう場合がある。これを防ぐために、第2の表示モードでは輝度を抑えた表示を行うことが好ましい。これにより、眩しさを抑えることに加え、消費電力も低減することができる。第2の表示モードは、鮮やかな画像(静止画及び動画)などを表示することに適したモードである。
第3のモードでは、第1の表示素子による反射光と、第2の表示素子による発光の両方を利用して表示を行う。第1の表示モードよりも鮮やかな表示をしつつ、第2の表示モードよりも消費電力を抑えることができる。例えば、室内照明下や、朝方や夕方の時間帯など、照度が比較的低い場合、外光の色度が白色ではない場合などに有効である。また、反射光と発光とを混合させた光を用いることで、まるで絵画を見ているかのように感じさせる画像を表示することが可能となる。
このような構成とすることで、周囲の明るさによらず、視認性が高く利便性の高い表示装置または全天候型の表示装置を実現できる。
本実施の形態の表示装置は、第1の表示素子を有する第1の画素と、第2の表示素子を有する第2の画素とをそれぞれ複数有する。第1の画素と第2の画素は、それぞれ、マトリクス状に配置されることが好ましい。
第1の画素及び第2の画素は、それぞれ、1つ以上の副画素を有する構成とすることができる。例えば、画素には、副画素を1つ有する構成(白色(W)など)、副画素を3つ有する構成(赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)の3色、または、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色など)、または、副画素を4つ有する構成(赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、白色(W)の4色、または、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、黄色(Y)の4色など)を適用できる。
本実施の形態の表示装置は、第1の画素と第2の画素のどちらでも、フルカラー表示を行う構成とすることができる。または、本実施の形態の表示装置は、第1の画素では白黒表示またはグレースケールでの表示を行い、第2の画素ではフルカラー表示を行う構成とすることができる。第1の画素を用いた白黒表示またはグレースケールでの表示は、文書情報など、カラー表示を必要としない情報を表示することに適している。
なお、第1の表示素子と第2の表示素子は上記に限られず、自由に選択することができる。例えば、第1の表示素子、第2の表示素子の一方を透過型の液晶素子とし、他方を反射型の液晶素子とすることもできる。
<表示装置の構成例>
図18乃至図21を用いて、本実施の形態の表示装置の構成例について説明する。
[構成例1]
図18は、表示装置600の斜視概略図である。表示装置600は、基板651と基板661とが貼り合わされた構成を有する。図18では、基板661を破線で明示している。
表示装置600は、表示部662、回路664、配線665等を有する。図18では表示装置600にIC(集積回路)673及びFPC672が実装されている例を示している。そのため、図18に示す構成は、表示装置600、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
回路664としては、例えば駆動回路35a、35bを用いることができる。
配線665は、表示部662及び回路664に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC672を介して外部から、またはIC673から配線665に入力される。
図18では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板651にIC673が設けられている例を示す。IC673は、例えば駆動回路22a、22bなどを有するICを適用できる。なお、表示装置600及び表示モジュールは、IC673を設けない構成としてもよい。また、IC673を、COF方式等により、FPC672に実装してもよい。
図18には、表示部662の一部の拡大図を示している。表示部662には、複数の表示素子が有する電極611bがマトリクス状に配置されている。電極611bは、可視光を反射する機能を有し、液晶素子の反射電極として機能する。
また、図18に示すように、電極611bは開口451を有する。さらに表示部662は、電極611bよりも基板651側に、発光素子を有する。発光素子からの光は、電極611bの開口451を介して基板661側に射出される。発光素子の発光領域の面積と開口451の面積とは等しくてもよい。発光素子470の発光領域の面積と開口451の面積のうち一方が他方よりも大きいと、位置ずれに対するマージンが大きくなるため好ましい。特に、開口451の面積は、発光素子の発光領域の面積に比べて大きいことが好ましい。開口451が小さいと、発光素子からの光の一部が電極611bによって遮られ、外部に取り出せないことがある。開口451を十分に大きくすることで、発光素子の発光が無駄になることを抑制できる。
図19に、図18で示した表示装置600の、FPC672を含む領域の一部、回路664を含む領域の一部、及び表示部662を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
図19に示す表示装置600は、基板651と基板661の間に、トランジスタ501、トランジスタ503、トランジスタ505、トランジスタ506、液晶素子480、発光素子470、絶縁層520、着色層431、着色層434等を有する。基板661と絶縁層520は接着層441を介して接着されている。基板651と絶縁層520は接着層442を介して接着されている。
基板661には、着色層431、遮光層432、絶縁層421、及び液晶素子480の共通電極として機能する電極413、配向膜433b、絶縁層417等が設けられている。基板661の外側の面には、偏光板435を有する。絶縁層421は、平坦化層としての機能を有していてもよい。絶縁層421により、電極413の表面を概略平坦にできるため、液晶層412の配向状態を均一にできる。絶縁層417は、液晶素子480のセルギャップを保持するためのスペーサとして機能する。絶縁層417が可視光を透過する場合は、絶縁層417を液晶素子480の表示領域と重ねて配置してもよい。
液晶素子480は反射型の液晶素子である。液晶素子480は、画素電極として機能する電極611a、液晶層412、電極413が積層された積層構造を有する。電極611aの基板651側に接して、可視光を反射する電極611bが設けられている。電極611bは開口451を有する。電極611a及び電極413は可視光を透過する。液晶層412と電極611aの間に配向膜433aが設けられている。液晶層412と電極413の間に配向膜433bが設けられている。
液晶素子480において、電極611bは可視光を反射する機能を有し、電極413は可視光を透過する機能を有する。基板661側から入射した光は、偏光板435により偏光され、電極413、液晶層412を透過し、電極611bで反射する。そして液晶層412及び電極413を再度透過して、偏光板435に達する。このとき、電極611bと電極413の間に与える電圧によって液晶の配向を制御し、光の光学変調を制御することができる。すなわち、偏光板435を介して射出される光の強度を制御することができる。また光は着色層431によって特定の波長領域以外の光が吸収されることにより、取り出される光は、例えば赤色を呈する光となる。
図19に示すように、開口451には可視光を透過する電極611aが設けられていることが好ましい。これにより、開口451と重なる領域においてもそれ以外の領域と同様に液晶層412が配向するため、これらの領域の境界部で液晶の配向不良が生じ、意図しない光が漏れてしまうことを抑制できる。
接続部507において、電極611bは、導電層521bを介して、トランジスタ506が有する導電層522aと接続されている。トランジスタ506は、液晶素子480の駆動を制御する機能を有する。
接着層441が設けられる一部の領域には、接続部552が設けられている。接続部552において、電極611aと同一の導電膜を加工して得られた導電層と、電極413の一部が、接続体543により接続されている。したがって、基板661側に形成された電極413に、基板651側に接続されたFPC672から入力される信号または電位を、接続部552を介して供給することができる。
