JP2018047660A - Transfer method and transfer device for heat conductive sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、熱伝導シートの転写方法および転写装置に関し、特には、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へと転写する際に好適に使用し得る転写方法および転写装置に関するものである。 The present invention relates to a transfer method and transfer apparatus for a heat conductive sheet, and in particular, a transfer method that can be suitably used when transferring a heat conductive sheet from a laminate having a heat conductive sheet and a protective film to an adherend. And a transfer device.
従来、プラズマディスプレイパネル(PDP)や集積回路(IC)チップ等の電子部品を用いた電子機器では、電子部品の温度上昇による機能障害対策として、電子部品等の発熱体に対し、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を取り付けることによって、放熱を促進させる方法が採られている。また、放熱体を使用する際には、発熱体から放熱体へと熱を効率的に伝えるために、良好な熱伝導性を発揮するシート状の部材(熱伝導シート)を介して発熱体と放熱体とを密着させている。 Conventionally, in an electronic device using an electronic component such as a plasma display panel (PDP) or an integrated circuit (IC) chip, a heat sink made of a metal to a heating element such as the electronic component as a countermeasure against a functional failure due to a temperature rise of the electronic component. A method of promoting heat radiation by attaching a heat radiator such as a heat radiating plate or a heat radiating fin is employed. In addition, when using a radiator, in order to efficiently transfer heat from the heating element to the radiator, the heating element and the heating element are connected via a sheet-like member (thermal conduction sheet) that exhibits good thermal conductivity. The radiator is in close contact.
ここで、熱伝導シートとしては、樹脂と、熱伝導性を有する成分などとを混合してなる複合材料を用いて成形した、粘着性を有するシートが用いられている。そして、粘着性を有する熱伝導シートは、通常、両方の表面(粘着面)に保護フィルムを貼り合わせた状態で保管および移送され、発熱体や放熱体等の被着体に貼り付ける際には、転写等の技術を用いて、被着体に密着させた状態で貼り付けられている。 Here, as the heat conductive sheet, an adhesive sheet formed using a composite material obtained by mixing a resin and a component having heat conductivity is used. And the heat conductive sheet which has adhesiveness is normally stored and transported in a state where the protective film is bonded to both surfaces (adhesive surface), and when it is applied to an adherend such as a heating element or a radiator. Using a technique such as transfer, it is stuck in a state of being in close contact with the adherend.
また、従来、粘着性を有するシートと保護フィルムとの積層体からの被着体へのシートの転写は、例えば、被着体に貼り付けられる側の保護フィルムを剥離した後、シートと残りの(未剥離の)保護フィルムとの積層体をシート側が下になるように被着体上に載置し、ローラ等の押圧機構で保護フィルム側から積層体を押圧してシートと被着体とを密着させ、最後に押圧機構を除去してから保護フィルムを斜め上方向に引っ張って剥離することにより、行われている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, the transfer of the sheet from the laminate of the adhesive sheet and the protective film to the adherend, for example, after peeling off the protective film on the side to be attached to the adherend, The laminate with the protective film (unpeeled) is placed on the adherend so that the sheet side faces down, and the laminate and the adherend are pressed by pressing the laminate from the protective film side with a pressing mechanism such as a roller. Is carried out by finally removing the pressing mechanism and then pulling the protective film obliquely upward to peel it off (see, for example, Patent Document 1).
しかし、上記従来の転写方法では、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へと転写する際に熱伝導シートが破れてしまい、熱伝導シートを良好に転写することができない場合があった。特に、近年では熱伝導シートの粘着性の向上および薄厚化が求められているため、粘着性の高い熱伝導シートや薄い熱伝導シートでは、転写時の熱伝導シートの破れの問題が特に起こり易かった。 However, in the above conventional transfer method, when the heat conductive sheet is transferred from the laminate having the heat conductive sheet and the protective film to the adherend, the heat conductive sheet is torn, and the heat conductive sheet is transferred well. There was a case that could not be done. In particular, in recent years, there has been a demand for improvement and thinning of the adhesiveness of the heat conductive sheet. Therefore, the problem of tearing of the heat conductive sheet at the time of transfer is particularly likely to occur with a highly adhesive heat conductive sheet or a thin heat conductive sheet. It was.
そこで、本発明は、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へと良好に転写し得る方法および装置を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the method and apparatus which can transfer a heat conductive sheet to a to-be-adhered body favorably from the laminated body which has a heat conductive sheet and a protective film.
この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートの転写方法は、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から前記熱伝導シートを被着体へと転写する熱伝導シートの転写方法であって、熱伝導シートと、前記熱伝導シートの厚さ方向一方側に位置する保護フィルムとを有する積層体の前記熱伝導シートを被着体に貼り合わせる工程(A)と、前記被着体に貼り合わされた前記積層体の熱伝導シートから前記保護フィルムを剥離する工程(B)とを含み、前記工程(B)では、前記熱伝導シートの一端側から他端側に向かって、且つ、押さえ治具を用いて剥離位置の他端側に圧力を加えながら前記保護フィルムを剥離することを特徴とする。このように、熱伝導シートの一端側から他端側に向かって保護フィルムを剥離する際に剥離位置の他端側に圧力を加えれば、熱伝導シートが破れるのを抑制し、熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。 An object of the present invention is to advantageously solve the above-described problems, and a method for transferring a heat conductive sheet according to the present invention is to attach the heat conductive sheet from a laminate having a heat conductive sheet and a protective film. A method for transferring a heat conductive sheet to be transferred to a body, wherein the heat conductive sheet and a heat conductive sheet of a laminate having a protective film located on one side in the thickness direction of the heat conductive sheet are attached to an adherend. Including the step (A) of bonding, and the step (B) of peeling off the protective film from the heat conductive sheet of the laminate bonded to the adherend. In the step (B), The protective film is peeled off from one end side toward the other end side while applying pressure to the other end side of the peeling position using a pressing jig. Thus, if the pressure is applied to the other end side of the peeling position when peeling the protective film from one end side to the other end side of the heat conductive sheet, the heat conductive sheet is suppressed from being broken, Good transfer to the adherend is possible.
ここで、本発明の熱伝導シートの転写方法は、前記工程(B)では、前記保護フィルムの剥離面と、前記熱伝導シートの前記保護フィルムが剥離された面との為す角度が45°以上となるように前記保護フィルムを剥離することが好ましい。保護フィルムの剥離面と、熱伝導シートの保護フィルムが剥離された面との為す角度(以下、「剥離角度」と称することがある。)が45°以上となるようにすれば、熱伝導シートを被着体へと更に良好に転写することができるからである。 Here, in the transfer method of the heat conductive sheet of the present invention, in the step (B), an angle formed between the peel surface of the protective film and the surface of the heat conductive sheet from which the protective film is peeled is 45 ° or more. It is preferable to peel off the protective film so that If the angle formed between the peel surface of the protective film and the surface of the heat conductive sheet from which the protective film is peeled (hereinafter sometimes referred to as “peel angle”) is 45 ° or more, the heat conductive sheet. This is because the toner can be transferred onto the adherend more satisfactorily.
また、本発明の熱伝導シートの転写方法は、前記工程(B)では、外力を加えて前記押さえ治具を前記積層体に押し付けることにより前記剥離位置の他端側に圧力を加えることが好ましい。押さえ治具に外力を加えて剥離位置の他端側に圧力を加えれば、押さえ治具の自重のみを用いて剥離位置の他端側に圧力を加える場合と比較し、熱伝導シートを被着体へと更に良好に転写することができるからである。 In the method for transferring a heat conductive sheet according to the present invention, in the step (B), it is preferable to apply pressure to the other end side of the peeling position by applying an external force and pressing the pressing jig against the laminate. . If an external force is applied to the holding jig and pressure is applied to the other end of the peeling position, the heat conductive sheet is attached compared to the case where pressure is applied to the other end of the peeling position using only the weight of the holding jig. This is because it can be transferred to the body even better.
