JP2018014764A - 撮像装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】撮影時のタイムラグがない高画質な静止画像を提供する。【解決手段】撮像装置1は、光電変換部と電荷蓄積部とリセット部と信号検出部とを有する画素が行列状に配置された固体撮像装置10と、開閉に応じて露光と遮光とを切り替えるメカシャッタ30と、メカシャッタ30の開閉を切り替える信号処理部20とを備え、メカシャッタ30が開状態で、光電変換部に電荷が電荷蓄積部に移動可能な第1電圧を印加する第1工程と、光電変換部に電荷が電荷蓄積部に移動不可な第2電圧を印加する第2工程と、画素から信号を読み出す第3工程と、電荷蓄積部をリセットする第4工程と、光電変換部に電荷が電荷蓄積部に移動可能な第3電圧を印加する第5工程と、光電変換部に電荷が電荷蓄積部に移動不可である第4電圧を印加する第6工程と、画素から信号を読み出す第7工程と、メカシャッタ30が閉状態で、電荷蓄積部をリセットする第8工程と、をこの順に行う。【選択図】図5

Description

本発明は、撮像装置及びその駆動方法に関する。
イメージセンサなどの固体撮像装置を用いたデジタルカメラで静止画を撮影する場合には、露光量を調整するためにメカシャッタが必要であり、固体撮像装置の画素部をオールリセットした後、メカシャッタを閉じるまでが露光時間となる。
図10は、特許文献1に開示された従来の固体撮像素子の構造断面図である。同図に開示された固体撮像素子900は、多数の画素902R、902G及び902Bを有する。各画素は、半導体基板901上方に形成された特定の波長域の光を吸収してこれに応じた電荷を発生する光電変換膜903と、光電変換膜903下方の半導体基板901内に形成された光電変換素子904とを含む。特許文献1には、さらに、上記構成の固体撮像素子900を備えるデジタルカメラが開示されている。上記デジタルカメラは、光電変換素子904の露光条件を決定する露光条件決定手段と、当該露光条件での撮像において各画素に含まれる光電変換膜903からの信号に飽和レベルを超えるものが存在しないように、光電変換膜903に印加する電圧を調整する印加電圧調整手段とを備える。印加電圧調整手段で調整された電圧が光電変換膜903に印加された状態で、上記露光条件に基づいた撮像が行われる。
特開2009−49525号公報
しかしながら、特許文献1に開示された従来の固体撮像素子にメカシャッタを組み合わせると、1回の撮像動作に対して複数回のメカシャッタ動作が必要であり、物理的なタイムラグが発生する。この状態で動的な物体を撮影した場合は、被写体のブレや歪みが発生し、高速撮影を実現できないという課題を有する。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、撮影時のタイムラグがない高画質な静止画像を撮像できる撮像装置及びその駆動方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る撮像装置は、入射光を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷を蓄積する電荷蓄積部と、前記電荷蓄積部に蓄積された前記電荷をリセットするリセット部と、前記電荷に対応する信号を読み出す信号検出部と、を有する画素が基板上に行列状に配置された固体撮像装置と、開閉に応じて前記画素に対して露光と遮光とを切り替えるメカシャッタと、前記メカシャッタの開閉を切り替える制御部と、を備え、前記メカシャッタが開の状態で、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動可能である第1電圧を印加する第1工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動不可である第2電圧を印加する第2工程と、前記画素から信号を読み出す第3工程と、前記電荷蓄積部をリセットする第4工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動可能である第3電圧を印加する第5工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動不可である第4電圧を印加する第6工程と、前記画素から信号を読み出す第7工程と、前記メカシャッタが閉の状態で、前記電荷蓄積部をリセットする第8工程と、をこの順に行うことを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る撮像装置は、入射光を信号電荷に光電変換する光電変換部と前記光電変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット部とを有する画素が基板上に行列状に配置された固体撮像装置と、全ての前記画素に対して、一斉に遮光及び露光を行わせるためのメカシャッタと、前記メカシャッタの開閉、前記光電変換部への電圧印加、及び、前記リセット部によるリセットのタイミングを制御するタイミング制御部とを備え、前記タイミング制御部は、画像をモニタするモードから静止画を撮影するモードへと切り替える場合には、前記メカシャッタを閉状態にして、前記光電変換部で発生した電荷を移動不可とする電圧を前記光電変換部に印加することにより、全ての前記画素に蓄積された電荷をリセットし、複数の静止画を連続撮影する場合には、(1)前記メカシャッタを開状態にして、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧を前記光電変換部に印加することにより第1の露光を実行し、前記メカシャッタが開状態のままで、前記光電変換部で発生した電荷を移動不可とする電圧を前記光電変換部に印加することにより、前記第1の露光を終了し前記画素から画素信号を読み出して第1の静止画を取得するとともに、全ての前記画素に蓄積された電荷を前記リセット部にリセットさせ、(2)前記メカシャッタが開状態のままで、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧を前記光電変換部に印加することにより第2の露光を実行し、前記メカシャッタが開状態のままで、前記光電変換部で発生した電荷を移動不可とする電圧を前記光電変換部に印加することにより、前記第2の露光を終了し前記画素からの画素信号を読み出して第2の静止画を取得することを特徴とする。
この構成によれば、静止画連写をするにあたり、メカシャッタ開閉と光電変換部への電圧印加とが連動制御されることにより、複数回のメカシャッタ動作が不要となる。よって、物理的なタイムラグが軽減し、動的な物体を撮影した場合は、被写体のブレや歪みが軽減し、高速撮影を実現できる。さらに、また、メカシャッタの開閉回数が軽減できるので、メカシャッタの物理的な寿命が延びる。