接続体543としては、例えば導電性の粒子を用いることができる。導電性の粒子としては、有機樹脂またはシリカなどの粒子の表面を金属材料で被覆したものを用いることができる。金属材料としてニッケルや金を用いると接触抵抗を低減できるため好ましい。またニッケルをさらに金で被覆するなど、2種類以上の金属材料を層状に被覆させた粒子を用いることが好ましい。また接続体543として、弾性変形、または塑性変形する材料を用いることが好ましい。このとき導電性の粒子である接続体543は、図19に示すように上下方向に潰れた形状となる場合がある。こうすることで、接続体543と、これと電気的に接続する導電層との接触面積が増大し、接触抵抗を低減できるほか、接続不良などの不具合の発生を抑制することができる。
接続体543は、接着層441に覆われるように配置することが好ましい。例えば、硬化前の接着層441に接続体543を分散させておけばよい。
発光素子470は、ボトムエミッション型の発光素子である。発光素子470は、絶縁層520側から画素電極として機能する電極491、EL層492、及び共通電極として機能する電極493の順に積層された積層構造を有する。電極491は、絶縁層514に設けられた開口を介して、トランジスタ505が有する導電層522bと接続されている。トランジスタ505は、発光素子470の駆動を制御する機能を有する。絶縁層516が電極491の端部を覆っている。電極493は可視光を反射する材料を含み、電極491は可視光を透過する材料を含む。電極493を覆って絶縁層494が設けられている。発光素子470が発する光は、着色層434、絶縁層520、開口451、電極611a等を介して、基板661側に射出される。
液晶素子480及び発光素子470は、画素によって着色層の色を変えることで、様々な色を呈することができる。表示装置600は、液晶素子480を用いて、カラー表示を行うことができる。表示装置600は、発光素子470を用いて、カラー表示を行うことができる。
トランジスタ501、トランジスタ503、トランジスタ505、及びトランジスタ506は、いずれも絶縁層520の基板651側の面上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の工程を用いて作製することができる。
液晶素子480と電気的に接続される回路は、発光素子470と接続される回路と同一面上に形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々の面上に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができる。また、2つのトランジスタを同一の工程で作製できるため、2つのトランジスタを別々の面上に形成する場合に比べて、作製工程を簡略化することができる。
液晶素子480の画素電極は、トランジスタが有するゲート絶縁層を挟んで、発光素子470の画素電極とは反対に位置する。
ここで、トランジスタ506にOSトランジスタを適用した場合や、トランジスタ506と接続される記憶素子を適用した場合などでは、液晶素子480を用いて静止画を表示する際に画素への書き込み動作を停止しても、階調を維持させることが可能となる。すなわち、フレームレートを極めて小さくしても表示を保つことができる。本発明の一態様では、フレームレートを極めて小さくでき、消費電力の低い駆動を行うことができる。
トランジスタ503は、画素の選択、非選択状態を制御するトランジスタ(スイッチングトランジスタ、または選択トランジスタともいう)である。トランジスタ505は、発光素子470に流れる電流を制御するトランジスタ(駆動トランジスタともいう)である。
絶縁層520の基板651側には、絶縁層511、絶縁層512、絶縁層513、絶縁層514等の絶縁層が設けられている。絶縁層511は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層512は、トランジスタ506等を覆って設けられる。絶縁層513は、トランジスタ505等を覆って設けられている。絶縁層514は、平坦化層としての機能を有する。なお、トランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、単層であっても2層以上であってもよい。
各トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水や水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア膜として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに対して外部から不純物が拡散することを効果的に抑制することが可能となり、信頼性の高い表示装置を実現できる。
トランジスタ501、トランジスタ503、トランジスタ505、及びトランジスタ506は、ゲートとして機能する導電層521a、ゲート絶縁層として機能する絶縁層511、ソース及びドレインとして機能する導電層522a及び導電層522b、並びに、半導体層531を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。
トランジスタ501及びトランジスタ505は、トランジスタ503及びトランジスタ506の構成に加えて、ゲートとして機能する導電層523を有する。
トランジスタ501及びトランジスタ505には、チャネル形成領域を有する半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。このような構成とすることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。このようなトランジスタは他のトランジスタと比較して電界効果移動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させることができる。その結果、高速駆動が可能な回路を作製することができる。さらには、回路部の占有面積を縮小することが可能となる。オン電流の大きなトランジスタを適用することで、表示装置を大型化、または高精細化したときに配線数が増大したとしても、各配線における信号遅延を低減することが可能であり、表示ムラを抑制することができる。
または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。
表示装置が有するトランジスタの構造に限定はない。回路664が有するトランジスタと、表示部662が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路664が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、2種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。同様に、表示部662が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、2種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。
導電層523には、酸化物を含む導電性材料を用いることが好ましい。導電層523を構成する導電膜の成膜時に、酸素を含む雰囲気下で成膜することで、絶縁層512に酸素を供給することができる。成膜ガス中の酸素ガスの割合を90%以上100%以下の範囲とすることが好ましい。絶縁層512に供給された酸素は、後の熱処理により半導体層531に供給され、半導体層531中の酸素欠損の低減を図ることができる。
特に、導電層523には、低抵抗化された金属酸化物を用いることが好ましい。このとき、絶縁層513に水素を放出する絶縁膜、例えば窒化シリコン膜等を用いることが好ましい。絶縁層513の成膜中、またはその後の熱処理によって導電層523中に水素が供給され、導電層523の電気抵抗を効果的に低減することができる。
絶縁層513に接して着色層434が設けられている。着色層434は、絶縁層514に覆われている。
基板651と基板661が重ならない領域には、接続部504が設けられている。接続部504では、配線665が接続層542を介してFPC672と接続されている。接続部504は接続部507と同様の構成を有している。接続部504の上面は、電極611aと同一の導電膜を加工して得られた導電層が露出している。これにより、接続部504とFPC672とを接続層542を介して接続することができる。