そして、本発明の熱伝導シートの転写方法は、前記工程(A)が、前記被着体上に前記積層体を載置する工程と、押さえ治具を用いて前記積層体に圧力を加え、前記被着体上に載置された前記積層体の熱伝導シートと前記被着体とを密着させる工程とを含み、前記工程(A)と前記工程(B)とで同一の押さえ治具を使用し、且つ、前記工程(A)では前記熱伝導シートの他端側から一端側に向かって前記押さえ治具を移動させつつ圧力を加え、前記工程(B)では前記熱伝導シートの一端側から他端側に向かって前記押さえ治具を移動させつつ圧力を加えることが好ましい。工程(A)において押さえ治具を用いて熱伝導シートと被着体とを密着させれば、熱伝導シートを被着体へと更に良好に転写することができるからである。また、工程(A)と工程(B)とで同一の押さえ治具を使用すると共に、工程(A)では熱伝導シートの他端側から一端側に向かって押さえ治具を移動させ、工程(B)では熱伝導シートの一端側から他端側に向かって押さえ治具を移動させれば、簡便な操作で熱伝導シートを被着体へと転写することができるからである。 And in the method for transferring a heat conductive sheet of the present invention, the step (A) applies a pressure to the laminate using a step of placing the laminate on the adherend and a holding jig, Including the step of bringing the thermal conductive sheet of the laminate placed on the adherend and the adherend into close contact, and the same pressing jig is used in the step (A) and the step (B). In the step (A), pressure is applied while moving the pressing jig from the other end side to the one end side of the heat conductive sheet. In the step (B), one end side of the heat conductive sheet is used. It is preferable to apply pressure while moving the holding jig from the side toward the other end. This is because if the heat conductive sheet and the adherend are brought into close contact with each other using the pressing jig in the step (A), the heat conductive sheet can be transferred to the adherend more satisfactorily. Moreover, while using the same pressing jig in the step (A) and the step (B), in the step (A), the pressing jig is moved from the other end side to the one end side of the heat conductive sheet, and the process ( In B), if the holding jig is moved from one end side to the other end side of the heat conductive sheet, the heat conductive sheet can be transferred to the adherend by a simple operation.
また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートの転写装置は、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から前記熱伝導シートを被着体へと転写する際に用いられる熱伝導シートの転写装置であって、前記積層体に圧力を加える加圧面および前記加圧面側とは反対側に突出する把持部を有する押さえ治具と、前記押さえ治具をガイドするガイド部と、前記ガイド部の延在方向一方側に設けられて前記積層体の一方の端部を前記被着体との間で固定する固定部とを備えることを特徴とする。このような押さえ治具、ガイド部および固定部を備える転写装置を使用すれば、積層体の一方の端部を固定部で固定した状態で、押さえ治具をガイド部に沿って移動させつつ熱伝導シートから保護フィルムを剥離することができる。従って、上記構成を有する転写装置を使用すれば、上述した熱伝導シートの転写方法を用いて熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。 Moreover, this invention aims at solving the said subject advantageously, and the transfer apparatus of the heat conductive sheet of this invention uses the said heat conductive sheet from the laminated body which has a heat conductive sheet and a protective film. A heat transfer sheet transfer device used when transferring to an adherend, a pressing jig having a pressing surface for applying pressure to the laminate and a gripping part protruding on the opposite side to the pressing surface side; A guide portion that guides the pressing jig, and a fixing portion that is provided on one side in the extending direction of the guide portion and fixes one end of the laminated body to the adherend. It is characterized by. If a transfer device including such a holding jig, a guide part, and a fixing part is used, heat is generated while moving the holding jig along the guide part in a state where one end of the laminate is fixed by the fixing part. The protective film can be peeled from the conductive sheet. Therefore, if the transfer device having the above-described configuration is used, the heat conductive sheet can be satisfactorily transferred to the adherend using the above-described heat conductive sheet transfer method.
ここで、本発明の熱伝導シートの転写装置は、前記固定部が、前記被着体と接触する側に前記積層体の位置決め機構を有することが好ましい。固定部の被着体と接触する側に位置決め機構を設ければ、被着体の所望の位置に熱伝導シートを容易に転写することができるからである。 Here, in the transfer device for a heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the fixing portion has a positioning mechanism for the laminated body on a side in contact with the adherend. This is because if the positioning mechanism is provided on the fixed portion on the side in contact with the adherend, the heat conductive sheet can be easily transferred to a desired position on the adherend.
そして、前記位置決め機構は、前記固定部の前記被着体と接触する側に形成された溝と、前記溝内に設けられた粘着部材とを有することが好ましい。溝と粘着部材とを有する位置決め機構を使用すれば、簡素な構成を用いて被着体の所望の位置に熱伝導シートを容易に転写することができるからである。 And it is preferable that the said positioning mechanism has the groove | channel formed in the side which contacts the said to-be-adhered body of the said fixing | fixed part, and the adhesion member provided in the said groove | channel. This is because if a positioning mechanism having a groove and an adhesive member is used, the heat conductive sheet can be easily transferred to a desired position of the adherend using a simple configuration.
また、本発明の熱伝導シートの転写装置は、前記押さえ治具が、前記積層体から前記保護フィルムを剥離する際の角度を規制する剥離角度規制面を有することが好ましい。押さえ治具に剥離角度規制面を設ければ、剥離角度を規制する部材を新たに設けなくても、保護フィルムを所望の剥離角度で容易に剥離することができるからである。 Moreover, it is preferable that the transfer apparatus of the heat conductive sheet of this invention has the peeling angle control surface which controls the angle at the time of the said pressing jig peeling the said protective film from the said laminated body. This is because the protective film can be easily peeled at a desired peeling angle without providing a member for regulating the peeling angle if the holding jig is provided with a peeling angle regulating surface.
そして、本発明の熱伝導シートの転写装置は、前記ガイド部および前記固定部を転写位置と退避位置との間で回動可能に支持する枠体部を更に備え、前記ガイド部および前記固定部は、前記固定部に設けられた回転軸を介して前記枠体部に支持されていることが好ましい。ガイド部および固定部を転写位置と退避位置との間で回動可能に支持する枠体部を設ければ、被着体への積層体の貼り合わせを容易に行うことができる。従って、熱伝導シートの転写作業の作業効率を向上させることができるからである。 The transfer device for a heat conductive sheet of the present invention further includes a frame body portion that rotatably supports the guide portion and the fixed portion between a transfer position and a retracted position, and the guide portion and the fixed portion. Is preferably supported by the frame body part via a rotating shaft provided in the fixed part. If a frame body portion that supports the guide portion and the fixing portion so as to be rotatable between the transfer position and the retracted position is provided, the laminate can be easily bonded to the adherend. Therefore, it is possible to improve the work efficiency of the transfer operation of the heat conductive sheet.
本発明によれば、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a heat conductive sheet can be favorably transcribe | transferred to a to-be-adhered body from the laminated body which has a heat conductive sheet and a protective film.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、各図において、同一の符号を付した部分はそれぞれ同様の構成を有している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same reference numerals have the same configuration.
ここで、本発明の熱伝導シートの転写方法は、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へ転写する際に用いることができる。そして、本発明の熱伝導シートの転写方法を用いた熱伝導シートの転写は、例えば本発明の熱伝導シートの転写装置を用いて好適に実施することができる。 Here, the transfer method of the heat conductive sheet of this invention can be used when transferring a heat conductive sheet to a to-be-adhered body from the laminated body which has a heat conductive sheet and a protective film. And the transfer of the heat conductive sheet using the transfer method of the heat conductive sheet of this invention can be suitably implemented, for example using the transfer apparatus of the heat conductive sheet of this invention.
(熱伝導シート)
なお、本発明の転写方法および転写装置を用いて転写される熱伝導シートとしては、特に限定されることなく、熱伝導性および粘着性を有するシートが挙げられる。
具体的には、熱伝導シートとしては、例えば、樹脂と、熱伝導性充填材とを含む複合材料よりなる熱伝導シートが挙げられる。そして、樹脂としては、特に限定されることなく、例えば、フッ素樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。また、熱伝導性充填材としては、特に限定されることなく、人造黒鉛、鱗片状黒鉛、薄片化黒鉛、天然黒鉛、酸処理黒鉛、膨張性黒鉛、膨張化黒鉛などの粒子状炭素材料、および、カーボンナノチューブなどの繊維状炭素ナノ構造体が挙げられる。
(Heat conduction sheet)
In addition, as a heat conductive sheet transcribe | transferred using the transfer method and transfer apparatus of this invention, the sheet | seat which has heat conductivity and adhesiveness is mentioned, without being specifically limited.
Specifically, examples of the heat conductive sheet include a heat conductive sheet made of a composite material including a resin and a heat conductive filler. And as resin, it does not specifically limit, For example, a fluororesin, an acrylic resin, a silicone resin etc. are mentioned. Further, the heat conductive filler is not particularly limited, and particulate carbon materials such as artificial graphite, flaky graphite, exfoliated graphite, natural graphite, acid-treated graphite, expandable graphite, and expanded graphite, and And fibrous carbon nanostructures such as carbon nanotubes.
