JP2018022730A - Lead frame conveying apparatus and method of conveying lead frame - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lead frame conveying apparatus capable of holding and conveying from a supply source of a lead frame to a predetermined position of a molding die or the like as a supply destination even if the lead frame is large-sized, thin, or the like, and bending during transportation is large.SOLUTION: A lead frame conveying apparatus A includes: a positioning pin 35 and a disengagement prevention pin 36 disposed by facing each other with a required spacing for fixing a lead frame 7 by a reaction force of an inward tensile force caused by bending caused by the weight of the lead frame 7 bridged between them; and chuck claws 4, 4a disposed outside the positioning pin 35 and the disengagement prevention pin 36 and capable of holding the lead frame 7 in cooperation therewith.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、リードフレーム搬送装置及びリードフレームの搬送方法に関する。   The present invention relates to a lead frame transport apparatus and a lead frame transport method.

半導体パッケージの製造工程の様々な場面で、半導体チップ等を支持して固定するリードフレームを搬送するリードフレーム搬送装置が用いられている。例えば、テーピング加工や樹脂封止加工、ワイヤーボンディングや検査工程において、各工程での配置位置にリードフレーム搬送装置がリードフレームを搬送する。   2. Description of the Related Art Lead frame transport apparatuses that transport a lead frame that supports and fixes a semiconductor chip or the like are used in various scenes of a semiconductor package manufacturing process. For example, in a taping process, a resin sealing process, a wire bonding process, or an inspection process, the lead frame transport device transports the lead frame to an arrangement position in each process.

半導体チップ等をリードフレーム上に配置して樹脂で封止し、樹脂モールド電子部品パッケージを製造する樹脂封止装置においては、リードフレームの供給元から成形用金型の定位置まで、インローダーによってリードフレームが搬送されるようになっている。リードフレームを搬送する装置としては、例えば、特許文献1に記載のモールドシステムの構成部として開示された移送装置がある。   In a resin sealing device that manufactures a resin mold electronic component package by placing a semiconductor chip or the like on a lead frame and sealing with resin, an inloader is used from the lead frame supplier to a fixed position of the molding die. The lead frame is transported. As an apparatus for conveying a lead frame, for example, there is a transfer apparatus disclosed as a component of a mold system described in Patent Document 1.

特許文献1記載の移送装置は、特許文献1の図2に示されているように、リードフレームをチャッキングして下型上方に供給するか、または樹脂封止後の成形品をチャッキングして下型上方から搬出し、所定の搬出位置に位置決めするチャッキング機構を有する構造である。   As shown in FIG. 2 of Patent Document 1, the transfer device described in Patent Document 1 chucks the lead frame and supplies it to the upper side of the lower mold, or chucks the molded product after resin sealing. This is a structure having a chucking mechanism for unloading from above the lower mold and positioning at a predetermined unloading position.

このチャッキング機構は、リードフレームの搬送時において、シリンダにより駆動されるチャック爪を、リードフレームを両側から挟む方向に揺動させ、更にチャック爪の先端の突出部にリードフレームの両側を載せて保持するようになっている。   This chucking mechanism swings the chuck claw driven by the cylinder in the direction of sandwiching the lead frame from both sides during transport of the lead frame, and further places both sides of the lead frame on the protruding part of the tip of the chuck claw. It comes to hold.

特開平6−830号公報JP-A-6-830

しかしながら、上記従来の移送装置には、次のような課題があった。
すなわち、多種多様な製品に使用される樹脂モールド電子部品パッケージには、多くの種類があり、そのベースとなるリードフレームも、大きさ、形状、材質、あるいは撓み性等の性質は様々である。
However, the conventional transfer device has the following problems.
That is, there are many types of resin-molded electronic component packages used for a wide variety of products, and the lead frames that serve as the bases have various properties such as size, shape, material, and flexibility.

そして、上記のようにチャック爪だけでリードフレームの両側を保持する構造では、リードフレームは、保持された両側の部分より内方側が、自重によって重力方向へ撓んだ状態となる。   In the structure in which both sides of the lead frame are held only by the chuck claws as described above, the inner side of the lead frame is bent in the direction of gravity due to its own weight.

この保持構造では、リードフレームが、保持される部分の間隔が比較的狭く、撓みにくいものであれば、支障なく搬送が可能である。しかし、リードフレームが、例えば、大判である、または、薄型であるなど、搬送時の撓みが大きい場合は、移動開始時、または移動停止時に、リードフレームに振動や慣性力が作用しやすい。これにより、リードフレームの撓み形状、または撓み量に変化が生じると、チャック爪の先端の突出部に載っているリードフレームが内方へずれて外れてしまい、リードフレームが落下して成形用金型の所定の位置に搬送できなくなるおそれがあった。   In this holding structure, if the lead frame has a relatively narrow interval between the held parts and is not easily bent, the lead frame can be transported without any trouble. However, when the lead frame is large or thin, for example, when the lead frame has a large deflection at the time of conveyance, vibration and inertial force are likely to act on the lead frame when the movement starts or stops. As a result, when a change occurs in the bending shape or amount of bending of the lead frame, the lead frame placed on the protruding portion at the tip of the chuck claw is displaced inwardly, and the lead frame falls and forms a molding metal. There is a possibility that the sheet cannot be conveyed to a predetermined position of the mold.

また、他の従来構造として、図11に示す装置も採用されている。この装置は、図11において左側にある位置決めピン101をリードフレーム102の位置決め孔(符号省略)に通してリードフレーム102の位置決めを行い、更にリードフレーム102の右側の縁部をチャック爪103に載せて保持する構造である。   As another conventional structure, an apparatus shown in FIG. 11 is also employed. This device positions the lead frame 102 by passing the positioning pin 101 on the left side in FIG. 11 through the positioning hole (reference number omitted) of the lead frame 102, and further places the right edge of the lead frame 102 on the chuck claw 103. It is a structure to hold.

この構造によれば、リードフレーム102が撓んで右側の縁部がチャック爪103から外れても、位置決めピン101で吊り支えることができ、落下することはない。しかし、何れにしても、リードフレーム102が搬送時の正規の位置から外れてしまうと、リードフレーム102を成形用金型の所定の位置に搬送することはできなかった。   According to this structure, even if the lead frame 102 is bent and the right edge is detached from the chuck claw 103, it can be suspended and supported by the positioning pin 101, and does not fall. However, in any case, if the lead frame 102 is out of the normal position during conveyance, the lead frame 102 cannot be conveyed to a predetermined position of the molding die.

本発明は、以上の点を鑑みて創案されたものであり、リードフレームが、例えば、大判である、または、薄型であるなどして、搬送時の撓みが大きいものでも、リードフレームの供給元から供給先である成形用金型等の所定の位置まで、保持して搬送することができる、リードフレーム搬送装置及びリードフレームの搬送方法を提供することを目的とするものである。   The present invention has been devised in view of the above points, and even if the lead frame is large or thin, for example, even if the lead frame has a large amount of bending during transportation, the lead frame supplier It is an object of the present invention to provide a lead frame transport device and a lead frame transport method that can hold and transport from a predetermined position such as a molding die as a supply destination.

(1)上記の目的を達成するために本発明のリードフレーム搬送装置は、所要間隔をおいて相対向して配された一対の部材を有し、その一対の部材間に架け渡されたリードフレームの自重で生じる撓みによる内方向の引っ張り力が掛かることにより、その反力でリードフレームを止める止め部と、該止め部の各部材の外側に配され、前記止め部と協働してリードフレームを保持可能な保持部と、を備えている。 (1) In order to achieve the above object, the lead frame transport device of the present invention has a pair of members arranged opposite to each other at a required interval, and the leads spanned between the pair of members. By applying an inward pulling force due to the bending caused by the weight of the frame, the lead frame is arranged on the outside of each member of the stopper by stopping the lead frame by the reaction force, and the lead cooperates with the stopper. A holding portion capable of holding the frame.

リードフレーム搬送装置は、止め部が有する一対の部材間にリードフレームを架け渡すことにより、リードフレームは自重により重力方向に撓んでほぼ円弧状に変形する。この際、リードフレームの、各部材に掛かっている部分は、内方向、かつやや斜め下方向へ各部材を引っ張る。各部材に引っ張り力が生じると、各部材には引っ張り力と反対方向の抗力、すなわち反力が生じる。これにより、リードフレームは、重力方向に撓んだ状態で、かつ各部材により両側からその反力を以て支持された状態で止められる。   In the lead frame transport device, the lead frame is bent in the direction of gravity by its own weight and deformed into a substantially arc shape by bridging the lead frame between a pair of members of the stopper. At this time, the portion of the lead frame that is hung on each member pulls each member inward and slightly downward. When a tensile force is generated in each member, a drag force in a direction opposite to the tensile force, that is, a reaction force is generated in each member. As a result, the lead frame is stopped in a state of being bent in the direction of gravity and supported by the respective members from both sides with its reaction force.

