JP2018028106A - ハイパーブランチポリマー - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の他の目的は、フェノール誘導体と多官能ビニルエーテル化合物を反応させて得られる新規なハイパーブランチポリマー及びその製造方法を提供することである。
また、本発明のさらに他の目的は、前記のハイパーブランチポリマー、光酸発生剤及び有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物を提供することにある。
(式中、R11は水素原子又は1価の炭素数1〜3のアルキル基を示し、R12は同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシル基の脱離性の保護基を示す。3個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表されるフェノール誘導体と、下記一般式(II)
(式中、R21は水素原子又は炭素数1〜16のアルキル基を示し、R22及びR23は同一又は異なって、水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を示す。R21、R22、R23は、その少なくとも2つが互いに結合して、隣接する1又は2個の炭素原子とともに環を形成していてもよい。X1はk価の有機基を表す。kは2以上の整数である。k個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表される多官能ビニルエーテル化合物を反応させて得られるハイパーブランチポリマーを提供する。
(式中、X2は2価の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式基又はこれらが2以上結合した基であって炭素数が1〜30の基を示す。前記の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式基及びこれらが2以上結合した基は、置換基としてヒドロキシル基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アミノ基、スルホ基、ハロゲン原子、シアノ基又はニトロ基を有していてもよい。)
であることが好ましい。
(式中、R11は水素原子又は1価の炭素数1〜3のアルキル基を示し、R12は同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシル基の脱離性の保護基を示す。3個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表されるフェノール誘導体と、下記一般式(II)
(式中、R21は水素原子又は炭素数1〜16のアルキル基を示し、R22及びR23は同一又は異なって、水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を示す。R21、R22、R23は、その少なくとも2つが互いに結合して、隣接する1又は2個の炭素原子とともに環を形成していてもよい。X1はk価の有機基を表す。kは2以上の整数である。k個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表される多官能ビニルエーテル化合物とを反応させて、ハイパーブランチポリマーを得ることを特徴とするハイパーブランチポリマーの製造方法を提供する。
本発明のフェノール誘導体としては、下記一般式(I)で表される。
(式中、R11は水素原子又は1価の炭素数1〜3のアルキル基を示し、R12は同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシル基の脱離性の保護基を示す。3個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
前記の多官能ビニルエーテル化合物は下記の一般式(II)で表され、従来公知の方法で合成できる。特に遷移金属化合物を触媒として用いることにより効率的に合成することができる。なお、遷移金属化合物を触媒として用いる合成方法は特開2004−161742号公報に詳細に記載されている。
(式中、R21は水素原子又は炭素数1〜16のアルキル基を示し、R22及びR23は同一又は異なって、水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を示す。R21、R22、R23は、その少なくとも2つが互いに結合して、隣接する1又は2個の炭素原子とともに環を形成していてもよい。X1はk価の有機基を表す。kは2以上の整数である。k個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
(式中、X2は2価の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式基又はこれらが2以上結合した基であって炭素数が1〜30である基を示す。前記の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式基及びこれらが2以上結合した基は、置換基としてヒドロキシル基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アミノ基、スルホ基、ハロゲン原子、シアノ基又はニトロ基を有していてもよい。)
