JP2017532744A5

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Publication number: JP2017532744A5
Application number: JP2017519876A
Authority: JP
Filing date: 2015-10-13
Publication date: 2018-11-22
Anticipated expiration: 2035-10-13

Claims

二次イオン質量分析計とともに使用するために構成された一次イオン源サブアセンブリであって、
前記一次イオン源サブアセンブリは、イオン化管と貯留台部とを備え、
前記イオン化管は、前記貯留台部の近位にある近位端と、前記貯留台部の遠位にある遠位端とを含み、
前記イオン化管は、内部通路を画定し、
前記遠位端は、外側に突出している円錐部または円錐台形部を含み、前記内部通路の公称直径または平均直径と比較して小さい直径を有するイオン化器開口を画定し、
前記イオン化管と前記貯留台部とは一体であり、連続するグラファイトまたはグラファイト含有の本体材料で形成されている、一次イオン源サブアセンブリ。
二次イオン質量分析計とともに使用するために構成された一次イオン源サブアセンブリであって、
前記一次イオン源サブアセンブリは、
内部通路を画定し、貯留部からセシウム含有蒸気を受けるように構成されたイオン化管と、
円錐面または円錐台形面を画定し、外側に突出している円錐部または円錐台形部を備える遠位端部であって、イオン化器開口が、前記円錐面または円錐台形面の中心軸を貫通して延在し、該イオン化器開口が、前記イオン化管の前記内部通路からセシウム含有蒸気を受けるように配置されている、遠位端部と、
貯留台部と
を備え、
前記イオン化管、前記貯留台部、及び前記円錐面または円錐台形面は、一体であり、連続するグラファイトまたはグラファイト含有の本体材料で形成されている、一次イオン源サブアセンブリ。
二次イオン質量分析計とともに使用するために構成された一次イオン源サブアセンブリであって、
前記一次イオン源サブアセンブリは、
内部通路を画定し、貯留部からセシウム含有蒸気を受けるように構成されたイオン化管と、
円錐面または円錐台形面を画定し、外側に突出している円錐部または円錐台形部を備える遠位端部であって、イオン化器開口が、前記円錐面または円錐台形面の中心軸を貫通して延在し、該イオン化器開口が、前記イオン化管の前記内部通路からセシウム含有蒸気を受けるように配置されている、遠位端部と、
前記イオン化管の第１端に配置されるように構成された毛細管挿入物及びキャップと
を備え、
前記毛細管挿入物は、前記イオン化器開口と前記円錐面または円錐台形面とを画定するグラファイトまたはグラファイト含有材料を備える本体を含み、前記毛細管挿入物の少なくとも一部分が、前記イオン化管の前記第１端に沿って前記イオン化管の前記内部通路に受容されるように構成されており、
前記キャップは、前記毛細管挿入物の一部分を受容するように配置された空洞を画定し、前記イオン化器開口に位置合わせされたオリフィスを画定し、前記キャップは、前記イオン化管の雄ネジ面を係合させて、前記毛細管挿入物と前記イオン化管との間に封止係合が生じるように構成された雌ネジ面を含んでいる、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項３に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、さらに、
前記イオン化管の第２端に近接する貯留台部を備える、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記貯留台部の一部分は、空洞を画定する貯留部本体の空洞の境界をなすように構成されている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項５に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記貯留台部及び前記イオン化管の第１部分は、組み合わさって、前記空洞を画定する貯留部本体の前記空洞に露出するように配置された第１環状凹部を画定し、前記イオン化管の第２の遠位部分は、前記貯留台部から前記遠位端に向かって外側に延在している、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項５に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記貯留台部は、前記空洞を画定する貯留部本体の雌ネジ面と係合するように構成された雄ネジ面を備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項５に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記貯留台部は、（ｉ）前記空洞を画定する貯留部本体の外縁部と（ｉｉ）前記空洞を画定する貯留部本体の一部分を螺合させるように配置された封止キャップとの間で圧縮可能に受容されるように配置された、径方向に延在するリップ部を備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項５に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記貯留台部は、前記イオン化器に最も近い端部における、前記空洞を画定する貯留部本体の内径よりも大きい最大直径値から、前記イオン化器から最も離れている端部における、前記空洞を画定する貯留部本体の内径よりも小さい縮小した直径値まで、位置に応じて変化する外径を有するテーパー形状の円筒面を備え、