基板661の外側の面に配置する偏光板435として直線偏光板を用いてもよいが、円偏光板を用いることもできる。円偏光板としては、例えば直線偏光板と1/4波長位相差板を積層したものを用いることができる。これにより、外光反射を抑制することができる。また、偏光板の種類に応じて、液晶素子480に用いる液晶素子のセルギャップ、配向、駆動電圧等を調整することで、所望のコントラストが実現されるようにすればよい。
なお、基板661の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板661の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜等を配置してもよい。
基板651及び基板661には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイヤ、有機樹脂などを用いることができる。基板651及び基板661に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。
反射型の液晶素子を用いる場合には、表示面側に偏光板435を設ける。またこれとは別に、表示面側に光拡散板を配置すると、視認性を向上させられるため好ましい。
偏光板435よりも外側に、フロントライトを設けてもよい。フロントライトとしては、エッジライト型のフロントライトを用いることが好ましい。LED(Light Emitting Diode)を備えるフロントライトを用いると、消費電力を低減できるため好ましい。
[構成例2]
図20に示す表示装置600Aは、トランジスタ501、トランジスタ503、トランジスタ505、及びトランジスタ506を有さず、トランジスタ581、トランジスタ584、トランジス585、及びトランジスタ586を有する点で、主に表示装置600と異なる。
なお、図20では、絶縁層417及び接続部507等の位置も図19と異なる。図20では、画素の端部を図示している。絶縁層417は、着色層431の端部に重ねて配置されている。また、絶縁層417は、遮光層432の端部に重ねて配置されている。このように、絶縁層は、表示領域と重ならない部分(遮光層432と重なる部分)に配置されてもよい。
トランジスタ584及びトランジス585のように、表示装置が有する2つのトランジスタは、部分的に積層して設けられていてもよい。これにより、画素回路の占有面積を縮小することが可能なため、精細度を高めることができる。また、発光素子470の発光面積を大きくでき、開口率を向上させることができる。発光素子470は、開口率が高いと、必要な輝度を得るための電流密度を低くできるため、信頼性が向上する。
トランジスタ581、トランジスタ584、及びトランジスタ586は、導電層521a、絶縁層511、半導体層531、導電層522a、及び導電層522bを有する。導電層521aは、絶縁層511を介して半導体層531と重なる。導電層522a及び導電層522bは、半導体層531と電気的に接続される。トランジスタ581は、導電層523を有する。
トランジス585は、導電層522b、絶縁層517、半導体層561、導電層523、絶縁層512、絶縁層513、導電層563a、及び導電層563bを有する。導電層522bは、絶縁層517を介して半導体層561と重なる。導電層523は、絶縁層512及び絶縁層513を介して半導体層561と重なる。導電層563a及び導電層563bは、半導体層561と電気的に接続される。
導電層521aは、ゲートとして機能する。絶縁層511は、ゲート絶縁層として機能する。導電層522aはソースまたはドレインの一方として機能する。トランジスタ586が有する導電層522bは、ソースまたはドレインの他方として機能する。
トランジスタ584とトランジス585が共有している導電層522bは、トランジスタ584のソースまたはドレインの他方として機能する部分と、トランジス585のゲートとして機能する部分を有する。絶縁層517、絶縁層512、及び絶縁層513は、ゲート絶縁層として機能する。導電層563a及び導電層563bのうち、一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。導電層523は、ゲートとして機能する。
[構成例3]
図21に、表示装置600Bの表示部の断面図を示す。
図21に示す表示装置600Bは、基板651と基板661の間に、トランジスタ540、トランジスタ580、液晶素子480、発光素子470、絶縁層520、着色層431、着色層434等を有する。
液晶素子480では、外光を電極611bが反射し、基板661側に反射光を射出する。発光素子470は、基板661側に光を射出する。
基板661には、着色層431、絶縁層421、及び液晶素子480の共通電極として機能する電極413、配向膜433bが設けられている。
液晶層412は、配向膜433a及び配向膜433bを介して、電極611a及び電極413の間に挟持されている。
トランジスタ540は、絶縁層512及び絶縁層513で覆われている。絶縁層513と着色層434は、接着層442によって、絶縁層494と貼り合わされている。
表示装置600Bは、液晶素子480を駆動するトランジスタ540と発光素子470を駆動するトランジスタ580とを、異なる面上に形成するため、それぞれの表示素子を駆動するために適した構造、材料を用いて形成することが容易である。
<画素の構成例>
次に、表示装置が有する画素の具体的な構成例について、図22乃至図24を用いて説明する。
図3における画素ユニット34が有する電極の構成例を、図22に示す。電極611は、液晶素子の反射電極として機能する。図22(A)、(B)の電極611には、開口451が設けられている。
図22(A)、(B)には、電極611と重なる領域に位置する発光素子660を破線で示している。発光素子660は、電極611が有する開口451と重ねて配置されている。これにより、発光素子660が発する光は、開口451を介して表示面側に射出される。
図22(A)では、矢印Rで示す方向に隣接する画素ユニット34が異なる色に対応する画素である。このとき、図22(A)に示すように、矢印Rで示す方向に隣接する2つの画素において、開口451が一列に配列されないように、電極611の異なる位置に設けられていることが好ましい。これにより、2つの発光素子660を離すことが可能で、発光素子660が発する光が隣接する画素ユニット34が有する着色層に入射してしまう現象(クロストークともいう)を抑制することができる。また、隣接する2つの発光素子660を離して配置することができるため、発光素子660のEL層をシャドウマスク等により作り分ける場合であっても、高い精細度の表示装置を実現できる。
図22(B)では、矢印Cで示す方向に隣接する画素ユニット34が異なる色に対応する画素である。図22(B)においても同様に、矢印Cで示す方向に隣接する2つの画素において、開口451が一列に配列されないように、電極611の異なる位置に設けられていることが好ましい。
非開口部の総面積に対する開口451の総面積の比の値が小さいほど、液晶素子を用いた表示を明るくすることができる。また、非開口部の総面積に対する開口451の総面積の比の値が大きいほど、発光素子660を用いた表示を明るくすることができる。
開口451の形状は、例えば多角形、四角形、楕円形、円形または十字等の形状とすることができる。また、細長い筋状、スリット状、市松模様状の形状としてもよい。また、開口451を隣接する画素に寄せて配置してもよい。好ましくは、開口451を同じ色を表示する他の画素に寄せて配置する。これにより、クロストークを抑制できる。
また、図22(C)、(D)に示すように、電極611が設けられていない部分に、発光素子660の発光領域が位置していてもよい。これにより、発光素子660が発する光は、表示面側に射出される。
図22(C)では、矢印Rで示す方向に隣接する2つの画素ユニット34において、発光素子660が一列に配列されていない。図22(D)では、矢印Rで示す方向に隣接する2つの画素において、発光素子660が一列に配列されている。
図22(C)の構成は、隣接する2つの画素ユニット34が有する発光素子660どうしを離すことができるため、上述の通り、クロストークの抑制、及び、高精細化が可能となる。また、図22(D)の構成では、発光素子660の矢印Cに平行な辺側に、電極611が位置しないため、発光素子660の光が電極611に遮られることを抑制でき、高い視野角特性を実現できる。
図23は、画素ユニット34の回路図の一例である。図23では、隣接する2つの画素ユニット34を示している。
