JP2018001466A - Pasting device - Google Patents

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喜代志 安福
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直 池元
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pasting device capable of pasting at a position with high precision in the order of ±10 μm.SOLUTION: An adsorption holding part is raised in a state where position adjustment is performed at a position adjustment part 61 and also before the adsorption holding part 14 is tilted, the pasting start edge part 2c of the sheet-shaped piece 2 of the first film 1 held to the film pasting start member 62 of the adsorption holding part is made close to the second film 4, thereafter, in a state where the adsorption holding part is tilted, the pasting start edge part of the sheet-shaped piece of the first film held to the film pasting start member is contacted with the second film so as to be pressed, subsequently, while maintaining the tilting of the adsorption holding part, the adsorption holding part is moved to the pasting direction in a direction reverse to the carrying direction of the second film, and, while successively feeding the region at the back than the pasting start edge part of the sheet-shaped piece of the first film to the pasting start member, it is pasted on the second film by the film pasting start member.SELECTED DRAWING: Figure 18

Description

本発明は、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する貼合装置に関する。   The present invention relates to a laminating apparatus for pasting a film taken out from a roll film to another roll film.

従来より、ロール状に巻かれた基材上に配置された各種機能フィルムを、テンション管理しながらロール状の基材から取り出して、別のロールに貼り合わせて搬送する技術が一般的に知られている。   Conventionally, a technique is generally known in which various functional films arranged on a roll-shaped base material are taken out from the roll-type base material while being tension-controlled, and bonded to another roll for conveyance. ing.

さらに、特許文献1のように、フィルム同士を貼合する技術も一般的に知られている。例えば、図14及び図15に示すように、一定のテンション110で張られかつロール状態で供給される基材シート103に対して、厚み方向において、セパレータ101を残して機能フィルム102のみをカットするハーフカットを行う。そして、図示しない剥離ブロック上でセパレータ101のみを鋭角に送ることにより、セパレータ101から機能フィルム102のみを剥離し、機能フィルム102を、図示しない貼合台で吸着固定される。貼合台に吸着固定された機能フィルム102を貼合台で搬送しながら、機能フィルム102の位置調整を行い、機能フィルム102を貼合対象物のロールに貼り付けている。   Furthermore, like patent document 1, the technique of bonding films together is also generally known. For example, as shown in FIGS. 14 and 15, only the functional film 102 is cut in the thickness direction, leaving the separator 101, with respect to the base sheet 103 stretched with a constant tension 110 and supplied in a roll state. Perform a half cut. Then, by sending only the separator 101 at an acute angle on a peeling block (not shown), only the functional film 102 is peeled from the separator 101, and the functional film 102 is adsorbed and fixed by a bonding table (not shown). While the functional film 102 adsorbed and fixed to the bonding table is conveyed by the bonding table, the position of the functional film 102 is adjusted, and the functional film 102 is bonded to the roll of the bonding object.

特開2013−139108号公報JP 2013-139108 A

ところで、特許文献1の場合、機能フィルム102を貼合対象物のロールに貼り付けるとき、まず、機能フィルム102と貼合対象物のロールの貼り付け位置とのアライメント調整を行っている。その後、機能フィルム102を吸着保持する吸着盤の先端を傾斜させ、傾斜に伴い貼合対象物のロールの搬送方向と上下方向との位置ずれ量を、傾斜角度に応じた固定値分だけ補正する。その後、傾斜した吸着盤の先端を貼合対象物のロールに押し付けて貼り付けを行うようにしている。   By the way, in the case of patent document 1, when bonding the functional film 102 to the roll of a bonding target object, alignment adjustment with the functional film 102 and the bonding position of the roll of a bonding target object is performed first. Thereafter, the tip of the suction disk holding the functional film 102 is tilted, and the positional deviation amount between the roll conveyance direction and the vertical direction of the object to be bonded is corrected by a fixed value corresponding to the tilt angle. . Thereafter, the tip of the inclined suction disk is pressed against the roll of the object to be bonded so as to perform the bonding.

このような貼り付け動作では、一旦、アライメント調整を行って高精度の位置調整をしたにもかかわらず、その後の傾斜動作で位置ずれが発生し、しかも、その補正は固定値で行っているため、傾斜角度のばらつきにより高精度での位置調整が維持されておらず、結果として、±10μmオーダーで高精度な貼り付けができないといった問題があった。   In such a pasting operation, even though alignment adjustment is once performed and high-precision position adjustment is performed, a positional deviation occurs in the subsequent tilt operation, and the correction is performed with a fixed value. The position adjustment with high accuracy is not maintained due to the variation in the tilt angle, and as a result, there is a problem that high-precision pasting cannot be performed on the order of ± 10 μm.

従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、±10μmオーダーでの高精度な貼り付けが可能な貼合装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problem and provide a bonding apparatus capable of high-precision bonding on the order of ± 10 μm.

前記目的を達成するために、本発明の第1態様によれば、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第1フィルムを搬送する第1搬送部と、
長尺の第2フィルムを搬送する第2搬送部と、
前記第1フィルムから前記セパレータを残して前記第1フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第1フィルムの前記シート状個片と前記第2フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記第2フィルムに対して貼り付ける貼付部とを備え、
前記貼付部は、
前記貼合わせ位置にて、前記第2フィルムを吸着保持する第2フィルム吸着保持部と、
前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片と、第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムとの位置調整を行う位置調整部と、
前記吸着保持部の貼付開始側の先端に配置され、前記吸着保持部の前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持面よりも高さ方向に高い位置に前記第1フィルムの前記シート状個片の貼付開始端部を載置保持するフィルム貼付開始部材と、
第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに対して接離するように前記吸着保持部を昇降させる昇降部と、
貼付開始時に、前記吸着保持部において前記フィルム貼付開始部材が、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接触可能に前記吸着保持部を傾動させる傾動部と、
前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向に移動させる移動装置とを備え、
前記貼付部は、前記位置調整部で位置調整した状態でかつ前記傾動部で前記吸着保持部を傾動する前に前記昇降部で前記吸着保持部を上昇して、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接近させたのち、前記傾動部で前記吸着保持部を傾動させた状態で、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに押し付けるように接触させ、その後、前記傾動部での傾動を維持しつつ前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向の貼付方向に移動させて、前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記フィルム貼付開始部材に順に送りつつ、前記フィルム貼付開始部材で前記第2フィルムに貼り付ける、貼合装置を提供する。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, in the laminating apparatus for laminating films,
A first transport unit that transports a first film that is long and has a separator disposed on one surface;
A second transport unit for transporting a long second film;
A half-cut processing unit that forms a sheet-like piece by half-cutting only the first film into a predetermined size and shape, leaving the separator from the first film;
A suction holding section for sucking and holding the sheet-like pieces of the first film formed by half-cutting;
The sheet-like piece of the first film that is sucked and held by the suction holding portion by reversing the remaining portion other than the sheet-like piece of the first film formed by half-cutting and the separator with a blade. A peeling portion that peels from the separator;
In the suction holding unit, a suction operation control unit for sucking the sheet-like pieces of the first film;
Move the sheet-like piece of the first film peeled and sucked and held by the suction holding part from the peeling part to the bonding position of the sheet-like piece of the first film and the second film. A transfer mechanism section
A pasting unit for pasting the sheet-like piece of the first film sucked and held by the sucking and holding unit performing the sucking operation at the pasting position to the second film; ,
The affixing part is
A second film adsorbing and holding unit for adsorbing and holding the second film at the bonding position;
A position adjusting unit that adjusts the position of the sheet-like piece of the first film sucked and held by the suction holding unit and the second film sucked and held by the second film suction holding unit;
The first film is disposed at the tip of the suction holding part on the sticking start side and is higher in the height direction than the suction holding surface for sucking and holding the sheet-like piece of the first film of the suction holding part. A film sticking start member for placing and holding the sticking start end of the sheet-like piece; and
An elevating unit that raises and lowers the adsorption holding unit so as to come in contact with and separate from the second film adsorbed and held by the second film adsorption holding unit;
A tilting part that tilts the suction holding part so that the film sticking start member can come into contact with the second film sucked and held by the second film suction holding part in the suction holding part at the start of sticking;
A moving device that moves the suction holding unit in a direction opposite to the conveying direction of the second film;
The affixing unit raises the adsorbing / holding unit with the elevating unit in a state where the position is adjusted by the position adjusting unit and before the tilting unit tilts the adsorbing / holding unit, and After the sticking start end of the sheet-like piece of the first film held by the starting member is brought close to the second film sucked and held by the second film sucking and holding part, the tilting part With the suction holding portion tilted, the sticking start end portion of the sheet-like piece of the first film held by the film sticking start member of the suction holding portion is referred to as the second film suction holding portion. The second film held by suction is brought into contact with the second film, and then the suction holding part is moved in a sticking direction opposite to the conveying direction of the second film while maintaining the tilting of the tilting part. The A pasting device is provided in which a region behind the sticking start end of the sheet-like piece of the first film is sequentially sent to the film sticking start member, and is attached to the second film by the film sticking start member. To do.

本発明の前記第1態様によれば、位置調整部で高精度に第1フィルムのシート状個片と第2フィルムとを位置合わせしたのち、昇降部で吸着保持部を上昇させて、フィルム貼付開始部材に保持された第1フィルムのシート状個片の貼付開始端部を第2フィルムに接触させたのち、この接触を維持しつつシート状個片を吸着保持する吸着保持部を傾動部で傾動させ、その接触及び傾動状態のまま、吸着保持部を第2フィルムの搬送方向とは逆方向に移動装置で移動させて、シート状個片の貼付開始端部より後方の領域をフィルム貼付開始部材に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材で第2フィルムに貼り付けるようにしている。この結果、高精度に位置合わせした状態を維持しつつ貼り付けができるので、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となる。   According to the first aspect of the present invention, after the sheet-like piece of the first film and the second film are aligned with high accuracy by the position adjustment unit, the suction holding unit is raised by the elevating unit, and the film is applied. After the sticking start end of the sheet-like piece of the first film held by the starting member is brought into contact with the second film, the suction holding part that sucks and holds the sheet-like piece while maintaining this contact is a tilting part. While tilting and keeping the contact and tilting state, move the suction holding part in the direction opposite to the transport direction of the second film with the moving device, and start film sticking in the area behind the sticking start edge of the sheet-like piece The film is attached to the second film by the film sticking start member while sequentially feeding the members. As a result, since it can paste | paste while maintaining the state aligned with high precision, the bonding in the highly accurate position in a +/- 10micrometer order is attained.