リードフレームが、各部材により充分な反力を以て支持されている場合は、リードフレームと各部材の間の摩擦力等で、リードフレームを止めて、各部材から脱落しない状態を維持することができる。しかしながら、リードフレームが多様であることもあり、必ずしもそのように止めて支持できるとは限らない。本発明によれば、リードフレームを止めている反力が充分でなくても、止め部の各部材と協働する保持部によって保持されるので、リードフレームが脱落したり、一部が外れたりすることを防止できる。   When the lead frame is supported by each member with a sufficient reaction force, the lead frame can be stopped by the frictional force between the lead frame and each member and the state in which the lead frame does not fall off from each member can be maintained. . However, there are various lead frames, and it is not always possible to stop and support them. According to the present invention, even if the reaction force for stopping the lead frame is not sufficient, it is held by the holding portion that cooperates with each member of the stopping portion, so that the lead frame may fall off or partly come off. Can be prevented.

このように、リードフレームが、例えば、大判である、または、薄型であるなどして、搬送時の撓みが大きいものでも、協働する止め部と保持部により保持することができるので、リードフレームの供給元から供給先である成形用金型等の所定の位置まで、脱落することなく確実に搬送することができる。   Thus, even if the lead frame is large or thin, for example, and has a large amount of bending during transportation, the lead frame can be held by the cooperating stopper and holding portion. Can be reliably transported from a supply source to a predetermined position such as a molding die as a supply destination without dropping off.

(2)本発明のリードフレーム搬送装置は、止め部が、リードフレームの一方側の係合孔と協働してリードフレームの位置を所要位置に決める位置決めピンと、リードフレームの他方側の係合孔に通される抜け防止ピンとを有する構成とすることもできる。 (2) In the lead frame transport device of the present invention, the stop portion cooperates with the engagement hole on one side of the lead frame, and the positioning pin that determines the position of the lead frame to the required position, and the engagement on the other side of the lead frame It can also be set as the structure which has the fall prevention pin penetrated by a hole.

この場合は、上記(1)の作用に加えて、リードフレームを止め部である位置決めピンと抜け防止ピンとで止めることにより、リードフレームの止め部に対する位置を設計上の正規の位置に設定することができる。これにより、止め部と保持部により保持されたリードフレームを、バランスよく安定した状態で保持して搬送することができる。   In this case, in addition to the action of (1), the lead frame can be set to a normal design position by stopping the lead frame with the positioning pin and the prevention pin that are the stoppers. it can. Thereby, the lead frame held by the stopper and the holding part can be held and transported in a balanced and stable state.

(3)本発明のリードフレーム搬送装置は、抜け防止ピンが、リードフレームの一方側の係合孔と位置決めピンとが係合されて位置決めされたリードフレームの他方側の係合孔に、その孔縁に非接触で挿通可能に形成された構成とすることもできる。 (3) In the lead frame transport device of the present invention, the prevention pin is inserted into the engagement hole on the other side of the lead frame positioned by engaging the engagement hole on one side of the lead frame with the positioning pin. It can also be set as the structure formed so that the edge could be inserted without contact.

この場合は、上記(2)の作用に加えて、位置決めピンをリードフレームの一方側の係合孔に係合させることによって、リードフレームを所要位置に設定することができる。また、それと共に、抜け防止ピンがリードフレームの他方側の係合孔に挿通されるときに、係合孔の孔縁に接触しないようにしているので、引っ掛かりなどもなく、抜け防止ピンを係合孔に対し確実に挿通することができる。これにより、延いては、止め部と保持部によるリードフレームの保持をスムーズに行うことができる。   In this case, in addition to the operation (2), the lead frame can be set at a required position by engaging the positioning pin with the engagement hole on one side of the lead frame. At the same time, when the slip-off prevention pin is inserted into the engagement hole on the other side of the lead frame, it is prevented from coming into contact with the hole edge of the engagement hole. It can be reliably inserted into the hole. As a result, the lead frame can be smoothly held by the stop portion and the holding portion.

(4)本発明のリードフレーム搬送装置は、位置決めピンの先端が、リードフレームの搬送受部となる、樹脂封止装置の金型に設けられた案内部材の先端に対して当接可能である構成とすることもできる。 (4) In the lead frame transport device of the present invention, the leading end of the positioning pin can be brought into contact with the leading end of a guide member provided in the mold of the resin sealing device, which serves as a transport receiving portion of the lead frame. It can also be configured.

この場合は、上記(2)及び(3)の作用に加えて、金型に設けられた案内部材に、係合孔と係合してリードフレームを止めている位置決めピンの先端が当接することにより、位置決めピンと案内部材とはつながる。そして、リードフレームが金型に触れて、リードフレームの撓みが解消されると、リードフレームは下降して、位置決めピンから案内部材へ移ることができる。案内部材は、移ってきたリードフレームを案内して、金型の所定の位置、すなわち樹脂成形を行うための位置に設定することができる。   In this case, in addition to the operations (2) and (3), the tip of the positioning pin that engages with the engagement hole and stops the lead frame contacts the guide member provided on the mold. Thus, the positioning pin and the guide member are connected. When the lead frame touches the mold and the bending of the lead frame is eliminated, the lead frame can be lowered and moved from the positioning pin to the guide member. The guide member guides the transferred lead frame and can be set at a predetermined position of the mold, that is, a position for performing resin molding.

(5)本発明のリードフレーム搬送装置は、リードフレームの金型への受け渡しにおいて、リードフレームの主面に当接するクランパーを有する構成とすることもできる。 (5) The lead frame conveying device of the present invention may be configured to have a clamper that contacts the main surface of the lead frame when the lead frame is transferred to the mold.

この場合は、上記(4)の作用に加えて、リードフレームを金型の所定の位置に配置するときに、クランパーをリードフレームの主面に当接させて、主面を押さえることができる。すなわち、樹脂成形作業を繰り返し行う金型は、リードフレームを配置するときには、通常、高温に保持されているため、金型上に配置されたリードフレームが熱により変形する場合がある。クランパーによってリードフレームの主面を押さえることで、この熱による変形を抑制または防止することができ、樹脂成形作業に支障が出ないようにすることができる。   In this case, in addition to the function (4), when the lead frame is disposed at a predetermined position of the mold, the clamper can be brought into contact with the main surface of the lead frame to hold the main surface. In other words, a mold that repeatedly performs a resin molding operation is usually kept at a high temperature when the lead frame is disposed, and thus the lead frame disposed on the mold may be deformed by heat. By pressing the main surface of the lead frame with the clamper, deformation due to heat can be suppressed or prevented, and the resin molding operation can be prevented from being hindered.

(6)上記の目的を達成するために本発明のリードフレームの搬送方法は、所要間隔をおいて相対向して配された一対の部材に、各部材間に架け渡されたリードフレームの自重による撓みで引っ張り力が作用することで、その反力で前記一対の部材がリードフレームを止めて搬送する工程を備えている。 (6) In order to achieve the above object, the lead frame transport method according to the present invention provides a self-weight of the lead frame spanned between each member on a pair of members arranged facing each other at a required interval. When the pulling force acts by the bending due to the above, the pair of members stops the lead frame by the reaction force and transports the lead frame.

本発明のリードフレームの搬送方法によれば、止め部が有する一対の部材間にリードフレームを架け渡すことにより、リードフレームは自重により重力方向に撓んでほぼ円弧状に変形する。この際、リードフレームの、各部材に掛かっている部分は、内方向かつやや斜め下方向へ各部材を引っ張る。各部材に引っ張り力が生じると、各部材には引っ張り力と反対方向の抗力、すなわち反力が生じる。これにより、リードフレームは、重力方向に撓んだ状態で、かつ各部材により両側からその反力を以て支持された状態で止められる。   According to the lead frame transport method of the present invention, the lead frame is bent in the direction of gravity by its own weight and deformed into a substantially arc shape by bridging the lead frame between the pair of members of the stopper. At this time, the portion of the lead frame that is hung on each member pulls each member inward and slightly obliquely downward. When a tensile force is generated in each member, a drag force in a direction opposite to the tensile force, that is, a reaction force is generated in each member. As a result, the lead frame is stopped in a state of being bent in the direction of gravity and supported by the respective members from both sides with its reaction force.

リードフレームが、各部材により充分な反力を以て支持されている場合は、リードフレームと各部材の間の摩擦力等で、リードフレームが各部材から脱落しない状態を維持することができる。しかしながら、リードフレームが多様であることもあり、必ずしもそのように支持できるとは限らない。リードフレームを支持している反力が充分でなくても、止め部の各部材と協働する保持部によって保持されるので、リードフレームが脱落したり、一部が外れたりすることを防止できる。   When the lead frame is supported by each member with a sufficient reaction force, it is possible to maintain a state in which the lead frame does not drop off from each member due to a frictional force between the lead frame and each member. However, there are various lead frames, and such a support is not always possible. Even if the reaction force supporting the lead frame is not sufficient, the lead frame is held by the holding portion that cooperates with each member of the stop portion, so that the lead frame can be prevented from falling off or partly coming off. .