画素ユニット34は、スイッチSW11、容量素子C11、液晶素子640を有する画素670aと、スイッチSW12、トランジスタM、容量素子C2、及び発光素子660を有する画素670bを有する。また、画素ユニット34には、配線GLa、配線GLb、配線ANO、配線CSCOM、配線SLa、及び配線SLbが接続されている。また、図23では、液晶素子640と接続する配線VCOM1、及び発光素子660と電気的に接続する配線VCOM2を示している。
図23では、スイッチSW11及びスイッチSW12にトランジスタを用いた場合の例を示している。
スイッチSW11のゲートは、配線GLaと接続されている。スイッチSW11のソース又はドレインの一方は、配線SLaと接続され、ソース又はドレインの他方は、容量素子C11の一方の電極、及び液晶素子640の一方の電極と接続されている。容量素子C11の他方の電極は、配線CSCOMと接続されている。液晶素子640の他方の電極は配線VCOM1と接続されている。
スイッチSW12のゲートは、配線GLbと接続されている。スイッチSW12のソース又はドレインの一方は、配線SLbと接続され、ソース又はドレインの他方は、容量素子C2の一方の電極、及びトランジスタMのゲートと接続されている。容量素子C2の他方の電極は、トランジスタMのソース又はドレインの一方、及び配線ANOと接続されている。トランジスタMのソース又はドレインの他方は、発光素子660の一方の電極と接続されている。発光素子660の他方の電極は、配線VCOM2と接続されている。
図23では、トランジスタMが半導体を挟む2つのゲートを有し、これらが接続されている例を示している。これにより、トランジスタMが流すことのできる電流を増大させることができる。
配線VCOM1、配線CSCOMには、それぞれ所定の電位を与えることができる。
配線VCOM2及び配線ANOには、発光素子660が発光する電位差が生じる電位をそれぞれ与えることができる。
図23に示す画素ユニット34は、例えば反射モードの表示を行う場合には、配線GLa及び配線SLaに与える信号により駆動し、液晶素子640による光学変調を利用して表示することができる。また、透過モードで表示を行う場合には、配線GLb及び配線SLbに与える信号により駆動し、発光素子660を発光させて表示することができる。また両方のモードで駆動する場合には、配線GLa、配線GLb、配線SLa及び配線SLbのそれぞれに与える信号により駆動することができる。
なお、スイッチSW11及びスイッチSW12には、OSトランジスタを用いることが好ましい。これにより、画素670a、31bに映像信号を極めて長期間保持することができ、画素670a、31bに表示された階調を長期間維持することができる。
なお、図23では一つの画素ユニット34に、一つの液晶素子640と一つの発光素子660とを有する例を示したが、これに限られない。図24(A)は、一つの画素ユニット34に一つの液晶素子640と4つの発光素子660(発光素子660r、660g、660b、660w)を有する例を示している。図24(A)に示す画素670bは、図23とは異なり、1つの画素で発光素子を用いたフルカラーの表示が可能である。
図24(A)では、画素ユニット34に配線GLba、配線GLbb、配線SLba、配線SLbbが接続されている。
図24(A)に示す例では、例えば4つの発光素子660に、それぞれ赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、及び白色(W)を呈する発光素子を用いることができる。また液晶素子640として、白色を呈する反射型の液晶素子を用いることができる。これにより、反射モードの表示を行う場合には、反射率の高い白色の表示を行うことができる。また透過モードで表示を行う場合には、演色性の高い表示を低い電力で行うことができる。
図24(B)に、図24(A)に対応した画素ユニット34の構成例を示す。画素ユニット34は、電極611が有する開口部と重なる発光素子660wと、電極611の周囲に配置された発光素子660r、発光素子660g、及び発光素子660bとを有する。発光素子660r、発光素子660g、及び発光素子660bは、発光面積がほぼ同等であることが好ましい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示装置を用いた表示モジュールの構成例について説明する。
図25示す表示モジュール1000は、上部カバー1001と下部カバー1002との間に、FPC1003に接続されたタッチパネル1004、FPC1005に接続された表示装置1006、フレーム1009、プリント基板1010、及びバッテリ1011を有する。
上記実施の形態で説明した表示装置は、表示装置1006として用いることができる。
上部カバー1001及び下部カバー1002は、タッチパネル1004及び表示装置1006のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。
タッチパネル1004としては、抵抗膜方式又は静電容量方式のタッチパネルを表示装置1006に重畳して用いることができる。また、タッチパネル1004を設けず、表示装置1006に、タッチパネル機能を持たせるようにすることも可能である。
フレーム1009は、表示装置1006の保護機能の他、プリント基板1010の動作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。またフレーム1009は、放熱板としての機能を有していてもよい。
プリント基板1010は、電源回路、ビデオ信号及びクロック信号を出力するための信号処理回路を有する。電源回路に電力を供給する電源としては、外部の商用電源であっても良いし、別途設けたバッテリ1011による電源であってもよい。バッテリ1011は、商用電源を用いる場合には、省略可能である。
また、表示モジュール1000は、偏光板、位相差板、プリズムシートなどの部材を追加して設けてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
本実施の形態では、上記実施の形態において用いることができるOSトランジスタの構成例について説明する。
<トランジスタの構成例>
図26(A)は、トランジスタの構成例を示す上面図である。図26(B)は、図26(A)のX1−X2線断面図であり、図26(C)はY1−Y2線断面図である。ここでは、X1−X2線の方向をチャネル長方向と、Y1−Y2線方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。図26(B)は、トランジスタのチャネル長方向の断面構造を示す図であり、図26(C)は、トランジスタのチャネル幅方向の断面構造を示す図である。なお、デバイス構造を明確にするため、図26(A)では、一部の構成要素が省略されている。
本発明の一態様に係る半導体装置は、絶縁層812乃至820、金属酸化物膜821乃至824、導電層850乃至853を有する。トランジスタ801は絶縁表面に形成される。図26では、トランジスタ801が絶縁層811上に形成される場合を例示している。トランジスタ801は絶縁層818及び絶縁層819で覆われている。
なお、トランジスタ801を構成している絶縁層、金属酸化物膜、導電層等は、単層であっても、複数の膜が積層されたものであってもよい。これらの作製には、スパッタリング法、分子線エピタキシー法(MBE法)、パルスレーザアブレーション法(PLA法)、CVD法、原子層堆積法(ALD法)などの各種の成膜方法を用いることができる。なお、CVD法は、プラズマCVD法、熱CVD法、有機金属CVD法などがある。
導電層850は、トランジスタ801のゲート電極として機能する領域を有する。導電層851、導電層852は、ソース電極又はドレイン電極として機能する領域を有する。導電層853は、バックゲート電極は、として機能する領域を有する。絶縁層817は、ゲート電極(フロントゲート電極)側のゲート絶縁層として機能する領域を有し、絶縁層814乃至絶縁層816の積層で構成される絶縁層は、バックゲート電極側のゲート絶縁層として機能する領域を有する。絶縁層818は層間絶縁層としての機能を有する。絶縁層819はバリア層としてとしての機能を有する。
金属酸化物膜821乃至824をまとめて酸化物層830と呼ぶ。図26(B)、図26(C)に示すように、酸化物層830は、金属酸化物膜821、金属酸化物膜822、金属酸化物膜824が順に積層されている領域を有する。また、一対の金属酸化物膜823は、それぞれ導電層851、導電層852上に位置する。トランジスタ801がオン状態のとき、チャネル形成領域は酸化物層830のうち主に金属酸化物膜822に形成される。