本発明の一実施形態にかかる貼合装置の全体の斜視図The perspective view of the whole bonding apparatus concerning one Embodiment of this invention. 実施形態にかかる貼合装置で実施する貼合方法の概略工程図Schematic process drawing of the bonding method to be carried out with the bonding apparatus according to the embodiment ハーフカット後の剥離前の装置状態の説明図Explanatory drawing of the device state before peeling after half cut ハーフカットされた機能フィルムを吸着盤に吸着する説明図Explanatory drawing of adsorbing the half-cut functional film to the suction plate ハーフカットされた機能フィルムをロールから剥離する説明図Explanatory drawing to peel half-cut functional film from roll 剥離された機能フィルムにかかっている応力を表す説明図Explanatory drawing showing the stress applied to the peeled functional film 吸着を停止又は緩めることで機能フィルムにかかっている応力をリセットし、再度しっかりと吸着した状態を表した説明図An explanatory diagram showing the state where the stress applied to the functional film is reset by stopping or loosening the adsorption, and then firmly adsorbed again 吸着盤の平面図Top view of suction cup 吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図The figure explaining the area division of the suction hole of a suction disk 変形例にかかる吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図The figure explaining the area | region division of the suction hole of the suction cup concerning a modification 貼合対象物のロールテンションを調整した装置状態の説明図Explanatory drawing of the device state that adjusted the roll tension of the object to be bonded カメラで両材料のアライメントマークを認識して調整する説明図Explanatory drawing to recognize and adjust alignment marks of both materials with camera 吸着盤を上昇させて貼合対象物に貼付する説明図Explanatory drawing which raises a suction board and sticks to a pasting object ハーフカット前のロールテンションのかかった状態の説明図Explanatory drawing of the state of roll tension before half-cut ハーフカットによってシート化される事により縮む方向に応力がかかる事を表す説明図Explanatory drawing showing that stress is applied in the direction of shrinking by forming into a sheet by half-cutting 貼合された機能フィルムの状態を表している説明図であり、(a)は貼合する両方の材料が共に前工程までのテンションと応力が同じであれば位置ズレは起きない事を表す説明図であり、(b)は貼合時に発生する不明な応力が加わる事でフィルムの伸び縮みにより発生する微妙なズレを表す説明図It is explanatory drawing showing the state of the pasted functional film, and (a) is explanation explaining that a position gap does not occur if both materials to be pasted have the same tension and stress up to the previous process. It is a figure, (b) is explanatory drawing showing the delicate gap | deviation which generate | occur | produces by expansion / contraction of a film by adding the unknown stress which generate | occur | produces at the time of bonding 吸着保持部材の拡大側面図Enlarged side view of suction holding member 貼合動作のアライメント工程の説明図Explanatory drawing of alignment process of bonding operation 貼合動作の傾動工程の説明図Explanatory drawing of tilting process of bonding operation 貼合動作の貼付工程の説明図Explanatory drawing of pasting process of pasting operation 傾動部の傾動前の状態の説明図Explanatory drawing of the state before tilting of the tilting part 傾動部の傾動状態の説明図Explanatory drawing of the tilting state of the tilting part 変形例にかかる入替機構部の斜視図The perspective view of the exchange mechanism part concerning a modification 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作のアライメント工程の説明図Explanatory drawing of the alignment process of the bonding operation | movement which uses the replacement mechanism part concerning a modification. 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作のアライメント工程の説明図Explanatory drawing of the alignment process of the bonding operation | movement which uses the replacement mechanism part concerning a modification. 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図Explanatory drawing of the sticking process of the bonding operation | movement which uses the replacement mechanism part concerning a modification. 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図Explanatory drawing of the sticking process of the bonding operation | movement which uses the replacement mechanism part concerning a modification. 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図Explanatory drawing of the sticking process of the bonding operation | movement which uses the replacement mechanism part concerning a modification. 従来例にかかる貼合動作の説明図Explanatory drawing of pasting operation concerning a conventional example 従来例にかかる貼合動作の説明図Explanatory drawing of pasting operation concerning a conventional example 従来例にかかる貼合動作の説明図Explanatory drawing of pasting operation concerning a conventional example 従来例にかかる貼合動作の説明図Explanatory drawing of pasting operation concerning a conventional example 従来例にかかる貼合動作の説明図Explanatory drawing of pasting operation concerning a conventional example

(本発明の知見)
まず、本発明を説明する前に、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合ができない理由について説明する。
(Knowledge of the present invention)
First, before explaining the present invention, the reason why bonding at a highly accurate position on the order of ± 10 μm cannot be described.

機能フィルム102を貼合対象物のロール122に貼り付けるとき、まず、図25Aに示すように、機能フィルム102と貼合対象物のロール122の貼り付け位置との高精度の位置調整を行っている。その後、図25Bに示すように、機能フィルム102を吸着保持する吸着盤123の先端を傾斜させ、図25Cに示すように、傾斜に伴い貼合対象物のロール122の搬送方向と上下方向との位置ずれ量を、傾斜角度に応じた固定値分だけ補正する(矢印124を参照)。その後、図25Dに示すように、傾斜した吸着盤123の先端を貼合対象物のロール122に矢印125に示すように押し付けて、図25Eに示すように、貼り付けを行うようにしている。   When the functional film 102 is attached to the roll 122 of the object to be bonded, first, as shown in FIG. 25A, the position adjustment of the functional film 102 and the position of the roll 122 of the object to be bonded is performed with high accuracy. Yes. Then, as shown to FIG. 25B, the front-end | tip of the suction disk 123 which adsorbs and hold | maintains the functional film 102 is inclined, and as shown to FIG. 25C, the conveyance direction of the roll 122 of a bonding target object and an up-down direction are accompanied with inclination. The amount of displacement is corrected by a fixed value corresponding to the tilt angle (see arrow 124). Then, as shown to FIG. 25D, the front-end | tip of the inclined suction disk 123 is pressed against the roll 122 of a bonding target object as shown by the arrow 125, and it sticks as shown to FIG. 25E.

このような貼り付け動作では、一旦、高精度の位置調整をしたにもかかわらず、その後の傾斜動作で位置ずれが発生してしまう。しかも、その位置ずれの補正は固定値で行っているため、傾斜機構の傾斜角度決定部分の機構的な摩耗又は製造誤差などの原因により傾斜角度がばらつくと、高精度での位置調整が維持されず、結果として、±10μmオーダーで高精度な貼り付けができないといった問題があった。   In such a pasting operation, although a highly accurate position adjustment is once performed, a positional deviation occurs in the subsequent tilting operation. In addition, since the positional deviation is corrected with a fixed value, if the inclination angle varies due to mechanical wear or manufacturing errors in the inclination angle determination part of the inclination mechanism, the position adjustment with high accuracy is maintained. As a result, there was a problem that high-accuracy pasting was not possible on the order of ± 10 μm.

そこで、本発明者らは、高精度の位置調整をした状態でフィルム同士の貼付開始位置を確定できれば、以降はローラ貼合でアライメント通りに貼合出来ることを想到して発明をするに至ったものである。すなわち、高精度の位置調整をした状態で第1フィルムを傾動する前に、まず、第1フィルムの貼付開始端部を第2フィルムの貼付対象領域の貼付開始端部に接触させて貼付開始位置を固定したのち、第1フィルムを傾動させて、第1フィルムの貼付開始端部以降の領域を第2フィルムに貼り付ければ、アライメント通りの貼合ができて、±10μmオーダーで高精度な貼り付けができることを見出したものである。   Therefore, the present inventors have come up with the invention by conceiving that, if the start position of film-to-film attachment can be determined in a state where the position is adjusted with high accuracy, the film can be bonded according to alignment by roller bonding thereafter. Is. That is, before tilting the first film in a highly accurate position adjusted state, first, the application start end of the first film is brought into contact with the application start end of the application target area of the second film. After fixing the first film, tilt the first film and paste the area after the first film sticking end to the second film. It has been found that can be attached.

なお、本発明者らは、さらに高精度な貼り付けがより確実にできるように、貼合前の機能フィルム102に残留している応力についても検討している。   In addition, the present inventors are examining the stress which remains in the functional film 102 before bonding so that more highly accurate bonding can be performed more reliably.

図14及び図15で先に説明したように、センサ基材のような機能フィルム102などがセパレータ101上に何層にも積層されて構成されかつロールテンション110が加えられた基材シート103において、機能フィルム102に対してのみ、図15のようにハーフカット104を入れると、機能フィルム102に縮む力105が働く。このとき、機能フィルム102の厚み又は材料によって、機能フィルム102に作用する応力は不明であり、ロールのテンション110の調整だけで、機能フィルム102に作用する応力を制御するのは困難である。その上、機能フィルム102をセパレータ101から剥離することにより、機能フィルム102には、どのような応力が残留しているか全く不明な状態となる。そのような不明な状態のまま、機能フィルム102が吸着盤などで吸着保持されて、機能フィルム102と貼合対象物との貼合が行われるため、貼合後にどのような反りが発生するか全く不明なものとなり、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。   As described above with reference to FIGS. 14 and 15, in the base material sheet 103 configured such that a functional film 102 such as a sensor base material is laminated on the separator 101 in multiple layers and a roll tension 110 is applied. When a half cut 104 is inserted as shown in FIG. 15 only on the functional film 102, a contracting force 105 acts on the functional film 102. At this time, the stress acting on the functional film 102 is unknown depending on the thickness or material of the functional film 102, and it is difficult to control the stress acting on the functional film 102 only by adjusting the tension 110 of the roll. In addition, by peeling the functional film 102 from the separator 101, it is completely unknown what kind of stress remains in the functional film 102. In such an unknown state, the functional film 102 is adsorbed and held by an adsorption board or the like, and the functional film 102 and the object to be bonded are bonded, so what kind of warpage occurs after bonding. It became completely unknown, and bonding at a highly accurate position on the order of ± 10 μm could not be performed.

特に、フォトリソグラフ又はエッチングで形成されたパターンは、定められたロールテンションで加工されており、貼合するときに発生する不明な応力がパターンに加わると、フィルムの伸び縮みにより、図16の上側(a)に示す理想的な貼合に対して、下側(b)に示すように、微妙なズレが発生して貼合することになり、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。   In particular, the pattern formed by photolithography or etching is processed with a predetermined roll tension, and when an unknown stress generated when bonding is applied to the pattern, the upper side of FIG. In contrast to the ideal bonding shown in (a), as shown in the lower side (b), a slight misalignment will occur and bonding will occur, and bonding at a highly accurate position on the order of ± 10 μm will be performed. I could n’t.

そこで、本発明者らは、吸着盤などで吸着保持されている機能フィルム102において、吸着保持を一旦停止又は緩和して、残留している応力を解放することを想到して発明をするに至ったものである。   Therefore, the present inventors have come up with the invention by contemplating to temporarily stop or alleviate the adsorption holding in the functional film 102 held by the adsorption board or the like to release the remaining stress. It is a thing.

(実施形態)
以下、図面を参照して本発明における第1実施形態を詳細に説明する。
(Embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明の第1の実施形態にかかる貼合方法を実施できる貼合装置は、図1及び図3に示すように、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置であって、第1搬送部11と、第2搬送部12と、ハーフカット処理部13と、吸着保持部14と、剥離部15と、吸着動作制御部17と、移送機構部18と、貼付部19とを備えて構成している。   The bonding apparatus which can implement the bonding method concerning the 1st Embodiment of this invention is a bonding apparatus which bonds films together as shown in FIG.1 and FIG.3, Comprising: The 1st conveyance part 11, The second transport unit 12, the half cut processing unit 13, the suction holding unit 14, the peeling unit 15, the suction operation control unit 17, the transfer mechanism unit 18, and the pasting unit 19 are configured.

この貼合装置では、図2に示すように、第1搬送部11側では、第1搬送部11から第1フィルム1が搬出された(巻き戻された)のち、ハーフカット工程S11と、吸着及び剥離工程S12と、移送工程S13とを行う一方、第2搬送部12側では、第2搬送部12から第2フィルム4が搬出された(巻き戻された)のち、必要に応じてセパレータ剥離工程S21と、貼付部19での吸着工程S22と、貼付部19でのアライメント工程S23と、貼付工程S24とを経て、第2フィルム4が巻き取られるものである。   In this bonding apparatus, as shown in FIG. 2, after the 1st film 1 was carried out (rewinded) from the 1st conveyance part 11 at the 1st conveyance part 11 side, half cut process S11 and adsorption | suction On the other hand, on the second transport unit 12 side, the second film 4 is unloaded from the second transport unit 12 (rewinded), and then separated as necessary. The second film 4 is wound up through the step S21, the adsorption step S22 in the sticking part 19, the alignment step S23 in the sticking part 19, and the sticking process S24.

第1搬送部11は、一定のロールテンション20で、長尺で一方の表面にセパレータ3が配置された第1フィルム1を第1フィルム1の搬送方向沿いに搬送する。第1フィルム1は、長尺の樹脂フィルムのセパレータ3側の一方面、セパレータ3側とは反対側の他方面のうちいずれかに第1導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして一種の電極と当該電極から引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。第1搬送部11としては、具体的には、図1及び図3に示すように、第1フィルム巻戻ローラ11aから巻き戻された第1フィルム1を多数の案内ローラ11cで案内するとともに、ハーフカット処理部13と吸着保持部14と剥離部15とに案内したのち、シート状個片2以外の第1フィルム1を第1フィルム巻取ローラ11bで巻取るようにしている。   The 1st conveyance part 11 conveys the 1st film 1 by which the separator 3 was arrange | positioned at one surface with the fixed roll tension 20 along the conveyance direction of the 1st film 1. FIG. In the first film 1, a large number of first conductive patterns are formed at regular intervals in the longitudinal direction on one side of the long resin film on the separator 3 side and on the other side opposite to the separator 3 side. It is a functional film. For example, it is a film for a sensor substrate in which a kind of electrode and a wiring drawn from the electrode are formed as a conductive pattern. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, the first transport unit 11 guides the first film 1 rewound from the first film rewinding roller 11 a with a plurality of guide rollers 11 c, After guiding to the half-cut processing unit 13, the suction holding unit 14, and the peeling unit 15, the first film 1 other than the sheet-like piece 2 is wound up by the first film winding roller 11b.