中でも、本発明の転写方法または転写装置を用いて転写される熱伝導シートとしては、複合材料を加圧してシート状に成形し、複合材料シートを得る工程と、複合材料シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、複合材料シートを折畳または捲回して、積層体を得る工程と、積層体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスし、熱伝導シートを得る工程とを経て得た熱伝導シートが好ましい。上述した工程を経て製造された熱伝導シートは、積層体を構成していた複合材料シートのスライス片が並列接合されてなる構成を有しており、熱伝導性充填材が厚み方向に配向するため、厚み方向の熱伝導率に優れる。一方、上述した工程を経て製造された熱伝導シートは、複合材料シートのスライス片が並列接合されてなるため、単に複合材料を加圧してシート状に成形したものに比べて、引張強度が低くなり、ハンドリング性が低下すると共にシートの破れ等の問題が起こり易くなる。しかし、本発明の転写方法または転写装置を使用すれば、熱伝導シートが破れるのを抑制し、熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。
ここで、熱抵抗を低減する観点からは、熱伝導シートの厚みは1000μm以下であることが好ましく、500μm以下であることがより好ましい。一方、厚みが薄くなり過ぎると熱伝導シートの引張強度が低くなり、シートの破れ等の問題が起こり易くなるため、熱伝導シートの厚みは50μm以上であることが好ましく、100μm以上であることがより好ましい。
また、熱伝導シートは、プローブタック試験機を用いて測定した粘着力が、0.7N以上であることが好ましく、1.0N以上であることがより好ましく、1.5N以上であることが更に好ましく、2.0N以上であることが特に好ましく、10N以下であることが好ましく、8.0N以下であることがより好ましく、4.0N以下であることが更に好ましい。粘着力が上記下限値以上の熱伝導シートでは、通常、転写する際に破れ等の問題が特に起こり易くなるが、本発明の転写方法または転写装置を使用すれば、熱伝導シートが破れるのを抑制し、熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる(即ち、熱伝導シートの破れ抑制効果を顕著に得られる)からである。また、粘着力が上記上限値以下であれば、熱伝導シートをより良好に転写することができるからである。なお、プローブタック試験機を用いた粘着力の測定は、本明細書の実施例に記載の方法を用いて行うことができる。
更に、熱伝導シートは、引張強度が、0.1MPa以上であることが好ましく、0.2MPa以上であることがより好ましく、0.4MPa以上であることが更に好ましく、6.0MPa以下であることが好ましく、4.0MPa以下であることがより好ましく、3.0MPa以下であることが更に好ましく、2.0MPa以下であることが特に好ましい。引張強度が上記上限値以下の熱伝導シートでは、通常、転写する際に破れ等の問題が特に起こり易くなるが、本発明の転写方法または転写装置を使用すれば、熱伝導シートが破れるのを抑制し、熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる(即ち、熱伝導シートの破れ抑制効果を顕著に得られる)からである。また、引張強度が上記下限値以上であれば、熱伝導シートをより良好に転写することができるからである。なお、熱伝導シートの引張強度は、本明細書の実施例に記載の測定方法を用いて測定することができる。
Among them, as the heat conductive sheet transferred using the transfer method or transfer apparatus of the present invention, a composite material is pressed into a sheet shape to obtain a composite material sheet, and a plurality of composite material sheets are arranged in the thickness direction. Laminating one sheet or folding or winding a composite material sheet to obtain a laminated body, and slicing the laminated body at an angle of 45 ° or less with respect to the laminating direction to obtain a heat conductive sheet; The heat conductive sheet obtained through this is preferable. The heat conductive sheet manufactured through the above-described steps has a configuration in which slice pieces of the composite material sheet constituting the laminate are joined in parallel, and the heat conductive filler is oriented in the thickness direction. Therefore, it has excellent thermal conductivity in the thickness direction. On the other hand, since the heat conductive sheet manufactured through the above-described steps is formed by joining slice pieces of a composite material sheet in parallel, the tensile strength is lower than that obtained by simply pressing the composite material into a sheet shape. As a result, handling properties are lowered and problems such as sheet tearing are likely to occur. However, if the transfer method or transfer apparatus of the present invention is used, it is possible to suppress the heat conductive sheet from being broken and to transfer the heat conductive sheet to the adherend satisfactorily.
Here, from the viewpoint of reducing thermal resistance, the thickness of the heat conductive sheet is preferably 1000 μm or less, and more preferably 500 μm or less. On the other hand, if the thickness is too thin, the tensile strength of the heat conductive sheet is lowered, and problems such as sheet tearing tend to occur. Therefore, the thickness of the heat conductive sheet is preferably 50 μm or more, and preferably 100 μm or more. More preferred.
Further, the heat conductive sheet preferably has an adhesive strength measured using a probe tack tester of 0.7 N or more, more preferably 1.0 N or more, and further preferably 1.5 N or more. Preferably, it is 2.0 N or more, particularly preferably 10 N or less, more preferably 8.0 N or less, and still more preferably 4.0 N or less. In the case of a heat conductive sheet having an adhesive strength of the above lower limit or more, problems such as tearing are particularly likely to occur during transfer, but if the transfer method or transfer device of the present invention is used, the heat conductive sheet may be torn. This is because the heat conduction sheet can be satisfactorily transferred to the adherend (that is, the effect of suppressing breakage of the heat conduction sheet can be obtained remarkably). Moreover, if adhesive force is below the said upper limit, it is because a heat conductive sheet can be transcribe | transferred more favorably. In addition, the measurement of the adhesive force using a probe tack tester can be performed using the method as described in the Example of this specification.
Furthermore, the heat conductive sheet preferably has a tensile strength of 0.1 MPa or more, more preferably 0.2 MPa or more, further preferably 0.4 MPa or more, and 6.0 MPa or less. Is preferably 4.0 MPa or less, more preferably 3.0 MPa or less, and particularly preferably 2.0 MPa or less. In a heat conductive sheet having a tensile strength of not more than the above upper limit, problems such as tearing are particularly likely to occur during transfer, but if the transfer method or transfer device of the present invention is used, the heat conductive sheet may be torn. This is because the heat conduction sheet can be satisfactorily transferred to the adherend (that is, the effect of suppressing breakage of the heat conduction sheet can be obtained remarkably). Moreover, it is because a heat conductive sheet can be transcribe | transferred more favorably if tensile strength is more than the said lower limit. In addition, the tensile strength of a heat conductive sheet can be measured using the measuring method as described in the Example of this specification.
(保護フィルム)
また、熱伝導シートの保護フィルムとしては、特に限定されることなく、紙、金属フィルム、プラスチックフィルム等を用いることができる。中でも、コストおよび加工性の観点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好適に用いられる。
なお、保護フィルムとして用いるプラスチックフィルム等の表面には、必要に応じて、離型処理や粘着処理を施してもよいし、ブラスト処理を施して凹凸構造をつけてもよい。
(Protective film)
Moreover, as a protective film of a heat conductive sheet, paper, a metal film, a plastic film etc. can be used, without being specifically limited. Among these, a polyethylene terephthalate film is preferably used from the viewpoint of cost and workability.
In addition, the surface of a plastic film or the like used as a protective film may be subjected to a release treatment or an adhesive treatment as necessary, or may be subjected to a blast treatment to give an uneven structure.
(積層体)
更に、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体としては、例えば、両面に保護フィルムが貼り合わされた熱伝導シートから一方の保護フィルムを剥離してなる積層体が挙げられる。具体的には、積層体としては、熱伝導シートと、熱伝導シートの厚さ方向一方側に位置する保護フィルムとを有する積層体が挙げられる。
(Laminate)
Furthermore, as a laminated body which has a heat conductive sheet and a protective film, the laminated body formed by peeling one protective film from the heat conductive sheet by which the protective film was bonded together on both surfaces is mentioned, for example. Specifically, the laminate includes a laminate having a heat conductive sheet and a protective film positioned on one side in the thickness direction of the heat conductive sheet.
(被着体)
そして、本発明の熱伝導シートの転写方法および転写装置を用いて熱伝導シートを転写する被着体としては、特に限定されることなく、例えば、電子部品等の発熱体、および、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体が挙げられる。
(Adherent)
And as a to-be-adhered body which transfers a heat conductive sheet using the transfer method and transfer apparatus of the heat conductive sheet of this invention, it does not specifically limit, For example, heat generating bodies, such as an electronic component, and metal Examples include heat sinks such as heat sinks, heat radiating plates, and heat radiating fins.
