JP2017538292A - ベロウズによる歪みウェハのチャッキング - Google Patents
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Abstract
Description
本願は2014年12月6日付米国仮出願第62/088,546号に基づく優先権を主張する出願であり、この参照を以て当該仮出願の全容が本願に繰り入れられるものとする。
Claims (20)
- ベースと、
第1端及び第1端とは逆の側にある第2端を有し、その第2端がベース上に配されているベロウズと、
第1面及び第1面とは逆の側にある第2面を有し、その第2面がベロウズの第1端上に配されており、その第1面によって自パッドに凹部が画定されており、更に、それら第1面・第2面間に少なくとも1個のチャネルが備わりそのチャネルがチャネル壁によって画定されているパッドと、
第1容積部及び第2容積部と通流状態にあり、その第1容積部がベース、ベロウズ及びパッドによって画定されており、その第2容積部が部分的に上記凹部によって画定されている真空ポートと、
を備える吸引アセンブリ。 - 請求項1記載の吸引アセンブリであって、更に、そのベロウズ・パッド間に配された浮動部品を備え、その浮動部品が、自浮動部品の浮動部品本体を貫くよう浮動部品チャネル壁によって画定された浮動部品チャネルを有し、その浮動部品チャネルがパッドのチャネルと通流状態にあり、第1容積部が更にその浮動部品によって画定されている吸引アセンブリ。
- 請求項1記載の吸引アセンブリであって、そのパッドがポリイミドで形成されている吸引アセンブリ。
- 請求項1記載の吸引アセンブリであって、そのベロウズがステンレス鋼で形成されている吸引アセンブリ。
- 請求項1記載の吸引アセンブリであって、更に、そのベースに配された止めネジを備え、その止めネジが可調であり、ベロウズ後退時にパッド用の止めを提供するようその止めネジが構成されている吸引アセンブリ。
- 請求項1記載の吸引アセンブリであって、更に、そのベロウズの内部にありベース・パッド間に配されているバネを備える吸引アセンブリ。
- 請求項1記載の吸引アセンブリであって、そのベロウズの断面積がパッドの断面積より大きい吸引アセンブリ。
- 請求項7記載の吸引アセンブリであって、そのパッドの断面積に対するベロウズの断面積の比が1.1:1〜1.5:1である吸引アセンブリ。
- 真空チャックであって、
チャッキング面を画定しており更にそのチャッキング面によって画定された吸引アセンブリ開口を有している本体と、
吸引アセンブリ開口内に配された吸引アセンブリと、
を備え、その吸引アセンブリが、
ベースと、
第1端及び第1端とは逆の側にある第2端を有し、その第2端がベース上に配されているベロウズと、
第1面及び第1面とは逆の側にある第2面を有し、その第2面がベロウズの第1端上に配されており、その第1面によって自パッドに凹部が画定されており、更に、それら第1面・第2面間に少なくとも1個のチャネルが備わりそのチャネルがチャネル壁によって画定されているパッドと、
第1容積部及び第2容積部と通流状態にあり、その第1容積部がベース、ベロウズ及びパッドによって画定されており、その第2容積部が部分的に上記凹部によって画定されている真空ポートと、
を備え、第1ポジションではパッドの第1面がチャッキング面から遠く、第1ポジションに比べ第2ポジションではパッドの第1面がチャッキング面に近い真空チャック。 - 請求項9記載の真空チャックであって、更に、吸引アセンブリ開口複数個と、上記吸引アセンブリ複数個と、を備え、吸引アセンブリが吸引アセンブリ開口内に配されている真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、更に、そのベロウズ・パッド間に配された浮動部品を備え、その浮動部品が、自浮動部品の浮動部品本体を貫くよう浮動部品チャネル壁によって画定された浮動部品チャネルを有し、その浮動部品チャネルがパッドのチャネルと通流状態にあり、第1容積部が更にその浮動部品によって画定されている真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、そのパッドがポリイミドで形成されている真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、そのベロウズがステンレス鋼で形成されている真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、更に、そのベースに配された止めネジを備え、その止めネジが可調であり、ベロウズが第2ポジションへと後退したときパッド用の止めを提供するようその止めネジが構成されている真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、更に、そのベロウズの内部にありベース・パッド間に配されているバネを備える真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、そのパッドの第1面が第2ポジションではチャッキング面と同一面内にある真空チャック。
- 請求項9記載の真空チャックであって、そのベロウズの断面積がパッドの断面積より大きい真空チャック。
- 請求項17記載の真空チャックであって、そのパッドの断面積に対するベロウズの断面積の比が1.1:1〜1.5:1である真空チャック。
- ウェハのウェハ表面を真空チャックのチャッキング面上に配置するステップであり、ウェハ表面の全体未満しかチャッキング面と接触せず、真空チャックが、ベロウズ及びパッドを有する吸引アセンブリを備えているステップと、
ベロウズ内部の容積部及びそのベロウズに連結されているパッドの凹部の圧力を、パッドがウェハ表面と係合し且つベロウズが後退することでウェハ表面があまり非平坦でなくなるよう低下させるステップと、
を有するチャッキング方法。 - 請求項19記載の方法であって、その真空チャックが複数個の吸引アセンブリを備え、上記低下させるステップが、複数個ある容積部及び凹部内の圧力を、複数個あるパッドがウェハ表面と係合し且つ複数個あるベロウズが後退するよう低下させるステップを含む方法。
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