第2搬送部12は、一定のテンションで、長尺の第2フィルム4を第2フィルム4の搬送方向沿いに搬送する。第2フィルム4は、長尺の樹脂フィルムの両面に第2導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして表裏合わせて2種の電極と当該電極から各々引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。なお、第2フィルム4も、一方面にセパレータが配置されていて、貼付部19に搬送される前に剥離されてもよい。この第2フィルム4の導電パターンに対して第1フィルム1から抜き出したシート状個片2の導電パターンを高精度に位置合わせして、第2フィルム4と第1フィルム1から抜き出したシート状個片2とを貼合させるのが、この貼付装置である。第2搬送部12としては、具体的には、図1及び図3に示すように、第2フィルム巻戻ローラ12aから巻き戻された第2フィルム4を多数の案内ローラ12cで案内するとともに、貼付部19の第1フィルム1から抜き出されたシート状個片2を第2フィルム4との貼合わせ位置92に案内したのち、第2フィルム4にシート状個片2が貼合された状態で第2フィルム巻取ローラ12bで巻取るようにしている。第2フィルム巻戻ローラ12aの近傍には、第2フィルム4のテンションを検出して、テンションを制御できる機構12dが配置されている(図11を参照)。   The second transport unit 12 transports the long second film 4 along the transport direction of the second film 4 with a constant tension. The second film 4 is a functional film in which a large number of second conductive patterns are formed on both surfaces of a long resin film at regular intervals in the longitudinal direction. For example, it is a film for a sensor base material in which two types of electrodes and wirings drawn from the electrodes are formed as a conductive pattern. In addition, the 2nd film 4 may also be peeled before the separator is arrange | positioned on one side and it is conveyed to the sticking part 19. FIG. A sheet-like piece extracted from the second film 4 and the first film 1 by aligning the conductive pattern of the sheet-like piece 2 extracted from the first film 1 with high accuracy with respect to the conductive pattern of the second film 4. It is this sticking device that bonds the piece 2 together. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, the second transport unit 12 guides the second film 4 unwound from the second film rewinding roller 12 a with a large number of guide rollers 12 c, After the sheet-like piece 2 extracted from the first film 1 of the sticking part 19 is guided to the bonding position 92 with the second film 4, the sheet-like piece 2 is bonded to the second film 4. Thus, the film is wound by the second film winding roller 12b. In the vicinity of the second film rewinding roller 12a, a mechanism 12d capable of detecting the tension of the second film 4 and controlling the tension is disposed (see FIG. 11).

ハーフカット処理部13は、ハーフカット工程S11を実施するものであり、第1フィルム1からセパレータ3を残して第1フィルム1だけを所定の大きさと形状とに、厚み方向にハーフカットして、多数のシート状個片2すなわちシート状個片2を形成する。ハーフカット処理部13は、図3に示すように、第1フィルム巻戻ローラ11aの近傍に配置されて、ハーフカット部7でハーフカットされて生ずるシート状個片2をセパレータ3と共に、吸着保持部14と剥離部15とに案内ローラ12cで案内される。   The half-cut processing unit 13 performs the half-cut process S11, and leaves the separator 3 from the first film 1 and half-cuts only the first film 1 in a predetermined size and shape in the thickness direction, A large number of sheet-like pieces 2, that is, sheet-like pieces 2 are formed. As shown in FIG. 3, the half-cut processing unit 13 is arranged in the vicinity of the first film rewinding roller 11 a and sucks and holds the sheet-like pieces 2 generated by half-cutting by the half-cut unit 7 together with the separator 3. Guided by the guide roller 12c to the part 14 and the peeling part 15.

吸着保持部14及び剥離部15は、吸着及び剥離工程S12を実施するものである。   The adsorption holding unit 14 and the peeling unit 15 perform the adsorption and peeling step S12.

吸着保持部14は、図3に示すように、剥離部15の近傍でかつハーフカット処理部13側に配置されている。吸着保持部14は、第1フィルム1の搬送が間欠的に停止されて剥離部15の近傍の吸着保持位置91に停止し、かつ、セパレータ3上の、ハーフカットされることにより第1フィルム1から生じたシート状個片2を吸着保持する。吸着保持部14は、図8に示す多数の吸引孔41を有して第1フィルム1のうちシート状個片2のみに全面を吸着保持可能な吸着盤42と、吸着盤42の各吸引孔41に連通する真空吸引装置などの吸引機構部47とを備え、吸着動作制御部17で吸引機構部47による吸引動作(すなわち吸着動作)を制御している。吸着盤42は、図4に示すように昇降装置14bにより上下方向沿いに昇降するとともに、図5に示すように第1移動装置14cにより第1フィルム1の搬送方向沿いに移動可能としている。よって、吸着盤42の下部には、昇降装置14bと第1移動装置14cとが配置され、さらには、移送機構部18と連結されるか又は移送機構部18に支持されて、移送機構部18で吸着盤42が、第1フィルム1の搬送方向と直交する方向沿いに、剥離部15と、第1フィルム1のシート状個片2と貼合わせ装置92との間を往復移動可能としている。昇降装置14bと第1移動装置14cと移送機構部18とは、それぞれ、±10μmオーダーで位置調整が可能でかつボールネジにもガタ付きが少ない直動装置、例えばサーボモータなどのアクチュエータを利用して構成される直線的に往復移動可能な駆動装置であって高精度で位置決めできる機構が良い。   As shown in FIG. 3, the suction holding unit 14 is disposed in the vicinity of the peeling unit 15 and on the half-cut processing unit 13 side. The suction holding unit 14 stops the conveyance of the first film 1 intermittently, stops at the suction holding position 91 in the vicinity of the peeling unit 15, and is half-cut on the separator 3, thereby causing the first film 1. The sheet-like piece 2 generated from the above is sucked and held. The suction holding unit 14 has a number of suction holes 41 shown in FIG. 8 and can suck and hold the entire surface of only the sheet-like piece 2 of the first film 1, and each suction hole of the suction disk 42. And a suction mechanism unit 47 such as a vacuum suction device communicating with 41, and the suction operation control unit 17 controls the suction operation (that is, the suction operation) by the suction mechanism unit 47. As shown in FIG. 4, the suction plate 42 is moved up and down along the vertical direction by the lifting device 14b, and can be moved along the transport direction of the first film 1 by the first moving device 14c as shown in FIG. Therefore, the elevating device 14b and the first moving device 14c are disposed below the suction plate 42, and further connected to or supported by the transfer mechanism unit 18 to transfer the transfer mechanism unit 18. Thus, the suction disk 42 can reciprocate between the peeling portion 15, the sheet-like piece 2 of the first film 1, and the laminating device 92 along a direction orthogonal to the conveying direction of the first film 1. The elevating device 14b, the first moving device 14c, and the transfer mechanism unit 18 each use a linear motion device that can adjust its position on the order of ± 10 μm and has little play on the ball screw, for example, an actuator such as a servo motor. A drive device that is configured to reciprocate linearly and that can be positioned with high accuracy is preferable.

剥離部15は、案内板15aでセパレータ3及び第1フィルム1を第1フィルム1の搬送方向沿いに案内しつつ、ハーフカットして形成された第1フィルム1のシート状個片2以外の残余部分1a及びセパレータ3を、案内板15aの先端に固定されたブレード16によって鋭角に反転して、吸着保持位置91で吸着保持部14に吸着保持された第1フィルム1のシート状個片2を、セパレータ3から円滑に剥離する。このとき、図5に示すように、第1フィルム1を第1搬送部11で搬送方向沿いに搬送するとともに、吸着保持部14も第1移動装置14cにより第1フィルム1の搬送方向沿いに第1フィルム1の搬送速度と同じ速度で同期して移動しつつ、この剥離動作が行われる。   The peeling part 15 is the remainder other than the sheet-like piece 2 of the 1st film 1 formed by half-cutting, guiding the separator 3 and the 1st film 1 along the conveyance direction of the 1st film 1 with the guide plate 15a. The part 1a and the separator 3 are reversed at an acute angle by a blade 16 fixed to the tip of the guide plate 15a, and the sheet-like piece 2 of the first film 1 sucked and held by the suction holding part 14 at the suction holding position 91 is obtained. , Peels smoothly from the separator 3. At this time, as shown in FIG. 5, the first film 1 is transported along the transport direction by the first transport unit 11, and the suction holding unit 14 is also moved along the transport direction of the first film 1 by the first moving device 14c. This peeling operation is performed while moving synchronously at the same speed as the transport speed of one film 1.

剥離動作によりセパレータ3から剥離された第1フィルム1のシート状個片2は、図6に示すように、吸着保持部14の吸着盤14aに吸着保持されている(下記の第1吸着動作S41を参照。)が、この状態では、従来と同様に、縮む力81の他、剥がした力82及び吸着力83などの力が作用して、不明な応力が残留している。この残留している不明な応力は、吸着動作制御部17での以下の動作で解消することができる。   As shown in FIG. 6, the sheet-like piece 2 of the first film 1 peeled from the separator 3 by the peeling operation is sucked and held on the suction disk 14a of the suction holding unit 14 (first suction operation S41 described below). However, in this state, as in the conventional case, in addition to the contracting force 81, forces such as the peeled force 82 and the attracting force 83 act, and an unknown stress remains. This remaining unknown stress can be eliminated by the following operation in the adsorption operation control unit 17.

吸着動作制御部17は、吸着保持部14において、吸引機構部47による吸引動作を制御することにより、第1吸着動作S41と、吸着制御動作S42と、第2吸着動作S43とを順に実施する。これらの一連の動作は、剥離動作から貼合わせ位置92への移送動作終了までの間に行われる。よって、例えば、剥離動作開始から剥離動作終了までに第1吸着動作S41を行い、剥離動作終了後から移送開始前に吸着制御動作S42を行い、移送開始後から移送終了までに第2吸着動作S43を行うことができる。又は、剥離動作開始から移送動作終了までに第1吸着動作S41を行い、移送動作終了後に吸着制御動作S42と第2吸着動作S43とを順に行うこともできる。   The suction operation control unit 17 controls the suction operation by the suction mechanism unit 47 in the suction holding unit 14, thereby sequentially performing the first suction operation S41, the suction control operation S42, and the second suction operation S43. These series of operations are performed between the peeling operation and the end of the transfer operation to the bonding position 92. Therefore, for example, the first suction operation S41 is performed from the start of the peeling operation to the end of the peeling operation, the suction control operation S42 is performed after the peeling operation is completed and before the transfer is started, and the second suction operation S43 is performed from the start of the transfer to the end of the transfer. It can be performed. Alternatively, the first adsorption operation S41 can be performed from the start of the peeling operation to the end of the transfer operation, and the adsorption control operation S42 and the second adsorption operation S43 can be performed in order after the transfer operation is completed.

第1吸着動作S41は、第1フィルム1のシート状個片2を吸着盤14aの全ての吸引孔41で吸着する。   In the first suction operation S41, the sheet-like piece 2 of the first film 1 is sucked by all the suction holes 41 of the suction disk 14a.

