JP2018022594A - インクジェット装置、有機ｅｌ素子の製造装置、及び有機ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インク吐出面の傷の発生を抑制しつつ、インク吐出面に付着した不要なインクを除去することができるインクジェット装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド３０１と、クリーニング部４００と、移動部２３０とを有するインクジェット装置１０００である。インクジェットヘッド３０１は、内部に保持された液状体を加圧して、複数のノズル３０３０の吐出口３０３１が列状に配された吐出面３０１ａから吐出する。クリーニング部４００は、連泡の空隙を複数有する空隙体からなるローラ４１０と、ローラ４１０を回転可能に支持する支持部材４２０とを有する。移動部２３０は、ローラ４１０と吐出面３０１ａとが接触した状態で、ローラ４１０の回転軸４２１が吐出面３０１ａに平行な方向に相対的に移動するように、これらの少なくとも一方を移動させる。そして、ローラ４１０は、吐出面３０１ａの相対的な移動に伴って連れ回りする方向に回転する。【選択図】図４

Description

本開示は、インクジェット装置に関し、特に、有機ＥＬ素子の製造に用いられるインクジェット装置及び有機ＥＬ素子の製造方法に関する。

近年、表示装置として基板上に有機ＥＬ素子を配設した有機ＥＬ表示パネルが普及しつつある。有機ＥＬ表示パネルは、自己発光を行う有機ＥＬ素子を利用するため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。
有機ＥＬ素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機ＥＬ表示パネルでは、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。

このような有機ＥＬ表示パネルとして、有機ＥＬ素子の有機発光層をインクジェット方式等のウエットプロセス（塗布工程）で形成したものが知られている（例えば、特許文献１）。インクジェット方式では、基板上の隔壁層に行列状に設けられた開口部（有機発光層形成領域に対応する。）に対してインクジェットヘッドを走査させる。そして、インクジェットヘッドが備える複数のノズルの吐出口から、各開口部に対し有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出させる。

このとき、インクジェットヘッドのインク吐出面において吐出口の周囲に不要なインクが付着することがある。このような不要なインクが吐出口の周囲に付着すると、インクの出射方向が曲げられインクの着弾位置が狙った位置からずれたり、所望の量とは異なる量のインクが吐出されたりといったインクの不正吐出が発生する原因となる。また、インクが付着したまま放置されると、やがて付着したインクが乾燥して吐出口を詰まらせ、インクが全く吐出されないインクの不吐出が発生する原因となる。このような不正吐出や不吐出が発生したノズル（以下、「不吐出ノズル」という。）がインクジェットヘッドに存在すると、インクが全く塗布されない開口部や、インク塗布量が他の開口部とは著しく異なる開口部が生じることとなる。その結果、表示画像に抜けや色の濃さが著しく異なる部分が発生して画質不良が生じることとなる。

そのため、不吐出ノズルが生じると、インクの吐出を中断して、インクジェットヘッド内部のインクを加圧（パージ）してインクを吐出口から押し出し、詰まりを除去する必要がある。
しかし、パージしてインクを吐出させると、インクが吐出口から勢いよく吐出されるためインクが吐出口の周囲に濡れ広がり、加圧後のインクジェットヘッドの吐出面は、吐出口の周辺に広くインクが付着し濡れ広がった状態となる。このままインクの吐出を再開すると、吐出口の周囲に付着したインクによりインクの不正吐出や不吐出が誘発されることとなる。そこで、特許文献２には、洗浄液塗布ユニット、ワイピングユニット、液体吸収ユニット、及び吸引ユニットを有するクリーニングユニットにより、吐出口の周囲に付着したインクを除去する構成が開示されている。

特開２００６−２２３９５４号公報 特開２００５−１３２７号公報

特許文献２のように、インクジェットヘッドのインク吐出面をゴムブレード等のワイパで擦ると、インク吐出面に微細な傷が生じる。近年、インク吐出面に不要なインクが付着しにくくするために、インク吐出面に撥液性の樹脂被膜が形成されている場合があるが、樹脂被膜は比較的やわらかいために、より傷がつきやすい。微細な傷が生じると、そこにインクが付着しやすくなるため、上述の問題がより発生しやすくなる。

本開示は上記の問題点に鑑みてなされたもので、インクジェットヘッドのインク吐出面の傷の発生を抑制しつつ、インク吐出面に付着した不要なインクを除去可能なインクジェット装置、有機ＥＬ素子の製造装置、及び有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。

本開示の一態様であるインクジェット装置は、内部に保持された液状体を加圧して、複数のノズルの吐出口が列状に配された吐出面から吐出するインクジェットヘッドと、連泡の空隙を複数有する空隙体からなるローラと、前記ローラを回転可能に支持する支持部材とを有するクリーニング部と、前記ローラと前記吐出面とが接触した状態で、前記ローラの回転軸が前記吐出面に平行な方向に相対的に移動するように、前記ローラ及び前記インクジェットヘッドの少なくとも一方を移動させる移動部とを有し、前記ローラは、前記吐出面の相対的な移動に伴って連れ回りする方向に回転することを特徴とする。

本開示の一態様に係るインクジェット装置においては、ローラと吐出面とが接触した状態で、ローラが吐出面に沿った方向に相対的に移動する。ローラは、連泡の空隙を複数有するので、空隙がスポンジのような機能を果たし、吐出面に付着した不要なインクを拭取ることができる。また、ローラは、吐出面の相対的な移動に伴って連れ回りする方向に回転するため、ローラと吐出面との擦れを抑制することができる。

実施形態に係るインクジェット装置の主要構成を示す図である。 実施形態に係るインクジェット装置の機能ブロック図である。 実施形態に係るインクジェット装置のインクジェットヘッドにおけるノズルの概略構成を示す一部拡大断面図である。 実施形態に係るインクジェット装置におけるインクジェットヘッドの拭き取り作業の手順を示す図であって、（ａ）は、インクジェットヘッドの吐出面とローラとが接触する前の状態を示す模式側面図であり、（ｂ）は、吐出面とローラとが接触した状態を示す模式側面図であり、（ｃ）は、拭き取り作業途中の状態を示す模式側面図である。 本開示の実施形態に係る表示装置の構成を示す模式ブロック図である。 表示装置における表示パネルの構成を示す模式断面図である。 表示パネルの製造過程の一部を示す模式断面図である。（ａ）は、基板にＴＦＴ層及び給電電極が形成された状態を示す模式断面図である。（ｂ）は、その上に絶縁層が形成された状態を示す模式断面図である。（ｃ）は、その上に画素電極及び正孔注入層が形成された状態を示す模式断面図である。（ｄ）は、その上に隔壁層が形成された状態を示す模式断面図である。（ｅ）は、隔壁層で規定された領域に正孔輸送層用インクの液滴が吐出されている状態を示す模式断面図である。 （ａ）は、正孔輸送層が形成された状態を示す模式断面図である。（ｂ）は、隔壁層で規定された領域に、正孔輸送層の上から有機発光層用インクの液滴が吐出されている状態を示す模式断面図である。（ｃ）は、有機発光層が形成された状態を示す模式断面図である。（ｄ）は、その上に、電子輸送層、電子注入層、及び対向電極が形成された状態を示す模式断面図である。 変形例に係るローラ及び支持部材の一部を示す模式斜視図である。 変形例に係るインクジェット装置の機能ブロック図である。