このように、リードフレームが、例えば、大判である、または、薄型であるなどして、搬送時の撓みが大きいものでも、協働する止め部と保持部により保持することができるので、リードフレームの供給元から供給先である成形用金型等の所定の位置まで、脱落することなく確実に搬送することができる。   Thus, even if the lead frame is large or thin, for example, and has a large amount of bending during transportation, the lead frame can be held by the cooperating stopper and holding portion. Can be reliably transported from a supply source to a predetermined position such as a molding die as a supply destination without dropping off.

(7)上記の目的を達成するために本発明のリードフレームの搬送方法は、一対の部材間でリードフレームを止める止め部に対するリードフレームの位置を所定の位置に設定する工程と、前記止め部と、該止め部の前記各部材の外側に配され、同止め部と協働してリードフレームを保持する保持部により、リードフレームを保持可能とする工程と、前記止め部及び前記保持部を上昇させ、同止め部に、保持されたリードフレームの自重による撓みで引っ張り力が掛かることにより、その反力でリードフレームを止める工程と、リードフレームを樹脂封止装置の金型へ搬送し、金型の所定の位置に配置する工程と、を備えている。 (7) In order to achieve the above object, the lead frame transport method of the present invention includes a step of setting a position of the lead frame with respect to a stop portion for stopping the lead frame between a pair of members to a predetermined position, and the stop portion. And a step of holding the lead frame by a holding portion that is arranged outside the respective members of the stopper and holds the lead frame in cooperation with the stopper, and the stopper and the holder When the pulling force is applied by bending due to the weight of the held lead frame, the lead frame is stopped by the reaction force, and the lead frame is conveyed to the mold of the resin sealing device. And a step of arranging at a predetermined position of the mold.

このリードフレームの搬送方法によれば、上記(6)と同様の作用を有すると共に、止め部と、止め部の各部材の外側に配され、止め部と協働してリードフレームを保持する保持部により、各部材の内側に保持されるリードフレームの邪魔にならない外側からリードフレームを保持することができる。これにより、保持部は、リードフレームを、リードフレームに干渉しにくい状態で保持することができるので、上記各作用を無理なく自然に作用させることが可能になる。   According to this lead frame transport method, it has the same action as the above (6), and is provided on the outside of each of the stopper and each member of the stopper, and holds the lead frame in cooperation with the stopper. By the portion, the lead frame can be held from the outside without interfering with the lead frame held inside each member. As a result, the holding unit can hold the lead frame in a state in which it does not easily interfere with the lead frame, so that it is possible to cause each of the above actions to work naturally.

(8)本発明のリードフレームの搬送方法は、リードフレームを、止め部を構成する、リードフレームの一方側の係合孔と係合してリードフレームの位置を所要位置に決める位置決めピンと、リードフレームの他方側の係合孔に通される抜け防止ピンとで止めるようにしてもよい。 (8) The lead frame transport method of the present invention includes a positioning pin for engaging the lead frame with an engagement hole on one side of the lead frame, which constitutes a stopper, and determining the position of the lead frame to a required position; You may make it stop with the fall prevention pin passed through the engagement hole of the other side of a flame | frame.

この場合は、上記(7)の作用に加えて、リードフレームを止め部である位置決めピンと抜け防止ピンとで止めることにより、リードフレームの止め部に対する位置を、設計上の正規の位置に自動的に設定することができる。これにより、止め部と保持部とにより保持されたリードフレームを、バランスよく安定した状態で搬送することができる。   In this case, in addition to the action of (7) above, the lead frame is stopped by the positioning pin and the stopper pin which are the stoppers, so that the position of the lead frame with respect to the stopper is automatically set to the normal design position. Can be set. Thereby, the lead frame held by the stopper and the holding part can be conveyed in a balanced and stable state.

(9)本発明のリードフレームの搬送方法は、金型にリードフレームを配置する際、リードフレームを止めている位置決めピンの先端を、金型に設けた案内部材の先端に当接させ、リードフレームを同位置決めピンから案内部材に配置せしめるようにしてもよい。 (9) In the lead frame transport method according to the present invention, when the lead frame is arranged in the mold, the tip of the positioning pin holding the lead frame is brought into contact with the tip of the guide member provided in the mold, The frame may be arranged on the guide member from the positioning pin.

この場合は、上記(8)の作用に加えて、金型に設けられた案内部材に、例えば係合孔と係合するなどしてリードフレームを止めている位置決めピンの先端が当接することにより、位置決めピンと案内部材とはつながる。そして、リードフレームが金型に触れて、リードフレームの撓みが解消されると、リードフレームは下降して、位置決めピンから案内部材へ移る。案内部材は、移ってきたリードフレームを案内して、金型の所定の位置、すなわち樹脂成形を行うための位置に配置することができる。   In this case, in addition to the action of (8) above, the tip of the positioning pin that stops the lead frame, for example, by engaging with the engaging hole, is brought into contact with the guide member provided in the mold. The positioning pin and the guide member are connected. When the lead frame touches the mold and the bending of the lead frame is eliminated, the lead frame descends and moves from the positioning pin to the guide member. The guide member can be disposed at a predetermined position of the mold, that is, a position for performing resin molding, by guiding the lead frame that has moved.

(10)本発明のリードフレームの搬送方法は、金型へのリードフレームの受け渡しにおいて、クランパーをリードフレームの主面に当接させるようにしてもよい。 (10) In the lead frame transport method of the present invention, the clamper may be brought into contact with the main surface of the lead frame when the lead frame is transferred to the mold.

この場合は、上記(7)、(8)及び(9)の作用に加えて、リードフレームを金型の所定の位置に配置するときに、クランパーをリードフレームの主面に当接させて、主面を押さえることができる。すなわち、樹脂成形作業を繰り返し行う金型は、リードフレームを配置するときには、通常、高温に保持されているため、金型上に配置されたリードフレームが熱により変形する場合がある。クランパーによってリードフレームの主面を押さえることで、この熱による変形を抑制または防止することができ、樹脂成形作業に支障が出ないようにすることができる。   In this case, in addition to the actions (7), (8) and (9) above, when the lead frame is disposed at a predetermined position of the mold, the clamper is brought into contact with the main surface of the lead frame, You can hold the main surface. In other words, a mold that repeatedly performs a resin molding operation is usually kept at a high temperature when the lead frame is disposed, and thus the lead frame disposed on the mold may be deformed by heat. By pressing the main surface of the lead frame with the clamper, deformation due to heat can be suppressed or prevented, and the resin molding operation can be prevented from being hindered.

本発明は、リードフレームが、例えば、大判である、または、薄型であるなどして、搬送時の撓みが大きいものでも、リードフレームの供給元から供給先である成形用金型等の所定の位置まで、保持して搬送することができる、リードフレーム搬送装置及びリードフレームの搬送方法を提供することができる。   In the present invention, even if the lead frame is large or thin, for example, and has a large amount of bending at the time of conveyance, a predetermined die such as a molding die that is a supply destination from a supply source of the lead frame is used. A lead frame transport apparatus and a lead frame transport method that can be held and transported to a position can be provided.

本発明に係るリードフレーム搬送装置の一実施の形態を示し、リードフレームを保持している状態の断面説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional explanatory view showing an embodiment of a lead frame transport device according to the present invention and holding a lead frame. 本発明に係るリードフレーム搬送装置の枠体及びその付帯装置の概略を示す平面視説明図である。It is a plane view explanatory drawing which shows the outline of the frame of the lead frame conveying apparatus which concerns on this invention, and its incidental apparatus. リードフレーム搬送装置をリードフレームの供給元である整列テーブルに整列しているリードフレームの上方に位置させた状態を示す断面説明図である。FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view illustrating a state in which the lead frame transport device is positioned above a lead frame aligned with an alignment table that is a lead frame supply source. リードフレーム搬送装置を下降させて整列テーブルと噛み合わせている状態を示す断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view showing a state in which the lead frame transport device is lowered and meshed with the alignment table. リードフレーム搬送装置と整列テーブルが噛み合っている状態で、チャック爪を閉じた状態を示す断面説明図である。FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view showing a state in which the chuck claws are closed in a state where the lead frame conveying device and the alignment table are engaged with each other. リードフレームを保持したリードフレーム搬送装置を整列テーブルから上昇させた状態を示す断面説明図である。It is a cross-sectional explanatory view showing a state in which the lead frame transport device holding the lead frame is raised from the alignment table. リードフレームを保持したリードフレーム搬送装置を供給先である下金型の上方へ移動させた状態を示す断面説明図である。FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a lead frame carrying device holding a lead frame is moved upward of a lower mold as a supply destination. リードフレーム搬送装置を下降させて下金型と噛み合わせ、下金型の案内ピンがリードフレーム搬送装置の位置決めピンを押し上げている状態を示す断面説明図である。FIG. 6 is a cross-sectional explanatory view showing a state in which the lead frame transport device is lowered and meshed with the lower mold, and the guide pins of the lower mold push up the positioning pins of the lead frame transport device. リードフレーム搬送装置と下金型が噛み合っている状態で、チャック爪を開いた後、クランパーが下降してリードフレームが下金型の所定の位置にセットされた状態を示す断面説明図である。FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view showing a state where the clamper is lowered and the lead frame is set at a predetermined position of the lower mold after the chuck claw is opened in a state where the lead frame transport device and the lower mold are engaged with each other. リードフレームを下金型にセットした後、リードフレーム搬送装置が下金型から上昇している状態を示す断面説明図である。FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which the lead frame transport device is lifted from the lower mold after the lead frame is set in the lower mold. 従来のリードフレーム保持装置の構造を示す断面説明図である。It is sectional explanatory drawing which shows the structure of the conventional lead frame holding | maintenance apparatus.