吸着制御動作S42は、図7に示すように、第1吸着動作S41後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う。この吸着制御動作S42により、吸着盤14aにシート状個片2が吸着保持されているとき、シート状個片2に残留している不明な応力を、シート状個片2から解放するようにしている。よって、シート状個片2に対する吸引孔41による吸着保持力をすべて停止すれば、確実に解放できるが、その際、応力の影響等によりシート状個片2が吸着盤14aの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれして、アライメントの認識時に視野角から外れることが懸念される。そのような場合には、吸着保持力を全体的に緩めるか、すべての吸引孔41のうちの一部の吸引孔41による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔41による吸着保持力を停止して部分的に停止するか、又は、すべての吸引孔41のうちの一部の吸引孔41による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔41による吸着保持力を低下させて部分的に緩めるようにすればよい。このようにすれば、シート状個片2が、吸着盤14aの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれすることを防止することができる。   As shown in FIG. 7, the suction control operation S42 is performed after the first suction operation S41 so that the suction operation is stopped entirely, loosened, partially stopped, or partially loosened. Do something. By this suction control operation S42, when the sheet-like piece 2 is sucked and held on the suction disk 14a, the unknown stress remaining on the sheet-like piece 2 is released from the sheet-like piece 2. Yes. Therefore, if all the suction holding force by the suction hole 41 for the sheet-like piece 2 is stopped, it can be surely released, but at that time, the sheet-like piece 2 is sucked and held at the beginning of the suction disk 14a by the influence of stress or the like. There is a concern that the position may deviate greatly from the position and deviate from the viewing angle when alignment is recognized. In such a case, the suction holding force is loosened as a whole, or the suction holding force by the remaining suction holes 41 is stopped while maintaining the suction holding force by some of the suction holes 41. Then, the suction holding force by the suction holes 41 of some of all the suction holes 41 is maintained and the suction holding force by the remaining suction holes 41 is lowered and partially loosened. What should I do? In this way, it is possible to prevent the sheet-like piece 2 from being largely displaced from the position where the suction disk 14a is initially sucked and held.

この動作は、図8に示す吸着盤14aに多数配列された吸引孔41を、例えば図9に示すように複数の(例えば6列の)縦列の領域43に分割し、各領域43毎に吸引孔41による吸着保持力を独立して制御できるように吸着動作制御部17で吸引機構部47を制御すればよい。具体的には、真空吸引装置及び真空を発生させる機構と各領域43とを連結する連結通路に制御弁をそれぞれ配置し、吸着動作制御部17で各制御弁を開閉制御すれば、各領域43毎の吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うことができる。   In this operation, a plurality of suction holes 41 arranged in the suction disk 14a shown in FIG. 8 are divided into a plurality of (for example, six rows) vertical regions 43 as shown in FIG. The suction mechanism control unit 17 may control the suction mechanism unit 47 so that the suction holding force by the holes 41 can be controlled independently. Specifically, if each control valve is disposed in a connecting passage that connects each region 43 with a vacuum suction device and a mechanism for generating a vacuum, and each control valve is controlled to be opened and closed by the adsorption operation control unit 17, each region 43. Operation control such as adsorption maintenance, adsorption stop, and relaxation of each adsorption holding force can be performed.

吸着盤14aにおける吸引孔41の領域の分け方としては、図9に示すものに限らず、図10(a)に示すように横方向の領域44に分けたり、図10(b)に示すようにマトリックス状の領域45に分けたり、図10(c)に示すように同心円状の領域46に分けたりすることができる。このように、吸着盤14aにおける吸引孔41を複数の領域に分割したのち、任意の領域毎に吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うほか、特定の領域での吸着保持力を吸着維持しつつ、残りの領域での吸着保持力を吸着停止又は緩めるなどの動作制御を行うようにしてもよい。   The method of dividing the area of the suction hole 41 in the suction disk 14a is not limited to that shown in FIG. 9, but it can be divided into horizontal areas 44 as shown in FIG. 10 (a), or as shown in FIG. 10 (b). It can be divided into a matrix region 45 or a concentric region 46 as shown in FIG. As described above, after the suction hole 41 in the suction disk 14a is divided into a plurality of regions, operation control such as suction maintenance, suction stop, and loosening of the suction holding force is performed for each arbitrary region. While maintaining the suction holding force, operation control such as suction stop or relaxation of the suction holding force in the remaining region may be performed.

さらに、残りの領域のうち、少なくとも1つの領域の吸引孔41での吸引機構部47による吸引動作を、再稼働するか、又は再強化したのちに、吸引動作を維持していた領域での吸引機構部47による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御するようにしてもよい。このようにすれば、すべての領域で、残留している不明な応力をすべて解放することができる。   Further, among the remaining areas, the suction operation by the suction mechanism 47 in the suction hole 41 of at least one area is reactivated or reintensified, and then the suction is maintained in the area where the suction operation has been maintained. The suction operation by the mechanism unit 47 may be controlled to stop or relax. In this way, it is possible to release any remaining unknown stress in all regions.

よって、例えば、分割された領域のうち、いずれか一端部の領域(例えば、図9の右端又は左端の領域、図10(a)の上端又は下端の領域)の吸引孔41での吸引機構部47による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で41の吸引機構部47による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、一端部が支持された状態で、一端部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、他端部を吸着維持して一端部の吸着を停止して、一端部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。同様に、例えば、分割された領域のうち、中央部の領域(例えば、図10(c)の中心の領域)の吸引孔41での吸引機構部47による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で41の吸引機構部47による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、中央部が支持された状態で、中央部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、中央部以外の部分を吸着維持して中央部の吸着を停止して、中央部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。   Thus, for example, the suction mechanism portion in the suction hole 41 in one of the divided regions (for example, the right or left end region in FIG. 9 or the upper or lower end region in FIG. 10A). If the suction operation by the suction mechanism 47 of the remaining area 41 is controlled to be stopped or loosened with the suction holes of the remaining area maintained in the state where the suction operation by 47 is maintained, one end is supported in a state where one end is supported. Residual stress in other areas except the part can be released, and then the other stress can be maintained by holding the other end to stop the suction at one end and releasing the residual stress in the one end. It can be released more smoothly. Similarly, for example, in the state where the suction operation by the suction mechanism unit 47 in the suction hole 41 in the central region (for example, the central region in FIG. 10C) among the divided regions is maintained, If the suction operation by the suction mechanism 47 of the region 41 is controlled so as to be stopped or loosened at the suction hole in the region, the residual stress in other regions other than the central portion is released while the central portion is supported. After that, if the suction of the central portion is stopped while the suction of the central portion is stopped and the residual stress in the central portion is released, the residual stress can be released more smoothly.

第2吸着動作S43は、吸着制御動作S42後に、残留している応力が無くなったと思われる第1フィルム1のシート状個片2を吸着盤14aに再び吸着して、貼合動作に備える。   2nd adsorption | suction operation | movement S43 prepares for bonding operation | movement by adsorb | sucking again the sheet-like piece 2 of the 1st film 1 to the adsorption | suction board 14a after the adsorption | suction control operation | movement S42 seems to have lost the residual stress.

移送機構部18は、移送工程S13を実施するものであり、吸着保持部14を支持するか、又は、吸着保持部14と一体的に設けられている。移送機構部18は、吸着保持部14の吸着盤14aを、剥離部15と、貼付部19の第1フィルム1のシート状個片2と第2フィルム4との貼合わせ位置92との間で往復移動可能に配置している。剥離部15で剥離した第1フィルム1のシート状個片2を吸着保持した吸着保持部14の吸着盤14aを、第1フィルム1の搬送方向とは直交する横方向に移動し、第2フィルム4の搬送方向を横切って、図11〜図13に示すように、貼合わせ位置92の貼付部19の下方まで移動させる。   The transfer mechanism unit 18 performs the transfer step S <b> 13 and supports the suction holding unit 14 or is provided integrally with the suction holding unit 14. The transfer mechanism unit 18 moves the suction disk 14 a of the suction holding unit 14 between the peeling unit 15 and the bonding position 92 between the sheet-like piece 2 of the first film 1 and the second film 4 of the bonding unit 19. It is arranged so that it can reciprocate. The suction disk 14a of the suction holding unit 14 that sucks and holds the sheet-like piece 2 of the first film 1 peeled off by the peeling unit 15 is moved in the lateral direction perpendicular to the transport direction of the first film 1, and the second film As shown in FIGS. 11-13, it moves to the downward direction of the sticking part 19 of the bonding position 92 across 4 conveyance directions.

貼付部19は、図11〜図13に示すように、吸着保持部14と協働して、吸着工程S22とアライメント工程S23と貼付工程S24とを行うものである。貼付部19は、第2フィルム吸着保持部の一例として機能する第2フィルム吸着盤60と、位置調整部61と、フィルム貼付開始部材62と、昇降部63と、傾動部64と、移動装置とを備えるように構成している。こでは、第1移動装置14cが、移動装置の一例として機能する。   As shown in FIGS. 11 to 13, the pasting unit 19 cooperates with the suction holding unit 14 to perform the suction step S22, the alignment step S23, and the pasting step S24. The pasting unit 19 includes a second film suction disk 60 that functions as an example of a second film suction holding unit, a position adjusting unit 61, a film pasting start member 62, an elevating unit 63, a tilting unit 64, and a moving device. It comprises so that it may be equipped with. Here, the first moving device 14c functions as an example of the moving device.

第2フィルム吸着盤60は、吸着工程S22を行うものであり、貼合わせ位置92に配置され、真空吸引装置などの吸引機構部19aに接続された多数の吸引孔を有する吸着盤として機能し、その下面に、第2フィルム4の四角形の貼付対象領域4aを含む領域を吸着保持する。第2フィルム吸着盤60の下方には、移送機構部18で貼合わせ位置92まで移送されてくる吸着保持部14の吸着盤14aの上面が、貼り付けのため。対向して配置可能となっている。   The second film suction plate 60 performs the suction step S22, functions as a suction plate that is disposed at the bonding position 92 and has a number of suction holes connected to a suction mechanism unit 19a such as a vacuum suction device, On the lower surface, an area including the rectangular pasting target area 4a of the second film 4 is sucked and held. Below the second film suction plate 60, the upper surface of the suction plate 14a of the suction holding unit 14 transferred to the bonding position 92 by the transfer mechanism unit 18 is for attachment. It can be placed facing each other.

位置調整部61は、アライメント工程S23を行うものであり、貼合わせ位置92において、第2吸着動作S43を実施している吸着保持部14の吸着盤14aに吸着保持された第1フィルム1のシート状個片2と、第2フィルム吸着盤60で吸着保持された第2フィルム4の貼付対象領域4aとを接近させた状態で、位置調整部61による位置調整が行われる。このとき、第1フィルム1のシート状個片2と第2フィルム4とがほぼ平行な状態であることが、高精度に位置調整する観点から、好ましい。一例として、貼合わせ位置92に対して、シート状個片2と第2フィルム4の貼付対象領域4aとは、それぞれ、大よその正確な位置までは、移送機構部18と第2フィルム巻戻ローラ12aと第2フィルム巻取ローラ12bとなどの駆動装置としてそれぞれのサーボモータなどのアクチュエータを利用すれば位置調整可能である。よって、大よその正確な位置の後の高精度な微調整を位置調整部61で行っている。   The position adjustment unit 61 performs the alignment step S23. At the bonding position 92, the sheet of the first film 1 sucked and held by the suction disk 14a of the suction holding unit 14 performing the second suction operation S43. Position adjustment by the position adjustment unit 61 is performed in a state in which the individual piece 2 and the application target area 4a of the second film 4 sucked and held by the second film suction disk 60 are brought close to each other. At this time, the sheet-like piece 2 of the first film 1 and the second film 4 are preferably in a substantially parallel state from the viewpoint of adjusting the position with high accuracy. As an example, with respect to the bonding position 92, the sheet-like piece 2 and the application target area 4a of the second film 4 are approximately the exact position, respectively, the transfer mechanism 18 and the second film rewinding. The position can be adjusted by using actuators such as servo motors as driving devices such as the roller 12a and the second film winding roller 12b. Therefore, the position adjustment unit 61 performs fine adjustment with high accuracy after the approximate position.