金属酸化物膜824は、金属酸化物膜821乃至823、導電層851、導電層852を覆っている。絶縁層817は金属酸化物膜823と導電層850との間に位置する。導電層851、導電層852はそれぞれ、金属酸化物膜823、金属酸化物膜824、絶縁層817を介して、導電層850と重なる領域を有する。
導電層851及び導電層852は、金属酸化物膜821及び金属酸化物膜822を形成するためのハードマスクから作製されている。そのため、導電層851及び導電層852は、金属酸化物膜821および金属酸化物膜822の側面に接する領域を有していない。例えば、次のような工程を経て、金属酸化物膜821、822、導電層851、導電層852を作製することができる。まず、積層された2層の金属酸化物膜上に導電膜を形成する。この導電膜を所望の形状に加工(エッチング)して、ハードマスクを形成する。ハードマスクを用いて、2層の金属酸化物膜の形状を加工し、積層された金属酸化物膜821及び金属酸化物膜822を形成する。次に、ハードマスクを所望の形状に加工して、導電層851及び導電層852を形成する。
絶縁層811乃至818に用いられる絶縁材料には、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、窒化シリコン、酸化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、アルミニウムシリケートなどがある。絶縁層811乃至518はこれらの絶縁材料でなる単層、又は積層して構成される。絶縁層811乃至818を構成する層は、複数の絶縁材料を含んでいてもよい。
なお、本明細書等において、酸化窒化物とは、酸素の含有量が窒素よりも多い化合物であり、窒化酸化物とは、窒素の含有量が酸素よりも多い化合物のことを意味する。
酸化物層830の酸素欠損の増加を抑制するため、絶縁層816乃至絶縁層818は、酸素を含む絶縁層であることが好ましい。絶縁層816乃至絶縁層818は、加熱により酸素が放出される絶縁膜(以下、「過剰酸素を含む絶縁膜」ともいう)で形成されることがより好ましい。過剰酸素を含む絶縁膜から酸化物層830に酸素を供給することで、酸化物層830の酸素欠損を補償することができる。トランジスタ801の信頼性および電気的特性を向上することができる。
過剰酸素を含む絶縁層とは、TDS(Thermal Desorption Spectroscopy:昇温脱離ガス分光法)において、膜の表面温度が100℃以上700℃以下、又は100℃以上500℃以下の範囲における酸素分子の放出量が1.0×1018[分子/cm]以上である膜とする。酸素分子の放出量は、3.0×1020atoms/cm以上であることがより好ましい。
過剰酸素を含む絶縁膜は、絶縁膜に酸素を添加する処理を行って形成することができる。酸素を添加する処理は、酸素雰囲気下による熱処理や、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオン注入法、又はプラズマ処理などを用いて行うことができる。酸素を添加するためのガスとしては、16もしくは18などの酸素ガス、亜酸化窒素ガス又はオゾンガスなどを用いることができる。
酸化物層830の水素濃度の増加を防ぐために、絶縁層812乃至819中の水素濃度を低減することが好ましい。特に絶縁層813乃至818の水素濃度を低減することが好ましい。具体的には、水素濃度は、2×1020atoms/cm以下であり、好ましくは5×1019atoms/cm以下が好ましく、1×1019atoms/cm以下がより好ましく、5×1018atoms/cm以下がさらに好ましい。
上掲の水素濃度は、二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)で測定された値である。
トランジスタ801において、酸素および水素に対してバリア性をもつ絶縁層(以下、バリア層ともいう)によって酸化物層830が包み込まれる構造であることが好ましい。このような構造であることで、酸化物層830から酸素が放出されること、酸化物層830に水素が侵入することを抑えることがでる。トランジスタ801の信頼性、電気的特性を向上できる。
例えば、絶縁層819をバリア層として機能させ、かつ絶縁層811、812、814の少なくとも1つをバリア層と機能させればよい。バリア層は、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化シリコンなどの材料で形成することができる。
絶縁層811乃至818の構成例を記す。この例では、絶縁層811、812、815、819は、それぞれ、バリア層として機能する。絶縁層816乃至818は過剰酸素を含む酸化物層である。絶縁層811は窒化シリコンであり、絶縁層812は酸化アルミニウムであり、絶縁層813は酸化窒化シリコンである。バックゲート電極側のゲート絶縁層としての機能を有する絶縁層814乃至816は、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化シリコンの積層である。フロントゲート側のゲート絶縁層としての機能を有する絶縁層817は、酸化窒化シリコンである。層間絶縁層としての機能を有する絶縁層818は、酸化シリコンである。絶縁層819は酸化アルミニウムである。
導電層850乃至853に用いられる導電材料には、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、クロム、ネオジム、スカンジウム等の金属、又は上述した金属を成分とする金属窒化物(窒化タンタル、窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タングステン)等がある。インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの導電性材料を用いることができる。
導電層850乃至853の構成例を記す。導電層850は窒化タンタル、又はタングステン単層である。あるいは、導電層850は窒化タンタル、タンタルおよび窒化タンタルでなる積層である。導電層851は、窒化タンタル単層、又は窒化タンタルとタングステンとの積層である。導電層852の構成は導電層851と同じである。導電層853は窒化タンタルであり、導電体はタングステンである。
トランジスタ801のオフ電流の低減のために、金属酸化物膜822は、例えば、エネルギーギャップが大きいことが好ましい。金属酸化物膜822のエネルギーギャップは、2.5eV以上4.2eV以下であり、2.8eV以上3.8eV以下が好ましく、3eV以上3.5eV以下がさらに好ましい。
酸化物層830は、結晶性を有することが好ましい。少なくとも、金属酸化物膜822は結晶性を有することが好ましい。上記構成により、信頼性、および電気的特性の良いトランジスタ801を実現できる。
金属酸化物膜822に適用できる酸化物は、例えば、In−Ga酸化物、In−Zn酸化物、In−M−Zn酸化物(MはAl、Ga、Y、又はSn)である。金属酸化物膜822は、インジウムを含む酸化物層に限定されない。金属酸化物膜822は、例えば、Zn−Sn酸化物、Ga−Sn酸化物、Zn−Mg酸化物等で形成することができる。金属酸化物膜821、823、824も、金属酸化物膜822と同様の酸化物で形成することができる。特に、金属酸化物膜821、823、824は、それぞれ、Ga酸化物で形成することができる。
金属酸化物膜822と金属酸化物膜821の界面に界面準位が形成されると、界面近傍の領域にもチャネル形成領域が形成されるために、トランジスタ801の閾値電圧が変動してしまう。そのため、金属酸化物膜821は、構成要素として、金属酸化物膜822を構成する金属元素の少なくとも1つを含むことが好ましい。これにより、金属酸化物膜822と金属酸化物膜821の界面には、界面準位が形成されにくくなり、トランジスタ801の閾値電圧等の電気的特性のばらつきを低減することができる。
金属酸化物膜824は、構成要素として、金属酸化物膜822を構成する金属元素の少なくとも1つを含むことが好ましい。これにより、金属酸化物膜822と金属酸化物膜824との界面では、界面散乱が起こりにくくなり、キャリアの動きが阻害されにくくなるので、トランジスタ801の電界効果移動度を高くすることができる。
金属酸化物膜821乃至824のうち、金属酸化物膜822のキャリア移動度が最も高いことが好ましい。これにより、絶縁層816、817から離間している金属酸化物膜822にチャネルを形成することができる。
