JP2018041883A - 気相成長装置用部品の洗浄方法 - Google Patents
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- 洗浄炉内に収納した気相成長装置用部品を加熱手段で加熱しながら、前記洗浄炉内に洗浄ガス導入経路から洗浄ガスを導入するとともに、前記洗浄炉内の洗浄排ガスを洗浄排ガス排気経路から排気することによって前記気相成長装置用部品を洗浄する気相成長装置用部品の洗浄方法において、前記気相成長装置用部品が炭化珪素で形成された部品、及び、基材表面に炭化珪素を被覆した部品であって、気相成長装置用部品に付着した窒化ガリウム又は窒化アルミニウムガリウムを除去する洗浄操作を行う際には、前記洗浄ガスとして塩素を含む洗浄ガスを使用し、前記加熱手段による気相成長装置用部品の加熱温度を、700〜800℃の範囲内の温度を設定温度として設定するとともに、前記設定温度に対する気相成長装置用部品の加熱温度変動幅を±10℃の範囲内にすることを特徴とする気相成長装置用部品の洗浄方法。
- 前記洗浄排ガス排気経路を加熱する排気経路加熱手段を備え、前記洗浄排ガスを排気する際に、前記洗浄排ガス排気経路を前記排気経路加熱手段によって加熱することを特徴とする請求項1記載の気相成長装置用部品の洗浄方法。
- 前記洗浄排ガス排気経路を介して前記洗浄炉内を真空排気するための真空排気手段を備え、前記洗浄炉内に前記気相成長装置用部品を収納した後、前記洗浄ガスを導入して前記洗浄操作を開始する前に、前記真空排気手段によって洗浄炉内を真空排気する洗浄前排気操作を行うとともに、前記洗浄操作を終了して前記洗浄ガスの導入を停止した後、前記真空排気手段によって洗浄炉内を真空排気する洗浄後排気操作を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の気相成長装置用部品の洗浄方法。
- 前記洗浄ガスは、窒素中に塩素を5体積%含んだ洗浄ガスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の気相成長装置用部品の洗浄方法。
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