ここで、シート状個片2が四角形の場合、図16に示すように、四隅に第1アライメントマーク69を形成しておくとともに、対応する、第2フィルム4の四角形の貼付対象領域4aの四隅にも第2アライメントマーク70を形成しておく。一例として、第1アライメントマーク69と第2アライメントマーク70とは、いずれか一方が小さな黒丸点とし、他方を円環として、小さな黒丸点が円環の中に入り込むことにより、アライメント調整ができるように設定することができる。一例として、小さな黒丸点は直径1mmの点であり、円環は外径2mmである。各アライメントマーク69,70は、それぞれ、丸又は円形状に限定されるものではなく、その他種々の形状であってもよく、例えば四角であってもよい。   Here, when the sheet-like piece 2 is a quadrangle, as shown in FIG. 16, the first alignment marks 69 are formed at the four corners, and the corresponding four corners of the quadrangular application target region 4a of the second film 4 are formed. Also, the second alignment mark 70 is formed. As an example, one of the first alignment mark 69 and the second alignment mark 70 is a small black circle point, the other is a circular ring, and the small black circle point enters the circular ring so that alignment adjustment can be performed. Can be set to As an example, a small black dot is a point having a diameter of 1 mm, and a circular ring has an outer diameter of 2 mm. Each of the alignment marks 69 and 70 is not limited to a circle or a circle, but may have various other shapes, for example, a square.

より具体的には、位置調整部61は、一例として、4個のカメラ48と、補正量算出部66と、位置制御部67とで構成されている。   More specifically, the position adjustment unit 61 includes, for example, four cameras 48, a correction amount calculation unit 66, and a position control unit 67.

4個のカメラ48は、吸着保持部14において、吸着保持部14に吸着保持された第1フィルム1の四角形のシート状個片2の四隅それぞれの付近を撮像可能に配置されている。よって、4個のカメラ48は、シート状個片2の四隅の第1アライメントマーク69と、これらに対向する第2フィルム4の四角形の貼付対象領域4aの四隅の第2アライメントマーク70とを画像取得できるようにしている。例えば、各カメラ48で同時的に第1アライメントマーク69と第2アライメントマーク70とを画像取得してもよいし、各カメラ48の焦点距離を切り替えて、第1アライメントマーク69と第2アライメントマーク70とをそれぞれ画像取得してもよい。   The four cameras 48 are arranged in the suction holding unit 14 so as to be able to pick up images near the four corners of the square sheet-like piece 2 of the first film 1 sucked and held by the suction holding unit 14. Therefore, the four cameras 48 image the first alignment marks 69 at the four corners of the sheet-like piece 2 and the second alignment marks 70 at the four corners of the quadrangular pasting target area 4a of the second film 4 facing them. You can get it. For example, the first alignment mark 69 and the second alignment mark 70 may be simultaneously acquired by each camera 48, or the focal length of each camera 48 may be switched to change the first alignment mark 69 and the second alignment mark. 70 may be acquired.

補正量算出部66は、4個のカメラ48でそれぞれ取得した画像を基に画像処理を行って、四隅のそれぞれの第1アライメントマーク69と第2アライメントマーク70との位置ずれ量を算出して、第2フィルム4の搬送方向とその搬送方向と直交する横方向との、互いに直交する2方向の補正量を求める。   The correction amount calculation unit 66 performs image processing based on the images acquired by the four cameras 48, and calculates the amount of positional deviation between the first alignment mark 69 and the second alignment mark 70 at the four corners. Then, correction amounts in two directions orthogonal to each other, that is, the conveyance direction of the second film 4 and the lateral direction orthogonal to the conveyance direction are obtained.

位置制御部67は、補正量算出部66で求めた補正量を基に、第1移動装置14cと移送機構部18とで吸着盤14aの位置調整を行う。例えば、位置制御部67の制御により、吸着保持部14の第1移動装置14cで第2フィルム4の搬送方向沿いの位置調整を行い、移送機構部18で第2フィルム4の搬送方向と直交する横方向沿いの位置調整を行う。第1移動装置14cと移送機構部18とのそれぞれの駆動装置としてサーボモータなどの高精度位置決め可能なアクチュエータを使用することにより、±10μmオーダーでの高精度な位置調整、すなわち、第2フィルム4に形成されている導電パターンに対して、シート状個片2が有する導電パターンの高精度な位置調整が可能である。このようにして、位置調整部61での高精度な位置調整が行われる。   The position control unit 67 adjusts the position of the suction disk 14 a with the first moving device 14 c and the transfer mechanism unit 18 based on the correction amount obtained by the correction amount calculation unit 66. For example, under the control of the position control unit 67, the first moving device 14c of the suction holding unit 14 adjusts the position along the transport direction of the second film 4, and the transfer mechanism unit 18 is orthogonal to the transport direction of the second film 4. Adjust the position along the horizontal direction. By using actuators capable of high-precision positioning such as servo motors as the driving devices for the first moving device 14c and the transfer mechanism unit 18, high-precision position adjustment on the order of ± 10 μm, that is, the second film 4 It is possible to adjust the position of the conductive pattern of the sheet-like piece 2 with high accuracy with respect to the conductive pattern formed in the above. In this way, highly accurate position adjustment is performed by the position adjustment unit 61.

貼付工程S24は、第2フィルム吸着盤60と、フィルム貼付開始部材62と、昇降部63と、傾動部64と、第1移動装置14cとで行われる。   The sticking step S24 is performed by the second film suction disk 60, the film sticking start member 62, the elevating part 63, the tilting part 64, and the first moving device 14c.

フィルム貼付開始部材62は、吸着保持部14の吸着盤14aの貼付開始側の先端14eに配置され、吸着保持部14の吸着盤14aのシート状個片2を吸着保持する吸着保持面14fよりも高さ方向に高い位置に、第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを載置保持する。   The film sticking start member 62 is disposed at the tip 14e on the sticking start side of the suction disk 14a of the suction holding unit 14 and is more than the suction holding surface 14f that sucks and holds the sheet-like piece 2 of the suction disk 14a of the suction holding part 14. The sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 of the first film 1 is placed and held at a high position in the height direction.

ここで、高さ方向に高い位置とは、例えば0.1mm〜2mmだけ吸着保持面14fよりも高い位置とする。もし2mmを越えて高くなると、単純に斜辺d3の長さが大きくなり、貼り付け誤差が大きくなる。一方、0.1mm未満の高い位置では、そのような数値の高さに高さ調整することが困難であり、貼付開始端部2cのみを接触させたいにもかかわらず、他の部分も接触する可能性がある。   Here, the high position in the height direction is a position higher than the suction holding surface 14f by 0.1 mm to 2 mm, for example. If the height exceeds 2 mm, the length of the hypotenuse d3 simply increases, and the pasting error increases. On the other hand, at a high position of less than 0.1 mm, it is difficult to adjust the height to such a numerical height, and even though only the pasting start end portion 2c is desired to be contacted, other portions are also contacted. there is a possibility.

このシート状個片2の貼付開始端部2cの高さについては、以下のような関係がある。図17に示すように、フィルム貼付開始部材62の上に第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを載置保持するとき、吸着保持面14fからフィルム貼付開始部材62にかけての貼付開始端部2c付近において、側面からみると、直角三角形の関係が成立している。すなわち、シート状個片2が傾斜した斜辺d3と、貼付開始端部2c付近以外の領域のシート状個片2の下面を吸着保持する吸着保持面14f沿いの横の辺d1と、吸着保持面14fから貼付開始端部2cの下面までの高さを示す高さd2とで直角三角形が成立している。このように傾斜して直角三角形が成立している状態で上昇させて位置決めを行った場合、アライメントマークの有る吸着保持面14fに保持されている部分と、第2フィルム4に接触させる貼付開始端部2cとの高さが違うため、シート状個片2が傾斜せずに第2フィルム4と平行な場合と比べて、斜めになっている分だけ、貼り合せる時に位置ズレを起こす可能性がある。その位置ズレの誤差は、辺d1と高さd2とから斜辺d3を算出でき、算出された斜辺d3から辺d1を引いた数値である。例えば、辺d1を6mm、高さd2を1mmと想定すると、斜辺d3は√(6+1)=6.08276mmとなり、斜辺d3−辺d1=6.08276mm−6mm=0.08276mmとなるので、82μmの誤差があることになる。実際の設計において±10μmオーダーの高精度を求められる場合は、高さd2を1mm以下とすることを考慮しないと、高精度な貼合には厳しいと考えられる。そこで、後述する調整機構により、高さd2を1mmから0.5mmに変更した場合、誤差は±10μm以内、すなわち、誤差の範囲は20μmまで小さくすることができる。また、辺d1を長くすれば、誤差は小さくなることがわかる。 The height of the sticking start end portion 2c of the sheet-like piece 2 has the following relationship. As shown in FIG. 17, when the application start end portion 2 c of the sheet-like piece 2 of the first film 1 is placed and held on the film application start member 62, it is applied from the suction holding surface 14 f to the film application start member 62. In the vicinity of the sticking start end 2c, a right triangle relationship is established when viewed from the side. That is, the oblique side d3 where the sheet-like piece 2 is inclined, the side edge d1 along the suction-holding surface 14f that sucks and holds the lower surface of the sheet-like piece 2 in a region other than the vicinity of the sticking start end 2c, and the suction-holding surface A right triangle is formed by the height d2 indicating the height from 14f to the lower surface of the sticking start end 2c. In this way, when positioning is performed by raising in a state where a right triangle is formed, the portion held on the suction holding surface 14f with the alignment mark and the sticking start end to be brought into contact with the second film 4 Since the height of the portion 2c is different, there is a possibility that the sheet-like piece 2 will be misaligned when pasting, as compared with the case where the sheet-like piece 2 is not inclined but parallel to the second film 4. is there. The error of the positional deviation is a numerical value obtained by subtracting the side d1 from the calculated hypotenuse d3 so that the hypotenuse d3 can be calculated from the side d1 and the height d2. For example, assuming that the side d1 is 6 mm and the height d2 is 1 mm, the hypotenuse d3 is √ (6 2 +1 2 ) = 6.08276 mm, and the hypotenuse d3-side d1 = 6.008276 mm−6 mm = 0.08276 mm. , There is an error of 82 μm. When high accuracy on the order of ± 10 μm is required in actual design, it is considered to be severe for high-precision bonding unless the height d2 is set to 1 mm or less. Therefore, when the height d2 is changed from 1 mm to 0.5 mm by an adjusting mechanism described later, the error can be reduced to within ± 10 μm, that is, the error range can be reduced to 20 μm. It can also be seen that the error decreases as the side d1 is lengthened.

一例として、高さ方向に高い位置とは、例えば0.1mm〜2mmの中の固定値とする以外に、この0.1mm〜2mmの範囲内で、使用状況に応じて調整機構で高さを任意に調節可能に構成するようにしてもよい。この使用状況とは、材料又は材質により撓みなどが発生する場合、例えば、硬すぎる材料の場合は、吸着パットで吸着が困難になるので高さd2の距離を大きくするなど、辺d1と高さd2とで最適な位置への調整が必要になる。構造上、高さd2の距離を変えると、斜辺d3の長さを合わせる必要が出るため、高さ変更が必要になる。   As an example, the high position in the height direction means, for example, that the height is adjusted by an adjusting mechanism in accordance with the use condition within the range of 0.1 mm to 2 mm, in addition to a fixed value of 0.1 mm to 2 mm. You may make it comprise arbitrarily adjustable. For example, when the material or the material is bent, for example, when the material is too hard, the suction pad makes it difficult to suck, so the distance of the height d2 is increased. Adjustment to the optimum position is necessary with d2. Structurally, if the distance of the height d2 is changed, it is necessary to adjust the length of the hypotenuse d3, so that the height needs to be changed.

フィルム貼付開始部材62の一例としては、図17などに示すように、吸着パッド部材65で構成することができる。吸着パッド部材65は、図示しないが多数の吸引孔があり、多数の吸引孔に連通する真空吸引装置などの貼付用吸引機構部71を有して、第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを、吸着パッド部材65の上面に載置保持するように吸着保持するとともに、貼り付け開始時には、貼付用吸引機構部71で吸引保持力を停止又は緩和できるようにしている。なお、吸着パッド部材65は、吸着及び剥離工程S12では吸着動作には関わらないようにしている。   As an example of the film sticking start member 62, as shown in FIG. Although not shown, the suction pad member 65 has a number of suction holes, and has a sticking suction mechanism portion 71 such as a vacuum suction device communicating with the number of suction holes, so that the sheet-like piece 2 of the first film 1 is formed. The sticking start end 2c is sucked and held so as to be placed and held on the upper surface of the sucking pad member 65, and at the start of sticking, the sucking and holding force can be stopped or alleviated by the sticking suction mechanism 71. The suction pad member 65 is not involved in the suction operation in the suction and separation step S12.