図1ないし図10を参照して、本発明の実施の形態を更に詳細に説明する。
図1、図3ないし図10は、リードフレーム搬送装置Aを示しているが、図示の便宜上、中央部にある樹脂収容部14と、各図においてその右側にある保持部を表しており、左側の保持部は省略している。また、図1、図3ないし図10では、後で説明するガイドシャフト15a、16aについても図示を省略している。
The embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS.
1 and 3 to 10 show the lead frame transport device A, but for the sake of convenience of illustration, the resin accommodating portion 14 in the center and the holding portion on the right side in each figure are shown. The holding part is omitted. Further, in FIGS. 1, 3 to 10, illustration of guide shafts 15 a and 16 a described later is also omitted.

リードフレーム搬送装置Aは、例えば、樹脂モールド電子部品パッケージを製造する樹脂封止装置(図示省略)を構成し、インローダーとも称される。リードフレーム搬送装置Aは、樹脂封止装置の材料供給部に置かれたマガジンから一枚ずつ切り出して整列テーブル5に置かれた成形前のリードフレームを保持し、次工程の樹脂封止を行う下金型6へ搬送するものである。   The lead frame transport device A constitutes, for example, a resin sealing device (not shown) for manufacturing a resin mold electronic component package, and is also referred to as an inloader. The lead frame transport device A holds the lead frame before molding cut out one by one from the magazine placed in the material supply unit of the resin sealing device and placed on the alignment table 5, and performs resin sealing in the next process. It is conveyed to the lower mold 6.

リードフレーム搬送装置Aは、図示していない移行駆動部を有しており、上記したように材料供給部と金型6の間で移行可能である。リードフレーム搬送装置Aは、平面視で、図2において上下方向にやや長い長方形状の枠体1を有している。枠体1は、短手側の枠部材10、11と長手側の枠部材12、13により枠組みされて形成されている。   The lead frame transport device A has a transition drive unit (not shown), and can shift between the material supply unit and the mold 6 as described above. The lead frame conveying device A has a rectangular frame 1 that is slightly long in the vertical direction in FIG. The frame 1 is formed by being framed by frame members 10 and 11 on the short side and frame members 12 and 13 on the long side.

枠体1は、短手方向(図2において左右方向)の中間に、枠部材10、11に架け渡すように長手方向と平行に、樹脂タブレット(符号省略)を収容する樹脂収容部14が設けられている。これにより、樹脂収容部14の左右側に、リードフレームを保持する装置を収容する空間(符号省略)が形成される。   The frame body 1 is provided in the middle of the short direction (left and right direction in FIG. 2) with a resin housing portion 14 for housing a resin tablet (not shown) in parallel with the longitudinal direction so as to span the frame members 10 and 11. It has been. As a result, spaces (reference numerals omitted) are formed on the left and right sides of the resin accommodating portion 14 for accommodating the device for holding the lead frame.

また、枠体1には、長手方向の枠部材12、13、及び樹脂収容部14の両端寄りの二箇所に、それらの各部材の間に架け渡すように、ガイドシャフト15、16、及びガイドシャフト15a、16aが設けられている。ガイドシャフト15、16、及びガイドシャフト15a、16aは、短手方向の枠部材10、11と平行に設けられている。   In addition, the frame body 1 includes guide shafts 15 and 16, and guides that are bridged between the two members near the both ends of the frame members 12 and 13 and the resin housing portion 14 in the longitudinal direction. Shafts 15a and 16a are provided. The guide shafts 15 and 16 and the guide shafts 15a and 16a are provided in parallel with the frame members 10 and 11 in the short direction.

図2で左側のガイドシャフト15、16の間には、後で説明する駆動アーム49、49aがそれぞれ互いに平行になるように架け渡して嵌装されている。駆動アーム49、49aは、図示していない駆動シリンダーを介し、ガイドシャフト15、16に沿って移動可能である。   In FIG. 2, drive arms 49 and 49a, which will be described later, are fitted between the left guide shafts 15 and 16 so as to be parallel to each other. The drive arms 49 and 49a are movable along the guide shafts 15 and 16 via a drive cylinder (not shown).

また、図2で右側のガイドシャフト15a、16aの間には、駆動アーム49、49aがそれぞれ互いに平行になるように架け渡して嵌装されている。駆動アーム49、49aは、図示していない駆動シリンダーを介し、ガイドシャフト15a、16aに沿って移動可能である。   In addition, drive arms 49 and 49a are bridged and fitted between the right guide shafts 15a and 16a in FIG. 2 so as to be parallel to each other. The drive arms 49 and 49a are movable along the guide shafts 15a and 16a via a drive cylinder (not shown).

上記枠体1の枠部材13の長手方向の中間の外側には、セットブロック130が設けられている。セットブロック130の外端部には、下方へ向けて突出した嵌合部131(図1参照)が設けてある。セットブロック130は、リードフレームを保持する際、材料供給部の整列テーブル5(図3ないし図6参照)の嵌合受部50に嵌合部131を嵌合して、後で説明する止め部の整列テーブル5に対する位置決めを行うものである。 A set block 130 is provided on the outside in the middle of the frame member 13 in the longitudinal direction of the frame 1. A fitting portion 131 (see FIG. 1) protruding downward is provided at the outer end portion of the set block 130. When holding the lead frame, the set block 130 engages the fitting portion 131 with the fitting receiving portion 50 of the alignment table 5 (see FIGS. 3 to 6) of the material supply portion, and a stop portion described later. Positioning with respect to the alignment table 5 is performed.

図1を参照する。図1では、上記したように、枠体の中央部にある樹脂収容部14と、各図においてその右側にある保持部(符号省略)を表しており、左側の保持部は省略している。また、図1の他、図3ないし図10でもガイドシャフト16aについて図示を省略している。なお、左側の保持部は、以下、説明する右側の保持部と同等の構成を有している。   Please refer to FIG. In FIG. 1, as described above, the resin accommodating portion 14 at the center of the frame and the holding portion (reference numeral omitted) on the right side in each drawing are shown, and the left holding portion is omitted. In addition to FIG. 1, the guide shaft 16 a is not shown in FIGS. 3 to 10. The left holding part has the same configuration as the right holding part described below.

枠体1の短手方向の中間にある樹脂収容部14と、枠部材13の相対向する側には、図1で奥行き方向に所要間隔をおいて二組以上のピン保持ブロック3、3aが設けられている(なお、図1には、一組のみ表れている)。ピン保持ブロック3、3aは、左右対称形でほぼ同じ形状を有している。   Two or more pairs of pin holding blocks 3 and 3a are provided on the opposite sides of the resin accommodating portion 14 in the short side direction of the frame body 1 and the frame member 13 at a required interval in the depth direction in FIG. Provided (only one set is shown in FIG. 1). The pin holding blocks 3, 3a are bilaterally symmetric and have substantially the same shape.

ピン保持ブロック3は、樹脂収容部14に固定された角柱形状の下部ブロック30を有し、ピン保持ブロック3aは、枠部材13に固定された角柱形状の下部ブロック30aを有している。下部ブロック30、30aの中心には、ガイド孔31、31aが鉛直方向となるよう設けられている。   The pin holding block 3 has a prismatic lower block 30 fixed to the resin accommodating portion 14, and the pin holding block 3 a has a prismatic lower block 30 a fixed to the frame member 13. In the center of the lower blocks 30 and 30a, guide holes 31 and 31a are provided in the vertical direction.

また、下部ブロック30、30aの上には、上部ブロック32、32aが接続されている。上部ブロック32、32aには、それぞれガイド孔31、31aにつながるやや径大のバネ収容孔33、33aが設けてある。バネ収容孔33、33aには、それぞれ上方へ抜ける抜け孔34、34aが設けられている。   Moreover, the upper blocks 32 and 32a are connected on the lower blocks 30 and 30a. The upper blocks 32 and 32a are provided with spring housing holes 33 and 33a having slightly larger diameters connected to the guide holes 31 and 31a, respectively. The spring accommodating holes 33 and 33a are provided with through holes 34 and 34a, respectively, that allow the springs to pass upward.

