JP2018031044A - 表面処理方法 - Google Patents
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試料ガスを供給される成膜室と、
ワークが入室する、又は、退室することのできるように前記成膜室と連通する真空予備室と、
前記成膜室と前記真空予備室との間を移動させるよう、前記ワークを搬送する搬送部と、
前記真空予備室に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、を備えるCVD成膜装置を用いて、前記ワークに成膜する表面処理方法であって、
前記搬送部が前記ワークを前記真空予備室から前記成膜室へ搬送させるとき、前記不活性ガスを前記真空予備室へ供給し、
前記搬送部が前記ワークを前記真空予備室から前記成膜室へ搬送させた後、前記真空予備室と前記成膜室との連通を遮断させて、前記真空予備室の圧力P1が前記成膜室の圧力P2よりも大きくなるように、前記不活性ガスを前記真空予備室へ供給する。
このような構成によれば、搬送部がワークを真空予備室から成膜室へ搬送させるとき、不活性ガスを供給するため、不活性ガスが真空予備室から成膜室へ流れるため、成膜室に供給された試料ガスが、真空予備室に入り込むことを抑制される。また、搬送部がワークを真空予備室から成膜室へ搬送させて、真空予備室と成膜室との連通を遮断させた後において、真空予備室の圧力P1が前記成膜室の圧力P2よりも大きい。そのため、成膜室に供給された試料ガスが、真空予備室に入り込むことを抑制される。したがって、成膜室で発生した滓や成膜の原材料に由来する残留ガスが搬送部に付着することを抑制することができる。
以下、図1を参照して実施の形態1に係るCVD成膜装置の構成について説明する。図1は、実施の形態1に係るCVD成膜装置を模式的に示す断面図である。図1では、右手系xyz三次元座標を規定した。
次に、図1〜図3を参照して、実施の形態1に係るCVD成膜装置100を用いて、表面処理方法について説明する。図2及び図3は、実施の形態1に係るCVD成膜装置を用いた成膜方法の一工程を示す模式図である。図2及び図3では、図1と同様に、右手系xyz三次元座標を規定した。
1 成膜室 2 真空予備室
3 搬送部 5 バルブ
6 ガスタンク W1 ワーク
Claims (1)
- 試料ガスを供給される成膜室と、
ワークが入室する、又は、退室することのできるように前記成膜室と連通する真空予備室と、
前記成膜室と前記真空予備室との間を移動させるよう、前記ワークを搬送する搬送部と、
前記真空予備室に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、を備えるCVD成膜装置を用いて、前記ワークに成膜する表面処理方法であって、
前記搬送部が前記ワークを前記真空予備室から前記成膜室へ搬送させるとき、前記不活性ガスを前記真空予備室へ供給し、
前記搬送部が前記ワークを前記真空予備室から前記成膜室へ搬送させた後、前記真空予備室と前記成膜室との連通を遮断させて、前記真空予備室の圧力P1が前記成膜室の圧力P2よりも大きくなるように、前記不活性ガスを前記真空予備室へ供給する。
表面処理方法。
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JP2016162853A JP2018031044A (ja) | 2016-08-23 | 2016-08-23 | 表面処理方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022030189A1 (ja) * | 2020-08-05 | 2022-02-10 | 芝浦機械株式会社 | 表面処理装置および表面処理方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61227174A (ja) * | 1985-03-31 | 1986-10-09 | Shimadzu Corp | プラズマリアクシヨン装置 |
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-
2016
- 2016-08-23 JP JP2016162853A patent/JP2018031044A/ja active Pending
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