≪本開示の一態様の概要≫
本開示の一態様に係るインクジェット装置は、内部に保持された液状体を加圧して、複数のノズルの吐出口が列状に配された吐出面から吐出するインクジェットヘッドと、連泡の空隙を複数有する空隙体からなるローラと、前記ローラを回転可能に支持する支持部材とを有するクリーニング部と、前記ローラと前記吐出面とが接触した状態で、前記ローラの回転軸が前記吐出面に平行な方向に相対的に移動するように、前記ローラ及び前記インクジェットヘッドの少なくとも一方を移動させる移動部とを有し、前記ローラは、前記吐出面の相対的な移動に伴って連れ回りする方向に回転することを特徴とする。

また、本開示の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記ローラは、前記移動部による移動の際に、前記吐出面に対し押圧されていてもよい。
また、本開示の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記空隙の直径は、前記ノズルの吐出口の直径よりも小さくてもよい。
また、本開示の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記ローラは、外周面を含む外側部分と、前記外側部分の回転軸側に連設された内側部分とからなり、前記内側部分における空隙の直径は、前記外側部分における空隙の直径よりも小さくてもよい。

また、本開示の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記液状体は、有機化合物を含み、前記ローラは、前記有機化合物を溶解させる溶媒に対する耐性を有する樹脂からなり、前記有機化合物を溶解させる溶媒及び界面活性剤の少なくとも一方を含む湿潤液を複数の前記空隙の一部に保持していてもよい。
また、本開示の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記支持部材は、前記ローラの回転軸である軸部分を有し、
前記軸部分は、中空であって、前記ローラに覆われている被覆領域に、前記軸部分の内部空間と前記ローラの内側部分における空隙とを連通させる貫通孔を複数有し、
前記軸部分の内部空間を減圧する減圧部を有してもよい。

本開示の別の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造装置は、陽極と陰極との間に、有機発光層を含む機能層を複数有する有機ＥＬ素子の製造装置であって、前記液状体は、前記機能層を形成するための機能性材料を含み、上記各態様に係るインクジェット装置を有することを特徴とする。
本開示のさらに別の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、機能性物質が溶媒に溶解されてなる液状体を下地基板上に吐出し、溶媒を乾燥させて前記機能性物質の薄膜を形成する工程を含み、前記液状体の吐出を、上記各態様に係るインクジェット装置により行うことを特徴とする。

≪実施形態≫
先ず、本実施形態の液滴吐出方法が用いられるインクジェット装置について説明する。
なお、各図面における部材の縮尺は必ずしも実際のものと同じであるとは限らない。また、本願において、数値範囲を示す際に用いる符号「〜」は、その両端の数値を含む。また、本実施形態で記載している、材料、数値等は好ましいものを例示しているだけであり、それに限定されることはない。また、本開示の技術的思想の範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。また、他の実施形態との構成の一部同士の組み合わせは、矛盾が生じない範囲で可能である。

（１．インクジェット装置）
図１は、実施形態に係るインクジェット装置１０００の主要構成を示す図である。図２は、インクジェット装置１０００の機能ブロック図である。
図１，２に示すように、インクジェット装置１０００は、インクジェットテーブル２００、ヘッド部３００、制御装置１５（図１では、不図示）で構成される。インクジェットテーブル２００には、固定ステージＳＴに固定された塗布対象基板対してヘッド部３００を移動させるための移動部２３０が含まれる。移動部２３０は、リニアモータ２０４及び２０５、サーボモータ２２１、制御部２１３を有する。

図２に示すように、制御装置１５は、ＣＰＵ１５０、記憶手段１５１（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む）、表示手段（ディスプレイ）１５３、入力手段１５２で構成される。当該制御装置１５は具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。記憶手段１５１には、制御装置１５に接続されたインクジェットテーブル２００、ヘッド部３００を駆動するための制御プログラム等が格納されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、ＣＰＵ１５０が入力手段１５２を通じてオペレータにより入力された指示と、前記記憶手段１５１に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。

（２．インクジェットテーブル）
図１に示すように、インクジェットテーブル２００はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上をガントリー部（移動架台）が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
具体的構成として、板状の基台２０１には、その上面の四隅に柱状のスタンド２０２Ａ、２０２Ｂ、２０３Ａ、２０３Ｂが配設されている。これらのスタンド２０２Ａ、２０２Ｂ、２０３Ａ、２０３Ｂに囲まれた内側領域には、塗布対象となる基板を載置するための固定ステージＳＴと、塗布直前にインクを吐出させることにより吐出特性を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰがそれぞれ配設されている。

また、スタンド２０２Ａ、２０２Ｂ、２０３Ａ、２０３Ｂには、基台２０１の長手（Ｙ）方向に沿って、ガイドシャフト２０４Ａ、２０４Ｂが平行軸支されている。ガイドシャフト２０４Ａ、２０４Ｂにはリニアモータ２０５、２０６が挿通されており、リニアモータ２０５、２０６に対してガイドシャフト２０４Ａ、２０４Ｂを架け渡すように、ガントリー部２１０が搭載されている。この構成により、インクジェット装置１０００の駆動時において、一対のリニアモータ２０５、２０６が駆動されることで、ガントリー部２１０がガイドシャフト２０４Ａ、２０４Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿ってスライド自在に往復運動する。

ガントリー部２１０には、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２２０が配設される。移動体２２０にはサーボモータ（移動体モータ）２２１が配設され、各モータの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って形成されたガイド溝２１１に嵌合される。ガイド溝２１１の内部にはそれぞれ長手方向に沿って微細なラックが形成されている。ギヤはラックと噛合しているので、サーボモータ２２１が駆動すると、移動体２２０はいわゆるピニオンラック機構によって、Ｘ軸方向に沿って往復自在に精密に移動する。