であることが好ましい。
光酸発生剤としては、露光により効率よく酸を生成する慣用乃至公知の化合物、例えば、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩(例えば、ジフェニルヨードヘキサフルオロホスフェートなど)、スルホニウム塩(例えば、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムメタンスルホネートなど)、スルホン酸エステル[例えば、1−フェニル−1−(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ−1−ベンゾイルメタン、1,2,3−トリスルホニルオキシメチルベンゼン、1,3−ジニトロ−2−(4−フェニルスルホニルオキシメチル)ベンゼン、1−フェニル−1−(4−メチルフェニルスルホニルオキシメチル)−1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルメタンなど]、オキサチアゾール誘導体、s−トリアジン誘導体、ジスルホン誘導体(ジフェニルジスルホンなど)、イミド化合物、オキシムスルホネート、ジアゾナフトキノン、ベンゾイントシレートなどを使用できる。これらの光酸発生剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用できる。
有機溶剤(レジスト用溶剤)としては、前記重合溶媒として例示したグリコール系溶媒、エステル系溶媒、ケトン系溶媒、これらの混合溶媒などが挙げられる。これらのなかでも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、これらの混合液が好適に用いられる。
感光性樹脂組成物中のハイパーブランチポリマーの濃度は、例えば、0.1〜70重量%程度、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜30重量%である。
露光には、種々の波長の光線、例えば、紫外線、X線などが利用でき、半導体レジスト用では、通常、g線、i線、エキシマレーザー(例えば、XeCl、KrF、KrCl、ArF、ArClなど)、極端紫外光(EUV)などを使用することができる。本発明のレジスト組成物(リソグラフィー用組成物)は、特に、波長220nm以下の遠紫光での露光に適している。露光エネルギーは、例えば1〜1000mJ/cm2、好ましくは2〜100mJ/cm2程度である。
本発明のハイパーブランチポリマーは、前記のフェノール誘導体と前記の多官能ビニルエーテル化合物を重合反応に付すことによって製造することができる。
3mlのクロロホルム、2mmol(0.615g)の1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタ(官能基等量6mmol)、0.5mmol(0.126g)のp−トルエンスルホン酸ピリジニウムを50mLナス型フラスコに張り込み、攪拌、溶解させた。このナス型フラスコに、2mlのクロロホルムに溶解させた2mmol(0.325g)の1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンを、シリンジを用いて滴下した。室温で24時間反応を行った後、0.75mmol(0.076g)トリエチルアミンを用いてクエンチし、飽和炭酸水素ナトリウム飽和水溶液で有機層を数回洗浄した。次に、硫酸マグネシウムを用いて上記の有機層を脱水し、エバポレーターにて濃縮した。さらに、ヘキサンを用いた再沈殿法により固体を析出させ、メンブレンフィルターを用いて濾過、回収し、乾燥させたところ、得られた反応生成物(重合体)の収量は0.219gであり、Mnは1200、Mw/Mnは1.75であった。なお、反応生成物(重合体)の分子量は、サイズ排除クロマトグラフ法(SEC法)により求めた。
1H−NMR:δ[ppm]0.60〜2.18(m,36H)、3.16〜3.83(m,11H)、4.52〜4.89(m,1H)、5.19〜5.62(m,2H)、6.43〜7.02(m,13H)、9.05〜9.38(m,1H)
なお、前記構造単位の単位比はベンゼン環に由来するピーク(図中のHb及びHc)とメチンに由来するピーク(図中のHf)のピーク強度によって算出した。
また、IRスペクトル測定を行った所、1043、1055、1125cm-1にC−O−Cの伸縮振動に起因するピークが確認されることから、主鎖にアセタール構造を有する重合体が生成していることが確認された。なお、IRスペクトルのチャートを図4に示した。
1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンを3mmol(0.503g)用いたこと以外は実施例1と同様の操作を行った。得られた固体の収量は0.47gであり、Mnは1600、Mw/Mnは2.19であった。なお、反応生成物(重合体)の分子量は、サイズ排除クロマトグラフ法(SEC法)により求めた。
1H−NMR:δ[ppm]0.75〜2.05(m,48H)、3.42〜3.74(m,6H)、4.48〜4.87(m,2H)、5.27〜5.58(m,3H)、6.52〜7.00(m,15H)、9.11〜9.34(m,1H)
