JP2018022685A5 - - Google Patents
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Description
以上の実施形態は、理解を明瞭にする目的で幾らか詳細に説明されてきたが、添付の特許請求の範囲内で特定の変更及び修正が実施できることが明らかである。したがって、これらの実施形態は、例示的であって限定的ではないと見なされ、本明細書で与えられる詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲及びそれらの均等物の範囲内で変更されえる。
本開示は、以下の適用例としても実現可能である。
<適用例1>
チャンバに関係付けられた複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するための電力分配器であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合され、低周波数RF信号を提供するように構成された低周波数回路と、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合され、高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路であって、前記低周波数回路に結合された高周波数回路と、
前記高周波数回路に及び複数のプラズマ処理ステーションに結合された出力回路であって、前記プラズマ処理ステーションに提供するための複数の結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に結合された分流インダクタと、
を備える電力分配器。
<適用例2>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、電力分配器。
<適用例3>
適用例2に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と、前記低周波数回路の出力を前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、電力分配器。
<適用例4>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路と前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例5>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例6>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサと前記低周波数回路のインダクタとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例7>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、一端において接地接続に、及び反対の端において高周波数ブロック回路に結合され、
前記分流インダクタは、第1のコンデンサに並列に結合され、
前記高周波数ブロック回路は、第2のコンデンサに並列なインダクタを含み、
前記分流インダクタは、スイッチを通じて前記低周波数回路の平衡化インダクタに結合される、電力分配器。
<適用例8>
適用例7に記載の電力分配器であって、
前記第1のコンデンサは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記高周波数ブロック回路に結合される、電力分配器。
<適用例9>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、電力分配器。
<適用例10>
複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するためのシステムであって、
第1の周波数を有する第1のRF信号を生成するように構成された第1の無線周波数(RF)発生器と、
第2の周波数を有する第2のRF信号を生成するように構成された第2のRF発生器と、
前記第1のRF信号を受信するために前記第1のRF発生器に結合された第1の整合回路網であって、前記第1のRF発生器からの前記第1のRF信号の受信を受けて第1の修正RF信号を出力するように構成された第1の整合回路網と、
前記第2のRF信号を受信するために前記第2のRF発生器に結合された第2の整合回路網であって、前記第2のRF発生器からの前記第2のRF信号の受信を受けて第2の修正RF信号を出力するように構成された第2の整合回路網と、
前記第1の整合回路網の出力及び前記第2の整合回路網の出力に結合された電力分配器であって、複数のプラズマ処理ステーションに結合RF信号を提供するために、前記第1の修正RF信号と前記第2の修正RF信号とを組み合わせるように構成され、前記プラズマ処理ステーションに結合された複数の出力を有し、
前記第1の整合回路網に結合され、低周波数RF信号を提供するように構成された低周波数回路と、
前記第2の整合回路網に及び前記低周波数回路に結合され、高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路と、
前記高周波数回路に及び前記複数のプラズマ処理ステーションに結合された出力回路であって、前記プラズマ処理ステーションに提供するための前記結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
を含む電力分配器と、
前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に結合された分流インダクタと、
を備えるシステム。
<適用例11>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、システム。
<適用例12>
適用例11に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と、前記低周波数回路の出力を前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、システム。
<適用例13>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路と前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つとの間の地点に結合される、システム。
<適用例14>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサとの間の地点に結合される、システム。
<適用例15>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサと前記低周波数回路のインダクタとの間の地点に結合される、システム。
<適用例16>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、一端において接地接続に、及び反対の端において高周波数ブロック回路に結合され、
前記分流インダクタは、第1のコンデンサに並列に結合され、
前記高周波数ブロック回路は、第2のコンデンサに並列なインダクタを含み、
前記分流インダクタは、スイッチを通じて前記低周波数回路の平衡化インダクタに結合される、システム。
<適用例17>
適用例16に記載のシステムであって、
前記第1のコンデンサは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記高周波数ブロック回路に結合される、システム。
<適用例18>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、システム。
<適用例19>