ここで、移動体２２０にはヘッド部３００が装備されるので、移動体２２０をガントリー部２１０に対して固定した状態でガントリー部２１０をガイドシャフト２０４Ａ、２０４Ｂの長手方向に沿って移動させることによって、また、ガントリー部２１０を停止させた状態で移動体２２０をガントリー部２１０の長手方向に沿って移動させることによって、塗布対象基板に対してヘッド部３００を走査させることができる。ヘッド部３００の主走査方向は行（Ｙ軸）方向であり、副走査方向は列（Ｘ軸）方向である。

なお、リニアモータ２０５，２０６、サーボモータ２２１はそれぞれ直接駆動を制御するための制御部２１３に接続され、当該制御部２１３は制御装置１５内のＣＰＵ１５０に接続されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだＣＰＵ１５０により、制御部２１３を介してリニアモータ２０５，２０６、サーボモータ２２１の各駆動が制御される（図２参照）。

（３．インクジェットヘッド）
ヘッド部３００は公知のピエゾ方式を採用し、インクジェットヘッド３０１及び本体部３０２で構成されている。インクジェットヘッド３０１は本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本体部３０２はサーボモータ３０４（図２参照）を内蔵しており、サーボモータ３０４を回転させることにより、インクジェットヘッド３０１の長手方向と固定ステージＳＴのＸ軸とのなす角度が調節される。また、サーボモータ３０４は、インクジェットヘッド３０１を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる。

図３は、インクジェットヘッド３０１のノズル３０３０の概略構成を示す断面図である。図３に示すように、インクジェットヘッド３０１は、液滴Ｄが吐出される複数の吐出口３０３１を有するノズルプレート３０１ｉと、複数の吐出口３０３１がそれぞれ連通するキャビティ３０１ｅを区画する隔壁３０１ｄと、各キャビティ３０１ｅに対応する駆動手段としてのピエゾ素子３０１０を有する振動板３０１ｈとが、順に積層され接合された構造となっている。

ピエゾ素子３０１０は、一対の電極３０１１，３０１２によりピエゾ素子本体部３０１３が挟まれてなる圧電素子である。外部から一対の電極３０１１，３０１２に駆動電圧パルス（駆動信号）が印加されることにより、接合された振動板３０１ｈを変形させる。これにより隔壁３０１ｄで仕切られたキャビティ３０１ｅの体積が減少し、キャビティ３０１ｅに充填されたインクを加圧して、吐出口３０３１から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板３０１ｈは元に戻り、キャビティ３０１ｅの体積が復元することにより、インクが不図示のリザーバからキャビティ３０１ｅに吸引される。ピエゾ素子３０１０に印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル３０３０から吐出されるインクの量や吐出タイミング等の吐出制御を行うことができる。

なお、図３において、破線で囲んで示す部分がひとつのノズル３０３０である。すなわち、キャビティ３０１ｅおよびキャビティ３０１ｅを形成している隔壁３０１ｄ、振動板３０１ｈ、ノズルプレート３０１ｉ、並びに、ピエゾ素子３０１０、吐出口３０３１によりノズル３０３０が構成される。
インクジェットヘッド３０１は固定ステージＳＴに対向する面（吐出面）に複数のノズル３０３０を備えており、これらのノズル３０３０はインクジェットヘッド３０１の長手方向に沿って列状に配置されている。インクジェットヘッド３０１に供給されたインク（液状体）は、各ノズル３０３０から液滴として塗布対象基板に対して吐出される。

上述したように、各ノズル３０３０における液滴の吐出動作は、各ノズル３０３０が備えるピエゾ素子（圧電素子）３０１０に与えられる駆動電圧によって制御される。吐出制御部３０３は、各ピエゾ素子３０１０に与える駆動信号を制御することにより、各ノズル３０３０からそれぞれ液滴吐出を行わせる。具体的には、図２に示すように、ＣＰＵ１５０が所定の制御プログラムを記憶手段１５１から読み出し、吐出制御部３０３に対して、所定の電圧を対象のピエゾ素子３０１０に印加するように指示する。

（４．クリーニング部）
図１に示すように、インクジェット装置１０００は、クリーニング部４００を備える。クリーニング部４００は、円柱状のローラ４１０、ローラ４１０を回転可能に支持する支持部材４２０、及び支持部材４２０が固定されるベース４３０を有する。支持部材４２０は、ローラ４１０の回転軸である軸部分４２１と、軸部分４２１の両端に連設され、軸部分４２１及びローラ４１０をベース４３０に対して支持する支柱部分４２２とからなる。ベース４３０は、基台２０１に固定されている。即ち、ローラ４１０及び支持部材４２０は、ベース４３０を介して基台２０１に固定されている。軸部分４２１は、ローラを吐出面に接触させたときにたわんで吐出面との接触が不均一にならない程度の強度が必要である。機械的な強度を考慮すると、軸部分４２１の直径は、例えば、１〜２ｃｍ程度であり、ローラ４１０の厚みは、例えば、２〜４ｃｍ程度が妥当である。

ローラ４１０の長さ（軸方向の長さ）は、インクジェットヘッド３０１の幅に合わせて適宜決定することができるが、例えば、１０〜３０ｃｍ程度が妥当である。
ローラは長くすることも可能であるが、長くすればするほどたわみが発生しやすく、吐出面への均一な接触を実現することができなくなる。そこで、ヘッドが長い場合には、ヘッドの長さに合わせて一本のローラにするのではなく、ヘッドの長さより短いローラを複数用いることが好ましい。

（４−１．ローラ）
ローラ４１０は、円柱状であって、空隙体からなる。本実施形態においては、空隙体は、内部に無数の空隙を有する樹脂である。空隙の一部は、ローラ４１０の外周面に露出し、開口となっている。空隙の直径は、ノズル３０３０の吐出口３０３１の直径よりも小さい。具体的には、例えば、１２μｍ以下であり、より好ましくは、１０μｍ以下である。

また、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、ローラ４１０は、外周面を含む外側部分４１１と、外側部分の軸部分４２１側に連設され、軸部分４２１の外周面を覆うように被着されている内側部分４１２とからなる。内側部分４１２における空隙の直径は、外側部分４１１における空隙の直径よりも小さい。外側部分の空隙の直径に対して、内側部分の空隙の直径は５０％〜８０％程度であれば効果が期待できる。具体的には、例えば、外側部分４１１の空隙の直径が１０〜１２μｍであれば、内側部分４１２の空隙の直径は、５〜８μｍ程度である。しかし、これらの具体的な数値に限定されるものではない。