(熱伝導シートの転写方法)
ここで、本発明の実施形態に係る熱伝導シートの転写方法は、熱伝導シートと、熱伝導シートの厚さ方向一方側に位置する保護フィルムとを有する積層体の熱伝導シートを被着体に貼り合わせる工程(A)と、被着体に貼り合わされた積層体の熱伝導シートから保護フィルムを剥離する工程(B)とを含む。そして、工程(B)における保護フィルムの剥離は、熱伝導シートの一端側から他端側に向かって行い、且つ、押さえ治具を用いて剥離位置の他端側に圧力を加えながら行う必要がある。
(Thermal transfer sheet transfer method)
Here, in the method for transferring a heat conductive sheet according to the embodiment of the present invention, a heat conductive sheet of a laminate having a heat conductive sheet and a protective film positioned on one side in the thickness direction of the heat conductive sheet is attached. The process (A) bonded together and the process (B) which peels a protective film from the heat conductive sheet of the laminated body bonded by the to-be-adhered body are included. And it is necessary to perform peeling of the protective film in the step (B) from one end side to the other end side of the heat conductive sheet while applying pressure to the other end side of the peeling position using a holding jig. is there.
このように、工程(B)において保護フィルムを剥離する際に押さえ治具を用いて剥離位置の他端側に圧力を加えれば、保護フィルムの剥離時に熱伝導シートが破れたり、剥離される保護フィルムに引っ張られて熱伝導シートの一部が被着体から剥がれたりする(所謂、浮きが発生する)のを抑制し、熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。 Thus, if the pressure is applied to the other end side of the peeling position using a pressing jig when peeling the protective film in the step (B), the heat conductive sheet is broken or peeled off when the protective film is peeled off. It is possible to suppress a part of the heat conductive sheet from being peeled off from the adherend (so-called floating) by being pulled by the film, and to transfer the heat conductive sheet to the adherend satisfactorily.
<工程(A)>
ここで、工程(A)では、例えば図1(a),(b)に示すようにして、熱伝導シート11と、熱伝導シートの厚さ方向一方側(図1では上側)に位置する保護フィルム12とを有する積層体10の熱伝導シート11を被着体20に貼り合わせる。
<Process (A)>
Here, in the step (A), for example, as shown in FIGS. 1A and 1B, the heat
具体的には、工程(A)では、まず、図1(a)に示すように、両面に保護フィルム12,13が貼り合わされた熱伝導シート11から一方(図1では下側)の保護フィルム13を剥離し、熱伝導シート11および保護フィルム12を有する積層体10を得る。
なお、図1(a)では、工程(B)において保護フィルム12を剥離し易くする観点から、保護フィルム12の長さを熱伝導シート11よりも長くしているが、保護フィルム12の長さは、熱伝導シート11の長さ以上であれば図示例に限定されるものではない。また、図1(a)では、熱伝導シート11よりも長い保護フィルム12を有する積層体の製造の容易性の観点から保護フィルム13の長さを熱伝導シート11と等しくしているが、保護フィルム13の長さは図示例に限定されるものではなく、また、保護フィルム13は最初から設けられていなくてもよい。
Specifically, in the step (A), first, as shown in FIG. 1A, one (lower side in FIG. 1) protective film from the heat
In FIG. 1A, the length of the
次に、工程(A)では、図1(b)に示すように、積層体10の熱伝導シート11を被着体20に貼り合わせる。具体的には、熱伝導シート11と被着体20とが接するように被着体20上に積層体10を載置し、任意に、押さえ治具30を用いて積層体10に圧力を加えることにより、積層体10の熱伝導シート11と被着体20とを密着させる。
Next, at a process (A), as shown in FIG.1 (b), the heat
より具体的には、工程(A)では、例えば、積層体10上で押さえ治具30を熱伝導シート11の他端側(図1では右側)から一端側(図1では左側)に向かって摺動させて積層体10に圧力を加えることにより、熱伝導シート11と被着体20とを密着させる。
なお、押さえ治具30を用いた積層体10への圧力の負荷は、押さえ治具30の自重のみを用いて行ってもよいし、押さえ治具30に対して積層体10へと向かう方向の外力を加えることにより行ってもよい。中でも、熱伝導シート11と被着体20とを良好に密着させる観点からは、積層体10への圧力の負荷は、積層体10上を摺動させる押さえ治具30に外力を加えて押さえ治具30を積層体10へと押し付けつつ行うことが好ましい。
また、工程(A)において押さえ治具30を移動させる方向は、熱伝導シート11の他端側から一端側に限定されるものではない。但し、工程(A)の後に熱伝導シート11の一端側から他端側に向かって保護フィルム12を剥離する操作を連続して実施することにより熱伝導シート11を効率的に転写する観点からは、押さえ治具30は熱伝導シート11の他端側から一端側に向けて摺動させることが好ましい。
More specifically, in step (A), for example, the pressing
Note that the pressure load applied to the stacked
Further, the direction in which the holding
[押さえ治具]
ここで、押さえ治具30としては、特に限定されることなく、積層体10に圧力を負荷することが可能な任意の形状の治具を用いることができる。
具体的には、押さえ治具30としては、例えば図2(a)に正面図を示し、図2(b)に右側面図を示すような形状の治具を用いることができる。この図2(a),(b)に示す押さえ治具30は、積層体10の保護フィルム12に当接して積層体10に圧力を加える加圧面31と、加圧面31側とは反対側に突出する把持部32とを有し、任意に、熱伝導シート11の転写時に押さえ治具30をガイドするスライドレール等のガイド部材と係合する係合部33を更に有している。より具体的には、図2(a),(b)に示す押さえ治具30は、底面が加圧面31となる直方体状の本体部と、本体部の両側面の上部から幅方向外方(図2(a)では左右方向)に突出する係合部33と、本体部の上面の長さ方向一方側(図2(b)では左側)から上方に突出する把持部32とを有している。そして、後に詳述するが、押さえ治具30の長さ方向一方側(図2(b)では左側)の面(本体部および把持部32により形成される、加圧面31に直交する面)は、図1(c)〜(e)に示すようにして保護フィルム12を剥離する際に保護フィルム12の剥離角度を規制する剥離角度規制面34となる。
[Pressing jig]
Here, the pressing
Specifically, as the
なお、押さえ治具の形状は、図2(a),(b)に示す形状に限定されるものではなく、押さえ治具としては、例えば図3(a)〜(c)に右側面図を示すような形状の押さえ治具30A〜30Cも用いることができる。因みに、押さえ治具30A〜30Cの正面視形状は、図2(a)に示す押さえ治具30の正面視形状と同一である。
The shape of the holding jig is not limited to the shape shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). As the holding jig, for example, right side views are shown in FIGS. 3 (a) to 3 (c). The holding jigs 30A to 30C having the shapes as shown can also be used. Incidentally, the front view shape of the holding
ここで、図3(a)に示す押さえ治具30Aは、本体部の下部が円柱を軸線方向に切断してなる形状(円弧柱状)を有しており、底面の形状が、長さ方向(押さえ治具を摺動させる方向)に沿う断面の形状が下側に向かって凸の曲線となる形状である以外は、図2に示す押さえ治具30と同様の構成を有している。そして、押さえ治具30Aによれば、長さ方向に沿う断面の形状が下側に向かって凸の曲線であるので、積層体10上で押さえ治具30Aを摺動させて積層体10に圧力を負荷する際に、押さえ治具30Aを積層体10上で良好に摺動させることができると共に、少ない接触面積で積層体をより効果的に加圧することができる。
Here, in the holding
また、図3(b)に示す押さえ治具30Bおよび図3(c)に示す押さえ治具30Cは、それぞれ、保護フィルム12を剥離する際に保護フィルム12の剥離角度を規制する剥離角度規制面34の配設角度が加圧面31に対して傾斜した角度(90°超または90°未満)である以外は、図2に示す押さえ治具30と同様の構成を有している。そして、押さえ治具30B,30Cによれば、保護フィルム12を斜め方向に容易に剥離することができる。なお、押さえ治具30B,30Cの剥離角度規制面34の配設角度は、所望の剥離角度に応じて設定することができる。具体的には、例えば、押さえ治具30Bの剥離角度規制面34の配設角度は、加圧面31に対して90°超135°以下とすることができ、押さえ治具30Cの剥離角度規制面34の配設角度は、加圧面31に対して45°以上90°未満とすることができる。
