JP2018036671A - ミラー駆動装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 支持部と、
連結部材を介して、前記支持部に対して揺動可能に支持される可動部と、
前記可動部の主面上に配置されたミラーと、
前記可動部に配置された駆動コイルと、
前記可動部の周囲に磁場を形成する磁石と、を備え、
前記駆動コイルは、前記主面に対して直交する方向から見てn角形形状(nは整数で且つ6以上)を呈しており、その少なくとも一辺が前記磁場の方向に直交しており、
前記可動部は、前記駆動コイルに対応する形状を呈する溝部を有しており、
前記駆動コイルが前記溝部内に配置されている、ミラー駆動装置。 - 前記溝部の内壁面と前記駆動コイルとの間には、シード層が配置されている、請求項1記載のミラー駆動装置。
- 前記駆動コイルの端部と前記支持部上に配置された電極とを電気的に接続する引出し導体を備えている、請求項1又は2記載のミラー駆動装置。
- 前記引出し導体は、前記駆動コイルを構成する辺の端部に接続されている、請求項3記載のミラー駆動装置。
- 前記引出し導体の一部は、前記溝部内に配置された前記駆動コイルの上方に配置されている、請求項3又は4記載のミラー駆動装置。
- 前記支持部は、溝部を有しており、
前記引出し導体の一部は、前記支持部の前記溝部内に配置されている、請求項3〜5のいずれか一項記載のミラー駆動装置。 - 前記連結部材は、前記可動部を両側から挟む位置に配置されており、
前記駆動コイルの一端部に接続された一方の前記引出し導体は、一方の前記連結部材に配置されており、
前記駆動コイルの他端部に接続された他方の前記引出し導体は、他方の前記連結部材に配置されている、請求項3〜6のいずれか一項記載のミラー駆動装置。 - 前記主面に対して直交する方向から見て、前記駆動コイルの外縁と、当該外縁に最も近接する前記可動部の外縁との間の距離は、前記可動部における前記駆動コイルの位置によって異なる、請求項1〜7のいずれか一項記載のミラー駆動装置。
- 前記磁場の方向は、前記主面に対して直交する方向から見て、前記連結部材の揺動軸に対して所定の角度を成している、請求項1〜8のいずれか一項記載のミラー駆動装置。
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