フィルム貼付開始部材62の別の例としては、図18などに示すように、回転自在に吸着盤14aに支持された貼付ロール68で構成して、第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを載置保持するようにしてもよい。   As another example of the film sticking start member 62, as shown in FIG. 18 and the like, the film sticking start member 62 is composed of a sticking roll 68 that is rotatably supported by the suction disk 14a, and sticks the sheet-like piece 2 of the first film 1. The start end 2c may be placed and held.

昇降部63は、貼合わせ位置92で、第2フィルム吸着盤60で吸着保持された第2フィルム4に対して、吸着盤14aで吸着保持されたシート状個片2を接離するように吸着保持部14を昇降させるものであり、昇降装置14bで兼用することができる。   The elevating part 63 adsorbs the sheet-like piece 2 adsorbed and held by the adsorbing plate 14 a to the second film 4 adsorbed and held by the second film adsorbing plate 60 at the bonding position 92. The holding unit 14 is moved up and down, and can be shared by the lifting device 14b.

傾動部64は、貼付開始時の最初に、吸着保持部14において先端14eの吸着パッドユニット65で載置保持したシート状個片2の貼付開始端部2cが、第2フィルム吸着盤60で吸着保持された第2フィルム4に接触可能に吸着保持部14を傾動(チルト)させる。具体的には、図21及び図22に示すように、T字状の吸着保持部14の吸着盤14aは、その脚部14hの下部のチルト支点軸14j周りに揺動可能に基台部14pに支持されている。吸着盤14aの後端には下方に屈曲した係止突起14kが突出し、傾動時に基台部14pの後部のストッパ14mに係止突起14kが当接して、吸着盤14aのチルト支点軸14j周りの傾動角度が所定角度に規制されるようにしている。基台部14pの後部と吸着盤14aの後端との間には、シリンダなどの傾動駆動装置14nが配置されて、シリンダ14nからピストンロッドを伸縮させることにより、吸着盤14aがチルト支点軸14j周りに揺動可能としている。傾動駆動装置14nとしては、シリンダに限らず、±10μmオーダーで位置調整が可能でかつサーボモータなどのアクチュエーターを利用して構成されかつボールネジにもガタ付きが少ない直動装置でもよい。なお、基台部14pは、昇降装置14bと第1移動装置14cと移送機構部18とに連結されて、吸着盤14aと一体的に、それぞれの方向に移動できるようにしている。   In the tilting portion 64, the sticking start end portion 2c of the sheet-like piece 2 placed and held by the suction pad unit 65 at the tip 14e in the suction holding portion 14 is sucked by the second film suction disk 60 at the beginning of the sticking start. The suction holding unit 14 is tilted (tilted) so as to come into contact with the held second film 4. Specifically, as shown in FIG. 21 and FIG. 22, the suction disk 14a of the T-shaped suction holding part 14 has a base part 14p that can swing around a tilt fulcrum shaft 14j below the leg part 14h. It is supported by. A locking projection 14k bent downward projects from the rear end of the suction plate 14a, and the locking projection 14k comes into contact with the stopper 14m at the rear of the base portion 14p when tilting, so that the suction plate 14a around the tilt fulcrum shaft 14j The tilt angle is regulated to a predetermined angle. A tilting drive device 14n such as a cylinder is disposed between the rear portion of the base portion 14p and the rear end of the suction plate 14a, and the suction plate 14a is extended and retracted from the cylinder 14n, so that the suction plate 14a is tilted to the tilt fulcrum shaft 14j. It can swing around. The tilt drive device 14n is not limited to a cylinder, and may be a linear motion device that can be adjusted in position on the order of ± 10 μm, is configured using an actuator such as a servo motor, and has little play on the ball screw. In addition, the base part 14p is connected with the raising / lowering apparatus 14b, the 1st moving apparatus 14c, and the transfer mechanism part 18, and it can move to each direction integrally with the suction disk 14a.

このような構成の貼付部19は、以下のようにして貼付工程S24を行う。   The sticking unit 19 having such a configuration performs the sticking step S24 as follows.

図18に示すように、貼付部19は、位置調整部61で位置調整した状態でかつ傾動部64で吸着保持部14を傾動する前に昇降部63で吸着保持部14を位置調整状態よりもさらに上昇して、吸着保持部14のフィルム貼付開始部材62に載置保持されたシート状個片2の貼付開始端部2cを、第2フィルム吸着盤60で吸着保持された第2フィルム4に接触させる。このとき、シート状個片2の貼付開始端部2c以外の他の領域は、第2フィルム4には接触していない状態とする。   As shown in FIG. 18, the sticking unit 19 is in a state where the position adjustment unit 61 has adjusted the position, and before the suction holding unit 14 is tilted by the tilting unit 64, the lifting and lowering unit 63 moves the suction holding unit 14 from the position adjustment state. Further rising, the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 placed and held on the film sticking start member 62 of the suction holding part 14 is attached to the second film 4 sucked and held by the second film suction disk 60. Make contact. At this time, a region other than the sticking start end portion 2 c of the sheet-like piece 2 is not in contact with the second film 4.

次いで、図19に示すように、シート状個片2の貼付開始端部2cが、第2フィルム4に接触した状態で、傾動部64のシリンダ14nを駆動して、所定角度まで吸着保持部14すなわち吸着盤14aを傾動させる。   Next, as shown in FIG. 19, in a state where the sticking start end 2 c of the sheet-like piece 2 is in contact with the second film 4, the cylinder 14 n of the tilting part 64 is driven to the suction holding part 14 up to a predetermined angle. That is, the suction disk 14a is tilted.

次いで、図20に示すように、シート状個片2の貼付開始端部2cが、第2フィルム4に接触するとともに傾動部64で吸着保持部14を所定角度まで傾動させた状態で、吸着保持部14を第2フィルム4の搬送方向とは逆方向である貼付方向に第1移動装置14cで移動させて、シート状個片2の貼付開始端部2cより後方の領域をフィルム貼付開始部材62に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材62で第2フィルム4に貼り付ける。このようにして、シート状個片2の全体を第2フィルム4の貼付対象領域4aに貼り付けると、昇降部63で吸着保持部14を下降させて、次のシート状個片2の吸着保持のため、移送機構部18で吸着保持位置91まで戻って、吸着及び剥離工程S12を行う。   Next, as shown in FIG. 20, the sticking start end 2 c of the sheet-like piece 2 is in contact with the second film 4 and the suction holding part 14 is tilted to a predetermined angle by the tilting part 64. The part 14 is moved by the first moving device 14c in the sticking direction opposite to the conveying direction of the second film 4, and the region behind the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 is moved to the film sticking start member 62. To the second film 4 with the film sticking start member 62. Thus, when the whole sheet-like piece 2 is stuck on the sticking target area 4a of the second film 4, the suction holding part 14 is lowered by the elevating part 63, and the next sheet-like piece 2 is sucked and held. Thus, the transfer mechanism unit 18 returns to the suction holding position 91 and performs the suction and separation step S12.

なお、図2に示す一連の貼合動作を実施するそれぞれの駆動装置等は、貼合制御部で制御するのが好ましい。   In addition, it is preferable to control each drive device etc. which implement a series of bonding operation | movement shown in FIG. 2 with a bonding control part.

前記実施形態によれば、位置調整部61で高精度に第1フィルム1のシート状個片2と第2フィルム4とを位置合わせしたのち、昇降部63で吸着盤14aを上昇させて、フィルム貼付開始部材62に保持された第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを第2フィルム4に接触させたのち、この接触を維持しつつシート状個片2を吸着保持する吸着盤14aを傾動部64で傾動させ、その接触及び傾動状態のまま、吸着盤14aを第2フィルム4の搬送方向とは逆方向に第1移動装置14cで移動させて、シート状個片2の貼付開始端部2cより後方の領域をフィルム貼付開始部材62に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材62で第2フィルム4に貼り付けるようにしている。この結果、高精度に位置合わせした状態を維持しつつ貼り付けができるので、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となる。   According to the embodiment, after the sheet-like piece 2 of the first film 1 and the second film 4 are aligned with high accuracy by the position adjustment unit 61, the suction plate 14 a is raised by the elevating unit 63, and the film After the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 of the first film 1 held by the sticking start member 62 is brought into contact with the second film 4, the sheet-like piece 2 is sucked and held while maintaining this contact. The suction plate 14a is tilted by the tilting portion 64, and the suction plate 14a is moved by the first moving device 14c in the direction opposite to the conveying direction of the second film 4 while being in the contact and tilted state. The film sticking start member 62 is attached to the second film 4 while the region behind the sticking start end 2c is sequentially sent to the film sticking start member 62. As a result, since it can paste | paste while maintaining the state aligned with high precision, the bonding in the highly accurate position in a +/- 10micrometer order is attained.

また、吸着動作制御部17で、吸着保持部14において、吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作を行うことによって、吸着保持部14に保持されていたシート状個片2の応力を解放したのち、貼合することができる。このため、シート状個片2には残留応力が無く、フィルム対フィルムであってもシートの伸び縮みによる位置ズレが起きず、貼合後の反りを効果的に防止できて、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合がさらに確実に可能となり、品質向上に繋がる。   Further, in the suction operation control unit 17, in the suction holding unit 14, the suction operation is stopped entirely, loosened, partially stopped, or partially loosened after the suction operation. By performing the suction control operation for performing the above, it is possible to bond after releasing the stress of the sheet-like piece 2 held by the suction holding unit 14. For this reason, there is no residual stress in the sheet-like piece 2, and even if it is a film-to-film, the positional displacement due to the expansion and contraction of the sheet does not occur, and the warp after the bonding can be effectively prevented, on the order of ± 10 μm. Bonding at a highly accurate position can be made more reliable, leading to quality improvement.

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement in another various aspect.

例えば、残留応力を解放するため、吸着保持力の停止又は緩和以外に、吸着保持力の停止する上にエアなどを吸引孔41から少量吹き出して、残留応力をより解放しやすくしてもよい。   For example, in order to release the residual stress, in addition to the stop or relaxation of the suction holding force, a small amount of air or the like may be blown out from the suction hole 41 in addition to the stop of the suction holding force to make it easier to release the residual stress.

また、フィルム貼付開始部材62として吸着パッド部材65と、回転自在に配置された貼付ロール68との両方を備えて、適宜、入れ替えて使用するようにしてもよい。   Further, both the suction pad member 65 and the rotatable application roll 68 may be provided as the film application start member 62, and may be used by appropriately replacing them.

すなわち、図23に示すように、貼付部19は、フィルム貼付開始部材62として、上端面に、シート状個片2の貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材65と、回転自在に配置された貼付ロール68とを有する入替機構部73を備える。   That is, as shown in FIG. 23, the sticking portion 19 is rotatably arranged as a film sticking start member 62 on the upper end surface with a suction pad member 65 that sucks and holds the sticking start end portion of the sheet-like piece 2. A replacement mechanism unit 73 having a pasting roll 68 is provided.

入替機構部73は、吸着盤14aの貼付開始側の先端14eにおいて、吸着パッド部材65が吸着盤14aの端部近傍に、第2フィルム4の搬送方向沿いに、貼付位置99Aと退避位置99Bとの間で吸着パッド部材移動装置74で移動可能に配置されている。また、入替機構部73は、吸着盤14aの貼付開始側の先端14eにおいて、貼付ロール68が吸着盤14aの端部近傍に、上下方向沿いに、貼付位置98Aと退避位置98Bとの間で貼付ロール移動装置75で移動可能に配置されている。   The replacement mechanism 73 has a sticking position 99A and a retracting position 99B at the tip 14e on the sticking start side of the suction plate 14a, in the vicinity of the end of the suction plate 14a, along the transport direction of the second film 4. The suction pad member moving device 74 is movable between the two. Further, in the replacement mechanism 73, at the tip 14e on the sticking start side of the suction disk 14a, the sticking roll 68 is stuck between the sticking position 98A and the retracted position 98B in the vertical direction near the end of the suction disk 14a. It is arranged to be movable by a roll moving device 75.