Moreover, the pressing jig 30B shown in FIG. 3B and the
<工程(B)>
次に、工程(B)では、例えば図1(c)〜(e)に示すようにして、被着体20に貼り合わされた積層体10の熱伝導シート11から保護フィルム12を剥離する。
<Process (B)>
Next, at a process (B), as shown, for example to FIG.1 (c)-(e), the
具体的には、工程(B)では、図1(c),(d)に示すように、熱伝導シート11の一端側(図1では左側)から他端側(図1では右側)に向かって、且つ、押さえ治具30を用いて剥離位置Rの他端側に圧力を加えながら、保護フィルム12を剥離する。換言すれば、工程(B)では、例えば、熱伝導シート11の一端側から他端側に向けて、保護フィルム12を剥離する速度と等しい速度で押さえ治具30を他端側に移動させ、未剥離の保護フィルム12の剥離位置Rに隣接する領域上に押さえ治具30を位置させた状態で保護フィルム12を剥離する。そして、図1(e)に示すように熱伝導シート11上から保護フィルム12を全て剥離することにより、積層体10から被着体20への熱伝導シート11の転写を完了させる。
このように、押さえ治具30を用いて剥離位置Rの他端側(保護フィルム12が剥離されていない領域のうちの剥離位置R側の部分)に圧力を加えながら保護フィルム12を剥離すれば、例えば粘着性の高い熱伝導シートや薄い熱伝導シートであっても、転写時に熱伝導シート10が破れるのを抑制して、熱伝導シート10を被着体20へと良好に転写することができる。
Specifically, in the step (B), as shown in FIGS. 1C and 1D, the heat
In this way, if the
ここで、押さえ治具30としては、上述した工程(A)で使用した押さえ治具と同じ押さえ治具を用いることが好ましい。工程(A)と工程(B)とで異なる押さえ治具を使用してもよいが、工程(A)と工程(B)とで同一の押さえ治具30を使用すれば、治具の入れ替えに要する時間を削減して、熱伝導シート11を効率的に転写することができるからである。
Here, as the
また、押さえ治具30を移動させつつ保護フィルム12を剥離する方向は、熱伝導シート11の他端側から一端側としてもよいが、工程(A)において押さえ治具30を一端側まで移動させた後に保護フィルム12を剥離する操作を連続して実施することにより熱伝導シート11を効率的に転写する観点からは、熱伝導シート11の一端側から他端側にすることが好ましい。
In addition, the direction in which the
更に、押さえ治具30を用いた圧力の負荷は、押さえ治具30の自重のみを用いて行ってもよいし、押さえ治具30に対して積層体10へと向かう方向の外力Fを加えることにより行ってもよい。中でも、熱伝導シート10が破れるのを十分に抑制して熱伝導シート10を被着体20へと更に良好に転写する観点からは、保護フィルム12の剥離時の圧力の負荷は、積層体10上を摺動させる押さえ治具30に外力Fを加えて押さえ治具30を剥離位置Rの近傍の積層体10へと押し付けつつ行うことが好ましい。
なお、外力Fの大きさは、加圧面31を介して負荷される圧力が例えば2kPa以上200kPa以下となる大きさであることが好ましい。負荷される圧力が上記下限値以上であれば、熱伝導シート10と被着体20とを良好に密着させることができる。また、負荷される圧力が上記上限値以下であれば、熱伝導シート10が破れるのを十分に抑制して熱伝導シート10を被着体20へと更に良好に転写することができる。
Furthermore, the pressure load using the
In addition, it is preferable that the magnitude | size of the external force F is a magnitude | size from which the pressure loaded via the
また、工程(B)における保護フィルム12の剥離角度θ(保護フィルム12の剥離面12Aと、熱伝導シート11の保護フィルム12が剥離された面11Aとの為す角度)は、例えば45°以上であることが好ましく、90°以上であることがより好ましく、135°以下であることが好ましい。剥離角度θが上記範囲内であれば、熱伝導シート10を被着体20へと更に良好に転写することができる。
なお、剥離操作の容易性の観点からは、剥離角度θは、押さえ治具30に設けた剥離角度規制面34を利用して調整することが好ましい。即ち、保護フィルム12の剥離は、押さえ治具30の剥離角度規制面34に保護フィルム12を当接させた状態で行うことが好ましい。
Further, the peeling angle θ of the
Note that, from the viewpoint of ease of peeling operation, the peeling angle θ is preferably adjusted using the peeling
(熱伝導シートの転写装置)
そして、上述した熱伝導シートの転写方法による熱伝導シートの転写は、特に限定されることなく、例えば本発明の実施形態に係る熱伝導シートの転写装置を用いて効率的に実施することができる。
(Thermal transfer sheet transfer device)
The transfer of the heat conductive sheet by the above-described heat transfer sheet transfer method is not particularly limited and can be efficiently performed using, for example, the heat transfer sheet transfer device according to the embodiment of the present invention. .
ここで、図4(a),(b)に本発明の実施形態に係る熱伝導シートの転写装置100を示す。
図4に示す転写装置100は、押さえ治具30と、押さえ治具30をガイドするガイド部40と、ガイド部40の延在方向一方側(図4(a)では左上側)に設けられた固定部50と、ガイド部40および固定部50を図4(a)に示す転写位置と図4(b)に示す退避位置との間で回動可能に支持する枠体部60とを備えている。
Here, FIGS. 4A and 4B show a heat transfer
The
<押さえ治具>
押さえ治具30は、熱伝導シート11の転写時に積層体10に圧力を加える加圧面31および加圧面31側とは反対側に突出する把持部32を有する治具である。そして、押さえ治具30としては、例えば図2〜3に示す押さえ治具30,30A,30B,30Cなどの、上述した熱伝導シートの転写方法で使用し得るものと同様の治具を使用することができる。
<Pressing jig>
The holding
<ガイド部>
ガイド部40は、押さえ治具30の係合部33と係合して押さえ治具30を直線状にガイドする部分である。そして、図5(a)にガイド部40および固定部50の平面図を示すように、転写装置100では、ガイド部40は互いに離隔させて平行に配置した2本のスライドレールで構成されている。そして、押さえ治具30は、図5(b)に側面図を示すガイド部40のスライド孔41に係合部33を挿入して用いられる。
なお、ガイド部40の底面からスライド孔41までの高さH2は、通常、押さえ治具30の底面(加圧面31)から係合部33までの高さH1以下であり、高さH2は高さH1よりも低いことが好ましい。高さH2が高さH1以下であれば、押さえ治具30の加圧面31を介して積層体10へと圧力を容易に加えることができるからである。また、ガイド部40を構成する2本のスライドレール間の距離は、積層体10の幅以上であれば任意の長さとすることができる。更に、スライド孔41の長さ(即ち、押さえ治具30を摺動可能な範囲)は、積層体10の熱伝導シート11の長さと、押さえ治具30の摺動方向に沿う長さとの和以上であれば、任意の長さとすることができる。
<Guide part>
The
The height H 2 of the bottom surface of the
<固定部>
固定部50は、熱伝導シート11の転写時に積層体10の一方の端部を被着体20との間で固定する部分である。そして、転写装置100の固定部50は、ガイド部40と一体的に形成されている。即ち、固定部50は、ガイド部40の延在方向一端(図5では左側端)と連結されており、図5(a)に平面図を示すように、ガイド部40および固定部50は平面視U字状をしている。
<Fixed part>
The fixing
また、固定部50には、回転軸51が挿通される軸孔53が固定部50の幅方向(図5(a)では上下方向)に沿って形成されている。そして、固定部50は、軸孔53と、後に詳述する枠体部60に形成された貫通孔とを同一軸線上に位置させた状態で軸孔53および貫通孔に回転軸51を挿通することにより、枠体部60に対して回動可能に取り付けられる。
Further, a
更に、図5(c)にガイド部40および固定部50の底面図を示すように、固定部50は、底面側(熱伝導シート11の転写時に被着体20と接触する側)に積層体10の配置位置を決める位置決め機構を有している。具体的には、転写装置100の固定部50は、固定部50の底面に形成された矩形状の溝52と、溝52内に設けられた粘着部材(図示せず)とからなる位置決め機構を有している。なお、溝52は、固定部50の底面のガイド部40側の略中央に形成されており、ガイド部40を構成する2本のスライドレール間に開口している。そして、溝52の幅は、通常、積層体10の幅以上とされている。また、溝52の深さは、通常、溝52内に貼り付けられる積層体10の端部の厚みと粘着部材の厚みとの合計厚み以上とされている。
ここで、粘着部材としては、特に限定されることなく、両面テープ、粘着性をもつ有機物の塗布層、表面に微細な連結孔を有する自着性シート(例えば、製品名「ゼオンALシート」(ゼオン化成製))等が挙げられる。中でも。設置および取扱いが容易なことから、粘着部材としては両面テープが好ましい。
Further, as shown in the bottom view of the
Here, the adhesive member is not particularly limited, and is a self-adhesive sheet (for example, the product name “Zeon AL sheet” (for example, product name “Zeon AL sheet” Zeon Kasei))) and the like. Above all. Double-sided tape is preferred as the adhesive member because it is easy to install and handle.