また、前記第1の露光が実行される第1露光期間の長さと前記第2の露光が実行される第2露光期間の長さとは異なってもよい。
また、前記タイミング制御部は、前記メカシャッタが開状態のままでn回連続撮影し、露光期間の長さがそれぞれ異なるn(nは2以上の自然数)枚の前記静止画を取得し、当該n枚の静止画を画像合成して、m(mは自然数でn≧m)枚の静止画を生成してもよい。
これにより、露光時間の異なる2枚以上の画像データを合成して、明るい所から暗い所までを表現できる高ダイナミックレンジの画像を作り出すことができる。
また、前記第1の露光が実行される場合に前記光電変換部に印加される、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧値と、前記第2の露光が実行される場合に前記光電変換部に印加される、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧値とは異なってもよい。
また、前記タイミング制御部は、前記メカシャッタが開状態のままでn回連続撮影し、露光中に前記光電変換部に印加される電圧値がそれぞれ異なるn(nは2以上の自然数)枚の前記静止画を取得し、当該n枚の静止画を画像合成して、m(mは自然数でn≧m)枚の静止画を生成してもよい。
これにより、露光時間制御の不均一性が発生しない状態で、複数枚の静止画像を撮影することが可能となる。よって、これらの静止画像を合成することにより、高ダイナミックレンジな静止画像の生成が可能となる。
また、前記第1の露光が実行される場合に前記光電変換部に印加される、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧値、または、前記第2の露光が実行される場合に前記光電変換部に印加される、前記光電変換部で発生した電荷を移動可能とする電圧値は、前記画素から映像信号の黒レベルが前記画素信号として出力される値であってもよい。
また、前記タイミング制御部は、前記黒レベルの画像を基準に、当該黒レベルの画像以外の画像を信号処理してもよい。
また、前記タイミング制御部は、前記黒レベルの画像のデータと外部から提供される基準画像のデータとを前記画素ごとを差分し、当該差分の値が一定値を超えている画素を欠陥画素と判断し、前記黒レベルの画像以外の画像において前記欠陥画素と同位置の画素をキズ補正してもよい。
これにより、通常露光画像に対して黒レベル画像を用いて黒レベルをクランプすることにより、黒レベル補正が可能となる。よって、高画質な静止画の提供が可能となると共に、有効画素部と黒レベル検出部とを同位置にすることが可能となるので、固体撮像装置の小型化及び高精度な黒レベル補正を実現できる。
また、さらに、フォーカスレンズと、前記画素信号のデータを記録するメモリとを備え、前記タイミング制御部は、さらに、前記フォーカスレンズの焦点距離を制御し、複数の静止画を連続撮影する場合には、前記フォーカスレンズの前記焦点距離を変化させながら、前記第1の静止画及び前記第2の静止画を取得して、前記第1の静止画及び前記第2の静止画のデータを前記メモリに格納してもよい。
これにより、フォーカスレンズを動かしながら、1回のメカシャッタ動作で複数枚の異なる静止画撮影が可能となる。つまり、フォーカス焦点位置が異なる複数枚の静止画撮影が可能となる。よって、これらの静止画撮影をメモリに記録することにより、最適なフォーカス焦点になっている静止画像を、撮影後に選択することが可能となる。
なお、本発明は、このような特徴的な手段を備える撮像装置として実現することができるだけでなく、撮像装置に含まれる特徴的な手段をステップとする撮像装置の駆動方法として実現することができる。
本発明に係る撮像装置及びその駆動方法によれば、静止画連写をするにあたり、メカシャッタ開閉と光電変換部への電圧印加とが連動制御されることにより、複数回のメカシャッタ動作が不要となる。よって、物理的なタイムラグが軽減し、被写体のブレや歪みが軽減された高精度な高速撮影を実現できる。
図1は、第1の実施形態に係る撮像装置のブロック構成図である。 図2は、第1の実施形態に係る固体撮像装置の単位セルの構造断面図である。 図3は、一般的な撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。 図4は、第1の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。 図5は、第2の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。 図6は、第3の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。 図7Aは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の基準黒レベル画像図である。 図7Bは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の黒レベル画像図である。 図7Cは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の通常露光画像図である。 図7Dは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の補正画像図である。 図8は、第4の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。 図9は、第4の実施形態に係る固体撮像装置の画像図である。 図10は、特許文献1に開示された従来の固体撮像素子の構造断面図である。
以下、図面を参照しながら、各実施形態に係る固体撮像装置、撮像装置について説明する。なお、本発明について、以下の実施形態及び添付の図面を用いて説明を行うが、これは例示を目的としており、本発明がこれらに限定されることを意図しない。
(第1の実施形態)
まず、図1を用いて、本発明の第1の実施形態に係る撮像装置の構成を説明する。
図1は、第1の実施形態に係る撮像装置のブロック構成図である。同図に示された撮像装置1は、固体撮像装置10と、信号処理部20と、メカシャッタ30と、フォーカスレンズ40と、メモリ50とを備える。
固体撮像装置10は、入射光を信号電荷に光電変換する光電変換部と当該光電変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット部とを有する画素が、基板上に行列状に配置されている。