なお、前記構造単位の単位比はベンゼン環に由来するピーク(図中のHb及びHc)とメチンに由来するピーク(図中のHf)のピーク強度によって算出した。
また、IRスペクトル測定を行った所、1044、1055,1127cm-1にC−O−Cの伸縮振動に起因するピークが確認されることから、主鎖にアセタール構造を有する重合体が生成していることが確認された。なお、IRスペクトルのチャートを図5に示した。
3mlのクロロホルム、2mmol(0.615g)の1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン(官能基等量6mmol)、0.5mmol(0.126g)のp−トルエンスルホン酸ピリジニウムを50mLナス型フラスコに張り込み、攪拌、溶解させた。このナス型フラスコに、2mlのクロロホルムに溶解させた4mmol(0.673g)の1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンを、シリンジを用いて滴下した。室温で24h反応を行った後、0.75mmol(0.076g)トリエチルアミンを用いてクエンチし、炭酸水素ナトリウム飽和水溶液で有機層を数回洗浄した。次に、硫酸マグネシウムを用いて前記の有機層を脱水し、エバポレーターにて濃縮したところ、ゲル状の反応生成物(重合体)を得た。ゲル状の反応生成物(重合体)の収量は0.796gであった。なお、該ゲル状の反応生成物(重合体)は有機溶媒には不溶であった。
前記ゲル状の反応生成物(重合体)のIRスペクトル測定を行った所、1043,1049、1120cm-1にC−O−Cの伸縮振動に起因するピークが確認されることから、主鎖にアセタール構造を有する重合体が生成していることが確認された。なお、IRスペクトルのチャートを図6に示した。
1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンを6mmol(0.995g)用いたこと以外は実施例4と同様の操作を行ったところ、ゲル状の反応生成物(重合体)を得た。ゲル状の反応生成物(重合体)の収量は1.145gであった。なお、ゲル状の反応生成物(重合体)は有機溶媒には不溶であった。
前記ゲル状の反応生成物(重合体)のIRスペクトル測定を行った所、1042、1092cm-1にC−O−Cの伸縮振動に起因するピークが確認されることから、主鎖にアセタール構造を有する重合体が生成していることが確認された。なお、IRスペクトルのチャートを図7に示した。
ニトロベンゼンとクロロベンゼンを質量比でニトロベンゼン:クロロベンゼン=5:15となるように混合し、混合溶媒を作成した。3mlの前記混合溶媒、2mmol(0.615g)の1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン(官能基等量6mmol)、0.5mmol(0.126g)のp−トルエンスルホン酸ピリジニウムを50mLナス型フラスコに張り込み、攪拌、溶解させた。このナス型フラスコに、2mlの前記混合溶媒に溶解させた3mmol(0.503g)の1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンを、シリンジを用いて滴下した。室温で24時間反応を行った後、0.75mmol(0.076g)トリエチルアミンを用いてクエンチし、飽和炭酸水素ナトリウム飽和水溶液で有機層を数回洗浄した。次に、硫酸マグネシウムを用いて上記の有機層を脱水し、エバポレーターにて濃縮した。さらに、ヘキサンを用いた再沈殿法により固体を析出させ、メンブレンフィルターを用いて濾過、回収し、乾燥させたところ、得られた反応生成物(重合体)の収量は0.460gであり、Mnは5300、Mw/Mnは26.90であった。なお、反応生成物(重合体)の分子量は、サイズ排除クロマトグラフ法(SEC法)により求めた。
また、該重合体の1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタンに由来する構造単位と1,4−ジビニルオキシシクロヘキサンに由来する構造単位の単位比は、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン:1,4−ジビニルオキシシクロヘキサン=40:60であった。図3に、前記重合体の1H−NMRスペクトルのチャートを示す。また、1H−NMRスペクトルのピークが重合体のどのプロトンに帰属されるかについても図3に示した。
1H−NMR:δ[ppm]0.69〜2.08(m,70H)、2.92〜3.25(m,6H)、5.35〜5.61(m,4H)、6.69〜7.07(m,15H)、9.45〜9.74(m,1H)
なお、前記構造単位の単位比はベンゼン環に由来するピーク(図中のHb及びHc)とメチンに由来するピーク(図中のHf)のピーク強度によって算出した。
また、IRスペクトル測定を行った所、1045、1077、1122cm-1にC−O−Cの伸縮振動に起因するピークが確認されることから、主鎖にアセタール構造を有する重合体が生成していることが確認された。なお、IRスペクトルのチャートを図8に示した。