本実施形態に係る空隙体は、以下のような方法により製造することができる。水に不溶の空隙体の本体となる樹脂、水溶性有機化合物、及び水溶性高分子材料をある種の体積比で混合し、均一に混合した混合体を得る。続いて、混合体を水と接触させ、混合体から水溶性有機化合物及び水溶性高分子材料を抽出して除去する。これにより、混合体のうち除去された水溶性有機化合物及び水溶性高分子材料が存在していた部分が空隙となり、残った樹脂部分が、複数の空隙を有する空隙体となる。なお、複数の空隙は、それぞれ独立したものではなく、複数の空隙が互いに連なった連泡である。なお、複数の空隙の一部が独立したものであってもよい。

（水溶性有機化合物）
水溶性有機化合物としては、具体的には、例えば、尿素、チオ尿素、ジシアノジアミド、マンニット、フルクトース、グルコース等の糖類、マンニトール、ペンタエリスリトール、アクリノール、アコニット酸、アコン酸、アセチル安息香酸、アセチルチオ尿素、アセチレンカルボン酸、アセチアミドフェノール、アトロピン硫酸塩、アニス酸、アニリン塩酸塩、アミノアセトアニリド、アミノ安息香酸、アミノ吉草酸、アミノケイ皮酸、アミノ酪酸、アラニン、アルサニル酸、アルブチン、アレカイジン、アロキサン酸、安息香酸ナトリウム、アントラニル酸、イサチン、イサチン＝オキシム、イソカンホロン酸、イソ糖酸、イソニコチン酸、イソニコチン酸ヒドラジド、イソバレルアミド、イソフタロニトリル、イソプロテレノール塩酸塩、イタコン酸、インダゾール、ウラシル、エチルアミン臭化水素酸塩、エピカテキン、エフェドリン塩酸塩、エメチン塩酸塩、エルゴノビン、オイキサンチン酸、オキサニル酸、オキサロ酢酸、オキシニ酢酸、オピアン酸、オレイン酸カリウム、カテキン、カフェイン、カルバミド酸アンモニウム、カルボノヒドラジド、カルミン酸、ギ酸カリウム、ギ酸ナトリウム、キナ酸、キヌクリジン、キノリノール、キノロン、キンヒドロン、グアニジン炭酸塩、グリオキシム、グリコシアミジン、グリコシアミン、グリシン、グルタコン酸、クロコン酸、クロロ安息香酸、クロロフマール酸、クロロプロマジン塩酸塩、コウジ酸、コカイン塩酸塩、コデイン＝リン酸塩、コハク酸、酢酸亜鉛、酢酸カリウム、酢酸ナトリウム、酢酸鉛、サリシン、サルコシン、シアニジン＝クロリド、シアヌル酸トリメチル、ジアルル酸、ジエチルアミン塩酸塩、シクロバルビタール、シチシン、などを列挙することができる。

（水溶性高分子材料）
水溶性高分子材料には、水溶性有機化合物とともに水或いは温水によって容易に抽出、除去することができるものを使用することができる。水溶性高分子材料としては、具体的には、例えば、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコール共重合体、ポリアミンサルホン、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテル及びポリアリルアミン等が挙げられる。水溶性高分子材料としては、水溶性が高く、水溶性有機化合物の抽出、除去を促進する作用に優れるポリエチレングリコールが特に好ましい。

（空隙体本体を構成する樹脂）
空隙体本体として使用する樹脂としては、水に不溶の樹脂であれば問題なく使用することができる。具体的に例示するならが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、などの熱可塑樹脂、ならびにエポキシ樹脂、ポリイミドなどの熱硬化樹脂などを挙げることができる。これらの樹脂は、使用環境や拭き取る塗膜に使用される溶剤の種類によって適宜選択して使用することが可能である。比較的容易に空隙体を作製でき、かつ有機溶剤等への耐性を考慮すればポリエチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂を好ましく使用することができる。

空隙体本体として使用する樹脂は、１５〜３５体積％とすることが好ましい。即ち、混合体全量に対して水溶性有機化合物と水溶性高分子材料の合計量は６５〜８５体積％とすることが好ましい。これらの比率は、本体樹脂の機械的強度に依存し決定される。本体に使用する樹脂が多すぎると、空隙部となる水溶性有機化合物と水溶性高分子材料が、十分に抽出、除去できない場合があり、逆に水溶性有機化合物と水溶性高分子材料が多い場合は、本体の十分な機械的強度を得ることが困難になる場合がある。

水に不溶の樹脂、水溶性有機化合物及び水溶性高分子材料の量比を上記の好ましい範囲とすれば、水溶性有機化合物及び水溶性高分子材料は、容易に、且つ十分に抽出、除去される。その結果、空隙の直径が１５μｍ以下、特に１０μｍ以下、更には５μｍ以下であって、微細な連通孔を有する均質な空隙体を得ることができる。
なお、外側部分４１１から内側部分４１２に向かって、必ずしも連続的に空隙の直径が小さくなっている構成に限られない。例えば、互いに空隙の直径が異なる外側部分４１１と内側部分４１２の２層構造であってもよい。

２層構造の場合、内側部分４１２を形成した後に、内側部分４１２よりも空隙の直径が大きくなるように形成した外側部分４１１を、内側部分４１２の外側に積層形成することによりローラ４１０を形成してもよい。
或いは、円筒状の外側部分４１１を形成した後に、外側部分４１１よりも空隙の直径が小さくなるように形成した内側部分４１２を、外側部分４１１の筒内に嵌め込むことによりローラ４１０を形成してもよい。

本実施形態に係るローラ４１０の空隙の一部には、クリーニングに使用するのに先立って、予め湿潤液が含浸されている。即ち、ローラ４１０の空隙の一部には、湿潤液が保持されている。ここで、湿潤液とは、インクジェットヘッド３０１から吐出されるインクの溶質である有機化合物を溶解させる溶媒であるか、又は、界面活性剤であるか、或いは、両方を含むものである。ローラ４１０の空隙の内部が空気で満たされている場合、その中にインクが入り込みにくい。そこで、空隙の一部に湿潤液を含浸させることにより、空隙内にインクが取り込まれやすくする効果がある。