被写体90を撮影すると、フォーカスレンズ40とメカシャッタ30とを通過した光の信号が、固体撮像装置10で画像信号11になり、信号処理部20で信号処理されて、映像信号21が出力される。信号処理には必要に応じて、メモリ50が用いられる。信号処理部20は、固体撮像装置10の光電変換膜に印加される光電変換膜印加電圧22を供給及び制御する。また、信号処理部20は、メカシャッタ30を制御するメカシャッタ制御信号23と、フォーカスレンズ40を制御するフォーカスレンズ制御信号24とを、光電変換膜印加電圧22と連動させて制御する。つまり、信号処理部20は、メカシャッタ30の開閉、光電変換部への電圧印加、及び、画素リセットのタイミングを制御するタイミング制御部である。なお、連動制御の詳細については、後述する。
次に、図2を用いて、固体撮像装置10の断面構造の詳細を説明する。
図2は、第1の実施形態に係る固体撮像装置の単位セルの構造断面図である。図2より、半導体基板101に増幅トランジスタ、選択トランジスタ及びリセットトランジスタが形成されている。増幅トランジスタは、ゲート電極105と、ドレインである拡散層109及びソースである拡散層110とを有している。選択トランジスタは、ゲート電極106と、ドレインである拡散層110及びソースである拡散層110とを有している。増幅トランジスタのソースと選択トランジスタのドレインとは、共通の拡散層110である。リセットトランジスタは、ゲート電極107と、ドレインである拡散層113及びソースである拡散層112とを有するリセット部である。拡散層109と拡散層112とは素子分離領域102により分離されている。半導体基板101の上には、各トランジスタを覆うように絶縁膜103が形成されている。
また、絶縁膜103の上には光電変換部が形成されている。光電変換部は、アモルファスシリコン等からなる光電変換膜114と、光電変換膜114の下面に形成された単位セル電極115と、光電変換膜114の上面に形成された透明電極108とを有している。単位セル電極115は、コンタクト104を介して増幅トランジスタのゲート電極105及びリセットトランジスタのソースである拡散層112と接続されている。ゲート電極107と接続された拡散層112は、蓄積ダイオードとして機能する。
固体撮像装置10は、入射光を信号電荷に光電変換する光電変換部と当該光電変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット部とを有する画素が基板上に行列状に配置されている。
固体撮像装置10に、被写体からの光が入射すると、入射光が光電変換膜114に吸収され、吸収された光量に応じたキャリアが発生し、発生したキャリアは拡散層112側に移送され、拡散層112に蓄積される。
次に、本実施形態に係る撮像装置の理解を容易とするため、一般的な撮像装置について説明する。
図3は、一般的な撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。具体的には、同図は、一般的な撮像装置で静止画を2枚連写する場合の駆動タイミングチャートである。
まず、第1モニタモード時に、静止画撮影SWが入った場合、メカシャッタを開状態のままで固体撮像装置をオールリセットする(第1リセット期間)。
次に、オールリセット完了後、メカシャッタ制御信号923によりメカシャッタが閉状態となるまでの期間(第1露光期間)が1枚目の露光時間となり、1枚目の画像信号を読み出す(第1読出し期間)。
次に、2枚目を連写する場合は、メカシャッタを開状態とし、CCDオールリセット信号924によりオールリセットを再び実行して固体撮像装置をオールリセットする(第2リセット期間)。
次に、2回目のオールリセット完了後、メカシャッタ制御信号923により2度目にメカシャッタが閉状態となるまでの期間(第2露光期間)が2枚目の露光時間となり、2枚目の画像信号を読み出す(第2読出し期間)。
次に、メカシャッタを開状態とし、CCDオールリセット信号924によりオールリセットを再び実行(第3リセット期間)した後、通常の第2モニタモードに戻る。
上記撮像動作において、メカシャッタは、露光時間を決定するために必要であり、1枚目の静止画撮影に対し、1回目のメカシャッタ動作が必要であり、2枚目の静止画撮影に対し、2回目のメカシャッタ動作が必要となる。つまり、静止画の2枚連写に対して、2回のメカシャッタ動作が必要となる。
しかしながら、高速な物体の静止画連写では、メカシャッタの動的な機構上、物理的にタイムラグが発生し、動的な物体を撮影した場合は、被写体のブレや歪みが発生する。メカシャッタの開閉回数は、メカシャッタ部の寿命にも影響する。
次に、図4を用いて、本実施形態に係る撮像装置で連写する場合を説明する。
図4は、第1の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。なお、光電変換膜印加電圧22において、光電変換膜114に発生したキャリアが移動不可能な電圧をV2とし、光電変換膜114に発生したキャリア電子またはホールが移動可能な電圧をV1とする。固体撮像装置10は、光電変換膜印加電圧22がV2に設定されることで、行単位でのフィードバックリセットにより、リセット雑音ランダムノイズに対し優れた特性を得ることができる。
まず、第1モニタモード時に、静止画撮影SWが入った場合、メカシャッタ制御信号23によりメカシャッタ30を閉状態とし、かつ、光電変換膜印加電圧22をV2にして、行単位でのフィードバックリセットを実行する(第1リセット期間)。これにより、固体撮像装置10でオールリセット動作が完了する。このオールリセット動作によりランダムノイズ等の雑音を、高精度に低減させることが、以降に説明する複数枚撮影時の画質改善に非常に有効となる。
なお、本実施形態においてメカシャッタ30を閉じる目的は、図3に開示された一般的な撮像装置のように、露光時間を決定するためではなく、固体撮像装置10のリセット雑音ランダムノイズを抑圧する効果を向上させるためである。
また、メカシャッタ30の開閉駆動と光電変換膜印加電圧22とを連動制御することにより、リセット雑音ランダムノイズを軽減しつつ、メカシャッタ開閉回数が軽減される。一方、メカシャッタと固体撮像装置との単純な組合せ構成では、本実施形態の効果を実現することは出来ない。
次に、オールリセット完了後、光電変換膜印加電圧22をV1にして、メカシャッタ30を開状態とし、1枚目の露光を開始する。光電変換膜印加電圧22をV2にするまでの期間が第1露光期間に相当する。
次に、光電変換膜印加電圧22をV2にした状態で、1枚目の読出しを実施する(第1読出し期間)。このとき、図3に開示された一般的な撮像装置のように、第1読出し期間にメカシャッタ30を閉開する必要はない。
