JP2018056073A - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 チャンバ
20 本体部分
20a,20b 分体
23 絶縁体
231 空洞部分
24 スペーサ
241 空洞部分
29 ガス流路
3 磁性コア
4 高周波電源
5 冷却部
Claims (3)
- 導電性材料により環状に形成され、形状に沿って材料ガスの流路が内部に形成されてあるチャンバと、該チャンバへ高周波電流を供給する高周波電源とを備えるプラズマ発生装置であって、
前記チャンバは、
導電性材料にて管状の同一形状に形成されている複数の分体と、
該分体の断面形状に対応する断面形状を有する絶縁体と
を含み、
前記複数の分体の端面同士を対向させ、該対向する端面間の内のいずれかに前記絶縁体を介装して接続した本体部分を備える
ことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記分体は、矩形の縦断面を有し屈曲成形された基材に、各辺の中心を通る貫通孔を設けて形成されおり、
前記本体部分は、2つの前記分体の端面同士を対向させ、一方の端面間に前記絶縁体、他方の端面間には導電体製のスペーサを介装して四角環状となるように接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 前記分体の端部には、フランジが一体に設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ発生装置。
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JP2016194059A JP6736443B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | プラズマ発生装置 |
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JP6736443B2 JP6736443B2 (ja) | 2020-08-05 |
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- 2016-09-30 JP JP2016194059A patent/JP6736443B2/ja active Active
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Also Published As
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JP6736443B2 (ja) | 2020-08-05 |
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