ウエハの反りを低減するための方法であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合された低周波数回路によって、低周波数RF信号を提供し、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合された高周波数回路によって、高周波数RF信号を提供し、
複数のプラズマ処理ステーションに提供するための複数の結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせ、
前記低周波数回路の分流インダクタによってウエハの反りを低減し、前記ウエハの反りは、前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に前記分流インダクタが結合されるときに低減される、
ことを備える方法。
<適用例20>
適用例19に記載の方法であって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、方法。
<適用例21>
適用例19に記載の方法であって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、方法。
本開示は、以下の適用例としても実現可能である。
<適用例1>
チャンバに関係付けられた複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するための電力分配器であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合され、低周波数RF信号を提供するように構成された低周波数回路と、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合され、高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路であって、前記低周波数回路に結合された高周波数回路と、
前記高周波数回路に及び複数のプラズマ処理ステーションに結合された出力回路であって、前記プラズマ処理ステーションに提供するための複数の結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に結合された分流インダクタと、
を備える電力分配器。
<適用例2>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、電力分配器。
<適用例3>
適用例2に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と、前記低周波数回路の出力を前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、電力分配器。
<適用例4>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路と前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例5>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例6>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサと前記低周波数回路のインダクタとの間の地点に結合される、電力分配器。
<適用例7>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、一端において接地接続に、及び反対の端において高周波数ブロック回路に結合され、
前記分流インダクタは、第1のコンデンサに並列に結合され、
前記高周波数ブロック回路は、第2のコンデンサに並列なインダクタを含み、
前記分流インダクタは、スイッチを通じて前記低周波数回路の平衡化インダクタに結合される、電力分配器。
<適用例8>
適用例7に記載の電力分配器であって、
前記第1のコンデンサは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記高周波数ブロック回路に結合される、電力分配器。
<適用例9>
適用例1に記載の電力分配器であって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、電力分配器。
<適用例10>
複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するためのシステムであって、
第1の周波数を有する第1のRF信号を生成するように構成された第1の無線周波数(RF)発生器と、
第2の周波数を有する第2のRF信号を生成するように構成された第2のRF発生器と、
前記第1のRF信号を受信するために前記第1のRF発生器に結合された第1の整合回路網であって、前記第1のRF発生器からの前記第1のRF信号の受信を受けて第1の修正RF信号を出力するように構成された第1の整合回路網と、
前記第2のRF信号を受信するために前記第2のRF発生器に結合された第2の整合回路網であって、前記第2のRF発生器からの前記第2のRF信号の受信を受けて第2の修正RF信号を出力するように構成された第2の整合回路網と、
前記第1の整合回路網の出力及び前記第2の整合回路網の出力に結合された電力分配器であって、複数のプラズマ処理ステーションに結合RF信号を提供するために、前記第1の修正RF信号と前記第2の修正RF信号とを組み合わせるように構成され、前記プラズマ処理ステーションに結合された複数の出力を有し、
前記第1の整合回路網に結合され、低周波数RF信号を提供するように構成された低周波数回路と、
前記第2の整合回路網に及び前記低周波数回路に結合され、高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路と、
前記高周波数回路に及び前記複数のプラズマ処理ステーションに結合された出力回路であって、前記プラズマ処理ステーションに提供するための前記結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
を含む電力分配器と、
前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に結合された分流インダクタと、
を備えるシステム。
<適用例11>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、システム。
<適用例12>
適用例11に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と、前記低周波数回路の出力を前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、システム。
<適用例13>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路と前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つとの間の地点に結合される、システム。
<適用例14>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の入力と前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサとの間の地点に結合される、システム。
<適用例15>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、前記低周波数回路の直流(DC)ブロックコンデンサと前記低周波数回路のインダクタとの間の地点に結合される、システム。
<適用例16>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、一端において接地接続に、及び反対の端において高周波数ブロック回路に結合され、
前記分流インダクタは、第1のコンデンサに並列に結合され、
前記高周波数ブロック回路は、第2のコンデンサに並列なインダクタを含み、
前記分流インダクタは、スイッチを通じて前記低周波数回路の平衡化インダクタに結合される、システム。
<適用例17>