次に、1枚目の読出し完了後に、2枚目の撮影のために行単位でのフィードバックリセットを実行する(第2リセット期間)。2枚目を連写する場合は、上記第2リセット期間でのオールリセット完了後、光電変換膜印加電圧22をV1にして、メカシャッタ30を開状態のままにして、2枚目の露光を開始する。光電変換膜印加電圧22をV2にするまでの第2露光期間が2枚目の露光時間となる。
次に、光電変換膜印加電圧22をV2にした状態で、2枚目の読出しを実施する(第2読出し期間)。
次に、2枚目の読出し完了後に、行単位でのフィードバックリセットを実行する(第3リセット期間)。なお、連写を終了し、第2モニタモードに戻す場合には、上記第3リセット期間でのリセット動作を実施する場合、メカシャッタ30を閉状態にして、当該リセット完了後にメカシャッタ30を開状態にした方が好ましい。
メカシャッタ30と光電変換膜印加電圧22との上記連動制御により、1回のメカシャッタ動作で静止画の2枚連写が可能となる。なお、本実施形態では、2枚連写の駆動例を説明したが、3枚以上の複数連写の場合でも1回のメカシャッタ動作で実現可能である。
また、メカシャッタ制御信号23と光電変換膜印加電圧22とを連動制御するのは、本実施形態の固体撮像装置10のホストとなる信号処理部20である。
つまり、信号処理部20は、画像をモニタするモードから静止画を撮影するモードへと切り替える場合には、(1)メカシャッタ30を閉状態にして、光電変換膜114で発生した電荷を移動不可とする電圧V2を光電変換膜114に印加する。これにより、全ての画素に蓄積された電荷をリセットする。
また、信号処理部20は、複数の静止画を連続撮影する場合には、(2)メカシャッタ30を開状態にして、光電変換膜114で発生した電荷を移動可能とする電圧V1を光電変換膜114に印加する。これにより第1の露光を実行する。そして、(3)メカシャッタ30が開状態のままで、光電変換膜114で発生した電荷を移動不可とする電圧V2を光電変換膜114に印加する。これにより第1の露光を終了し画素から画素信号を読み出して第1の静止画を取得する。そして、(4)全ての画素に蓄積された電荷をリセット部にリセットさせる。引き続き、(5)メカシャッタ30が開状態のままで、電圧V1を光電変換膜114に印加する。これにより第2の露光を実行する。そして、(6)メカシャッタ30が開状態のままで、電圧V2を光電変換膜114に印加する。これにより、第2の露光を終了し画素からの画素信号を読み出して第2の静止画を取得する。
本実施形態に係る撮像装置1によれば、静止画撮影SWが押されると、信号処理部20が、メカシャッタ制御信号23と光電変換膜印加電圧22とを、図4に示された駆動タイミングチャートのように連動制御する。これにより、固体撮像装置特有のランダムノイズの軽減が可能となり、さらに、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影が可能となる。
また、静止画連写枚数は、外部撮影者から信号処理部20に命令することにより、自由に設定可能となる。
以上、本実施形態に係る撮像装置及び固体撮像装置は、メカシャッタと光電変換膜に印加される電圧制御を連動制御することにより、複数回のメカシャッタ動作が不要となる。また、物理的なタイムラグが軽減し、動的な物体を撮影した場合は、被写体のブレや歪みが軽減し、高速撮影を実現できる。さらに、また、メカシャッタの開閉回数が軽減出来るので、メカシャッタ部の物理的な寿命が延びる。
(第1の実施形態の変形例)
さらに、静止画撮影での高ダイナミックレンジの実現について説明する。
静止画において高ダイナミックレンジが必要な場合は、例えば、部屋の中から、部屋の中と窓の外とを同時に撮影する場合などである。暗い部屋の中に露光量を合わせて撮影すると、明るい窓の外の露出は白飛びしてしまう。一方、明るい窓の外に露光量を合わせて撮影すると暗い部屋の中は暗くて写らないことがある。
そこで、図4の駆動タイミングチャートにおいて、1枚目撮影と2枚目撮影とにおいて、それぞれ、異なる露光時間を設定することにより、2枚の静止画を撮影する。具体的には、第1露光時間を長く設定して暗い部屋の中に合わせた露光量で1枚目を撮影する。次に、第2露光時間を短く設定して明るい窓の外に合わせた露光量で2枚目を撮影する。撮影した2枚の画像を固体撮像装置内、もしくは、撮像装置内で合成して、1枚の高ダイナミックレンジを有する画像を生成する。図1に示された撮像装置1では、例えば、メモリ50を用いて、信号処理部20により画像合成することが可能であるが、固体撮像装置10内に信号処理機能及びメモリ機能が搭載されている場合は、固体撮像装置10内で画像合成しても構わない。
また、1枚目撮影及び2枚目撮影の露光時間は、信号処理部20により光電変換膜印加電圧22を用いて制御される。
本実施形態に係る撮像装置における高速な物体の静止画連写では、光電変換膜印加電圧の制御とメカシャッタ開閉とを連動させることにより、複数回のメカシャッタ動作が不要となるので物理的なタイムラグが軽減する。また、動的な物体を撮影した場合は、画像合成時に被写体のブレや歪みが軽減する。
露光量の異なる2枚の画像を合成すると、動的なブレが、より顕著に輪郭部等に着色偽色を発生させてしまうことがある。これに対して、本実施形態では高速撮影が可能であるので、画像合成時に被写体のブレや歪み、輪郭部の着色偽色を、従来の構成よりも軽減することが可能である。また、メカシャッタの開閉回数も1回で済むので、メカシャッタ開閉による振動等による画像のブレ自体も軽減できる。
なお、本変形例では、簡易的に露光時間の異なる2枚の例で説明したが、高精彩なダイナミックレンジモードを実現する場合は2枚以上の異なる露光時間の静止画を撮影して画像合成することが好ましい。第1の実施形態の構成でも1回のメカシャッタ動作で2枚以上の撮影は物理的に可能であることは明らかである。つまり、信号処理部20は、メカシャッタ30が開状態のままでn回連続撮影し、露光期間の長さがそれぞれ異なるn(nは2以上の自然数)枚の静止画を取得し、当該n枚の静止画を画像合成して、m(mは自然数でn≧m)枚の静止画を生成してもよい。
また、本変形例では、1枚目撮影と2枚目撮影とにおいて、露光時間の長い第1露光期間と露光時間の短い第2露光期間という順番にしたが、長短の露光時間の順番は逆でも構わない。本実施形態の撮像装置及び固体撮像装置によれば、露光時間の異なる静止画像を複数枚撮影することが可能で、露光時間の長短に拘わらず、その順番を自由に設定できる。
例えば、図4において、第1リセット期間でメカシャッタ30を閉じる目的は、従来の固体撮像装置のように露光時間を決定するためではなく、固体撮像装置10のリセット雑音ランダムノイズを抑圧する効果を向上させるためである。この観点から、リセット雑音ランダムノイズがより顕著になる露光量の少ないフレームを先に処理した方が良い場合もある。