ピン保持ブロック3のガイド孔31、バネ収容孔33、抜け孔34には、位置決めピン35が鉛直方向へスライド可能に嵌装されている。なお、位置決めピン35の軸線の位置は、搬送装置が下金型6の上方へ移動したときに、下金型6の案内ピン60の軸線と同一直線上に重なる位置になるように設定されている(図7、図8参照)。また、ピン保持ブロック3aのガイド孔31a、バネ収容孔33a、抜け孔34aには、抜け防止ピン36が、鉛直方向へスライド可能に嵌装されている。   A positioning pin 35 is fitted in the guide hole 31, the spring accommodating hole 33, and the through hole 34 of the pin holding block 3 so as to be slidable in the vertical direction. The position of the axis of the positioning pin 35 is set so as to overlap with the axis of the guide pin 60 of the lower mold 6 when the transport device moves above the lower mold 6. (See FIGS. 7 and 8). In addition, a drop prevention pin 36 is fitted in the guide hole 31a, the spring accommodating hole 33a, and the through hole 34a of the pin holding block 3a so as to be slidable in the vertical direction.

位置決めピン35は、ガイド孔31にスライド可能に収まっているシャフト350を有している。シャフト350の下端部は窄まっており、その先端には同径で所要長さに形成され、後で説明するピン361と共に止め部を構成するピン351が設けられている。なお、ピン351の先端部は窄まるようやや尖り、更に先端面が平面となるよう形成されている(図1の左側拡大図参照)。ピン351は、後で説明するリードフレーム7の係合孔である位置決め孔70(図1の左側拡大図参照)とほぼ同径に形成されている。   The positioning pin 35 has a shaft 350 that is slidably received in the guide hole 31. A lower end portion of the shaft 350 is narrowed, and a tip 351 having the same diameter and a required length is provided at the tip thereof, and a pin 351 that constitutes a stop portion is provided together with a pin 361 described later. Note that the tip of the pin 351 is formed to be slightly sharpened and further the tip surface to be flat (see the enlarged left side of FIG. 1). The pin 351 is formed to have substantially the same diameter as a positioning hole 70 (see an enlarged view on the left side in FIG. 1) that is an engagement hole of the lead frame 7 described later.

また、抜け防止ピン36のシャフト360の下端部も同様に窄まっており、その先端には全長にわたり同径で所要長さに形成された止め部を構成するピン361が設けられている。ピン361は、上記ピン351よりやや径小に形成されている。これにより、位置決めピン35にリードフレーム7の位置決め孔70が係合し、位置決めピン35に対するリードフレーム7の位置が決まった状態では、リードフレーム搬送装置Aが整列テーブル5から上昇する前において(リードフレームが自重により撓まない状態において)、抜け防止ピン36のピン361がリードフレーム7の係合孔71に通るときに、係合孔71の孔縁に接触しないようになっている(図4の右側拡大図参照)。   Similarly, the lower end portion of the shaft 360 of the drop prevention pin 36 is also narrowed, and a pin 361 constituting a stop portion having the same diameter and the required length is provided at the tip. The pin 361 is slightly smaller in diameter than the pin 351. As a result, when the positioning hole 70 of the lead frame 7 is engaged with the positioning pin 35 and the position of the lead frame 7 with respect to the positioning pin 35 is determined, before the lead frame transport device A is lifted from the alignment table 5 (lead) In a state where the frame does not bend due to its own weight, when the pin 361 of the prevention pin 36 passes through the engagement hole 71 of the lead frame 7, it does not come into contact with the hole edge of the engagement hole 71 (FIG. 4). (See the enlarged view on the right side).

なお、止め部は、図1、図3ないし図10では、所要間隔をおいて相対向して配された位置決めピン35と抜け防止ピン36の一対を表しているが、これに限定するものではない。本実施の形態のように、リードフレーム7が一方向へ長い長方形状であり、その長手方向が、各図における奥行き方向とした場合は、奥行き方向に複数対(複数組)配した止め部によってリードフレーム7を止める構成とすることもある。   1, FIG. 3 to FIG. 10, the stop portion represents a pair of a positioning pin 35 and a removal prevention pin 36 that are arranged to face each other at a required interval. However, the present invention is not limited to this. Absent. As in the present embodiment, when the lead frame 7 has a rectangular shape that is long in one direction and the longitudinal direction is the depth direction in each drawing, a plurality of pairs (plural sets) are arranged in the depth direction. The lead frame 7 may be stopped.

この場合は、各図で奥行き方向(各図とは水平、かつ直角方向)においても、リードフレームは、位置決めピンと抜け防止ピンにより止められ、奥行き方向においても撓みが生じることは考えられる。しかし、各ピンの間の縦横のスパンの違いなどの影響で、リードフレームの一方向において先に撓みが生じてしまうと、それと水平、かつ直角方向の剛性はきわめて高くなり、自重程度では、容易には撓まない。したがって、リードフレームの保持は、実質的に各図に示す方向(リードフレームが、まず、この方向で撓むことを想定)において行われる。   In this case, even in the depth direction in each figure (horizontal and perpendicular to each figure), the lead frame is stopped by the positioning pins and the removal prevention pins, and it is conceivable that the bending also occurs in the depth direction. However, if deflection occurs in one direction of the lead frame due to the difference between the vertical and horizontal spans between the pins, the rigidity in the horizontal and perpendicular directions becomes extremely high. Will not bend. Therefore, the lead frame is held substantially in the direction shown in the drawings (assuming that the lead frame is first bent in this direction).

また、例えばリードフレームが正方形であり、四本のピンで保持される構造で、更に各ピン間の縦横のスパンが同じである場合、リードフレームが保持されるときに、その中央部が深く撓むことが考えられる。この場合は、対角位置にあるピン同士で、各図の対向位置にある各ピン同士と同様の作用を生じ、リードフレームを止めることが想定できる。   For example, if the lead frame is square and is held by four pins, and the vertical and horizontal spans between the pins are the same, when the lead frame is held, the center portion is bent deeply. Can be considered. In this case, it can be assumed that the pins at the diagonal positions have the same effect as the pins at the opposing positions in each figure, and the lead frame is stopped.

また、位置決めピン35のシャフト350の上部には、シャフト350より径小で抜け孔34に挿通可能なバネ掛けシャフト352が同軸上に設けられている。シャフト350とバネ掛けシャフト352の境界には、シャフト350より径大でバネ収容孔33より径小なバネ受け353が設けられ、バネ受け353とバネ収容孔33の天部との間には、圧縮コイルバネ354が掛けられている。   A spring hook shaft 352 having a smaller diameter than the shaft 350 and capable of being inserted into the through hole 34 is coaxially provided on the upper portion of the shaft 350 of the positioning pin 35. A spring receiver 353 having a diameter larger than that of the shaft 350 and smaller than that of the spring accommodating hole 33 is provided at the boundary between the shaft 350 and the spring hooking shaft 352, and between the spring receiver 353 and the top of the spring accommodating hole 33, A compression coil spring 354 is hung.

この構造によれば、位置決めピン35に対して上方向の力が作用すると、位置決めピン35は、圧縮コイルバネ354の付勢力に抗しながら、バネ掛けシャフト352を抜け孔34に通して上昇することができる。なお、抜け防止ピン36にも位置決めピン35と同様に、バネ掛けシャフト362、バネ受け363が設けられ、バネ受け363とバネ収容孔33aの天部との間には、圧縮コイルバネ364が掛けられている。なお、抜け防止ピン36については、この構造は、主に緩衝作用による破損防止を図るためのものである。   According to this structure, when an upward force is applied to the positioning pin 35, the positioning pin 35 rises through the through-hole 34 through the spring-loaded shaft 352 while resisting the biasing force of the compression coil spring 354. Can do. Similarly to the positioning pin 35, the drop prevention pin 36 is provided with a spring hook shaft 362 and a spring receiver 363, and a compression coil spring 364 is hung between the spring receiver 363 and the top of the spring accommodating hole 33a. ing. Note that this structure of the drop prevention pin 36 is mainly intended to prevent breakage due to a buffering action.

更に、上記駆動アーム49、49aの外側となる面(相対向する面とは反対側の面)には、それぞれ所要の間隔をおいて四箇所に、保持部であるチャック爪4、4aが設けられている。なお、各駆動アーム49、49aに設けられるチャック爪4、4aの数は、これに限定されるものではなく、適宜設定が可能である。駆動アーム49側のチャック爪4は、上記位置決めピン35のピン351の外側(図1において左側)に配され、駆動アーム49a側のチャック爪4aは、上記抜け防止ピン36のピン361の外側(図1において右側)に配されている。駆動アーム49、49aに設けられたチャック爪4、4aは、図示しない駆動シリンダーによって、内外方向かつ互いに反対方向へ進退動することができる。   Further, chuck claws 4, 4a as holding portions are provided at four positions on the outer surfaces of the drive arms 49, 49a (surfaces opposite to the surfaces facing each other) at predetermined intervals. It has been. Note that the number of chuck claws 4, 4a provided in each drive arm 49, 49a is not limited to this, and can be set as appropriate. The chuck claw 4 on the drive arm 49 side is arranged outside the pin 351 of the positioning pin 35 (left side in FIG. 1), and the chuck claw 4a on the drive arm 49a side is outside the pin 361 of the removal prevention pin 36 ( It is arranged on the right side in FIG. The chuck claws 4, 4a provided on the drive arms 49, 49a can be moved back and forth in the inner and outer directions and in opposite directions by a drive cylinder (not shown).