例えば、In−M−Zn酸化物等のIn含有金属酸化物は、Inの含有率を高めることで、キャリア移動度を高めることができる。In−M−Zn酸化物では主として重金属のs軌道がキャリア伝導に寄与しており、インジウムの含有率を多くすることにより、より多くのs軌道が重なるため、インジウムの含有率が多い酸化物はインジウムの含有率が少ない酸化物と比較して移動度が高くなる。そのため、金属酸化物膜にインジウムの含有量が多い酸化物を用いることで、キャリア移動度を高めることができる。
そのため、例えば、In−Ga−Zn酸化物で金属酸化物膜822を形成し、Ga酸化物で金属酸化物膜821、823を形成する。例えば、In−M−Zn酸化物で、金属酸化物膜821乃至823を形成する場合、Inの含有率は金属酸化物膜822のInの含有率を金属酸化物膜821、823よりも高くする。In−M−Zn酸化物をスパッタリング法で形成する場合、ターゲットの金属元素の原子数比を変えることで、In含有率を変化させることができる。
例えば、金属酸化物膜822の成膜に用いるターゲットの金属元素の原子数比In:M:Znは、1:1:1、3:1:2、又は4:2:4.1が好ましい。例えば、金属酸化物膜821、823の成膜に用いるターゲットの金属元素の原子数比In:M:Znは、1:3:2、又は1:3:4が好ましい。In:M:Zn=4:2:4.1のターゲットで成膜したIn−M−Zn酸化物の原子数比は、およそIn:M:Zn=4:2:3である。
トランジスタ801に安定した電気的特性を付与するには、酸化物層830の不純物濃度を低減することが好ましい。金属酸化物において、水素、窒素、炭素、シリコン、および主成分以外の金属元素は不純物となる。例えば、水素および窒素はドナー準位の形成に寄与し、キャリア密度を増大させてしまう。また、シリコンおよび炭素は金属酸化物中で不純物準位の形成に寄与する。不純物準位はトラップとなり、トランジスタの電気的特性を劣化させることがある。
例えば、酸化物層830は、シリコン濃度が2×1018atoms/cm以下、好ましくは、2×1017atoms/cm以下の領域を有する。酸化物層830の炭素濃度も同様である。
酸化物層830は、アルカリ金属濃度が1×1018atoms/cm以下の、好ましくは2×1016atoms/cm以下の領域を有する。金属酸化物膜822のアルカリ土類金属の濃度についても同様である。
酸化物層830は、水素濃度が1×1020atoms/cm未満の、好ましくは1×1019atoms/cm未満の、より好ましくは5×1018atoms/cm未満の、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満の領域を有する。
上掲した酸化物層830の不純物濃度は、SIMSにより得られる値である。
金属酸化物膜822が酸素欠損を有する場合、酸素欠損のサイトに水素が入り込むことでドナー準位を形成することがある。その結果、トランジスタ801のオン電流を低下させる要因となる。なお、酸素欠損のサイトは、水素が入るよりも酸素が入る方が安定する。したがって、金属酸化物膜822中の酸素欠損を低減することで、トランジスタ801のオン電流を大きくすることができる場合がある。よって、金属酸化物膜822の水素を低減することで、酸素欠損のサイトに水素が入りこまないようにすることが、オン電流特性に有効である。
金属酸化物に含まれる水素は、金属原子に結合している酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成することがある。酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子に結合している酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。金属酸化物膜822にチャネル形成領域が設けられるので、金属酸化物膜822に水素が含まれていると、トランジスタ801はノーマリーオン特性となりやすい。このため、金属酸化物膜822中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。
図26は、酸化物層830が4層構造の例であるが、これに限定されない。例えば、酸化物層830を金属酸化物膜821又は金属酸化物膜823のない3層構造とすることができる。又は、酸化物層830の任意の層の間、酸化物層830の上、酸化物層830の下のいずれか二箇所以上に、金属酸化物膜821乃至824と同様の金属酸化物膜を1層又は複数を設けることができる。
図27を参照して、金属酸化物膜821、822、824の積層によって得られる効果を説明する。図27は、トランジスタ801のチャネル形成領域のエネルギーバンド構造の模式図である。
図27中、Ec816e、Ec821e、Ec822e、Ec824e、Ec817eは、それぞれ、絶縁層816、金属酸化物膜821、金属酸化物膜822、金属酸化物膜824、絶縁層817の伝導帯下端のエネルギーを示している。
ここで、真空準位と伝導帯下端のエネルギーとの差(「電子親和力」ともいう)は、真空準位と価電子帯上端のエネルギーとの差(イオン化ポテンシャルともいう)からエネルギーギャップを引いた値となる。なお、エネルギーギャップは、分光エリプソメータ(HORIBA JOBIN YVON社 UT−300)を用いて測定できる。また、真空準位と価電子帯上端のエネルギー差は、紫外線光電子分光分析(UPS:Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)装置(PHI社 VersaProbe)を用いて測定できる。
絶縁層816、817は絶縁体であるため、Ec816eとEc817eは、Ec821e、Ec822e、およびEc824eよりも真空準位に近い(電子親和力が小さい)。
金属酸化物膜822は、金属酸化物膜821、824よりも電子親和力が大きい。例えば、金属酸化物膜822と金属酸化物膜821との電子親和力の差、および金属酸化物膜822と金属酸化物膜824との電子親和力の差は、それぞれ、0.07eV以上1.3eV以下である。電子親和力の差は、0.1eV以上0.7eV以下が好ましく、0.15eV以上0.4eV以下がさらに好ましい。なお、電子親和力は、真空準位と伝導帯下端のエネルギーとの差である。
トランジスタ801のゲート電極(導電層850)に電圧を印加すると、金属酸化物膜821、金属酸化物膜822、金属酸化物膜824のうち、電子親和力が大きい金属酸化物膜822に主にチャネルが形成される。
インジウムガリウム酸化物は、小さい電子親和力と、高い酸素ブロック性を有する。そのため、金属酸化物膜824がインジウムガリウム酸化物を含むと好ましい。ガリウム原子割合[Ga/(In+Ga)]は、例えば、70%以上、好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上とする。
また、金属酸化物膜821と金属酸化物膜822との間には金属酸化物膜821と金属酸化物膜822の混合領域が存在する場合がある。また、金属酸化物膜824と金属酸化物膜822との間には金属酸化物膜824と金属酸化物膜822の混合領域が存在する場合がある。混合領域は、界面準位密度が低くなるため、金属酸化物膜821、822、824の積層されている領域は、それぞれの界面近傍においてエネルギーが連続的に変化する(連続接合ともいう)バンド構造となる。
このようなエネルギーバンド構造を有する酸化物層830において、電子は主に金属酸化物膜822を移動することになる。そのため、金属酸化物膜821と絶縁層812との界面に、又は、金属酸化物膜824と絶縁層813との界面に準位が存在したとしても、これらの界面準位により、酸化物層830中を移動する電子の移動が阻害されにくくなるため、トランジスタ801のオン電流を高くすることができる。
また、図27に示すように、金属酸化物膜821と絶縁層816の界面近傍、および金属酸化物膜824と絶縁層817の界面近傍には、それぞれ、不純物や欠陥に起因したトラップ準位Et826e、Et827eが形成され得るものの、金属酸化物膜821、824があることにより、金属酸化物膜822をトラップ準位Et826e、Et827eから離間することができる。
なお、Ec821eとEc822eとの差が小さい場合、金属酸化物膜822の電子が該エネルギー差を越えてトラップ準位Et826eに達することがある。トラップ準位Et826eに電子が捕獲されることで、絶縁膜の界面にマイナスの固定電荷が生じ、トランジスタの閾値電圧はプラス方向にシフトしてしまう。Ec822eとEc824eとのエネルギー差が小さい場合も同様である。