適用例16に記載のシステムであって、
前記第1のコンデンサは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記高周波数ブロック回路に結合される、システム。
<適用例18>
適用例10に記載のシステムであって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、システム。
<適用例19>
ウエハの反りを低減するための方法であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合された低周波数回路によって、低周波数RF信号を提供し、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合された高周波数回路によって、高周波数RF信号を提供し、
複数のプラズマ処理ステーションに提供するための複数の結合RF信号を生成するために、前記低周波数RF信号と前記高周波数RF信号とを組み合わせ、
前記低周波数回路の分流インダクタによってウエハの反りを低減し、前記ウエハの反りは、前記プラズマ処理ステーションのうちの1つへの電流の量を増加させるために、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに並列に前記分流インダクタが結合されるときに低減される、
ことを備える方法。
<適用例20>
適用例19に記載の方法であって、
前記分流インダクタは、2つの端を有し、前記2つの端のうちの一方は、接地接続に結合され、前記2つの端のうちの他方は、前記プラズマ処理ステーションのうちの前記1つに結合される、方法。
<適用例21>
適用例19に記載の方法であって、
前記分流インダクタは、可変インダクタ又は固定インダクタである、方法。
Claims (40)
- 複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するための電力分配器であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の低周波数無線周波数(RF)信号を提供するように構成された低周波数回路であって、複数の高周波数ブロック回路を含み、前記複数の高周波数ブロック回路は、それぞれ、コンデンサに並列に結合されたインダクタを含む低周波数回路と、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路であって、前記低周波数回路に結合された高周波数回路と、
前記高周波数回路に結合された出力回路であって、前記複数のプラズマ処理ステーションに結合されるように構成され、前記複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合RF信号を提供するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
複数の分流インダクタであって、それぞれ、一端において接地接続に、及び反対の端において前記複数の高周波数ブロック回路のうちの対応する1つに結合されて、前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの対応する1つへの電流の量を制御し、それぞれ、複数のコンデンサのうちの対応する1つに並列に結合される複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 請求項1に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記低周波数回路の入力と、前記出力回路の出力を前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの前記対応する1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、電力分配器。 - 複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するための電力分配器であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の低周波数無線周波数(RF)信号を提供するように構成された低周波数回路であって、複数の直流(DC)ブロックコンデンサを含む低周波数回路と、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路であって、前記低周波数回路に結合された高周波数回路と、
前記高周波数回路に結合された出力回路であって、前記複数のプラズマ処理ステーションに結合されるように構成され、前記複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合RF信号を提供するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
複数の分流インダクタであって、それぞれ、前記低周波数回路の入力と前記低周波数回路の前記複数のDCブロックコンデンサのうちの対応する1つとの間の地点に結合される複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するための電力分配器であって、
低周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の低周波数無線周波数(RF)信号を提供するように構成された低周波数回路であって、複数の直流(DC)ブロックコンデンサ及び複数のインダクタを含む低周波数回路と、
高周波数インピーダンス整合回路網に結合されるように構成され、複数の高周波数RF信号を提供するように構成された高周波数回路であって、前記低周波数回路に結合される高周波数回路と、
前記高周波数回路に結合された出力回路であって、前記複数のプラズマ処理ステーションに結合されるように構成され、前記複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合RF信号を提供するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
複数の分流インダクタであって、それぞれ、前記低周波数回路の前記複数のDCブロックコンデンサのうちの対応する1つと前記低周波数回路の前記複数のインダクタのうちの対応する1つとの間の地点に結合されて、前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの対応する1つへの電流の量を制御する複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 請求項1に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記複数の高周波数ブロック回路のうちの1つ及びスイッチを通じて前記出力回路の平衡化インダクタに結合される、電力分配器。 - 請求項5に記載の電力分配器であって、
前記複数のコンデンサのうちの前記対応する1つは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記複数の高周波数ブロック回路のうちの前記対応する1つに結合される、電力分配器。 - 請求項1に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、可変インダクタ又は固定インダクタである、電力分配器。 - 複数のプラズマ処理ステーションに電力を配送するためのシステムであって、
第1の周波数を有する第1のRF信号を生成するように構成された第1の無線周波数(RF)発生器と、
第2の周波数を有する第2のRF信号を生成するように構成された第2のRF発生器と、
前記第1のRF信号を受信するために前記第1のRF発生器に結合された第1の整合回路網であって、前記第1のRF発生器からの前記第1のRF信号の受信を受けて第1の修正RF信号を出力するように構成された第1の整合回路網と、