以上、本変形例によれば、静止画撮影SWが押されると、信号処理部20がメカシャッタ制御信号23と光電変換膜印加電圧22とを、図4の駆動タイミングチャートのように連動制御する。これにより、固体撮像装置特有のランダムノイズの軽減が可能となり、さらに1回のメカシャッタ動作で複数枚の露光時間が異なる静止画撮影が可能となる。これに対して、単なるメカシャッタと固体撮像装置との組合せ構成では、本発明の効果を実現できない。また、静止画連写枚数及び各露光時間は、外部撮影者から信号処理部20に命令することにより自由に設定可能となる。
つまり、本変形例では、メカシャッタ30の開閉と光電変換膜印加電圧22とを連動制御することにより、露光量が異なる複数枚の撮影を1回のメカシャッタ動作で実現することが可能となる。これにより、露光時間の異なる2枚以上の画像データを合成して、明るい所から暗い所までを表現できる高ダイナミックレンジの画像を作り出すことができる。言い換えれば、タイムラグの少ない複数枚撮影した静止画像を画像合成することにより、高画質で高ダイナミックレンジな静止画像の生成が可能となる。
(第2の実施形態)
以下、図面を参照しながら、第2の実施形態に係る撮像装置及び固体撮像装置の構成及び動作について、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
高ダイナミックレンジ特性を向上させるために、露光時間の異なる複数枚を撮影すると、どうしても露光時間制御の不均一性が発生する。つまり、露光時間の異なる静止画を合成する際に、被写体が動的な物体である場合、露光時間差が物体の移動量となる場合がある。これに対して、被写体を動き検出して動的な被写体位置を合わせ込むのは信号処理的に困難な場合がある。
そこで、本実施形態に係る撮像装置では、メカシャッタ開閉と光電変換膜印加電圧とを連動制御することにより、露光時間を均一にした状態で、露光量が異なる複数枚の撮影を1回のメカシャッタ動作で実現する。
つまり、露光時間が一定であれば、動的な被写体の移動量は一定となる可能性が極めて高いので、動き検出して被写体位置を合わせることが容易となる。以下、図5を用いて、第2の実施形態に係る撮像装置及び固体撮像装置の動作について説明する。
図5は、第2の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。同図に示された駆動タイミングチャートでは、基本的に1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影が可能である駆動は、第1の実施形態と変わりがない。相違点は、1枚目撮影時と2枚目撮影時との光電変換膜印加電圧22が異なる点である。具体的には、第1露光期間及び第2露光期間における光電変換膜印加電圧22を、露光量に合わせて変化させるという点である。また、1枚目撮影及び2枚目撮影の露光量変換効率は、信号処理部20において、それぞれの露光量に合わせて、光電変換膜印加電圧22を用いて決定される。
本実施形態に係る固体撮像装置は、光電変換膜印加電圧22の電圧値を変えることにより、キャリアの移動量を制御し、変換効率を制御することが可能となる。この変換効率を制御することで、露光時間を変化させずに、あたかも露光量を変えたかのような制御が可能となる。
例えば、部屋の中から、部屋の中と窓の外とを同時に撮影する場合などが想定される。暗い部屋の中に露光量を合わせて撮影すると明るい窓の外の露出は白飛びしてしまう。一方、明るい窓の外に露光量を合わせて撮影すると暗い部屋の中は暗くて写らないことがある。
本実施形態に係る撮像動作において、図5に示された1枚目撮影と2枚目撮影とで、異なる変換効率の静止画を2枚撮影する。具体的には、光電変換膜印加電圧22を、変換効率が高い状態の電圧値V1に設定して暗い部屋の中に合わせた露光量で撮影し、変換効率が低い状態の電圧値V3に設定して明るい窓の外に合わせた露光量で撮影する。撮影した2枚の画像を固体撮像装置内、もしくは、撮像装置内で合成して、1枚の高ダイナミックレンジを有する画像を生成する。
本実施形態に係る撮像装置での高速な物体の静止画連写によれば、光電変換膜印加電圧の制御とメカシャッタ動作とを連動させることにより、複数回のメカシャッタ動作が不要となり、物理的なタイムラグが軽減される。また、動的な物体を撮影した場合には、被写体のブレや歪みが軽減される。一般に、露光量の異なる2枚の画像を合成すると、動的なブレが、より顕著に輪郭部等に着色を発生させてしまうことがある。これに対して、本実施形態に係る撮像装置によれば、高速撮影が可能であるので、従来の構成よりも高画質を確保できる。さらに、メカシャッタの開閉回数も1回で済むので、メカシャッタ開閉による画像のブレ自体も軽減できる。
なお、本実施形態では、簡易的に光電変換膜の変換効率の異なる2枚の例で説明したが、高精彩なダイナミックレンジモードを実現する場合は2枚以上の光電変換膜の変換効率の異なる静止画を撮影して画像合成することが好ましい。第2の実施形態の構成でも1回のメカシャッタ動作で2枚以上の撮影は物理的に可能であることは明らかである。つまり、信号処理部20は、メカシャッタ30が開状態のままでn回連続撮影してもよい。具体的には、上記n回連続撮影の露光中に光電変換膜114に印加される電圧値がそれぞれ異なるn(nは2以上の自然数)枚の静止画を取得し、当該n枚の静止画を画像合成して、m(mは自然数でn≧m)枚の静止画を生成してもよい。
また、本実施形態では、1枚目撮影と2枚目撮影とにおいて、光電変換膜の変換効率の高い第1露光期間と光電変換膜の変換効率の低い第2露光期間という順番にしたが、当該変換効率の高低の順番は逆でも構わない。本実施形態の撮像装置及び固体撮像装置によれば、露光量変換係数の異なる静止画像を複数枚撮影することが可能で、上記変換効率の高低に拘わらず、その順番を自由に設定できる。
例えば、図5において、第1リセット期間でメカシャッタ30を閉じる目的は、従来の固体撮像装置のように露光時間を決定するためではなく、固体撮像装置10のリセット雑音ランダムノイズを抑圧する効果を向上させるためである。この観点から、リセット雑音ランダムノイズがより顕著になる上記変換効率の低いフレームを先に処理した方が良い場合もある。
また、光電変換膜印加電圧22の制御という観点から、光電変換膜印加電圧22の変動量が少ない順番の動作にした方が、高速撮影が可能となる場合も想定される。光電変換膜印加電圧22の変動が大きい場合は、固体撮像装置10の内部回路が不安定になり画質が悪化することがあるので、光電変換膜印加電圧22の変動量が少ない順番の動作にする方が望ましい。