そして、転写装置100は、固定部50の底面側に位置決め機構を有しているので、例えば退避位置において積層体10を固定部50に容易に取り付けて転写時の積層体10の位置決めを行うことができる。また、溝52と、溝52内に設けられた粘着部材とで位置決め機構を形成しているので、溝52内の粘着部材に積層体10を貼り付けて固定することにより、簡素な構成を用いて積層体10の位置決めを容易に行うことができる。また、溝52内に積層体10の端部を貼り付けて固定することにより、熱伝導シート11の転写時に積層体10の厚みによって固定部50が浮き上がるのを防止することができる。
Since the
<枠体部>
枠体部60は、ガイド部40および固定部50を転写位置と退避位置との間で回動可能に軸支する部分であり、図4に示すように、ガイド部40および固定部50と厚さが等しく、且つ、内側にガイド部40および固定部50を収容可能な平面視U字状の板状部材よりなる。そして、平面視U字状の枠体部60の開口部側には、幅方向に延在する貫通孔が設けられており、当該貫通孔と固定部50の軸孔53とを同一軸線上に位置させた状態で軸孔53および貫通孔に回転軸51を挿通することにより、固定部50が枠体部60の開口部側に回動可能に取り付けられる。また、枠体部60の底面には、任意に、被着体20に形成された孔などに挿入して被着体20の所望の位置に枠体部60を固定するための位置決めピン61が設けられている。
<Frame body part>
The
<転写装置を用いた熱伝導シートの転写>
そして、上述した構成を有する転写装置100では、例えば図6(a)〜(e)に示すようにして、積層体10から被着体20へと熱伝導シート11を転写することができる。
<Transfer of thermal conductive sheet using transfer device>
And in the
具体的には、まず、両面に保護フィルムが貼り合わされた熱伝導シートから一方の保護フィルムを剥離して、熱伝導シート11および保護フィルム12を有する積層体10を準備する。そして、図6(a)に示すように、得られた積層体10の一方の端部を固定部50の溝52内の粘着部材に貼り付けると共に、枠体部60の位置決めピン61を被着体20に形成された孔(図示せず)に挿入して枠体部60を被着体20上の所望の位置に固定する。
なお、積層体10は、保護フィルム12側の表面を溝52内の粘着部材に貼り付ける。また、転写装置100を使用する場合、通常、積層体10の保護フィルム12は熱伝導シート11よりも長尺とする。そして、粘着部材に貼り付けられる側の保護フィルム12の一端から熱伝導シート11の一端までの距離L1は、溝52内に貼り付けられる保護フィルム12の長さと、押さえ治具30の摺動方向に沿う長さとの和以上である。また、熱伝導シート11の長さは、図6(b)に示すようにガイド部40および固定部50を転写位置に位置させ、且つ、押さえ治具30を固定部50側に位置させた状態において、押さえ治具30、ガイド部40および枠体部60により区画形成される空間内に熱伝導シート11が収まる長さである。更に、熱伝導シート11の他端から保護フィルム12の他端までの距離L2は、図6(b)に示すようにガイド部40および固定部50を転写位置に位置させた状態において、少なくとも枠体部60上まで保護フィルム12が延在する長さである。
Specifically, first, one protective film is peeled off from a heat conductive sheet having a protective film bonded to both sides to prepare a laminate 10 having a heat
In addition, the
次に、図6(b)に示すようにガイド部40および固定部50を転写位置に移動させ、被着体20上に熱伝導シート11を載置する。なお、この際に、積層体10の保護フィルム12の一方の端部(図6(b)では左側の端部)は、固定部50と被着体20との間で固定される。また、積層体10の保護フィルム12の他方の端部(図6(b)では右側の端部)は、保護フィルム12を剥離する際に掴み易いように、枠体部60上を通して転写装置100の外側まで延出させる。
Next, as shown in FIG. 6B, the
その後、図6(b)および(c)に示すように、押さえ治具30を積層体10の一方の端部側(図6(b),(c)では左側)から他方の端部側(図6(b),(c)では右側)へと移動させると共に、押さえ治具30の加圧面31を介して積層体10に圧力を加え、熱伝導シート11を被着体20に密着させる。なお、押さえ治具30の移動および押さえ治具30を介した積層体10への圧力の負荷は、押さえ治具30の把持部32を図示しない手やロボットアーム等で掴んで容易に行うことができる。
Thereafter, as shown in FIGS. 6B and 6C, the holding
そして、最後に、図6(d)および(e)に示すように、積層体10の保護フィルム12の他方の端部を手やロボットアーム等で掴んで引っ張り上げ、保護フィルム12を熱伝導シート11から剥離して、熱伝導シート11の転写を完了させる。具体的には、押さえ治具30の加圧面31を介して図6(d),(e)では剥離位置の左側の領域に圧力を加えつつ積層体10上で押さえ治具30を固定部50側へと摺動させると共に、保護フィルム12を押さえ治具30の剥離角度規制面34に当接させた状態で引っ張り上げることにより、保護フィルム12を所望の剥離角度θ(図6(d),(e)では90°)で熱伝導シート11から剥離する。なお、押さえ治具30の移動および押さえ治具30を介した積層体10への圧力の負荷は、押さえ治具30の把持部32を図示しない手やロボットアーム等で掴んで容易に行うことができる。また、剥離した保護フィルム12は、転写装置100と一緒に被着体20上から除去することができる。
And finally, as shown to FIG.6 (d) and (e), the other edge part of the
以上、本発明の実施形態に係る熱伝導シートの転写方法および転写装置について説明したが、本発明の熱伝導シートの転写方法および転写装置は上述した実施形態に限定されるものではない。
具体的には、例えば、転写装置の位置決め機構としては、ピンやクリップ等の既知の位置決め機構を採用してもよい。また、位置決め機構を設けることなく固定部と被着体とで積層体の端部を挟んで固定してもよい。更に、ガイド部としてはガイドレール等の既知のガイド部材を採用してもよい。また、枠体部を設けることなく、ガイド部の底面に位置決めピンを設けてもよい。
The heat conductive sheet transfer method and transfer device according to the embodiment of the present invention have been described above, but the heat conductive sheet transfer method and transfer device of the present invention are not limited to the above-described embodiments.
Specifically, for example, a known positioning mechanism such as a pin or a clip may be employed as the positioning mechanism of the transfer device. Moreover, you may fix by pinching | pinching the edge part of a laminated body with a fixing | fixed part and a to-be-adhered body, without providing a positioning mechanism. Furthermore, a known guide member such as a guide rail may be employed as the guide portion. Moreover, you may provide a positioning pin in the bottom face of a guide part, without providing a frame part.
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
なお、実施例および比較例において、熱伝導シートの粘着力および引張強度、並びに、転写後の熱伝導シートの状態は、それぞれ以下の方法を使用して測定および評価した。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
In Examples and Comparative Examples, the adhesive force and tensile strength of the heat conductive sheet and the state of the heat conductive sheet after transfer were measured and evaluated using the following methods, respectively.