トランジスタ801の閾値電圧の変動が低減され、トランジスタ801の電気的特性を良好なものとするため、Ec821eとEc822eとの差、Ec824eとEc822eと差を、それぞれ0.1eV以上とすることが好ましく、0.15eV以上とすることがより好ましい。
なお、トランジスタ801はバックゲート電極を有さない構造とすることもできる。
<金属酸化物>
次に、上記のOSトランジスタに用いることができる、金属酸化物について説明する。以下では特に、金属酸化物とCAC(Cloud−Aligned Composite)の詳細について説明する。
CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC−OSまたはCAC−metal oxideを、トランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSまたはCAC−metal oxideに付与することができる。CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC−OSまたはCAC−metal oxideをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
CAC−OSは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、金属酸化物は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OS(CAC−OSの中でもIn−Ga−Zn酸化物を、特にCAC−IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする。)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC−OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1−x0)(ZnO)m0(−1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC(c−axis aligned crystal)構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa−b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC−OSは、金属酸化物の材料構成に関する。CAC−OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC−OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC−OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC−OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC−OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC−OSは、X線回折(XRD:X−ray diffraction)測定法のひとつであるOut−of−plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa−b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC−OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC−OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano−crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC−OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC−OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC−OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC−OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、さまざまな半導体装置に最適である。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態6)
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置、表示装置、表示システム、又は表示モジュールを用いることが可能な電子機器について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、外光の強さによらず、高い視認性を実現することができる。そのため、携帯型の電子機器、装着型の電子機器(ウェアラブル機器)、及び電子書籍端末などに好適に用いることができる。図28に、本発明の一態様の表示装置を用いた電子機器の例を示す。
図28(A)、(B)に、携帯情報端末2000の一例を示す。携帯情報端末2000は、筐体2001、筐体2002、表示部2003、表示部2004、及びヒンジ部2005等を有する。
筐体2001と筐体2002は、ヒンジ部2005で連結されている。携帯情報端末2000は、図28(A)に示すように折り畳んだ状態から、図28(B)に示すように筐体2001と筐体2002を開くことができる。
例えば表示部、2003及び表示部2004に文書情報を表示することが可能であり、電子書籍端末としても用いることができる。また、表示部2003及び表示部2004に静止画像や動画像を表示することもできる。また、表示部2003は、タッチパネルを有していてもよい。
このように、携帯情報端末2000は、持ち運ぶ際には折り畳んだ状態にできるため、汎用性に優れる。
なお、筐体2001及び筐体2002には、電源ボタン、操作ボタン、外部接続ポート、スピーカ、マイク等を有していてよい。
なお、携帯情報端末2000は、表示部2003に設けられたタッチセンサを用いて、文字、図形、イメージを識別する機能を有していてもよい。この場合、例えば、数学又は言語などを学ぶための問題集などを表示する情報端末に対して、指、又はスタイラスペンなどで解答を書き込んで、携帯情報端末2000で正誤の判定を行うといった学習を行うことができる。また、携帯情報端末2000は、音声解読を行う機能を有していてもよい。この場合、例えば、携帯情報端末2000を用いて外国語の学習などを行うことができる。このような携帯情報端末は、教科書などの教材、又はノートなどとして利用する場合に適している。
図28(C)に携帯情報端末の一例を示す。図28(C)に示す携帯情報端末2010は、筐体2011、表示部2012、操作ボタン2013、外部接続ポート2014、スピーカ2015、マイク2016、カメラ2017等を有する。
携帯情報端末2010は、表示部2012にタッチセンサを備える。電話を掛ける、或いは文字を入力するなどのあらゆる操作は、指やスタイラスなどで表示部2012に触れることで行うことができる。
また、操作ボタン2013の操作により、電源のオン、オフ動作や、表示部2012に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
また、携帯情報端末2010の内部に、ジャイロセンサまたは加速度センサ等の検出装置を設けることで、携帯情報端末2010の向き(縦か横か)を判断して、表示部2012の画面表示の向きを自動的に切り替えるようにすることができる。また、画面表示の向きの切り替えは、表示部2012を触れること、操作ボタン2013の操作、またはマイク2016を用いた音声入力等により行うこともできる。
携帯情報端末2010は、例えば、電話機、手帳または情報閲覧装置等から選ばれた一つまたは複数の機能を有する。例えば、携帯情報端末2010はスマートフォンとして用いることができる。また、携帯情報端末2010は、例えば、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、動画再生、インターネット通信、ゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。