チャック爪4、4aは、下端部にいわば「コ」字状となるように、かつ開放側が内方向を向くように左右対称形状に設けられている受部40、40aを有している。チャック爪4、4aは、内方向へ移動したときに各ピン351、361に接触しないよう、各ピン351、361とは、各図において奥行き方向へずらした位置に設けてある。なお、図1に表れているチャック爪4、4aは、各ピン351、361の奥側にある。   The chuck claws 4, 4 a have receiving portions 40, 40 a that are provided in a symmetrical manner so that the lower end portion has a “U” shape and the open side faces inward. The chuck claws 4 and 4a are provided at positions shifted in the depth direction in the respective drawings so that the chuck claws 4 and 4a do not come into contact with the pins 351 and 361 when moved inward. Note that the chuck claws 4, 4 a appearing in FIG. 1 are on the back side of the pins 351, 361.

また、チャック爪4、4aは、内方向へ移動したときに受部40、40aが各ピン351、361に接触する構造とすることもできる。この場合は、チャック爪4、4aを外方向へ移動させれば、各ピン351、361と受部40、40aの先端の間に所要幅の隙間を設けることができ、リードフレームの通り抜けが可能になる。   Further, the chuck claws 4 and 4a may have a structure in which the receiving portions 40 and 40a come into contact with the pins 351 and 361 when moved inward. In this case, if the chuck claws 4 and 4a are moved outward, a gap of a required width can be provided between the pins 351 and 361 and the tips of the receiving portions 40 and 40a, and the lead frame can be passed through. become.

更に、ピン保持ブロック3、3aの下方には、チャック爪4、4aとは別に上下方向へ動くようにして、左右方向にフレームクランパー2が設けられている。フレームクランパー2は、両端部に下方へ突出したクランプ部20を有している。フレームクランパー2は、枠体1に取り付けられている図示しないガイドシャフトに昇降可能に嵌装されている。   Further, a frame clamper 2 is provided below the pin holding blocks 3 and 3a so as to move in the vertical direction separately from the chuck claws 4 and 4a. The frame clamper 2 has clamp portions 20 protruding downward at both ends. The frame clamper 2 is fitted to a guide shaft (not shown) attached to the frame body 1 so as to be movable up and down.

なお、フレームクランパー2は、外力が作用しない状態では、自重により最下部(各クランプ部20の先端が、図3に示すように各ピン351、361の先端とほぼ同じ高さになる位置)まで落ちている。また、フレームクランパー2は、クランプ部20の先端が、内方向へ移動したときのチャック爪4、4aの受け部40、40aのやや上方に位置する高さまで上昇することができる(便宜上表した、図1の左右側拡大図参照)。各クランプ部20は、下金型6へのリードフレーム7の受け渡しにおいて、先端をリードフレーム7の主面に当接させて押さえることができる。   In the state where no external force is applied, the frame clamper 2 is moved to the lowest position (position where the tips of the clamp portions 20 are almost the same height as the tips of the pins 351 and 361 as shown in FIG. 3). falling. Further, the frame clamper 2 can be raised to a height located slightly above the receiving portions 40, 40a of the chuck claws 4, 4a when the tip of the clamp portion 20 moves inward (for convenience, (Refer to the left and right enlarged view of FIG. 1). Each clamp portion 20 can hold the tip end in contact with the main surface of the lead frame 7 when the lead frame 7 is transferred to the lower mold 6.

(作用)
主に図3ないし図10を参照して、リードフレーム搬送装置Aの作用、及びリードフレーム搬送装置Aを使用したリードフレームの搬送方法を説明する。
以下、樹脂モールド電子部品パッケージを製造する樹脂封止装置の材料供給部に置かれたマガジン内の成形前のリードフレームを一枚ずつ切り出して保持し、次工程の樹脂封止を行う下金型6へ搬送する場合を例にとり説明する。
(Function)
The operation of the lead frame transport apparatus A and the lead frame transport method using the lead frame transport apparatus A will be described mainly with reference to FIGS.
Hereinafter, a lower mold that cuts out and holds lead frames before molding in a magazine placed in a material supply unit of a resin sealing device that manufactures resin molded electronic component packages one by one and performs resin sealing in the next process An example of transporting to 6 will be described.

なお、リードフレーム搬送装置Aは、リードフレーム、あるいは撓み性などの特性が似た、リードフレーム様の材料を同様に保持して次工程への搬送を行うものであれば、上記樹脂封止装置以外の他の装置の付帯装置として転用すること、または他の分野へ転用することも可能である。   The lead frame transport device A can be any of the above resin sealing devices as long as the lead frame or similar lead frame-like material having similar characteristics such as flexibility is transported to the next process. It can be diverted as an accessory device of other devices than the above, or can be diverted to other fields.

(A−1)
リードフレーム搬送装置Aを、成形前のリードフレーム7の供給元である整列テーブル5に整列しているリードフレーム7の上方に位置させる。このとき、チャック爪4、4aは、駆動アーム49、49aにより、それぞれ外側へ移動させてあり、開いた状態となっている(図3参照)。
(A-1)
The lead frame conveying device A is positioned above the lead frame 7 aligned with the alignment table 5 that is a supply source of the lead frame 7 before molding. At this time, the chuck claws 4, 4a are moved outward by the drive arms 49, 49a, respectively, and are in an open state (see FIG. 3).

(A−2)
リードフレーム搬送装置Aを下降させて、整列テーブル5と噛み合わせる(図4参照)。具体的には、当初は最下部まで落ちているフレームクランパー2の各クランプ部20の先端がリードフレーム7に当たると共に、セットブロック130の嵌合部131が整列テーブル5の嵌合受部50に嵌合し、リードフレーム搬送装置Aの位置が決まる。
(A-2)
The lead frame transport device A is lowered and meshed with the alignment table 5 (see FIG. 4). Specifically, the tip of each clamp portion 20 of the frame clamper 2 that has initially fallen to the lowest position contacts the lead frame 7, and the fitting portion 131 of the set block 130 fits into the fitting receiving portion 50 of the alignment table 5. The position of the lead frame transfer device A is determined.

そして、リードフレーム搬送装置Aを更に下降させると、位置決めピン35のピン351がリードフレーム7の位置決め孔70に通り、同時に抜け防止ピン36のピン361が係合孔71に通る(図4参照)。このとき、位置決めピン35の先部がやや尖ったピン351は、同径部分が位置決め孔70とほぼ同径であるが、円滑な挿通が可能になる。また、フレームクランパー2は、各クランプ部20が下から押されるために、チャック爪4、4aと相対的にやや上昇する。   When the lead frame transport device A is further lowered, the pin 351 of the positioning pin 35 passes through the positioning hole 70 of the lead frame 7, and at the same time, the pin 361 of the removal preventing pin 36 passes through the engagement hole 71 (see FIG. 4). . At this time, the pin 351 whose tip portion of the positioning pin 35 is slightly sharp has the same diameter portion as the diameter of the positioning hole 70, but can be smoothly inserted. Further, the frame clamper 2 slightly rises relative to the chuck claws 4 and 4a because each clamp portion 20 is pushed from below.

なお、ピン351を位置決め孔70に挿通することで、リードフレーム7の位置決めピン35に対する位置はほぼ決まるので、ピン361は係合孔71の孔縁に接触せずに挿通することができる。したがって、ピン361の引っ掛かりなどもなく、ピン361を係合孔71に対し確実に挿通することができる。これにより、次に説明するピン351、361、及びチャック爪4、4aの協働によるリードフレーム7の保持をスムーズに行うことができる。   Since the position of the lead frame 7 with respect to the positioning pin 35 is substantially determined by inserting the pin 351 into the positioning hole 70, the pin 361 can be inserted without contacting the hole edge of the engagement hole 71. Therefore, the pin 361 can be reliably inserted into the engagement hole 71 without being caught by the pin 361. Accordingly, the lead frame 7 can be smoothly held by the cooperation of the pins 351 and 361 and the chuck claws 4 and 4a described below.

(A−3)
リードフレーム搬送装置Aと整列テーブル5が、上記(A−2)のように噛み合っている状態で、駆動アーム49、49aを互いに接近する方向に移動させて、チャック爪4、4aを閉じる(図5参照)。これにより、チャック爪4、4aの受部40、40aは、それぞれの内方向の先端部が、位置決めピン35のピン351と抜け防止ピン36のピン361とは接触しないようにして移動する。
(A-3)
With the lead frame transport device A and the alignment table 5 engaged with each other as shown in (A-2) above, the drive arms 49 and 49a are moved in directions toward each other to close the chuck claws 4 and 4a (see FIG. 5). As a result, the receiving portions 40 and 40a of the chuck claws 4 and 4a move so that the respective inward end portions thereof do not contact the pin 351 of the positioning pin 35 and the pin 361 of the removal preventing pin 36.