なお、湿潤液として用いる溶媒としては、例えば、インクジェットヘッド３０１から実際に吐出するインクの溶媒を用いることができる。界面活性剤としては、クリーニングするインクの溶質および溶剤種に応じて選択することができる。容易に使用できるという観点から界面活性剤のイオン性は、ノニオン性が好ましい。また選択する場合の指針としては、ＨＬＢ値（Ｈｙｄｒｏｐｈｉｌｅ−Ｌｉｐｏｐｈｉｌｅ Ｂａｌａｎｃｅ：親水親油バランス）などを適宜利用することができる。具体的な材料としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシアルキレン誘導体、脂肪酸ソルビタンエステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、アルキルアルカノールアミド、アルキルイミダゾリン等を用いることができる。

以上の構成を有するインクジェット装置１０００を用い、インクジェット方式による塗布工程を行う。
次に、本実施形態の液滴吐出方法において行われるインクの拭き取り作業について説明する。
（４．インクジェットヘッドの拭き取り作業）
図４は、本実施形態に係る液滴吐出方法における拭き取り作業の手順を示す図である。図４（ａ）は、拭き取り作業開始前の状態を模式的に示す側面図である。図４（ｂ）は、ローラ４１０とインクジェットヘッド３０１のインク吐出面（以下、単に「吐出面」と称する。）３０１ａとが接触した状態を模式的に示す側面図である。図４（ｃ）は、拭き取り作業が行われている状態を模式的に示す側面図である。

なお、図４（ａ）〜（ｃ）では、軸部分４２１については断面で示している。
先ず、図４（ａ）に示すように、インクジェットヘッド３０１の吐出面３０１ａの吐出方向側にローラ４１０が位置するように、インクジェットヘッド３０１を移動させる。このとき、ローラ４１０の軸方向と、インクジェットヘッド３０１の短手方向とが一致する態様でインクジェットヘッド３０１とローラ４１０とを対向配置させる。インクジェットヘッド３０１の移動は、移動部２３０（図２参照）により行われる。

次に、インクジェットヘッド３０１の吐出面３０１ａをローラ４１０に近づく方向（この場合は、鉛直下方）に移動させて、図４（ｂ）に示すように、吐出面３０１ａをローラ４１０に接触させる。このとき、ローラ４１０の外周面を吐出面３０１ａが軽く押圧する程度に接触させる。
そして、吐出面３０１ａとローラ４１０とが接触した状態で、インクジェットヘッド３０１を図４（ｂ）、（ｃ）に示す白抜き矢印の方向に移動させる。すると、吐出面３０１ａの不要な付着インク１０が、ローラ４１０の空隙に取り込まれ、吐出面３０１ａから除去される。

またこのとき、ローラ４１０は、支持部材４２０により回転自在に支持されているので、インクジェットヘッド３０１の移動（吐出面３０１ａの移動）に伴って連れ回り（従動回転）する。（以下、インクジェットヘッド３０１の吐出面３０１ａ相対的な移動に伴ってローラ４１０が連れ回りする方向を、「順方向」と称する。）吐出面３０１ａの移動方向に対して順方向に回転する。ローラ４１０が吐出面３０１ａに対し順方向に回転するため、ローラ４１０の外周面が吐出面３０１ａを擦ることがない。従って、吐出面３０１ａに傷を付けることなく、吐出面３０１ａの付着インク１０を除去することができる。

なお、本実施形態においては、吐出面３０１ａの移動とローラ４１０の回転とが完全には一致していらず、多少のスリップや擦れが生じてもよい。
また、ローラ４１０が吐出面３０１ａに対して若干押圧されていることにより、ローラ４１０の吐出面３０１ａに押し付けられている部分の空隙は押し潰された状態になっている。そして、ローラ４１０の回転に伴って押しつぶされていた部分が吐出面３０１ａから離間すると空隙が復元し、その際に復元した空隙内に付着インク１０が効率よく取り込まれ、除去される。ローラ４１０が吐出面３０１ａに対して押圧されていることによる、ローラ４１０の変形率は、ローラ４１０の空隙体本体を構成する樹脂材料にもよるが、例えば、１〜１０％程度であり、好ましくは、３〜５％程度である。

さらに、ローラ４１０の空隙の直径は、インクジェットヘッド３０１のノズル３０３０の吐出口３０３１の直径よりも小さい。これにより、ローラ４１０の外周面に露出した空隙が吐出口３０３１に接触した場合に、ノズル３０３０内から必要以上のインクが吸い出されることを防止することができる。例えば、ローラの外周面に露出している空隙の直径が吐出口３０３１の直径よりも大きい場合、空隙の体積がその分大きくなり、吐出口から空隙内へと吸い出されるインクの量も多くなる。必要以上の量のインクが吸い出されると、ノズル３０３０のキャビティ３０１ｅ内に気泡が取り込まれる場合がある。キャビティ３０１ｅ内に気泡が存在すると、ピエゾ素子３０１０でキャビティ３０１ｅ内のノズル内インク４０に圧力を印加しても、気泡により圧力が吸収されて、吐出口３０３１からインク液滴が正常に吐出されなくなる。

本実施形態に係るローラ４１０の空隙の直径は、インクジェットヘッド３０１のノズル３０３０の吐出口３０３１の直径よりも小さいため、上記のようなインク液滴が正常に吐出されなくなる事態の発生を抑制することができる。
そして、本実施形態に係るローラ４１０では、外側部分４１１の空隙の直径よりも、内側部分４１２の空隙の直径の方が小さい。これにより、ローラ４１０の空隙は連泡であるので、吐出面３０１ａから除去されて外側部分４１１の空隙内に取り込まれたインクが、毛細管力により、内側部分４１２の空隙内へと移動しやすくなる。インクが外側部分４１１の空隙から内側部分４１２の空隙へと移動すると、外側部分４１１の空隙が空の状態になり、再びインクを取り込むことができるようになる。このように、外側部分４１１の空隙の直径よりも、内側部分４１２の空隙の直径の方が小さく構成されていることにより、外側部分４１１の空隙がインクで飽和状態になって吐出面３０１ａの付着インクを除去する能力が低下するのを抑制することができる。

なお、ローラ４１０の全ての空隙の直径が、吐出口３０３１の直径よりも小さい場合に限定されない。ローラ４１０の空隙の一部の直径が、吐出口３０３１の直径以上であってもよい。ただし、吐出口３０３１の直径以上の空隙の割合は、できるだけ少ない方がよく、例えば、空隙全体の２０％以下、より好ましくは１０％以下であるのがよい。即ち、吐出口３０３１の直径よりも直径が小さい空隙の割合は、ローラ４１０の空隙全体の８０％以上、より好ましくは９０％以上であるのがよい。

