JP2018037906A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018037906A5
JP2018037906A5 JP2016170315A JP2016170315A JP2018037906A5 JP 2018037906 A5 JP2018037906 A5 JP 2018037906A5 JP 2016170315 A JP2016170315 A JP 2016170315A JP 2016170315 A JP2016170315 A JP 2016170315A JP 2018037906 A5 JP2018037906 A5 JP 2018037906A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
leakage
wiring layer
lengthened
suppressed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016170315A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018037906A (ja
JP6668201B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2016170315A priority Critical patent/JP6668201B2/ja
Priority claimed from JP2016170315A external-priority patent/JP6668201B2/ja
Priority to US15/667,339 priority patent/US10862448B2/en
Publication of JP2018037906A publication Critical patent/JP2018037906A/ja
Publication of JP2018037906A5 publication Critical patent/JP2018037906A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6668201B2 publication Critical patent/JP6668201B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016170315A 2016-08-31 2016-08-31 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。 Active JP6668201B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016170315A JP6668201B2 (ja) 2016-08-31 2016-08-31 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。
US15/667,339 US10862448B2 (en) 2016-08-31 2017-08-02 Piezoelectric thin film resonator, filter, and multiplexer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016170315A JP6668201B2 (ja) 2016-08-31 2016-08-31 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018037906A JP2018037906A (ja) 2018-03-08
JP2018037906A5 true JP2018037906A5 (enExample) 2018-04-19
JP6668201B2 JP6668201B2 (ja) 2020-03-18

Family

ID=61243651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016170315A Active JP6668201B2 (ja) 2016-08-31 2016-08-31 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10862448B2 (enExample)
JP (1) JP6668201B2 (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7447372B2 (ja) * 2018-05-17 2024-03-12 サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド． バルク音響共振器及びその製造方法
EP3841669A4 (en) 2018-08-20 2022-05-25 Woolsey, David An acoustic resonator
JP7290941B2 (ja) * 2018-12-27 2023-06-14 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ
JP7451134B2 (ja) * 2019-10-21 2024-03-18 太陽誘電株式会社 センサデバイス
CN111010122B (zh) * 2019-10-23 2021-06-01 诺思(天津)微系统有限责任公司 电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备
CN113131896B (zh) * 2019-12-31 2024-04-30 中芯集成电路（宁波）有限公司 一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法及滤波器
CN117013985B (zh) * 2022-04-29 2024-07-05 锐石创芯(重庆)科技有限公司 滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法
CN118138003A (zh) * 2023-11-29 2024-06-04 深圳新声半导体有限公司 体声波谐振器及其制造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4535841B2 (ja) 2004-10-28 2010-09-01 富士通メディアデバイス株式会社 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ
JP4663401B2 (ja) * 2005-05-23 2011-04-06 京セラ株式会社 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置
JP5018788B2 (ja) * 2007-01-24 2012-09-05 株式会社村田製作所 圧電共振子及び圧電フィルタ
JP2008182543A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Ube Ind Ltd 薄膜圧電共振器とそれを用いた薄膜圧電フィルタ
WO2009011022A1 (ja) * 2007-07-13 2009-01-22 Fujitsu Limited 圧電薄膜共振素子及びこれを用いた回路部品
JPWO2009013938A1 (ja) * 2007-07-20 2010-09-30 株式会社村田製作所 圧電共振子及び圧電フィルタ装置
JP5246454B2 (ja) * 2009-02-20 2013-07-24 宇部興産株式会社 薄膜圧電共振器およびそれを用いた薄膜圧電フィルタ
JP5360432B2 (ja) * 2011-01-27 2013-12-04 株式会社村田製作所 圧電デバイス
JP5918522B2 (ja) * 2011-12-12 2016-05-18 太陽誘電株式会社 フィルタおよびデュプレクサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018037906A5 (enExample)
JP2019058014A5 (enExample)
SG10201810091WA (en) Mems loudspeaker having an actuator structure and a diaphragm spaced apart therefrom
JP2017140920A5 (enExample)
JP2018064407A5 (enExample)
JP2016004833A5 (enExample)
JP2015115404A5 (enExample)
JP2015070473A5 (enExample)
JP2016004983A5 (enExample)
JP2019076037A5 (enExample)
JP2017191148A5 (enExample)
JP2016046393A5 (enExample)
JP2013520645A5 (enExample)
JP2013056513A5 (enExample)
JP2014066010A5 (enExample)
JP2019030252A5 (enExample)
JP2015525489A5 (enExample)
TWD179529S (zh) 消波塊
JP2018064938A5 (enExample)
JP2016075054A5 (enExample)
JP2017059791A5 (enExample)
JP2014078905A5 (enExample)
RU2014150633A (ru) Способ нанесения маркировочной композиции на поверхность музейных экспонатов
JP2012253623A5 (enExample)
JP2015187314A5 (enExample)