実施例2で得られた重合体0.0884g及びトリフェニルスルホニウムノナフレート(TPS−Nf)0.00884gを1mlのテトラヒドロフラン(THF)に溶解し、感光性樹脂組成物を作成した。前記の感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いてアルミ箔上に塗布した後、紫外線を照射してIRスペクトルの変化を観察した。なお、図9は紫外線照射前のIRスペクトル、図10は紫外線照射後のIRスペクトルを示している。紫外線照射前後のIRスペクトル(図9と図10)を比較すると、1122、1060、1049cm-1のピーク(C−O−Cの伸縮振動に由来するピーク)が大幅に減少していること、3300cm-1付近のピーク(O−Hの伸縮振動に由来するピーク)が大幅に増加していた。ここから、紫外線照射によって発生した光酸発生剤由来の酸によって、重合体(ハイパーブランチポリマー)のアセタール構造が分解(解離)したことがわかった。
Claims (12)
- 下記一般式(I)
(式中、R11は水素原子又は1価の炭素数1〜3のアルキル基を示し、R12は同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシル基の脱離性の保護基を示す。3個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表されるフェノール誘導体と、下記一般式(II)
(式中、R21は水素原子又は炭素数1〜16のアルキル基を示し、R22及びR23は同一又は異なって、水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を示す。R21、R22、R23は、その少なくとも2つが互いに結合して、隣接する1又は2個の炭素原子とともに環を形成していてもよい。X1はk価の有機基であって、脂環式炭化水素基又は複素環式基を少なくとも含む基を表す。kは2以上の整数である。k個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表される多官能ビニルエーテル化合物に由来する構造を含むハイパーブランチポリマー。 - 前記一般式(I)で表されるフェノール誘導体と、前記一般式(II)で表される多官能ビニルエーテル化合物に由来する構造を含み、ビニルエーテル基を1個有する1価ビニルエーテル化合物に由来する構造を含まない請求項1に記載のハイパーブランチポリマー。
- 前記式(III)のX2が2価の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、複素環式基又はこれらが2以上結合した基であって、脂環式炭化水素基又は複素環式基を少なくとも含む基であり、炭素数が4〜10の基である請求項3に記載のハイパーブランチポリマー。
- 前記のフェノール誘導体が1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタンであり、さらに前記の多官能ビニルエーテル化合物がシクロヘキサン1,4−ジビニルエーテルである請求項1〜4のいずれかの項に記載のハイパーブランチポリマー。
- 数平均分子量が1000〜10000である請求項1〜5のいずれかの項に記載のハイパーブランチポリマー。
- 請求項1〜6のいずれかの項に記載のハイパーブランチポリマー、光酸発生剤及び有機溶剤を含む感光性樹脂組成物。
- レジスト材料である請求項7に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物の硬化物であるパターン。
- 請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物を基材又は基板上に塗布し、乾燥した後、所定のマスクを介して、塗膜(レジスト膜)に光線を露光して潜像パターンを形成し、次いで現像することを特徴とするパターン形成方法。
- 下記一般式(I)
(式中、R11は水素原子又は1価の炭素数1〜3のアルキル基を示し、R12は同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシル基の脱離性の保護基を示す。3個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表されるフェノール誘導体と、下記一般式(II)
(式中、R21は水素原子又は炭素数1〜16のアルキル基を示し、R22及びR23は同一又は異なって、水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を示す。R21、R22、R23は、その少なくとも2つが互いに結合して、隣接する1又は2個の炭素原子とともに環を形成していてもよい。X1はk価の有機基であって、脂環式炭化水素基又は複素環式基を少なくとも含む基を表す。kは2以上の整数である。k個のかっこ内の基は、それぞれ、同一であっても異なっていてもよい。)
で表される多官能ビニルエーテル化合物とを反応させて、ハイパーブランチポリマーを得ることを特徴とするハイパーブランチポリマーの製造方法。 - 前記一般式(I)で表されるフェノール誘導体と、前記一般式(II)で表される多官能ビニルエーテル化合物とを反応させて、ビニルエーテル基を1個有する1価ビニルエーテル化合物に由来する構造を含まないハイパーブランチポリマーを得る、請求項11に記載のハイパーブランチポリマーの製造方法。
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