前記第2のRF信号を受信するために前記第2のRF発生器に結合された第2の整合回路網であって、前記第2のRF発生器からの前記第2のRF信号の受信を受けて第2の修正RF信号を出力するように構成された第2の整合回路網と、
前記第1の整合回路網の出力及び前記第2の整合回路網の出力に結合された電力分配器であって、前記複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合RF信号を提供するために、前記第1の修正RF信号と前記第2の修正RF信号とを組み合わせるように構成され、前記複数のプラズマ処理ステーションに結合された複数の出力を有し、
前記第1の整合回路網に結合され、複数の低周波数RF信号を提供するために前記第1の修正RF信号を受信するように構成された低周波数回路であって、複数の高周波数ブロック回路を含み、前記複数の高周波数ブロック回路は、それぞれ、コンデンサに並列に結合されたインダクタを含む低周波数回路と、
前記第2の整合回路網に及び前記低周波数回路に結合され、複数の高周波数RF信号を提供するために前記第2の修正RF信号を受信するように構成された高周波数回路と、
前記高周波数回路に及び前記複数のプラズマ処理ステーションに結合された出力回路であって、前記複数のプラズマ処理ステーションに前記複数の結合RF信号を提供するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された出力回路と、
複数の分流インダクタであって、それぞれ、一端において接地接続に、及び反対の端において前記複数の高周波数ブロック回路のうちの対応する1つに結合されて、前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの対応する1つへの電流の量を制御し、それぞれ、複数のコンデンサのうちの対応する1つに並列に結合される複数の分流インダクタと、
を含む電力分配器と、
を備えるシステム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記低周波数回路の入力と、前記出力回路の出力を前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの前記対応する1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記複数の高周波数ブロック回路のうちの1つ及びスイッチを通じて前記出力回路の平衡化インダクタに結合される、システム。 - 請求項10に記載のシステムであって、
前記複数のコンデンサのうちの前記対応する1つは、一端において前記接地接続に、及び反対の端において前記複数の高周波数ブロック回路のうちの前記対応する1つに結合される、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、可変インダクタ又は固定インダクタである、システム。 - 請求項3に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、可変インダクタ又は固定インダクタである、電力分配器。 - 請求項3に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記低周波数回路の入力と、前記出力回路の出力を前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの前記対応する1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、電力分配器。 - 請求項4に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタのうちの1つは、前記低周波数回路の入力と、前記出力回路の出力を前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの前記対応する1つに結合する同軸ケーブルの一端と、の間に結合される、電力分配器。 - 請求項4に記載の電力分配器であって、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、可変インダクタ又は固定インダクタである、電力分配器。 - 電力分配器であって、
低周波数修正無線周波数(RF)信号を受信して複数の低周波数RF信号を出力するように構成された複数の低周波数経路と、
高周波数修正RF信号を受信して複数の高周波数RF信号を出力するように構成された複数の高周波数経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つに結合される複数の高周波数経路と、
複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合信号を出力するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された複数の出力経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つ及び前記複数の高周波数経路のうちの対応する1つに結合される複数の出力経路と、
前記複数のプラズマ処理ステーションに提供される複数の電流の量を制御するように構成された複数の分流インダクタであって、それぞれ、前記低周波数経路のうちの前記対応する1つに結合される複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、第1のインダクタと、高周波数ブロック回路の第2のインダクタとを含み、
前記第1のインダクタは、地点において前記第2のインダクタに結合され、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つの前記地点に、及び接地接続に結合される、電力分配器。 - 請求項18に記載の電力分配器であって、
前記地点は、コンデンサに結合され、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つの前記コンデンサに並列に結合される、電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、第2のインダクタ、及び地点を含み、前記地点は、前記コンデンサと前記第1のインダクタとの間にあり、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合され、前記地点は、可変コンデンサに、及び前記複数の分流インダクタのうちの対応する1つに結合される、電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、更に、
入力であって、前記複数の低周波数経路は、前記低周波数修正RF信号を受信するために前記入力に結合され、前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、及び第2のインダクタを含み、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合される入力と、
複数の地点であって、それぞれ、前記入力と前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つの前記コンデンサとの間にあり、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の地点のうちの対応する1つに結合される複数の地点と、
を備える電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、及び第2のインダクタを含み、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合される、電力分配器。 - 請求項22に記載の電力分配器であって、
前記複数の高周波数RF経路は、それぞれ、コンデンサを含む、電力分配器。 - 請求項23に記載の電力分配器であって、