また、本実施形態においては、ローラ４１０は移動せずに、インクジェットヘッド３０１が移動する場合について説明したが、これに限られない。吐出面３０１ａの付着インク拭き取りの際に、インクジェットヘッド３０１を移動させずに、ローラ４１０を移動させてもよい。その場合、移動部は、ローラ４１０又はクリーニング部４００全体をインクジェットヘッド３０１に対して移動させる。或いは、インクジェットヘッド３０１とローラ４１０の両方を移動させてもよい。即ち、吐出面３０１ａとローラ４１０とが接触した状態で吐出面３０１ａに対してローラ４１０が相対的に移動する構成であれば、何れを移動させてもよい。

続いて、上記のインクジェット装置１０００を用いて製造される有機ＥＬ表示パネル（以下、単に「表示パネル」と称する。）１００の構成および製造方法、並びに表示パネル１００を含む表示装置１の構成について説明する。
（７．表示装置の全体構成）
本開示の実施形態に係る液滴吐出方法を含む製造方法により製造された有機ＥＬ素子を含む表示装置１の構成について図５を用い説明する。

図５に示すように、表示装置１は、表示パネル１００と、これに接続された駆動制御部２０とを有し構成されている。表示パネル１００は、有機材料の電界発光現象を利用したパネルであり、複数の有機ＥＬ素子が、例えば、マトリクス状に配列され構成されている。駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。
なお、実際の表示装置１では、表示パネル１００に対する駆動制御部２０の配置については、これに限られない。

（８．表示パネルの構成）
表示パネル１００の構成について、図６を用い説明する。
図６は、表示パネル１００の構成の一部の断面図である。表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。
図６に示すように、表示パネル１００は、基板１０１をベースとして形成されている。そして、基板１０１上には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）層１０２および給電電極（配線部）１０３が形成されており、その上を覆うように層間絶縁膜１０４が積層形成されている。

絶縁層である層間絶縁膜１０４上には、画素電極１０６が形成されており、その上を覆うように正孔注入層１０９が積層形成されている。
正孔注入層１０９の上には、有機発光層１１１の形成領域となる複数の開口部１１７（図４参照）が形成された隔壁層１０７が設けられている。開口部１１７の内部には、正孔輸送層１１０および有機発光層１１１が順次積層形成されている。

そして、有機発光層１１１および隔壁層１０７の上に、電子輸送層１１２、電子注入層１１３、対向電極１１４、封止層１１８が順次積層されている。
＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１０１は表示パネル１００における背面基板であり、その表面には、表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層１０２が形成されている。ＴＦＴ層１０２には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための配線部である給電電極１０３が含まれるが、本実施形態においては、説明をわかりやすくするために、別の符号を付して説明する。また、本実施形態においては、給電電極１０３は、モリブデン（Ｍｏ）を用いて形成されている。

＜層間絶縁膜＞
層間絶縁膜１０４は、ＴＦＴ層１０２および給電電極１０３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール（コンタクト部）１０５は、給電電極１０３と画素電極１０６とを電気的に接続するために設けられ、層間絶縁膜１０４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール１０５は、列方向に配列されている開口部１１７（図４参照）の間に位置するように形成されており、隔壁層１０７により覆われた構成となっている。コンタクトホール１０５が隔壁層１０７により覆われていない場合には、コンタクトホール１０５の存在により、有機発光層１１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。

＜画素電極＞
画素電極１０６は陽極であり、開口部１１７に形成される一の有機発光層１１１毎に形成されている。表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極１０６の材料としては光反射性材料が選択されている。光反射性材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）を主成分とする金属から構成された金属膜とニッケル（Ｎｉ）膜との積層膜である。

＜正孔注入層＞
正孔注入層１０９は、画素電極１０６から有機発光層１１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
＜隔壁層＞
隔壁層１０７は、有機発光層１１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインク（液状体）が互いに混入することを防止する機能を果たす。

コンタクトホール１０５の上方を覆うように設けられている隔壁層１０７は、全体的にはＸＺ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール１０５に対応する位置では、隔壁層材料が収縮して落ち込んだ形状となっている。
＜正孔輸送層＞
正孔輸送層１１０は、画素電極１０６から注入された正孔を有機発光層１１１へ輸送する機能を有する。

＜有機発光層＞
有機発光層１１１は、キャリア（ホールと電子）の再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成され、開口部１１７内に形成されている。また、有機ＥＬ素子を用いた表示パネルでは、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。

なお、各開口部１１７に形成される有機発光層１１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
＜電子輸送層＞
電子輸送層１１２は、対向電極１１４から注入された電子を有機発光層１１１へ輸送する機能を有する。

＜電子注入層＞
電子注入層１１３は、対向電極１１４から有機発光層１１１への電子の注入を促進させる機能を有する。
＜対向電極＞
対向電極１１４は陰極である。表示パネル１００はトップエミッション型であるため、対向電極１１４の材料としては光透過性材料が選択されている。

＜封止層＞
対向電極１１４の上には、有機発光層１１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられている。表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。

＜その他＞
なお、図６には図示しないが、封止層１１８の上にカラーフィルターや上部基板を載置し、接合してもよい。上部基板の載置・接合により、水分および空気などから、有機層（正孔輸送層１１０、有機発光層１１１、電子輸送層１１２）の保護が図られる。
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。

基板１０１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
層間絶縁膜１０４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極１０６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、アルミニウム合金、Ｍｏ（モリブデン）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＭｏＷ（モリブデンとタングステンの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
なお、画素電極１０６の表面には公知の透明導電膜を設けてもよい。透明導電膜の材料としては、例えば酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）を用いることができる。

隔壁層１０７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１１：オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
正孔注入層１０９：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）、ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１１２： ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）、リンオキサイド誘導体、トリアゾール誘導体、トジアジン誘導体、シロール誘導体、ジメシチルボロン誘導体、トリアリールボロン誘導体
電子注入層１１３：リチウム、バリウム、カルシウム、カリウム、セシウム、ナトリウム、ルビジウム等の低仕事関数金属、及びフッ化リチウム等の低仕事関数金属塩、酸化バリウム等の低仕事関数金属酸化物
対向電極１１４：ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）
以上、表示パネル１００の構成等について説明した。次に、表示パネル１００の製造方法を例示する。