フィルム貼付開始部材62として、上端面に、第1フィルム1のシート状個片2の貼付開始端部2cを吸着保持する吸着パッド部材65と、回転自在に配置された貼付ロール68とを有している。   As the film sticking start member 62, the upper end surface has a suction pad member 65 that sucks and holds the sticking start end 2 c of the sheet-like piece 2 of the first film 1, and a sticking roll 68 that is rotatably arranged. ing.

吸着盤14aの貼付開始側の先端14eの位置に、貼付開始時には吸着パッド部材65を配置し、貼付開始後には貼付ロール68を配置するように、吸着パッド部材65と貼付ロール68との位置を入替機構部73で入れ替える。   The positions of the suction pad member 65 and the sticking roll 68 are arranged at the position of the tip 14e on the sticking start side of the suction board 14a so that the suction pad member 65 is placed at the start of sticking and the sticking roll 68 is placed after the sticking is started. Replacement is performed by the replacement mechanism unit 73.

貼付開始時、吸着パッド部材65の吸着パッド面でシート状個片2の貼付開始端部2cを吸着保持して貼付開始したのち、入替機構部73で吸着パッド部材65と貼付ロール68とを入れ替えたのち、貼付ロール68でシート状個片2の貼付開始端部2cより後方の領域を第2フィルム4に貼り付ける。   At the start of sticking, the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 is sucked and held on the suction pad surface of the suction pad member 65, and sticking is started. Then, the suction pad member 65 and the sticking roll 68 are replaced by the replacement mechanism 73. After that, the area behind the sticking start end 2 c of the sheet-like piece 2 is stuck on the second film 4 with the sticking roll 68.

図24A〜図24Eは、入替機構部73の動作を説明するための図である。   24A to 24E are diagrams for explaining the operation of the replacement mechanism unit 73.

図24Aには、位置調整部61で、4点カメラ48などを使用してアライメント工程S23を実施して位置合わせする状態を示している。このとき、吸着パッド部材65が貼付位置99Aに位置し、貼付ロール68が退避位置98Bに位置している。   FIG. 24A shows a state where the position adjustment unit 61 performs alignment by performing the alignment step S23 using the four-point camera 48 or the like. At this time, the suction pad member 65 is located at the sticking position 99A, and the sticking roll 68 is located at the retracted position 98B.

次いで、図24Bでは、吸着保持部14が昇降部63により上昇して、吸着盤14aに吸着保持されたシート状個片2であって吸着パッド部材65に保持された貼付開始端部2cが、第2フィルム4に押圧接触させられる。このとき、吸着パッド部材65が貼付位置99Aに位置し、貼付ロール68が退避位置98Bに位置している。   Next, in FIG. 24B, the suction holding portion 14 is lifted by the lifting and lowering portion 63, and the sticking start end portion 2 c which is the sheet-like piece 2 sucked and held by the suction disk 14 a and held by the suction pad member 65 is The second film 4 is pressed and contacted. At this time, the suction pad member 65 is located at the sticking position 99A, and the sticking roll 68 is located at the retracted position 98B.

次いで、図24Cでは、シート状個片2の貼付開始端部2cが第2フィルム4に接触した状態において、吸着パッド部材65が貼付位置99Aから退避位置99Bに吸着パッド部材移動装置74で移動するとともに、貼付ロール68が退避位置98Bから貼付位置98Aに貼付ロール移動装置75で上昇して、貼付ロール68でシート状個片2の貼付開始端部2cが第2フィルム4に押圧接触させるようになる。この結果、吸着パッド部材65が退避位置99Bに位置し、貼付ロール68が貼付位置98Aに位置している。   Next, in FIG. 24C, the suction pad member 65 is moved from the sticking position 99 </ b> A to the retracted position 99 </ b> B by the suction pad member moving device 74 in a state where the sticking start end 2 c of the sheet-like piece 2 is in contact with the second film 4. At the same time, the sticking roll 68 is raised from the retracted position 98B to the sticking position 98A by the sticking roll moving device 75 so that the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 is pressed against the second film 4 by the sticking roll 68. Become. As a result, the suction pad member 65 is located at the retracted position 99B, and the sticking roll 68 is located at the sticking position 98A.

次いで、図24Dは、シート状個片2の貼付開始端部2cが第2フィルム4に貼付ロール68で接触させた状態において、傾動部64で吸着盤14aを所定角度まで傾動させる。   Next, in FIG. 24D, the suction disk 14a is tilted to a predetermined angle by the tilting portion 64 in a state where the sticking start end portion 2c of the sheet-like piece 2 is in contact with the second film 4 by the sticking roll 68.

次いで、図24Eは、シート状個片2の貼付開始端部2cが第2フィルム4に貼付ロール68で接触させた状態でかつ吸着盤14aが傾動した状態で、第1移動装置14cにより第2フィルム4の搬送方向とは逆方向沿いに吸着盤14aを移動させて、シート状個片2の貼付開始端部2cより後方の領域を、貼付ロール68に順に送りながらかつ貼付ロール68が回転することにより押圧力を作用させながら、第2フィルム4に貼り付ける。なお、第1移動装置14cにより、傾動動作での位置ずれ分の移動を接触位置に変化が出ないように連動させながら移動する。このとき、吸着パッド部材65が退避位置99Bに位置し、貼付ロール68が貼付位置98Aに位置している。   Next, FIG. 24E shows a state in which the first moving device 14c performs the second operation while the sticking start end 2c of the sheet-like piece 2 is in contact with the second film 4 with the sticking roll 68 and the suction disk 14a is tilted. The adhering plate 14a is moved along the direction opposite to the conveying direction of the film 4, and the adhering roll 68 rotates while sequentially feeding the area behind the adhering start end 2c of the sheet-like piece 2 to the adhering roll 68. This is applied to the second film 4 while applying a pressing force. The first moving device 14c moves while interlocking the movement of the position shift in the tilting operation so that the contact position does not change. At this time, the suction pad member 65 is located at the retracted position 99B, and the sticking roll 68 is located at the sticking position 98A.

このような構成によれば、以下のような利点がある。すなわち、最初に、吸着盤14aの端部に、貼付ロール68の代わりに吸着パッド部材65を配置する理由は、シート状個片2の端部まで吸着する事で、シート状個片2のカールを抑える事ができるためである。また、貼付ロール68による接触の場合には、円滑に貼り付けが行えるが、シート状個片2の端部のカールが原因で、外観不良(めくれ上がりなど)が発生するリスクがある。そこで、貼付ロール68と吸着パッド部材65とを両方備え、かつ、機構的に同一箇所に両部材を同時に配置出来ないため、両部材を適切なタイミングで入れ替え方式とすることにより、貼付ロール68と吸着パッド部材65とのそれぞれの利点を享受できるようにしている。   Such a configuration has the following advantages. That is, first, the reason why the suction pad member 65 is arranged at the end of the suction disk 14a instead of the sticking roll 68 is that the end of the sheet-like piece 2 is sucked to curl the sheet-like piece 2. It is because it can suppress. Further, in the case of contact by the sticking roll 68, the sticking can be performed smoothly, but there is a risk that an appearance defect (such as turning up) may occur due to the curl of the end of the sheet-like piece 2. Therefore, since both the sticking roll 68 and the suction pad member 65 are provided, and both members cannot be placed at the same place mechanically, the sticking roll 68 and the sticking roll 68 Each advantage with the suction pad member 65 can be enjoyed.

本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、第2フィルム4も、長尺の樹脂フィルムの一方面のみに第2導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムであってもよい。また、第1フィルム1及び第2フィルム4の一方が、絵柄パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された加飾フィルムであってもよい。さらには、フィルム状の有機LEDと機能フィルム又は加飾フィルムとの貼り合せにも適用可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the second film 4 also has a function in which a large number of second conductive patterns are formed on one side of a long resin film at regular intervals in the longitudinal direction. It may be a film. Further, one of the first film 1 and the second film 4 may be a decorative film in which a large number of pattern patterns are formed at regular intervals in the longitudinal direction. Furthermore, it is applicable also to bonding of a film-like organic LED and a functional film or a decorative film.

なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。   In addition, it can be made to show the effect which each has by combining arbitrary embodiment or modification of the said various embodiment or modification suitably. In addition, combinations of the embodiments, combinations of the examples, or combinations of the embodiments and examples are possible, and combinations of features in different embodiments or examples are also possible.

本発明にかかる貼合装置は、±10μmオーダーでの高精度な位置での貼合が可能であり、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する場合に有用である。   The bonding apparatus according to the present invention can be bonded at a highly accurate position on the order of ± 10 μm, and is useful when a film taken out from a roll film is bonded to another roll film.

1 第1フィルム
1a シート状個片以外の残余部分
1c 第1フィルムの貼付開始端部
2 シート状個片
3 セパレータ
4 第2フィルム
4a 第2フィルムの貼付対象領域
7 ハーフカット部
11 第1搬送部
11a 第1フィルム巻戻ローラ
11a 第1フィルム巻取ローラ
11c 案内ローラ
12 第2搬送部
12a 第2フィルム巻戻ローラ
12b 第2フィルム巻取ローラ
12c 案内ローラ
13 ハーフカット処理部
14 吸着保持部
14a 吸着盤
14b 昇降装置
14c 第1移動装置
14e 吸着保持部の貼付開始側の先端
14f 吸着保持面
14h 脚部
14j チルト支点軸
14k 係止突起
14n シリンダ
14p 基台部
15 剥離部
15a 案内板
16 ブレード
17 吸着動作制御部
18 移送機構部
19 貼付部
19a 吸引機構部
20 ロールテンション
41 吸引孔
42 吸着盤
43,44,45,46 領域
47 吸引機構部
48 カメラ
60 吸着盤
61 位置調整部
62 フィルム貼付開始部材
63 昇降部
64 傾動部
65 吸着パッド部材
66 補正量算出部
67 位置制御部
68 貼付ロール
69 第1アライメントマーク
70 第2アライメントマーク
71 貼付用吸引機構部
73 入替機構部
74 吸着パッド部材移動装置
75 貼付ロール移動装置
91 吸着保持位置
92 貼合わせ位置
S11 ハーフカット工程
S12 吸着及び剥離工程
S13 移送工程
S21 剥離工程
S22 吸着工程
S23 アライメント工程
S24 貼付工程
S41 第1吸着動作
S42 吸着制御動作
S43 第2吸着動作
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st film 1a Residual part 1c other than a sheet-like piece 1st sticking start end part 2 Sheet-like piece 3 Separator 4 Second film 4a Second film sticking area 7 Half cut part 11 First transport part 11a 1st film rewinding roller 11a 1st film winding roller 11c Guide roller 12 2nd conveyance part 12a 2nd film rewinding roller 12b 2nd film winding roller 12c Guide roller 13 Half cut processing part 14 Adsorption holding part 14a Adsorption Board 14b Lifting device 14c First moving device 14e Tip 14f on suction side of sticking holding part 14f Suction holding surface 14h Leg 14j Tilt fulcrum shaft 14k Locking projection 14n Cylinder 14p Base part 15 Peeling part 15a Guide plate 16 Blade 17 Suction Operation control unit 18 Transfer mechanism unit 19 Pasting unit 19a Suction mechanism unit 20 Roll tension DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction hole 42 Suction board 43,44,45,46 Area | region 47 Suction mechanism part 48 Camera 60 Suction board 61 Position adjustment part 62 Film sticking start member 63 Lifting part 64 Tilt part 65 Suction pad member 66 Correction amount calculation part 67 Position control Part 68 Adhering roll 69 First alignment mark 70 Second alignment mark 71 Adhering suction mechanism part 73 Replacement mechanism part 74 Adsorption pad member moving apparatus 75 Adhering roll moving apparatus 91 Adsorption holding position 92 Adhering position S11 Half-cut process S12 Adsorption and Peeling Step S13 Transfer Step S21 Peeling Step S22 Suction Step S23 Alignment Step S24 Sticking Step S41 First Suction Operation S42 Suction Control Operation S43 Second Suction Operation