以上、本実施形態によれば、静止画撮影SWが押されると、信号処理部20がメカシャッタ制御信号23と光電変換膜印加電圧22とを、図5の駆動タイミングチャートのように連動制御する。これにより、固体撮像装置特有のランダムノイズの軽減が可能となり、さらに1回のメカシャッタ動作で複数枚の露光量変換係数が異なる静止画撮影が可能となる。これに対して、単なるメカシャッタと固体撮像装置との組合せ構成では、本発明の効果を実現できない。また、静止画連写枚数及び各露光量変換係数は、外部撮影者から信号処理部20に命令することにより自由に設定可能となる。
つまり、本実施形態では、メカシャッタ30と光電変換膜印加電圧22とを連動制御することにより、露光時間を均一にした状態で、光電変換膜印加電圧22を制御する。これにより、光電変換膜の変換効率が異なる複数枚の撮影を1回のメカシャッタ動作で実現することが可能となる。これにより、露光時間制御の不均一性が発生しない状態で、複数枚の静止画像を撮影し、画像合成することにより、高ダイナミックレンジな静止画像の生成が可能となる。また、露光時間が一定であるので、動的被写体の速度が一定であれば、画像合成をする際に、動き検出して画像合成し、信号処理するのが非常に容易となる。
(第3の実施形態)
以下、図面を参照しながら、第3の実施形態に係る撮像装置及び固体撮像装置の構成及び動作について、上述した実施形態との相違点を中心に説明する。
まず、固体撮像装置のフォトダイオード(光電変換膜)には、構造的に光電変換が行われない暗時でも微小な暗電流が発生する。暗電流の発生によって、映像信号を適切な黒レベルに補正クランプしなければ画質の悪化は避けられない。暗電流を検出して取り除き、映像信号の黒レベルを合わせるために、光学的に遮光された領域であって通常の画素部と同様に暗電流が発生するOB(Optical Black)領域と呼ばれる領域で暗電流値を検出する。この暗電流値を、実映像で使用する有効画素部の出力から差し引くことで、映像信号の黒レベルを補正クランプする。
しかし、ばらつきを軽減させるために、OB領域の出力値を積算平均して暗電流レベルを検出するため、OB領域の面積が狭いと暗電流の計測精度が悪化する。この観点から、OB領域を狭くすることは画質劣化に繋がるが、市場要望の強い小型カメラの開発のために、固体撮像装置も小型化が要求される。よって、固体撮像装置におけるOB領域のチップ面積も課題の1つである。
さらに、暗電流の発生は温度依存性を有し、画像強調のためのゲイン乗算により暗電流値に誤差を生じることがある。このため、簡易的に過去に測定した暗電流値や、予め定めた一定値を暗電流レベルとして、実映像で使用する有効画素部の出力から差し引くという信号処理では、補正値に誤差が生じ、画像の悪化に繋がる。
また、OB領域と有効画素領域とは、物理的に異なる領域にある。このため有効画素領域が大きくなると、極僅かなチップレイアウト設計上の構造の違いや、製造上のプロセスばらつきがあった場合でも、適切な黒レベル補正が出来ずに1枚の同一画面内で黒レベルが不均一となる、いわゆる輝度シェーディングの発生という課題も発生する。
本実施形態に係る固体撮像装置及び撮像装置は、上記課題も解決するものである。以下にその詳細を説明する。
図6は、第3の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。同図より、露光時間を均一にした状態で、メカシャッタ30と光電変換膜印加電圧22とを連動制御することにより、光電変換膜の変換効率が異なる複数枚の撮影を1回のメカシャッタ動作で実現する。1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影を可能とする駆動は、第1及び第2の実施形態と同じである。相違点は、1枚目撮影時及び2枚目撮影時の光電変換膜印加電圧22である。具体的には、黒レベル期間における光電変換膜印加電圧22を黒レベルが出力可能な電圧値V4とし、通常露光期間における光電変換膜印加電圧22を通常露光が可能な電圧値V1と設定することである。つまり、V4は、画素から映像信号の黒レベルが画像信号として出力される値である。
さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、第2の実施形態と同様に、光電変換膜印加電圧22の電圧値を変えることにより、変換効率を制御することが可能となる。この変換効率を制御して、露光時間は一定で、あたかも露光量を変えたかのような制御が可能となる。
よって、本実施形態に係る固体撮像装置は、光電変換膜が電極で遮光され、さらに、光電変換膜印加電圧を制御することでキャリアの移動量をコントロールすることにより、変換効率を制御することが可能である。よって、一般的な固体撮像装置(例えば、CCDイメージセンサのOB領域)のように光学的に遮光されていなくても、映像信号の黒レベルを出力することが可能である。
以下、図1、図6、及び、図7A〜図7Dの画像図を用いて、本実施形態に係る信号処理について説明する。
図7Aは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の基準黒レベル画像図である。また、図7Bは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の黒レベル画像図である。また、図7Cは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の通常露光画像図である。また、図7Dは、第3の実施形態に係る固体撮像装置の補正画像図である。具体的には、図7Bの黒レベル画像202は、図6における光電変換膜印加電圧22をV4に設定した場合に出力される画像である。
予め、基準黒レベル画像201のデータを画素毎に固体撮像装置内、もしくは、撮像装置内に所有しておき、黒レベル画像202のデータから、基準黒レベル画像201のデータを、画素毎に差し引くことにより、キズ212を検知することが可能となる。キズの画素位置を検出することによって、図7Dに示される補正画像204のように、キズ補正214が可能となる。
一般的な撮像装置でのキズ検知では、通常、工場でのセット出荷検査時に、暗時遮光状態にしてキズ位置のアドレスが検知され、実製品として通常動作時にキズアドレスの画素がキズ補正される。しかしこの場合、セット出荷後に宇宙線の飛来等によって画素部が破壊されて発生する後発的なキズの検知及びキズ補正は不可能である。また、キズはパッケージ内を浮遊するダストによって発生することもあり、当該ダストの移動によるキズの補正は不可能である。
これに対し、本実施形態に係る固体撮像装置の場合は、第1及び第2の実施形態に記載したように、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影が可能である。これを利用して、本実施形態のように、黒レベル画像202のデータから、基準黒レベル画像201のデータを画素毎に差分することにより、常にリアルタイムでのキズ補正が可能となる。つまり、信号処理部20は、黒レベル画像202を基準に、当該黒レベル画像202以外の画像を信号処理する。