このとき、受部40、40aは、上面の先端角部に設けられている斜面(符号省略)によって、各ピン351、361で止められているリードフレーム7の左右両側の端縁部を掬い上げることができるようにして内方へ移動するので、リードフレーム7の両側端縁部の下側、及びリードフレーム7の高さに位置している各プランプ部20の先端の下側にスムーズに入ることができる。   At this time, the receiving portions 40 and 40a scoop up the left and right end edges of the lead frame 7 fixed by the pins 351 and 361 by slopes (reference numerals omitted) provided at the top corners of the upper surface. Since it moves inward so as to be able to move, it smoothly enters the lower side of both side edge portions of the lead frame 7 and the lower side of the tip of each plump portion 20 located at the height of the lead frame 7. be able to.

このように、チャック爪4、4aは、各ピン351、361の内側に保持されるリードフレーム7の邪魔にならない側、つまり干渉しない外側(リードフレームの両端縁側)から、受部40、40aでリードフレームを保持できる位置に移動することができる。   As described above, the chuck claws 4 and 4a are received by the receiving portions 40 and 40a from the side that does not interfere with the lead frame 7 held inside the pins 351 and 361, that is, from the outside that does not interfere (both ends of the lead frame). The lead frame can be moved to a position where it can be held.

また、これにより、受部40、40aは、各ピン351、361に位置決め孔70、及び係合孔71を嵌め入れて止められているリードフレーム7を下から支えて、各ピン351、361から抜け落ちないようにすることができる(参考:図1の左右側拡大図)。   Accordingly, the receiving portions 40, 40 a support the lead frame 7, which is fixed by inserting the positioning holes 70 and the engagement holes 71 into the pins 351, 361 from below, and from the pins 351, 361. It can be prevented from falling out (reference: enlarged view on the left and right sides in FIG. 1).

(A−4)
リードフレーム搬送装置Aをリードフレーム7と共に、整列テーブル5から上昇させる。このようにして、位置決めピン35のピン351と抜け防止ピン36のピン361との間にリードフレーム7が架け渡される。リードフレーム7は、自重により重力方向に撓んでほぼ円弧状に変形する(図6参照)。また、フレームクランパー2は、チャック爪4、4aの図示しない凸部分によって下から支えられ、下方へ落ちることはない。
(A-4)
The lead frame transport device A is lifted from the alignment table 5 together with the lead frame 7. In this way, the lead frame 7 is bridged between the pin 351 of the positioning pin 35 and the pin 361 of the drop prevention pin 36. The lead frame 7 is bent in the direction of gravity by its own weight and deformed into a substantially arc shape (see FIG. 6). The frame clamper 2 is supported from below by convex portions (not shown) of the chuck claws 4 and 4a and does not fall downward.

このとき、リードフレーム7の、各ピン351、361に掛かっている各孔70、71の孔縁部分は、内方向かつやや斜め下方向へ各ピン351、361を引っ張る。各ピン351、361に引っ張り力が生じると、各ピン351、361には引っ張り力と反対方向の抗力、すなわち反力が生じる。これにより、リードフレーム7は、重力方向に撓んだ状態で、かつ各ピン351、361により両側からその反力を以て支持された状態で止められる。また、リードフレーム7の位置決めピン35に対する位置を、設計上の正規の位置に設定することができるので、リードフレーム7を、バランスよく安定した状態で保持することができる。   At this time, the hole edge portions of the holes 70 and 71 on the pins 351 and 361 of the lead frame 7 pull the pins 351 and 361 inward and slightly obliquely downward. When a tensile force is generated in each pin 351, 361, a drag force in the direction opposite to the tensile force, that is, a reaction force is generated in each pin 351, 361. Thereby, the lead frame 7 is stopped in a state where it is bent in the direction of gravity and supported by the pins 351 and 361 from both sides with its reaction force. Further, since the position of the lead frame 7 with respect to the positioning pin 35 can be set to a normal design position, the lead frame 7 can be held in a balanced and stable state.

更に、リードフレーム7は、上記したようにチャック爪4、4aの受け部40、40aによって、下から支えられており、仮に各ピン351、361によるリードフレーム7を支持している反力が充分でなくても、止め部の各ピン351、361と協働する受け部40、40aによって保持されるので、リードフレーム7が脱落したり、一部が外れたりすることを防止できる(図6、図1の左右拡大図参照)。   Furthermore, the lead frame 7 is supported from below by the receiving portions 40 and 40a of the chuck claws 4 and 4a as described above, and the reaction force that supports the lead frame 7 by the pins 351 and 361 is sufficient. Even if not, since it is held by the receiving portions 40 and 40a that cooperate with the pins 351 and 361 of the stopper, it is possible to prevent the lead frame 7 from falling off or partly coming off (FIG. 6, (See left and right enlarged view in FIG. 1).

このように、例えば、リードフレーム7が大判である、または、薄型であるなどして、搬送時の撓みが大きいものでも、協働する位置決めピン35と抜け防止ピン36の各ピン351、361とチャック爪4、4aの受け部40、40aにより保持することができるので、リードフレーム搬送装置Aは、供給元から供給先である下金型6の所定の位置まで、リードフレーム7を脱落することなく確実に搬送することができる。   In this way, for example, even if the lead frame 7 is large or thin and has a large amount of bending during conveyance, the positioning pins 35 and the pins 351 and 361 of the slip-off prevention pin 36 that cooperate with each other. Since it can be held by the receiving portions 40, 40a of the chuck claws 4, 4a, the lead frame transport device A drops the lead frame 7 from the supply source to a predetermined position of the lower mold 6 that is the supply destination. And can be reliably conveyed.

(A−5)
上記(A−4)のようにして、リードフレーム7を保持したリードフレーム搬送装置Aは、供給先である下金型6の上方へ移動し、所要位置で停止する(図7参照)。この停止位置においては、リードフレーム搬送装置Aに設けられている位置決めピン35の軸線は、下金型6の案内ピン60の軸線と同一直線上に重なっている。
(A-5)
As described above (A-4), the lead frame transport apparatus A holding the lead frame 7 moves above the lower mold 6 as the supply destination and stops at a required position (see FIG. 7). In this stop position, the axis of the positioning pin 35 provided in the lead frame conveying apparatus A overlaps with the axis of the guide pin 60 of the lower mold 6 on the same straight line.

(A−6)
リードフレーム搬送装置Aは下降し、下金型6と噛み合う。これにより、位置決めピン35のピン351の先端面と、案内ピン60の先端部とが当接し、位置決めピン35のピン351と案内ピン60とは、見かけ上、つながる。そして、リードフレーム搬送装置Aが更に下降すると、リードフレーム7は、中央部分の下面側が下金型6に触れて、撓みが小さくなり案内ピン60に対する掛かりが緩んでいることもあって、案内ピン60に沿って下降するようになる。また、位置決めピン35が、案内ピン60によって圧縮コイルバネ354の付勢力に抗して押し上げられる。これにより、案内ピン60がリードフレーム7の位置決め孔70に下方側から入り、リードフレーム7は、案内ピン60側へ移る(図8参照)。
(A-6)
The lead frame transfer device A is lowered and meshes with the lower mold 6. Thereby, the front end surface of the pin 351 of the positioning pin 35 and the front end portion of the guide pin 60 come into contact with each other, and the pin 351 of the positioning pin 35 and the guide pin 60 are apparently connected. When the lead frame transport device A is further lowered, the lead frame 7 has the lower surface side of the center portion touching the lower mold 6, the flexure is reduced, and the hook on the guide pin 60 is loosened. And descend along 60. Further, the positioning pin 35 is pushed up against the urging force of the compression coil spring 354 by the guide pin 60. As a result, the guide pin 60 enters the positioning hole 70 of the lead frame 7 from below, and the lead frame 7 moves to the guide pin 60 side (see FIG. 8).

(A−7)
リードフレーム搬送装置Aと下金型6が、上記(A−6)のように噛み合っている状態で、チャック爪4、4aを開く。受け部40、40aによる支えがなくなったリードフレーム7とチャック爪4、4aによる支えがなくなったフレームクランパー2は下降し、クランプ部20はリードフレーム7の縁部に当接してこれを押し下げ、リードフレーム7を下金型6の所定の位置にセットする(図9参照)。また、このときのクランプ部20は、リードフレーム7を上記のように確実にセットする作用と、下金型6の余熱によるリードフレーム7の変形を抑制または防止する作用を有する。
(A-7)
The chuck claws 4 and 4a are opened in a state where the lead frame transport device A and the lower mold 6 are engaged as in (A-6) above. The lead frame 7 that is no longer supported by the receiving portions 40 and 40a and the frame clamper 2 that is no longer supported by the chuck claws 4 and 4a are lowered, and the clamp portion 20 abuts against the edge of the lead frame 7 to push down the lead frame 7 The frame 7 is set at a predetermined position of the lower mold 6 (see FIG. 9). Further, the clamp portion 20 at this time has an effect of reliably setting the lead frame 7 as described above and an effect of suppressing or preventing deformation of the lead frame 7 due to residual heat of the lower mold 6.