（９．表示パネルの製造方法）
ここで、実施形態に係る表示パネル１００の製造方法について図７（ａ）〜（ｅ）および図８（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。なお、図７（ａ）〜（ｅ），図８（ａ）〜（ｄ）は、表示パネル１００の製造過程を模式的に示す一部拡大断面図である。
まず、ＴＦＴ層１０２及び給電電極１０３が形成された基板１０１を準備する（図７（ａ））。

その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層１０２及び給電電極１０３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の層間絶縁膜１０４を形成する。このとき、コンタクトホール１０５を列方向に隣接する各開口部１１７の間の位置に合わせて形成する（図７（ｂ））。このとき、所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、層間絶縁膜１０４とコンタクトホール１０５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール１０５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に層間絶縁膜１０４を形成した後、所定の位置の層間絶縁膜１０４を除去して、コンタクトホール１０５を形成することもできる。

続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極１０６を、給電電極１０３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。つづいて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層１０９を形成する（図７（ｃ））。
次に、隔壁層１０７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層１０９上に一様に塗布する。この上に、開口部１１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１１７が規定されるとともに、表面が少なくとも撥水性の隔壁層１０７が完成する（図７（ｄ））。

なお、隔壁層１０７の形成工程においては、さらに、開口部１１７に塗布するインクに対する隔壁層１０７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層１０７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
次に、正孔輸送層１１０を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクを各インクジェットヘッド３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１１７に対応するノズル３０３０から、正孔輸送層用インクよりなる液滴１８を吐出する（図７（ｅ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１１０が形成される（図８（ａ））。

次に、有機発光層１１１を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。このインクをインクジェットヘッド３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１１７に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクよりなる液滴１９を吐出する（図８（ｂ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１１が形成される（図８（ｃ））。

次に、有機発光層１１１の表面に、電子輸送層１１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１１２が形成される。つづいて、電子注入層１１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより対向電極１１４が形成される（図８（ｄ））。

なお、図示しないが、対向電極１１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
以上の工程を経ることにより表示パネル１００が完成する。そして、図７（ｅ）及び図８（ｂ）に示すインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０からインク液滴を吐出する工程の前後に、図４（ａ）〜（ｃ）に示す付着インクの拭き取り除去作業を行う。

（１０．まとめ）
本実施形態のインクジェット装置によると、インクジェットヘッド３０１の吐出面３０１ａに、空隙体からなり回転可能に支持されたローラ４１０を接触させた状態で、吐出面３０１ａに対してローラ４１０を相対的に移動させる。そしてこのとき、ローラ４１０が吐出面３０１ａの移動方向に対して順方向に回転する。これにより、ローラ４１０の外周面が吐出面３０１ａを擦って吐出面３０１ａに傷が付くのを抑制しつつ、吐出面３０１ａに付着した不要なインクを除去することができる。

また、ローラ４１０の空隙の直径は、インクジェットヘッド３０１のノズル３０３０の吐出口３０３１の直径よりも小さいので、吐出口３０３１から必要以上に過剰な量のインクがローラ４１０の空隙内に吸い出されるのを抑制することができる。その結果、キャビティ３０１ｅ内に気泡が取り込まれて吐出不良が発生するのを抑制することができる。
そして、ローラ４１０の外側部分４１１の空隙の直径よりも、内側部分４１２の空隙の直径の方が小さいため、外側部分４１１の空隙内に取り込まれたインクが、毛細管力によって内側部分４１２の空隙へと移動しやすい。インクが外側部分４１１の空隙から内側部分４１２の空隙に移動すると、外側部分４１１の空隙が空になり、再びインクを取り込むことができるようになる。これにより、ローラ４１０が吐出面３０１ａから付着インクを除去する能力の低下を抑制することができる。また、何れはローラ４１０の空隙のほぼ全てがインクで満たされることになり、その場合は、ローラ４１０を交換することとなる。外側部分４１１の空隙の直径よりも、内側部分４１２の空隙の直径の方が小さいことにより、ローラ４１０の外周面近傍の空隙がインクで飽和されるまでの時間を延ばして、ローラ４１０の交換頻度を低下させることができる。

本実施形態に係るクリーニング部４００を有するインクジェット装置１０００は、不吐出ノズルの発生を防止して、有機機能層の塗布が正常に行われた有機ＥＬ素子を提供することができる。また、そのような有機ＥＬ素子を備え、抜けや色の濃さが著しく異なる部分の無い、良好な画質を備えた有機ＥＬ表示パネルおよび、そのような有機ＥＬ表示パネルを備えた有機ＥＬ表示装置を提供することができる。

［変形例］
以上、本開示の具体的な構成について、実施形態を例に説明したが、本開示は実施形態の構成に限られない。例えば、以下のような変形例が考えられる。
（１）
図９は、変形例１に係るローラ４１０と軸部分１４２１の一部を示す模式斜視図である。図１０は、変形例１に係るインクジェット装置２０００の機能ブロック図である。

図９に示すように、軸部分１４２１は、内部空間１４２１ａを有する中空の筒状の部材である。そして、軸部分１４２１のローラ４１０で覆われている部分である被覆領域１４２１ｂには、軸部分１４２１の内部空間１４２１ａと外部とを連通させる貫通孔１４２１ｃが複数設けられている。即ち、内部空間１４２１ａとローラ４１０の空隙とは、貫通孔１４２１ｃによって連通されている。

図１０に示すように、変形例１に係るインクジェット装置２０００は、減圧部１４４０を有する。そして、減圧部１４４０により、内部空間１４２１ａが減圧される。これにより、ローラ４１０の空隙内に取り込まれたインクが、貫通孔１４２１ｃを介して内部空間１４２１ａへと吸引される。ローラ４１０の空隙は連泡なので、吸引により、ローラ４１０の空隙内に取り込まれたインクが、中心側（軸部分１４２１側）へと吸い出されて移動する。その結果、ローラ４１０の外周面側の空隙が空になり、吐出面３０１ａの付着インク１０を取り込むことができる。このように、本変形例の構成によると、使用につれてローラ４１０の空隙の大部分が取り込まれたインクで飽和することによるインク除去能力の低下をより効率的に抑制することができる。

また、実施形態の場合、使用するにつれて、いずれ空隙の大部分がインクで飽和して、それ以上吐出面３０１ａから付着インクを除去することができなくなり、ローラ４１０を交換する必要がある。変形例１の構成によると、ローラ４１０の空隙の大部分がインクで飽和する前に、減圧部１４４０によりインクを吸引して、ローラを交換することなくローラのインク除去能力を回復させることができる。