<熱伝導シートの粘着力>
作製した熱伝導シートの上面(スライス時に刃が直接当たった面)について、プローブタック試験機(株式会社レスカ製、商品名「TAC1000」)を使用して粘着力を測定した。具体的には、温度25℃、荷重0.5Nの条件で直径10mmの平らなプローブを熱伝導シートの上面に10秒間押し付けた後、プローブを熱伝導シートから引き離すときに要する力を粘着力として測定した。
<熱伝導シートの引張強度>
作製した熱伝導シートを、JIS K6251に記載のダンベル2号にて打ち抜き、試料片を作製した。そして、引張試験機(株式会社島津製作所製、商品名「AG−IS20kN」)を用い、試料片の両末端から1cmの箇所をつまみ、温度23℃で、試料片の表面から出る法線に対して垂直な方向に500mm/分の引張速度で引っ張り、破断強度(引張強度)を測定した。
<転写後の熱伝導シートの状態>
保護フィルムを剥離した後の熱伝導シートの状態を目視にて観察し、以下の基準に従って評価した。
A:熱伝導シートに浮きおよび破れがない
B:熱伝導シートに破れはないが、寸法2mm以下の浮きがある
C:熱伝導シートに破れはないが、寸法2mm超の浮きがある
D:熱伝導シートに破れがある
<Adhesive strength of thermal conductive sheet>
The adhesive strength of the upper surface of the produced heat conductive sheet (the surface directly hit by the blade during slicing) was measured using a probe tack tester (trade name “TAC1000” manufactured by Resuka Co., Ltd.). Specifically, after pressing a flat probe having a diameter of 10 mm on the top surface of the heat conductive sheet for 10 seconds under the conditions of a temperature of 25 ° C. and a load of 0.5 N, the force required to pull the probe away from the heat conductive sheet is used as the adhesive force. It was measured.
<Tensile strength of heat conductive sheet>
The produced heat conductive sheet was punched out with dumbbell No. 2 described in JIS K6251 to produce a sample piece. Then, using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, trade name “AG-IS20kN”), a point of 1 cm from both ends of the sample piece is pinched, and the normal line coming out from the surface of the sample piece at a temperature of 23 ° C. Then, the film was pulled at a tensile speed of 500 mm / min in a perpendicular direction, and the breaking strength (tensile strength) was measured.
<The state of the heat conductive sheet after transfer>
The state of the heat conductive sheet after peeling off the protective film was visually observed and evaluated according to the following criteria.
A: Heat conduction sheet does not float or break B: Heat conduction sheet does not break, but there is a float of 2 mm or less C: Heat conduction sheet does not break, but there is a float of more than 2 mm D: Heat There is a tear in the conductive sheet
(実施例1)
<熱伝導シートの作製>
スーパーグロース法を用いて調製したカーボンナノチューブ(CNT)を0.1質量部と、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−100」、平均粒子径:190μm)を50質量部と、常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)100質量部とを混合して得た組成物をワンダークラッシュミル(大阪ケミカル株式会社製、商品名「D3V−10」)に投入して、1分間解砕した。
次いで、解砕した組成物5gを、サンドブラスト処理を施した厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムで挟み、ロール間隙550μm、ロール温度50℃、ロール線圧50kg/cm、ロール速度1m/分の条件にて圧延成形し、厚さ500μmの複合材料シートを得た。そして、得られた複合材料シートを6cm×6cm×500μmに裁断し、厚み方向に120枚積層し、圧力0.1MPaの条件下、温度120℃で3分間プレスして熱圧着させ、厚さ約6cmの積層体を得た。
その後、複合材料シートの積層体の6cm×6cmの積層断面を、木工用スライサー(株式会社丸仲鐵工所製、商品名「超仕上げかんな盤スーパーメカS」)を用いてスライスし、更に、得られたシート(厚み:150μm)をカッターナイフで5cm×1.5cmのサイズに切り出して、熱伝導シート(5cm×1.5cm×150μm)を得た。
そして、得られた熱伝導シートの粘着力および引張強度を測定した。結果を表1に示す。
<保護フィルムの貼り付け>
作製した熱伝導シートの両面に、サイズが9cm×1.5cmの保護フィルム(株式会社フジコー製、一般剥離フィルム、厚さ75μm)を貼り付けた。具体的には、熱伝導シートの全面が覆われ、且つ、保護フィルムの長手方向両端がそれぞれ約2cmずつ熱伝導シートの長手方向端からはみ出るように熱伝導シートの両面に保護フィルムを手で仮止めした後、プレス機(新東工業株式会社製、精密加熱加圧装置、商品名「CYPT−20」)を用いて、圧力0.2MPa、温度25℃にて30秒間プレスし、熱伝導シートの両面に保護フィルムを貼り付けた。
<熱伝導シートの転写>
両面に保護フィルムを貼り付けた熱伝導シートから一方の保護フィルムを剥離し、熱伝導シートと、熱伝導シートの厚さ方向一方側に位置する保護フィルムとを有する積層体を得た。
また、押さえ治具として図3(c)に示す押さえ治具30Cを有する意外は図4に示す転写装置と同様の構成を有する転写装置を使用し、図6に示すようにして熱伝導シートの転写を行った。
なお、被着体としては、銅板を用いた。また、押さえ治具を摺動させて被着体に熱伝導シートを密着させる際および熱伝導シートから保護フィルムを剥離する際には、指で押さえ治具の把持部を掴み、積層体に向かう方向に外力を加えながら、押さえ治具を移動させた。更に、保護フィルムの剥離角度θは135°とした。
そして、転写後の熱伝導シートの状態を評価した。結果を表1に示す。
Example 1
<Preparation of heat conductive sheet>
0.1 parts by mass of carbon nanotubes (CNT) prepared using the super-growth method and 50 parts by mass of expanded graphite (manufactured by Ito Graphite Industries Co., Ltd., trade name “EC-100”, average particle size: 190 μm) And a composition obtained by mixing 100 parts by mass of a thermoplastic fluororesin that is liquid at room temperature (Daikin Kogyo Co., Ltd., trade name “DAIEL G-101”), a Wonder Crush Mill (Osaka Chemical Co., Ltd., product) Name “D3V-10”) and crushed for 1 minute.
Next, 5 g of the crushed composition was sandwiched between polyethylene terephthalate films having a thickness of 50 μm that had been subjected to sand blasting, and the roll gap was 550 μm, the roll temperature was 50 ° C., the roll linear pressure was 50 kg / cm, and the roll speed was 1 m / min. Roll forming was performed to obtain a composite material sheet having a thickness of 500 μm. Then, the obtained composite material sheet was cut into 6 cm × 6 cm × 500 μm, 120 sheets were laminated in the thickness direction, pressed under a pressure of 0.1 MPa at a temperature of 120 ° C. for 3 minutes, and subjected to thermocompression bonding. A 6 cm laminate was obtained.
After that, the 6 cm × 6 cm laminated section of the laminate of the composite material sheet was sliced using a woodworking slicer (manufactured by Marunaka Steel Co., Ltd., trade name “Super Finished Planer Super Mechanism S”), The obtained sheet (thickness: 150 μm) was cut into a size of 5 cm × 1.5 cm with a cutter knife to obtain a heat conductive sheet (5 cm × 1.5 cm × 150 μm).
And the adhesive force and tensile strength of the obtained heat conductive sheet were measured. The results are shown in Table 1.
<Attaching the protective film>
A protective film (manufactured by Fujiko Co., Ltd., general release film, thickness 75 μm) having a size of 9 cm × 1.5 cm was attached to both surfaces of the produced heat conductive sheet. Specifically, the protective film is temporarily placed on both surfaces of the heat conductive sheet so that the entire surface of the heat conductive sheet is covered and both ends of the protective film in the longitudinal direction protrude from the longitudinal ends of the heat conductive sheet by about 2 cm. After stopping, using a press machine (manufactured by Shinto Kogyo Co., Ltd., precision heating and pressurizing device, trade name “CYPT-20”), it is pressed for 30 seconds at a pressure of 0.2 MPa and a temperature of 25 ° C. A protective film was affixed on both sides.
<Transfer of thermal conductive sheet>
One protective film was peeled off from the heat conductive sheet having the protective film pasted on both sides, and a laminate having a heat conductive sheet and a protective film located on one side in the thickness direction of the heat conductive sheet was obtained.
Further, a transfer device having the same configuration as the transfer device shown in FIG. 4 is used except that the
Note that a copper plate was used as the adherend. In addition, when the heat conduction sheet is brought into close contact with the adherend by sliding the pressure jig and when the protective film is peeled off from the heat conduction sheet, the holding part of the pressure jig is grasped with a finger and headed to the laminate. The pressing jig was moved while applying external force in the direction. Further, the peel angle θ of the protective film was 135 °.
And the state of the heat conductive sheet after transfer was evaluated. The results are shown in Table 1.