(A−8)
このようにしてリードフレーム7をリードフレーム搬送装置Aが下金型6の所定の位置にセットした後、下金型6は下降し、リードフレーム搬送装置Aから離れる(図10参照)。そして、リードフレーム搬送装置Aは、供給元である整列テーブル5の方向へ移動して、上記動きを繰り返す。なお、下金型6上では、次工程としてリードフレーム7に対する樹脂封止作業が行われ、樹脂モールド電子部品パッケージ(図示省略)が製造される。
(A-8)
In this way, after the lead frame 7 is set at a predetermined position of the lower mold 6 by the lead frame conveying apparatus A, the lower mold 6 is lowered and separated from the lead frame conveying apparatus A (see FIG. 10). Then, the lead frame transport device A moves in the direction of the alignment table 5 that is a supply source, and repeats the above movement. On the lower mold 6, a resin sealing operation for the lead frame 7 is performed as a next process, and a resin molded electronic component package (not shown) is manufactured.

本明細書及び特許請求の範囲で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書及び特許請求の範囲に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。   The terms and expressions used in the present specification and claims are for illustrative purposes only, and are not intended to be limiting in any way. The features described in the present specification and claims and their terms There is no intention of excluding some equivalent terms and expressions. It goes without saying that various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

A リードフレーム搬送装置
1 枠体
10、11 短手側の枠部材
12、13 長手側の枠部材
130 セットブロック
131 嵌合部
14 樹脂収容部
15、16 ガイドシャフト
15a、16a ガイドシャフト
2 フレームクランパー
20 クランプ部
3、3a ピン保持ブロック
30、30a 下部ブロック
31、31a ガイド孔
32、32a 上部ブロック
33、33a バネ収容孔
34、34a 抜け孔
35 位置決めピン
350 シャフト
351 ピン
352 バネ掛けシャフト
353 バネ受け
354 圧縮コイルバネ
36 抜け防止ピン
360 シャフト
361 ピン
362 バネ掛けシャフト
363 バネ受け
364 圧縮コイルバネ
4、4a チャック爪
40、40a 受部
49、49a 駆動アーム
5 整列テーブル
50 嵌合受部
6 下金型
60 案内部材
7 リードフレーム
70 位置決め孔
71 係合孔
A Lead frame transport device 1 Frame body 10, 11 Short frame member 12, 13 Long frame member 130 Set block 131 Fitting portion 14 Resin housing portion 15, 16 Guide shaft 15a, 16a Guide shaft 2 Frame clamper 20 Clamp part 3, 3a Pin holding block 30, 30a Lower block 31, 31a Guide hole 32, 32a Upper block 33, 33a Spring receiving hole 34, 34a Exit hole 35 Positioning pin 350 Shaft 351 Pin 352 Spring hook shaft 353 Spring receiver 354 Compression Coil spring 36 Pin prevention pin 360 Shaft 361 Pin 362 Spring hook shaft 363 Spring receiver 364 Compression coil spring 4, 4a Chuck claw 40, 40a Receiving portion 49, 49a Drive arm 5 Alignment table 50 Fitting receiving portion 6 Lower Mold 60 guide member 7 lead frame 70 positioning hole 71 engaging hole

Claims (10)

所要間隔をおいて相対向して配された一対の部材を有し、その一対の部材間に架け渡されたリードフレームの自重で生じる撓みによる内方向の引っ張り力が掛かることにより、その反力でリードフレームを止める止め部と、
該止め部の各部材の外側に配され、前記止め部と協働してリードフレームを保持可能な保持部と、を備える
リードフレーム搬送装置。
It has a pair of members arranged opposite to each other at a required interval, and the reaction force is applied by applying an inward pulling force due to the bending caused by the weight of the lead frame spanned between the pair of members. With a stop to stop the lead frame,
A lead frame transport device comprising: a holding portion that is disposed outside each member of the stop portion and can hold the lead frame in cooperation with the stop portion.
前記止め部が、リードフレームの一方側の係合孔と協働してリードフレームの位置を所要位置に決める位置決めピンと、リードフレームの他方側の係合孔に通される抜け防止ピンとで構成された
請求項1記載のリードフレーム搬送装置。
The stop portion includes a positioning pin that determines the position of the lead frame in a required position in cooperation with the engagement hole on one side of the lead frame, and a slip prevention pin that passes through the engagement hole on the other side of the lead frame. The lead frame carrying device according to claim 1.
前記抜け防止ピンが、リードフレームの一方側の係合孔と前記位置決めピンとが係合されて位置決めされたリードフレームの他方側の係合孔に、その孔縁に非接触で挿通可能に形成された
請求項2記載のリードフレーム搬送装置。
The anti-disengagement pin is formed so as to be able to be inserted in a non-contact manner into an engagement hole on the other side of the lead frame positioned by engaging the engagement hole on one side of the lead frame and the positioning pin. The lead frame carrying device according to claim 2.
前記位置決めピンの先端が、リードフレームの搬送受部となる、樹脂封止装置の金型に設けられた案内部材の先端に対して当接可能である
請求項2または3記載のリードフレーム搬送装置。
The lead frame transport device according to claim 2 or 3, wherein a tip of the positioning pin can contact a tip of a guide member provided on a mold of a resin sealing device, which serves as a transport receiving portion of the lead frame. .
リードフレームの前記金型への受け渡しにおいて、リードフレームの主面に当接するクランパーを有する
請求項4記載のリードフレーム搬送装置。
The lead frame transport device according to claim 4, further comprising a clamper that contacts the main surface of the lead frame when the lead frame is delivered to the mold.
所要間隔をおいて相対向して配された一対の部材に、該各部材間に架け渡されたリードフレームの自重による撓みで引っ張り力が掛かることで、その反力で前記一対の部材がリードフレームを止めて搬送する工程を備える
リードフレームの搬送方法。
A tensile force is applied to a pair of members arranged opposite to each other at a required interval due to the deflection of the lead frame spanned between the members, and the pair of members lead to the reaction force. A method for transporting a lead frame, comprising the step of transporting the frame after stopping.
一対の部材間でリードフレームを止める止め部に対するリードフレームの位置を所定の位置に設定する工程と、
前記止め部と、該止め部の前記各部材の外側に配され、同止め部と協働してリードフレームを保持する保持部により、リードフレームを保持可能とする工程と、
前記止め部及び前記保持部を上昇させ、同止め部に、保持されたリードフレームの自重による撓みで引っ張り力が掛かることにより、その反力でリードフレームを止める工程と、
リードフレームを樹脂封止装置の金型へ搬送し、金型の所定の位置に配置する工程と、を備える
リードフレームの搬送方法。
A step of setting the position of the lead frame with respect to a stopper for stopping the lead frame between a pair of members to a predetermined position;
A step of holding the lead frame by the holding portion and a holding portion which is arranged outside the respective members of the stopping portion and holds the lead frame in cooperation with the stopping portion;
The step of raising the stopper and the holding part, and stopping the lead frame with the reaction force by applying a tensile force to the stopper part by bending due to the weight of the held lead frame,
And a step of conveying the lead frame to a mold of the resin sealing device and arranging the lead frame at a predetermined position of the mold.
リードフレームを、前記止め部を構成する、リードフレームの一方側の係合孔と係合してリードフレームの位置を所要位置に決める位置決めピンと、リードフレームの他方側の係合孔に通される抜け防止ピンとで止める
請求項7記載のリードフレームの搬送方法。
The lead frame is passed through an engaging hole on one side of the lead frame that engages with an engaging hole on one side of the lead frame that constitutes the stopper, and a positioning pin that determines the position of the lead frame to a required position. The lead frame transport method according to claim 7, wherein the lead frame is stopped by a removal prevention pin.
前記金型にリードフレームを配置する際、リードフレームを止めている前記位置決めピンの先端を、前記金型に設けた案内部材の先端に当接させ、リードフレームを同位置決めピンから前記案内部材に配置せしめる
請求項8記載のリードフレームの搬送方法。
When placing the lead frame on the mold, the tip of the positioning pin that holds the lead frame is brought into contact with the tip of a guide member provided on the mold, and the lead frame is moved from the positioning pin to the guide member. The lead frame transport method according to claim 8.
前記金型へのリードフレームの受け渡しにおいて、クランパーをリードフレームの主面に当接させる
請求項7、8または9記載のリードフレームの搬送方法。
The lead frame transport method according to claim 7, wherein the clamper is brought into contact with the main surface of the lead frame when the lead frame is delivered to the mold.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6418464B1 (en) * 2017-05-16 2018-11-07 第一精工株式会社 Substrate conveying apparatus and substrate conveying method
JP7277935B2 (en) * 2020-04-28 2023-05-19 アピックヤマダ株式会社 Resin molding equipment

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2566734Y2 (en) * 1993-09-16 1998-03-30 住友精密工業株式会社 Transfer hand

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210093738A (en) * 2020-01-20 2021-07-28 토와 가부시기가이샤 Resin molding product manufacturing method and resin molding apparatus
KR102397598B1 (en) 2020-01-20 2022-05-16 토와 가부시기가이샤 Resin molding product manufacturing method and resin molding apparatus
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