前記目的を達成するために、本発明の第1態様によれば、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第1フィルムを搬送する第1搬送部と、
長尺の第2フィルムを搬送する第2搬送部と、
前記第1フィルムから前記セパレータを残して前記第1フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第1フィルムの前記シート状個片と前記第2フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記第2フィルムに対して貼り付ける貼付部とを備え、
前記貼付部は、
前記貼合わせ位置にて、前記第2フィルムを吸着保持する第2フィルム吸着保持部と、
前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片と、第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムとの位置調整を行う位置調整部と、
前記吸着保持部の貼付開始側の先端に配置され、前記吸着保持部の前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持面よりも高さ方向に高い位置に前記第1フィルムの前記シート状個片の貼付開始端部を載置保持するフィルム貼付開始部材と、
第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに対して接離するように前記吸着保持部を昇降させる昇降部と、
貼付開始時に、前記吸着保持部において前記フィルム貼付開始部材が、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接触可能に前記吸着保持部を傾動させる傾動部と、
前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向に移動させる移動装置とを備え、
前記貼付部は、前記位置調整部で位置調整した状態でかつ前記傾動部で前記吸着保持部を傾動する前に前記昇降部で前記吸着保持部を上昇して、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接触させたのち、前記貼付開始端部を前記第2フィルムに接触させた状態で前記傾動部で前記吸着保持部を傾動させその後、前記傾動部での傾動を維持しつつ前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向の貼付方向に移動させて、前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記フィルム貼付開始部材に順に送りつつ、前記フィルム貼付開始部材で前記第2フィルムに貼り付ける、貼合装置を提供する。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, in the laminating apparatus for laminating films,
A first transport unit that transports a first film that is long and has a separator disposed on one surface;
A second transport unit for transporting a long second film;
A half-cut processing unit that forms a sheet-like piece by half-cutting only the first film into a predetermined size and shape, leaving the separator from the first film;
A suction holding section for sucking and holding the sheet-like pieces of the first film formed by half-cutting;
The sheet-like piece of the first film that is sucked and held by the suction holding portion by reversing the remaining portion other than the sheet-like piece of the first film formed by half-cutting and the separator with a blade. A peeling portion that peels from the separator;
In the suction holding unit, a suction operation control unit for sucking the sheet-like pieces of the first film;
Move the sheet-like piece of the first film peeled and sucked and held by the suction holding part from the peeling part to the bonding position of the sheet-like piece of the first film and the second film. A transfer mechanism section
A pasting unit for pasting the sheet-like piece of the first film sucked and held by the sucking and holding unit performing the sucking operation at the pasting position to the second film; ,
The affixing part is
A second film adsorbing and holding unit for adsorbing and holding the second film at the bonding position;
A position adjusting unit that adjusts the position of the sheet-like piece of the first film sucked and held by the suction holding unit and the second film sucked and held by the second film suction holding unit;
The first film is disposed at the tip of the suction holding part on the sticking start side and is higher in the height direction than the suction holding surface for sucking and holding the sheet-like piece of the first film of the suction holding part. A film sticking start member for placing and holding the sticking start end of the sheet-like piece; and
An elevating unit that raises and lowers the adsorption holding unit so as to come in contact with and separate from the second film adsorbed and held by the second film adsorption holding unit;
A tilting part that tilts the suction holding part so that the film sticking start member can come into contact with the second film sucked and held by the second film suction holding part in the suction holding part at the start of sticking;
A moving device that moves the suction holding unit in a direction opposite to the conveying direction of the second film;
The affixing unit raises the adsorbing and holding unit with the elevating unit in a state where the position is adjusted by the position adjusting unit and before the adsorbing and holding unit is tilted with the tilting unit, and the film affixing of the adsorbing and holding unit After the sticking start end of the sheet-like piece of the first film held by the starting member is brought into contact with the second film sucked and held by the second film sucking and holding part, the sticking start end parts by tilting the suction holding portion in the tilting portion being in contact with the second film, after which the transport direction of the second film the suction holding portion while maintaining the tilt at the tilt part The film sticking start member moves the region behind the sticking start end of the sheet-like piece of the first film in order to the film sticking start member while moving in the reverse sticking direction. fill Paste it into, to provide a bonding apparatus.

Claims (6)

フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第1フィルムを搬送する第1搬送部と、
長尺の第2フィルムを搬送する第2搬送部と、
前記第1フィルムから前記セパレータを残して前記第1フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第1フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第1フィルムの前記シート状個片と前記第2フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片を、前記第2フィルムに対して貼り付ける貼付部とを備え、
前記貼付部は、
前記貼合わせ位置にて、前記第2フィルムを吸着保持する第2フィルム吸着保持部と、
前記吸着保持部に吸着保持された前記第1フィルムの前記シート状個片と、第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムとの位置調整を行う位置調整部と、
前記吸着保持部の貼付開始側の先端に配置され、前記吸着保持部の前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持面よりも高さ方向に高い位置に前記第1フィルムの前記シート状個片の貼付開始端部を載置保持するフィルム貼付開始部材と、
第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに対して接離するように前記吸着保持部を昇降させる昇降部と、
貼付開始時に、前記吸着保持部において前記フィルム貼付開始部材が、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接触可能に前記吸着保持部を傾動させる傾動部と、
前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向に移動させる移動装置とを備え、
前記貼付部は、前記位置調整部で位置調整した状態でかつ前記傾動部で前記吸着保持部を傾動する前に前記昇降部で前記吸着保持部を上昇して、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに接近させたのち、前記傾動部で前記吸着保持部を傾動させた状態で、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第2フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第2フィルムに押し付けるように接触させ、その後、前記傾動部での傾動を維持しつつ前記吸着保持部を前記第2フィルムの搬送方向とは逆方向の貼付方向に移動させて、前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記フィルム貼付開始部材に順に送りつつ、前記フィルム貼付開始部材で前記第2フィルムに貼り付ける、貼合装置。
In the laminating device that bonds the films together,
A first transport unit that transports a first film that is long and has a separator disposed on one surface;
A second transport unit for transporting a long second film;
A half-cut processing unit that forms a sheet-like piece by half-cutting only the first film into a predetermined size and shape, leaving the separator from the first film;
A suction holding section for sucking and holding the sheet-like pieces of the first film formed by half-cutting;
The sheet-like piece of the first film that is sucked and held by the suction holding portion by reversing the remaining portion other than the sheet-like piece of the first film formed by half-cutting and the separator with a blade. A peeling portion that peels from the separator;
In the suction holding unit, a suction operation control unit for sucking the sheet-like pieces of the first film;
Move the sheet-like piece of the first film peeled and sucked and held by the suction holding part from the peeling part to the bonding position of the sheet-like piece of the first film and the second film. A transfer mechanism section
A pasting unit for pasting the sheet-like piece of the first film sucked and held by the sucking and holding unit performing the sucking operation at the pasting position to the second film; ,
The affixing part is
A second film adsorbing and holding unit for adsorbing and holding the second film at the bonding position;
A position adjusting unit that adjusts the position of the sheet-like piece of the first film sucked and held by the suction holding unit and the second film sucked and held by the second film suction holding unit;
The first film is disposed at the tip of the suction holding part on the sticking start side and is higher in the height direction than the suction holding surface for sucking and holding the sheet-like piece of the first film of the suction holding part. A film sticking start member for placing and holding the sticking start end of the sheet-like piece; and
An elevating unit that raises and lowers the adsorption holding unit so as to come in contact with and separate from the second film adsorbed and held by the second film adsorption holding unit;
A tilting part that tilts the suction holding part so that the film sticking start member can come into contact with the second film sucked and held by the second film suction holding part in the suction holding part at the start of sticking;
A moving device that moves the suction holding unit in a direction opposite to the conveying direction of the second film;
The affixing unit raises the adsorbing and holding unit with the elevating unit in a state where the position is adjusted by the position adjusting unit and before the adsorbing and holding unit is tilted with the tilting unit, and the film affixing of the adsorbing and holding unit After the sticking start end of the sheet-like piece of the first film held by the starting member is brought close to the second film sucked and held by the second film sucking and holding part, the tilting part With the suction holding portion tilted, the sticking start end portion of the sheet-like piece of the first film held by the film sticking start member of the suction holding portion is referred to as the second film suction holding portion. The second film held by suction is brought into contact with the second film, and then the suction holding part is moved in a sticking direction opposite to the conveying direction of the second film while maintaining the tilting of the tilting part. The Wherein while the posterior region than the joining start end of said sheet-like piece of the first film feed sequentially on the film sticking start member is attached to the second film in the film sticking start member, bonding apparatus.
前記フィルム貼付開始部材に載置保持された前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部は、前記吸着保持部の前記吸着保持面よりも高さ方向に0.1mm〜2mmだけ高い位置に位置するように、前記フィルム貼付開始部材が前記吸着保持部の前記吸着保持面よりも高い位置に配置されている、
請求項1に記載の貼合装置。
The sticking start end of the sheet-like piece of the first film placed and held on the film sticking start member is only 0.1 mm to 2 mm in the height direction from the suction holding surface of the suction holding part. The film sticking start member is disposed at a position higher than the suction holding surface of the suction holding portion so as to be located at a high position.
The bonding apparatus according to claim 1.
前記フィルム貼付開始部材は、上端面に、前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材である、
請求項1又は2に記載の貼合装置。
The film sticking start member is a suction pad member that sucks and holds the sticking start end of the sheet-like piece of the first film on the upper end surface.
The bonding apparatus according to claim 1 or 2.
前記フィルム貼付開始部材は、回転自在に配置された貼付ロールである、
請求項1又は2に記載の貼合装置。
The film sticking start member is a sticking roll arranged rotatably.
The bonding apparatus according to claim 1 or 2.
前記貼付部は、
前記フィルム貼付開始部材として、上端面に、前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材と、回転自在に配置された貼付ロールとを有するとともに、
前記吸着保持部の貼付開始側の前記先端の位置に、貼付開始時には前記吸着パッド部材を配置し、貼付開始後には前記貼付ロールを配置するように、前記吸着パッド部材と前記貼付ロールとの位置を入れ替える入替機構部とを備え、
貼付開始時、前記吸着パッド部材で前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持して貼付開始したのち、前記入替機構部で前記吸着パッド部材と前記貼付ロールとを入れ替えたのち、前記貼付ロールで前記第1フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記第2フィルムに貼り付ける、
請求項1又は2に記載の貼合装置。
The affixing part is
As the film sticking start member, an upper end surface has a suction pad member that sucks and holds the sticking start end of the sheet-like piece of the first film, and a sticking roll that is rotatably arranged,
Position of the suction pad member and the sticking roll so that the sticking pad member is arranged at the start of sticking at the tip of the sticking holding part at the sticking start side, and the sticking roll is placed after starting sticking. And a replacement mechanism part for replacing
At the time of starting the sticking, the sticking start end of the sheet-like piece of the first film is sucked and held by the suction pad member, and then the sticking pad member and the sticking roll are attached by the replacement mechanism. After replacement, the region behind the pasting start end of the sheet-like piece of the first film is pasted to the second film with the pasting roll,
The bonding apparatus according to claim 1 or 2.
前記吸着動作制御部は、前記吸着保持部において、前記第1フィルムの前記シート状個片を吸着する第1吸着動作と、前記第1吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作と、前記吸着制御動作後に前記第1フィルムの前記シート状個片を再び吸着する第2吸着動作とを順に実施するように制御する、
請求項1〜5のいずれか1つに記載の貼合装置。
The adsorption operation control unit is configured to stop the adsorption operation after the first adsorption operation for adsorbing the sheet-like pieces of the first film and the adsorption operation after the first adsorption operation in the adsorption holding unit. A suction control operation for either loosening, partially stopping, or partially loosening, and a second suction operation for again sucking the sheet-like pieces of the first film after the suction control operation. And control to execute in order,
The bonding apparatus as described in any one of Claims 1-5.
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