(実施例2)
熱伝導シートの転写時に、押さえ治具30Cに替えて図2に示す押さえ治具30を使用し、保護フィルムの剥離角度θを90°とした以外は実施例1と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 2)
2 is used instead of the holding
(実施例3)
熱伝導シートの転写時に、押さえ治具30Cに替えて図3(b)に示す押さえ治具30Bを使用し、保護フィルムの剥離角度θを45°とした以外は実施例1と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 3)
When transferring the heat conductive sheet, heat was applied in the same manner as in Example 1 except that the holding jig 30B shown in FIG. 3B was used instead of the holding
(実施例4)
熱伝導シートから保護フィルムを剥離する際に、積層体に向かう方向の外力を指で加えることなく、押さえ治具30Cの自重のみを用いて積層体に圧力を加えた以外は実施例1と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
Example 4
When peeling off the protective film from the heat conductive sheet, it was the same as in Example 1 except that pressure was applied to the laminate using only the weight of the holding
(実施例5〜7)
熱伝導シートの作製時に、カーボンナノチューブの配合量を、それぞれ0.5質量部(実施例5)、1.0質量部(実施例6)および2.0質量部(実施例7)に変更した以外は実施例1と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Examples 5-7)
At the time of producing the heat conductive sheet, the amount of carbon nanotubes was changed to 0.5 parts by mass (Example 5), 1.0 part by mass (Example 6) and 2.0 parts by mass (Example 7), respectively. Except for the above, production of a heat conductive sheet, attachment of a protective film, and transfer of the heat conductive sheet were performed in the same manner as in Example 1. Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
(実施例8)
熱伝導シートから保護フィルムを剥離する際に、積層体に向かう方向の外力を指で加えることなく、押さえ治具30の自重のみを用いて積層体に圧力を加えた以外は実施例2と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 8)
When peeling the protective film from the heat conductive sheet, it was the same as in Example 2 except that pressure was applied to the laminate using only the weight of the holding
(実施例9)
熱伝導シートから保護フィルムを剥離する際に、積層体に向かう方向の外力を指で加えることなく、押さえ治具30Bの自重のみを用いて積層体に圧力を加えた以外は実施例3と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
Example 9
When peeling the protective film from the heat conductive sheet, it was the same as in Example 3 except that pressure was applied to the laminate using only the weight of the holding jig 30B without applying external force in the direction toward the laminate with a finger. Then, a heat conductive sheet was produced, a protective film was attached, and the heat conductive sheet was transferred. Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
(比較例1)
熱伝導シートから保護フィルムを剥離する際に、被着体から転写装置を取り外し、押さえ治具を用いることなく、無加圧状態の保護フィルムを手で剥離した以外は実施例1と同様にして熱伝導シートの作製、保護フィルムの貼り付けおよび熱伝導シートの転写を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
When removing the protective film from the heat conductive sheet, the transfer device was removed from the adherend, and the protective film in a non-pressurized state was peeled off by hand without using a pressing jig. Preparation of a heat conductive sheet, attachment of a protective film, and transfer of the heat conductive sheet were performed. Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
表1より、実施例1〜9では、熱伝導シートの破れを防止して熱伝導シートを被着体へと良好に転写できることが分かる。一方、比較例1では、保護フィルムの剥離時に熱伝導シートが破れてしまうことが分かる。 From Table 1, it can be seen that in Examples 1 to 9, it is possible to prevent the heat conduction sheet from being broken and to transfer the heat conduction sheet to the adherend satisfactorily. On the other hand, in the comparative example 1, it turns out that a heat conductive sheet will be torn at the time of peeling of a protective film.
本発明の熱伝導シートの転写方法および転写装置によれば、熱伝導シートと保護フィルムとを有する積層体から熱伝導シートを被着体へと良好に転写することができる。 According to the heat conductive sheet transfer method and transfer apparatus of the present invention, the heat conductive sheet can be satisfactorily transferred from the laminate having the heat conductive sheet and the protective film to the adherend.
10 積層体
11 熱伝導シート
12,13 保護フィルム
20 被着体
30,30A〜30C 押さえ治具
31 加圧面
32 把持部
33 係合部
34 剥離角度規制面
40 ガイド部
41 スライド孔
50 固定部
51 回転軸
52 溝
53 軸孔
60 枠体部
61 位置決めピン
100 転写装置
θ 剥離角度
F 外力
R 剥離位置
DESCRIPTION OF
Claims (9)
熱伝導シートと、前記熱伝導シートの厚さ方向一方側に位置する保護フィルムとを有する積層体の前記熱伝導シートを被着体に貼り合わせる工程(A)と、
前記被着体に貼り合わされた前記積層体の熱伝導シートから前記保護フィルムを剥離する工程(B)と、
を含み、
前記工程(B)では、前記熱伝導シートの一端側から他端側に向かって、且つ、押さえ治具を用いて剥離位置の他端側に圧力を加えながら前記保護フィルムを剥離する、熱伝導シートの転写方法。 It is a transfer method of a heat conductive sheet that transfers the heat conductive sheet from a laminate having a heat conductive sheet and a protective film to an adherend,
A step of bonding the heat conductive sheet of a laminate having a heat conductive sheet and a protective film located on one side in the thickness direction of the heat conductive sheet to the adherend (A),
A step (B) of peeling the protective film from the heat conductive sheet of the laminate laminated to the adherend;
Including
In the step (B), the protective film is peeled off while applying pressure to the other end side of the peeling position from one end side to the other end side of the heat conducting sheet and using a holding jig. Sheet transfer method.
前記工程(A)と前記工程(B)とで同一の押さえ治具を使用し、且つ、前記工程(A)では前記熱伝導シートの他端側から一端側に向かって前記押さえ治具を移動させつつ圧力を加え、前記工程(B)では前記熱伝導シートの一端側から他端側に向かって前記押さえ治具を移動させつつ圧力を加える、請求項1〜3の何れかに記載の熱伝導シートの転写方法。 The step (A) is a step of placing the laminate on the adherend, and the laminate placed on the adherend by applying pressure to the laminate using a pressing jig. A step of closely adhering the heat conductive sheet and the adherend,
The same pressing jig is used in the step (A) and the step (B), and in the step (A), the pressing jig is moved from the other end side to the one end side of the heat conductive sheet. The heat according to claim 1, wherein pressure is applied while the pressure is applied while moving the pressing jig from one end side to the other end side of the heat conductive sheet in the step (B). Conductive sheet transfer method.
前記積層体に圧力を加える加圧面および前記加圧面側とは反対側に突出する把持部を有する押さえ治具と、
前記押さえ治具をガイドするガイド部と、
前記ガイド部の延在方向一方側に設けられて前記積層体の一方の端部を前記被着体との間で固定する固定部と、
を備える、熱伝導シートの転写装置。 A transfer device for a heat conductive sheet used when transferring the heat conductive sheet from a laminate having a heat conductive sheet and a protective film to an adherend,
A pressing jig having a pressing surface for applying pressure to the laminate and a gripping portion protruding on the side opposite to the pressing surface side;
A guide portion for guiding the holding jig;
A fixing portion that is provided on one side in the extending direction of the guide portion and fixes one end of the laminated body to the adherend;
A heat transfer sheet transfer device.
前記ガイド部および前記固定部は、前記固定部に設けられた回転軸を介して前記枠体部に支持されている、請求項5〜8の何れかに記載の熱伝導シートの転写装置。 A frame body part that rotatably supports the guide part and the fixed part between a transfer position and a retracted position;
The heat transfer sheet transfer device according to claim 5, wherein the guide part and the fixing part are supported by the frame body part via a rotation shaft provided in the fixing part.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016185840A JP6747210B2 (en) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | Transfer method and transfer device for heat conductive sheet |
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Applications Claiming Priority (1)
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018047660A true JP2018047660A (en) | 2018-03-29 |
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Family
ID=61765873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005281346A (en) * | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Polymatech Co Ltd | Phase change heat-conductive molding |
JP2010272702A (en) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | Anisotropic conductive material sticking device and method |
JP2012036365A (en) * | 2010-01-29 | 2012-02-23 | Nitto Denko Corp | Thermally conductive sheet |
JP2016004091A (en) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | ユーテック株式会社 | Protective film bonding device |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005281346A (en) * | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Polymatech Co Ltd | Phase change heat-conductive molding |
JP2010272702A (en) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | Anisotropic conductive material sticking device and method |
JP2012036365A (en) * | 2010-01-29 | 2012-02-23 | Nitto Denko Corp | Thermally conductive sheet |
JP2016004091A (en) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | ユーテック株式会社 | Protective film bonding device |
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