前記複数の高周波数RF経路のそれぞれの前記コンデンサは、前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つの前記第2のインダクタに結合される、電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、
前記低周波数修正RF信号は、低周波数整合回路網から受信され、前記高周波数修正RF信号は、高周波数整合回路網から受信される、電力分配器。 - 請求項17に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、インダクタ又はダミー負荷に結合されるように構成されたスイッチを含む、電力分配器。 - 電力分配器であって、
低周波数修正無線周波数(RF)信号を受信して複数の低周波数RF信号を出力するように構成された複数の低周波数経路と、
高周波数修正RF信号を受信して複数の高周波数RF信号を出力するように構成された複数の高周波数経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つに結合される複数の高周波数経路と、
複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合信号を出力するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された複数の出力経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つに、及び前記複数の高周波数経路のうちの対応する1つに結合される複数の出力経路と、
前記複数のプラズマ処理ステーションに提供される複数の電流の量を制御するように構成された複数の分流インダクタであって、それぞれ、前記複数の出力経路のうちの対応する1つに結合される複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 請求項27に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、それぞれ、スイッチ、インダクタ、及び前記インダクタと前記スイッチとの間の地点を含み、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の出力経路のうちの対応する1つの前記地点に結合される、電力分配器。 - 請求項27に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、それぞれ、スイッチ、インダクタ、及び前記複数のプラズマ処理ステーションに結合されるように構成された複数の出力を含み、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の出力経路のうちの前記対応する1つの前記インダクタと前記複数の出力のうちの対応する1つとの間の地点に結合される、電力分配器。 - 請求項27に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、及び第2のインダクタを含み、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合される、電力分配器。 - 請求項30に記載の電力分配器であって、
前記複数の高周波数RF経路は、それぞれ、コンデンサを含む、電力分配器。 - 請求項31に記載の電力分配器であって、
前記複数の高周波数RF経路のそれぞれの前記コンデンサは、前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つの前記第2のインダクタに結合される、電力分配器。 - 請求項27に記載の電力分配器であって、
前記低周波数修正RF信号は、低周波数整合回路網から受信され、前記高周波数修正RF信号は、高周波数整合回路網から受信される、電力分配器。 - 請求項27に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、インダクタ又はダミー負荷に結合されるように構成されたスイッチを含む、電力分配器。 - 電力分配器であって、
低周波数修正無線周波数(RF)信号を受信して複数の低周波数RF信号を出力するように構成された複数の低周波数経路と、
高周波数修正RF信号を受信して複数の高周波数RF信号を出力するように構成された複数の高周波数経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つに結合される複数の高周波数経路と、
複数のプラズマ処理ステーションに複数の結合信号を出力するために、前記複数の低周波数RF信号と前記複数の高周波数RF信号とを組み合わせるように構成された複数の出力経路であって、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つに、及び前記複数の高周波数経路のうちの対応する1つに結合され、複数の出力を有する複数の出力経路と、
複数の分流インダクタであって、それぞれ、前記複数の低周波数経路の入力と前記複数の出力経路の前記複数の出力うちの対応する1つとの間に結合されて、前記複数のプラズマ処理ステーションのうちの対応する1つに提供される電流の量を制御する複数の分流インダクタと、
を備える電力分配器。 - 請求項35に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、第1のインダクタと、高周波数ブロック回路の第2のインダクタとを含み、
前記第1のインダクタは、地点において前記高周波数ブロック回路の前記第2のインダクタに結合され、
前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の低周波数経路のうちの対応する1つの前記地点に、及び接地接続に結合される、電力分配器。 - 請求項35に記載の電力分配器であって、
前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、第2のインダクタ、及び地点を含み、前記地点は、前記コンデンサと前記第1のインダクタとの間にあり、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合され、前記地点は、可変コンデンサに、及び前記複数の分流インダクタのうちの対応する1つに結合される、電力分配器。 - 請求項35に記載の電力分配器であって、さらに、
入力であって、前記複数の低周波数経路は、前記低周波数修正RF信号を受信するために前記入力に結合され、前記複数の低周波数経路は、それぞれ、コンデンサ、第1のインダクタ、及び第2のインダクタを含み、前記コンデンサは、前記第1のインダクタに結合され、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタに結合される入力と、
複数の地点であって、それぞれ、前記入力と前記複数の低周波数経路のうちの前記対応する1つの前記コンデンサとの間にあり、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の地点の対応する1つに結合される複数の地点と、
を備える電力分配器。 - 請求項35に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、それぞれ、スイッチ、インダクタ、及び前記インダクタと前記スイッチとの間の地点を含み、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の出力経路のうちの対応する1つの前記地点に結合される、電力分配器。 - 請求項35に記載の電力分配器であって、
前記複数の出力経路は、それぞれ、スイッチ及びインダクタを含み、前記複数の分流インダクタは、それぞれ、前記複数の出力経路のうちの前記対応する1つの前記インダクタと前記複数の出力経路の前記複数の出力のうちの前記対応する1つとの間の地点に結合される、電力分配器。
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