図28(D)に、カメラの一例を示す。カメラ2020は、筐体2021、表示部2022、操作ボタン2023、シャッターボタン2024等を有する。またカメラ2020には、着脱可能なレンズ2026が取り付けられている。
ここではカメラ2020として、レンズ2026を筐体2021から取り外して交換することが可能な構成としたが、レンズ2026と筐体が一体となっていてもよい。
カメラ2020は、シャッターボタン2024を押すことにより、静止画、または動画を撮像することができる。また、表示部2022はタッチパネルとしての機能を有し、表示部2022をタッチすることにより撮像することも可能である。
なお、カメラ2020は、ストロボ装置や、ビューファインダーなどを別途装着することができる。または、これらが筐体2021に組み込まれていてもよい。
なお、図28に示す電子機器には、上記実施の形態で説明した表示システムを搭載することができる。また、電子機器には、図9におけるホスト14に相当するプロセッサを内蔵することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
10 表示システム
11 表示部
12 信号生成部
13 センサ部
14 ホスト
20 コントローラ
21 画像処理部
22 駆動回路
23 スイッチ回路
30 表示ユニット
31 画素部
32 画素群
33 画素
34 画素ユニット
35 駆動回路
36 タッチセンサユニット
40 液晶素子
41 反射電極
42 液晶層
43 透明電極
44 光
45 開口部
50 発光素子
51 光
70 インターフェース
71 フレームメモリ
72 レジスタ
73 タイミングコントローラ
74 センサコントローラ
75 クロック生成回路
76 タッチセンサコントローラ
81 調光回路
82 調色回路
83 ガンマ補正回路
84 EL補正回路
85 記憶回路
86 記憶回路
100 記憶装置
101 制御部
102 セルアレイ
103 周辺回路
104 センスアンプ回路
105 駆動回路
106 メインアンプ
107 入出力回路
108 メモリセル
110A レジスタ部
110B スキャンチェーンレジスタ部
111 レジスタ
120 保持回路
130 セレクタ
140 フリップフロップ回路
141 インバータ
146 インバータ
147 アナログスイッチ
148 アナログスイッチ
151 インバータ
153 インバータ
154 クロックドインバータ
155 アナログスイッチ
156 バッファ
160 回路
161 トランジスタ
412 液晶層
413 電極
417 絶縁層
421 絶縁層
431 着色層
432 遮光層
433 配向膜
434 着色層
435 偏光板
441 接着層
442 接着層
451 開口
470 発光素子
480 液晶素子
491 電極
492 EL層
493 電極
494 絶縁層
501 トランジスタ
503 トランジスタ
504 接続部
505 トランジスタ
506 トランジスタ
507 接続部
511 絶縁層
512 絶縁層
513 絶縁層
514 絶縁層
516 絶縁層
517 絶縁層
518 絶縁層
520 絶縁層
521 導電層
523 導電層
531 半導体層
540 トランジスタ
542 接続層
543 接続体
552 接続部
561 半導体層
563 導電層
580 トランジスタ
581 トランジスタ
584 トランジスタ
585 トランジス
586 トランジスタ
600 表示装置
600A 表示装置
600B 表示装置
611 電極
640 液晶素子
651 基板
660 発光素子
661 基板
662 表示部
664 回路
665 配線
670 画素
672 FPC
673 IC
801 トランジスタ
811 絶縁層
812 絶縁層
813 絶縁層
814 絶縁層
815 絶縁層
816 絶縁層
817 絶縁層
818 絶縁層
819 絶縁層
820 絶縁層
821 金属酸化物膜
822 金属酸化物膜
823 金属酸化物膜
824 金属酸化物膜
830 酸化物層
850 導電層
851 導電層
852 導電層
853 導電層
1000 表示モジュール
1001 上部カバー
1002 下部カバー
1003 FPC
1004 タッチパネル
1005 FPC
1006 表示装置
1009 フレーム
1010 プリント基板
1011 バッテリ
2000 携帯情報端末
2001 筐体
2002 筐体
2003 表示部
2004 表示部
2005 ヒンジ部
2010 携帯情報端末
2011 筐体
2012 表示部
2013 操作ボタン
2014 外部接続ポート
2015 スピーカ
2016 マイク
2017 カメラ
2020 カメラ
2021 筐体
2022 表示部
2023 操作ボタン
2024 シャッターボタン
2026 レンズ

Claims (7)

  1. 第1の画像処理部と、第2の画像処理部と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、コントローラと、を有し、
    前記第1の画像処理部は、第1の画像データに第1の画像処理を行う機能を有し、
    前記第2の画像処理部は、第2の画像データに第2の画像処理を行う機能を有し、
    第1の駆動回路は、前記第1の画像処理部から入力されたデータに基づいて映像信号を生成し、第1の表示ユニットに出力する機能を有し、
    第2の駆動回路は、前記第2の画像処理部から入力されたデータに基づいて映像信号を生成し、第2の表示ユニットに出力する機能を有し、
    前記コントローラは、前記第1の表示ユニット及び前記第2の表示ユニットを用いて表示される映像の変化量が基準値未満であり、且つ、外光の変化量が基準値以上である場合に、前記第1の画像処理部及び前記第1の駆動回路への電力の供給と、前記第2の画像処理部及び前記第2の駆動回路への電力の供給の停止と、を行う機能を有し、
    前記第1の画像処理部は、外光の強度に応じて前記映像を補正するための第3の画像処理を行う機能を有する半導体装置。
  2. 請求項1において、
    レジスタを有し、
    前記レジスタは、前記第3の画像処理に用いられるパラメータを格納する機能を有し、
    前記コントローラは、外光の強度に応じて、前記レジスタに格納されたパラメータを変更する機能を有する半導体装置。
  3. 請求項2において、
    前記レジスタは、第1の記憶回路と、第2の記憶回路と、を有し、
    前記第2の記憶回路は、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有し、
    前記パラメータは、前記第2の記憶回路に入力された後、前記第1の記憶回路に一括で転送され、前記第1の画像処理部に出力される半導体装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一項において、
    前記第1の画像処理部は、調光回路、調色回路、及びガンマ補正回路を用いて前記第3の画像処理を行う機能を有する半導体装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれか一項において、
    タイミングコントローラを有し、
    前記タイミングコントローラは、前記第1の駆動回路及び前記第2の駆動回路にタイミング信号を出力する機能を有し、
    前記コントローラは、前記映像の変化量が基準値未満であり、且つ、外光の変化量が基準値未満である場合に、前記第1の画像処理部、前記第2の画像処理部、前記第1の駆動回路、前記第2の駆動回路、及び前記タイミングコントローラへの電力の供給を停止する機能を有する半導体装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置を用いた制御部と、表示部と、センサ部と、を有し、
    前記表示部は、第1の画素を有する前記1の表示ユニットと、第2の画素を有する前記第2の表示ユニットと、を有し、
    前記センサ部は、外光の強度に応じた信号を前記コントローラに出力する機能を有し、
    前記第1の画素は、発光素子又は透過型の液晶素子を有し、
    前記第2の画素は、反射型の液晶素子を有する表示システム。
  7. 請求項6に記載の表示システムと、ホストと、を有し、
    前記ホストは、前記信号生成部の動作を制御する機能を有するプロセッサによって構成されている電子機器。
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