また、一般的な撮像装置のキズ検知では、上記のアドレス・キズ補正方式以外に、画面全体に一様にキズ補正をかけるダイナミック・キズ補正方式もある。しかしこの場合には、画面一様にメディアンフィルタやローパスフィルタが配置されるので、画面全体に解像度が劣化する可能性がある。
これに対し、本実施形態に係る固体撮像装置の場合は、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影が可能である。これを利用して、本実施形態のように、黒レベル画像202のデータから、基準黒レベル画像201のデータを画素毎に差分することにより、キズが検知された画素のみにキズ補正をかけるので、解像度の劣化を抑制することが可能である。これにより、画面全体の解像度が悪化することはない。つまり、信号処理部20は、黒レベル画像202のデータと通常露光画像203のデータとを画素ごとを差分し、当該差分の値が一定値を超えている画素を欠陥画素と判断し、通常露光画像203において当該欠陥画素と同位置の画素をキズ補正して、補正画像204を得る。
そして、黒レベルの出力およびキズの検出の後、被写体の露光量に合わせて、光電変換膜印加電圧22の電圧レベルを調整することで、変換効率を制御して、通常露光の撮影を実行する。黒レベル期間から通常露光期間までのタイムラグは、黒レベル画像データの読み出しのための第1読出し期間と第2リセット期間との合計のごく僅かな時間であり、高速な移動物体を撮影している場合でも問題にならない時差である。
また、全く光が入射しない暗時の状況においてもキャリアは発生する。このキャリアを取り除き、黒レベルを合わせる、いわゆるOBクランプを実行する必要がある。本実施形態の場合には、通常露光期間の画像データに対して黒レベル期間の画像データを用いてOBクランプすることが可能である。
また、一般的な固体撮像装置のOBクランプにおいては、有効画素部以外で遮光されたOBエリアがあり、その出力値を加算平均した値を用いて、有効画素部全体をOBクランプする方式がある。また、OBエリアが有効画素部の横方向に存在する場合には、ライン行単位に加算平均した値を用いてOBクランプする方式がある。しかしこれらの場合には、OBエリアが物理的に別途必要となり、また、OBエリアを小さくすることはOBクランプの精度劣化につながるため、固体撮像装置の小型化が困難であった。
これに対して、本実施形態に係る固体撮像装置は、有効画素部と同じ位置の画素をOB画素としても使用可能なので、別途遮光されたOB領域を確保する必要はないので、固体撮像装置の小型化が実現可能である。
さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、同じ位置の画素をOBクランプとして用いる。よって、物理的に異なる領域をOBクランプ領域として使用した場合に発生していたチップレイアウト設計上、及び、製造上のプロセスばらつきがあった場合のクランプ誤差も軽減可能である。黒バランスの乱れは、輝度の偏りを生み、輝度シェーディングと呼ばれる不具合になるが、本実施形態の構成では、この輝度シェーディングを抑圧する効果がある。
また、感度向上を目的として画素部の開口を広く取得するために、複数の画素を1単位として画素レイアウトをすることが一般的であるが、配線長やレイアウト起因のばらつきにより、画素単位、色単位、または、行単位で黒レベルがばらつくことがある。これに対し、本実施形態の構成では、自らの画素を自らの画素黒レベルを用いてクランプ可能なので、このばらつきも当然、軽減可能である。
以上、本実施形態によれば、静止画撮影SWが押されると、信号処理部20がメカシャッタ制御信号23と光電変換膜印加電圧22とを、図6の駆動タイミングチャートのように連動制御する。これにより、ランダムノイズの軽減が可能となり、さらに1回のメカシャッタ動作で複数枚の異なる静止画撮影が可能となる。これにより、同一画素単位でのキズ検出や黒レベル補正クランプが可能となる。これに対して、単なるメカシャッタと固体撮像装置との組合せ構成では、本発明の効果を実現できない。
また、静止画連写枚数、キズ検出及びキズ補正のON/OFF、ならびに、黒レベル補正のON/OFFは、外部撮影者から信号処理部20に命令することにより、自由に設定可能となる。
つまり、本実施形態では、メカシャッタ30と光電変換膜印加電圧22とを連動制御することにより、1回のメカシャッタ動作で黒レベル画像202及び通常露光画像203の2枚の静止画を撮影できる。そして、黒レベル画像202のデータから既存の基準黒レベル画像201のデータを画素単位で差分することにより、リアルタイムでキズ212を検知でき、キズ補正214が可能となる。さらに、通常露光画像203に対して黒レベル画像202を用いて黒レベルをクランプすることにより、黒レベル補正が可能となる。よって、高画質な静止画の提供が可能となると共に、有効画素部と黒レベル検出部とを同位置にすることが可能となるので、固体撮像装置の小型化及び高精度な黒レベル補正を実現できる。
(第4の実施形態)
以下、図面を参照しながら、第4の実施形態に係る撮像装置及び固体撮像装置の構成及び動作について、上述した実施形態との相違点を中心に説明する。
画像のピントを適合させるAF(オートフォーカス)機能のスピードは、画期的に進歩して速くなってはいる。しかし、静止画を撮影するためには、焦点フォーカスを合わせてから、メカシャッタを閉じて撮影をする必要がある。このため、シャッタチャンスを逃さないための短期間の静止画撮影で、撮影が完了してから焦点が合っていないことに気づいた場合は、もう1度撮影し直すか、諦めるしかなかった。
以上の課題をも、本実施形態に係る固体撮像装置及び撮像装置は解決するものであり、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影を可能にし、さらにそれを用いて、適切な黒レベル補正を実現することを目的とする。また、焦点フォーカスが最適な静止画像を提供する。以下、詳細を説明する。
本実施の形態に係る固体撮像装置及び撮像装置により、メカシャッタ30と光電変換膜印加電圧とを連動制御する。これにより、1回のメカシャッタ動作で、フォーカスレンズ40を、テレ(近距離)側からワイド(遠距離)側、もしくはその逆に動かしながら、複数枚を高速撮影連写することが可能となる。よって、撮影後、最適な焦点フォーカスになっている画像を選択することが可能となる。以下、図1、図8及び図9を用いて説明する。
