JP2018006595A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
5a,5b:カセット 6:搬出入手段 7:仮置きテーブル 7a:載置面
8:洗浄手段 9:カバー 10:加工テーブル 10a:保持面
11:厚み測定手段 110:第1のリニアゲージ 111:第2のリニアゲージ
20:搬送ユニット 200:吸引源 201:第1のバルブ 202:エア供給源
203:第2のバルブ 204:エア供給源
21:吸引保持手段 22:吸引パッド 220:吸引面 23:進退軸
24:第1の昇降手段 240:第1のシリンダ 241:第1のピストン
242,243:流入口 244:ツバ部 25:移動手段
26:アーム 260:開口
27:第2の昇降手段 270:第2のシリンダ 271:第2のピストン
272,273:流入口 28:軸部
29:水平移動手段 290:旋回軸 291:モータ
30:搬送手段 31:吸引パッド 32:アーム 33:軸部
40:加工手段 41:スピンドル 42:モータ 43:ホルダ
44:スピンドルハウジング 45:マウント 46:研削ホイール 47:研削砥石
50:加工送り手段 51:ボールネジ 52:モータ 53:ガイドレール
54:昇降板
Claims (1)
- 反りを有する板状ワークを仮置きする仮置きテーブルと、板状ワークを吸引保持する加工テーブルと、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを該加工テーブルに搬送する搬送ユニットと、該搬送ユニットにより搬送され該加工テーブルが保持した板状ワークを加工する加工具を装着した加工手段と、を備える加工装置であって、
該搬送ユニットは、板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、
該吸引保持手段を移動させる移動手段と、を備え、
該吸引保持手段は、板状ワークの中央を吸引する吸引面を有する吸引パッドと、
該吸引パッドに接続され該吸引パッドを該吸引面に対し直交方向に進退させる進退軸と、
第1のシリンダと該進退軸が接続された第1のピストンとを有し該第1のシリンダ内で該第1のピストンを昇降させることにより該進退軸とともに該吸引パッドを昇降させる第1の昇降手段と、を備え、
該移動手段は、該吸引保持手段を支持するアームと、
第2のシリンダと該アームが接続された第2のピストンとを有し該第2のシリンダ内で該第2のピストンを昇降させることにより該アームを昇降させる第2の昇降手段と、
該アームを該吸引パッドの該吸引面と平行な水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、
該第1のシリンダ内を大気開放した状態で、該水平移動手段により該吸引保持手段を該仮置きテーブルの上方に移動させるとともに該第2の昇降手段により該吸引保持手段を降下させ、該仮置きテーブルにおいて反った状態で仮置きされた板状ワークの上面に該吸引パッドの該吸引面を接触させて板状ワークを吸引保持した後、該第2の昇降手段により該吸引保持手段を上昇させるとともに該水平移動手段により該加工テーブルの上方に該吸引保持手段を移動させ、該第2の昇降手段により該吸引保持手段を降下させるとともに該第1の昇降手段により該吸引パッドを降下させ該板状ワークの中央を該加工テーブルに接近する方向に押し付け板状ワークの反りを解消させて該加工テーブルで板状ワークを吸引保持し、該加工手段により板状ワークを加工する加工装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000133694A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送アーム |
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- 2016-07-04 JP JP2016132433A patent/JP6685857B2/ja active Active
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