本変形例の場合、ローラ４１０の経時劣化の際には、ローラ４１０を交換する必要がある。また、例えば、吐出面３０１ａから取り除かれた微小なゴミや固化したインクが、使用されるにつれて蓄積し、所謂目詰まりを引き起こして吸引の効果が低下する場合や、ローラ４１０のインク除去能力が低下する場合が考えられる。そのような場合にも、ローラ４１０の交換が必要となる。

なお、本変形例の場合、ローラ４１０の空隙の大きさは、外側部分４１１と内側部分４１２とで異なっていなくてもよい。
また、減圧部１４４０は、ベース４３０（図１参照）内に配置されてもよい。
（２）
実施形態及び変形例１では、ローラ４１０は駆動手段を有しておらず、吐出面３０１ａの移動に伴って従動回転する構成であった。しかし、これに限られず、ローラ４１０を回転駆動させる駆動部を有していてもよい。駆動部によってローラ４１０を回転させる場合であっても、吐出面３０１ａの移動方向に対して順方向に回転させるのがよい。この場合、吐出面３０１ａとローラ４１０の外周面が擦れないように、インクジェットヘッド３０１の移動速度とローラ４１０の回転速度とが一致するようにローラ４１０を回転駆動するのが好ましい。しかし、ローラ４１０の回転速度がインクジェットヘッド３０１の移動速度よりも若干速い又は遅くてもよい。この場合、ローラ４１０の外周面が吐出面３０１ａを若干擦ることになるが、例えば、吐出面３０１ａに固化したインクが吐出面３０１ａに固着している場合など、多少擦ることによって固着した固化インクを除去することができる。

（３）図６には図示していないが、対向電極１１４の上方に、各有機発光層１１１の位置に合わせて、各々の色に対応するカラーフィルターが配設されていてもよい。カラーフィルターは、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応する波長の可視光を透過させるために設けられる透明層である。
カラーフィルターは、具体的には、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたカラーフィルター形成用の基板に対し、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクを塗布する工程により形成される。本開示は、このカラーフィルターを形成する際の塗布工程にも適用することが可能である。

なお、カラーフィルター材料としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製のカラーレジスト等を用いることができる。
（４）図６において、基板１０１上にＴＦＴ層１０２〜対向電極１１４の各層が積層形成されてなる構成を示した。本開示においては、各層のうちの何れかの層を欠いている、もしくは、例えば透明導電層などの他の層をさらに含む構成とすることもできる。

（５）上記実施形態において、リニアモータ２０５，２０６、サーボモータ２２１はそれぞれガントリー部２１０、移動体２２０の移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。
（６）上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本開示はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を移動させてもよい。

（７）実施形態においては、ローラ４１０の軸方向がインクジェットヘッド３０１の短手方向と一致する向きでローラ４１０と吐出面３０１ａとを接触させ、インクジェットヘッド３０１の長手方向にローラ４１０を相対的に移動させたが、これに限られない。例えば、インクジェットヘッドの長手方向とローラ４１０の軸とが一致する向きでローラ４１０と吐出面３０１ａとを接触させ、インクジェットヘッド３０１の短手方向にローラ４１０を相対的に移動させてもよい。さらには、インクジェットヘッド３０１の長手方向に対して斜めにローラ４１０を相対的に移動させてもよい。

本開示のインクジェット装置等は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ表示パネルの製造方等に好適に利用可能である。

１ 表示装置
１００ 表示パネル
２３０ 移動部
３０１ インクジェットヘッド
３０１ａ 吐出面
４００ クリーニング部
４１０ ローラ
４１１ 外側部分
４１２ 内側部分
４２０ 支持部材
４２１、１４２１ 軸部分（回転軸）
１０００、２０００ インクジェット装置
１４２１ａ 内部空間
１４２１ｂ 被覆領域
１４２１ｃ 貫通孔
１４４０ 減圧部
３０３０ ノズル
３０３１ 吐出口

Claims (8)

1. 内部に保持された液状体を加圧して、複数のノズルの吐出口が列状に配された吐出面から吐出するインクジェットヘッドと、
   連泡の空隙を複数有する空隙体からなるローラと、前記ローラを回転可能に支持する支持部材とを有するクリーニング部と、
   前記ローラと前記吐出面とが接触した状態で、前記ローラの回転軸が前記吐出面に平行な方向に相対的に移動するように、前記ローラ及び前記インクジェットヘッドの少なくとも一方を移動させる移動部とを有し、
   前記ローラは、前記吐出面の相対的な移動に伴って連れ回りする方向に回転する
   インクジェット装置。
2. 前記ローラは、前記移動部による移動の際に、前記吐出面に対し押圧されている
   請求項１に記載のインクジェット装置。
3. 前記空隙の直径は、前記ノズルの吐出口の直径よりも小さい
   請求項１又は２に記載のインクジェット装置。
4. 前記ローラは、外周面を含む外側部分と、前記外側部分の回転軸側に連設された内側部分とからなり、前記内側部分における空隙の直径は、前記外側部分における空隙の直径よりも小さい
   請求項１から３の何れか１項に記載のインクジェット装置。
5. 前記液状体は、有機化合物を含み、
   前記ローラは、前記有機化合物を溶解させる溶媒に対する耐性を有する樹脂からなり、前記有機化合物を溶解させる溶媒及び界面活性剤の少なくとも一方を含む湿潤液を複数の前記空隙の一部に保持している
   請求項１から４の何れか１項に記載のインクジェット装置。
6. 前記支持部材は、前記ローラの回転軸である軸部分を有し、
   前記軸部分は、中空であって、前記ローラに覆われている被覆領域に、前記軸部分の内部空間と前記ローラの内側部分における空隙とを連通させる貫通孔を複数有し、
   前記軸部分の内部空間を減圧する減圧部を有する
   請求項１から５の何れか１項に記載のインクジェット装置。
7. 陽極と陰極との間に、有機発光層を含む機能層を複数有する有機ＥＬ素子の製造装置であって、
   前記液状体は、前記機能層を形成するための機能性材料を含み、
   請求項１から６の何れか１項に記載のインクジェット装置を有する
   有機ＥＬ素子の製造装置。
8. 機能性物質が溶媒に溶解されてなる液状体を下地基板上に吐出し、溶媒を乾燥させて前記機能性物質の薄膜を形成する工程を含み、
   前記液状体の吐出を、請求項１から６の何れか１項に記載のインクジェット装置により行う
   有機ＥＬ素子の製造方法。

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