図8は、第4の実施形態に係る撮像装置の静止画撮影における駆動タイミングチャートである。また、図9は、第3の実施形態に係る固体撮像装置の画像図である。
図1に示されたフォーカスレンズ40は、信号処理部20により制御される。図8より、静止画撮影SWが押された後、信号処理部20は、メカシャッタ30を閉じてリセットを実施する(第1リセット期間)。その後、メカシャッタ30を開き、フォーカスレンズ40を、テレ側近傍の撮影に最適な状態から、ワイド側遠方の撮影に最適な状態に移動させながら、テレ側撮影による画像信号(テレ露光期間)とワイド側撮影による画像信号(ワイド露光期間)とを得ることができる。そして、これらの画像信号をメモリ50に保存する。つまり、信号処理部20は、複数の静止画を連続撮影する場合には、フォーカスレンズ40の焦点距離を変化させながら、テレ露光期間で露光された第1の静止画及びワイド露光期間で露光された第2の静止画を取得する。そして、これらの静止画のデータをメモリ50に格納する。
なお、図8では、2枚の静止画像取得の場合を示したが、撮影枚数には制限はない。図9に、4枚の静止画像を取得した場合の画像のイメージ図を示す。同図には、テレ側画像301からワイド側画像304の順で撮影した画像が描かれており、テレ側画像301及び302では、被写体90が大きく写っているが焦点フォーカスが合っていない。一方、ワイド側画像304は、被写体90が小さく写っており、ワイド側画像303が最適な静止画像であることがわかる。撮影者は、本実施形態に係る固体撮像装置もしくは撮像装置内のメモリ50に保存されている上記4種類の静止画像から、ワイド側画像303を抽出することが可能となる。
また、本実施形態ではフォーカスレンズ40を、テレ側画像301からワイド側画像304に動作させた例を示したが、ワイド側画像304からテレ側画像301の順に動作させてもよい。
以上、本実施形態によれば、静止画撮影SWが押されると、信号処理部20がメカシャッタ制御信号23と、光電変換膜印加電圧22と、フォーカスレンズ40の位置とを、図8の駆動タイミングチャートのように連動制御する。これにより、固体撮像装置特有のランダムノイズの軽減が可能となり、さらに1回のメカシャッタ動作で複数枚の異なる静止画撮影が可能となり、フォーカス焦点位置が異なる複数枚の静止画撮影が可能となる。よって、フォーカスレンズを動かしながら撮影して、メモリに各画像を記録することにより、最適なフォーカス焦点になっている静止画像を、撮影後に選択することが可能となる。これに対して、単なるメカシャッタと固体撮像装置との組合せ構成では、本発明の効果を実現できない。また、静止画連写枚数や、AF(オートフォーカス)機能は、外部撮影者から信号処理部20に命令することによって、自由に設定可能となる。
以上、本開示の撮像装置及びその駆動方法について、実施形態に基づいて説明してきたが、本発明に係る撮像装置及びその駆動方法は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施形態や、上記実施形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本開示に係る撮像装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
なお、実施の形態1に係る撮像装置において、第1露光期間の長さと第2露光期間の長さとが同じであってもよい。また、実施の形態2に係る撮像装置において、第1露光期間及び第2露光期間における光電変換膜印加電圧の電圧値が同じであってもよい。これらの場合においても、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影、つまり連写が可能となる。
本発明では、1回のメカシャッタ動作で複数枚の静止画撮影が可能な撮像装置を実現でき、特にビデオカメラやデジタルスチルカメラ、さらには携帯電話等のモバイル機器向けカメラモジュール等に有効である。
1 撮像装置
10 固体撮像装置
11 画像信号
20 信号処理部
21 映像信号
22 光電変換膜印加電圧
23、923 メカシャッタ制御信号
24 フォーカスレンズ制御信号
25 リセットパルス
30 メカシャッタ
40 フォーカスレンズ
50 メモリ
90 被写体
101 半導体基板
102 素子分離領域
103 絶縁膜
104 コンタクト
105、106、107 ゲート電極
108 透明電極
109、110、111、112、113 拡散層
114、903 光電変換膜
115 単位セル電極
201 基準黒レベル画像
202 黒レベル画像
203 通常露光画像
204 補正画像
212 キズ
214 キズ補正
900 固体撮像素子
901 半導体基板
902B、902G、902R 画素
904 光電変換素子
924 CCDオールリセット信号

Claims (3)

  1. 入射光を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷を蓄積する電荷蓄積部と、前記電荷蓄積部に蓄積された前記電荷をリセットするリセット部と、前記電荷に対応する信号を読み出す信号検出部と、を有する画素が基板上に行列状に配置された固体撮像装置と、
    開閉に応じて前記画素に対して露光と遮光とを切り替えるメカシャッタと、
    前記メカシャッタの開閉を切り替える制御部と、
    を備え、
    前記メカシャッタが開の状態で、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動可能である第1電圧を印加する第1工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動不可である第2電圧を印加する第2工程と、前記画素から信号を読み出す第3工程と、前記電荷蓄積部をリセットする第4工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動可能である第3電圧を印加する第5工程と、前記光電変換部に、前記電荷が前記電荷蓄積部に移動不可である第4電圧を印加する第6工程と、前記画素から信号を読み出す第7工程と、前記メカシャッタが閉の状態で、前記電荷蓄積部をリセットする第8工程と、をこの順に行う、
    撮像装置。
  2. 前記第1工程の開始から前記第2工程の開始までの長さと、前記第5工程の開始から前記第6工程の開始までの長さとが異なる、
    請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記第1電圧と前記第3電圧とは異なる、
    請求項1または請求項2に記載の撮像装置。
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