前記一次イオン源サブアセンブリは、さらに、前記空洞を画定する貯留部本体の一部分を螺合させるように、かつ、前記テーパー形状の円筒面を前記空洞を画定する貯留部本体へと押し込むように配置された封止キャップとを備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項１〜９のうちのいずれか１項に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記外側に突出している円錐部または円錐台形部は、４度から４５度の範囲の相補的な円錐の半角を備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項１〜１０のうちのいずれか１項に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記イオン化器開口は、約１２５μｍ以下の直径を備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
請求項１〜１１のうちのいずれか１項に記載の一次イオン源サブアセンブリであって、
前記外側に突出している円錐部または円錐台形部の外面の少なくとも一部分上に配置された耐熱性金属被膜または耐熱性金属シースをさらに備えている、一次イオン源サブアセンブリ。
二次イオン質量分析計とともに使用するために構成された一次イオン源であって、
前記一次イオン源は、
貯留台部と、
貯留部本体と、
前記貯留台部と前記貯留部本体との間に配置された管状ガスケットであって、前記管状ガスケットが、グラファイトまたはグラファイト含有の本体材料を含み、前記管状ガスケットが、第１端と第２端とを備え、前記管状ガスケットが、中間点における最大直径値から、前記第１端及び前記第２端における縮小した直径値まで、位置に応じて変化する外径を備えている、管状ガスケットと、
前記貯留台部の一部分と、前記貯留部本体の一部分と、前記管状ガスケットの内面とによって境界がなされた貯留部空洞と流体連通して配置されたイオン化管と、
前記貯留台部及び前記貯留部本体のうちの少なくとも一方の雄ネジ面を係合させるように配置された雌ネジを備えている封止ナットと
を備えている、一次イオン源。
請求項１３に記載の一次イオン源であって、
前記イオン化管と前記貯留台部とは、一体であり、連続するグラファイトまたはグラファイト含有の本体材料で形成されている、一次イオン源。
請求項１３または請求項１４に記載の一次イオン源であって、
前記イオン化管は、前記貯留部本体の近位にある近位端を備え、前記イオン化管は、前記イオン化管内部の通路の公称直径または平均直径と比較して小さい直径を有しているイオン化器開口を画定している遠位端を備えている、一次イオン源。
請求項１５に記載の一次イオン源であって、
前記イオン化管の前記遠位端は、外側に突出している円錐面または円錐台形面を備え、
前記イオン化器開口は、前記外側に突出している円錐面または円錐台形面の中心軸を貫通して延在している、一次イオン源。
二次イオン質量分析計とともに使用するために構成されたイオン供給アセンブリであって、
前記イオン供給アセンブリは、
イオン化器開口を通してイオンを放出するように構成された一次イオン源と、
前記イオン化器開口に位置合わせされた抽出板オリフィスを画定する抽出板と、
前記抽出板オリフィスに位置合わせされたビーム阻止板オリフィスを画定するビーム阻止板であって、前記ビーム阻止板オリフィスが、前記一次イオン源の近位では縮小した直径部分を備え、前記一次イオン源の遠位では増大した直径部分を備えている、ビーム阻止板と
を備えている、イオン供給アセンブリ。
請求項１７に記載のイオン供給アセンブリであって、
前記ビーム阻止板オリフィスは、円錐台形の断面形状を備えている、イオン供給アセンブリ。
請求項１７または請求項１８に記載のイオン供給アセンブリであって、
前記ビーム阻止板は、円錐台形延長部を備え、前記縮小した直径部分は、前記円錐台形延長部を介して画定されている、イオン供給アセンブリ。
請求項１７〜１９のうちのいずれか１項に記載のイオン供給アセンブリであって、
前記一次イオン源は、イオン化管と貯留台部とを備え、
前記イオン化管は、前記貯留台部の近位にある近位端と、前記貯留台部の遠位にある遠位端とを含み、
前記イオン化管は、内部通路を画定し、
前記遠位端は、外側に突出している円錐部または円錐台形部を含み、前記内部通路の公称直径または平均直径と比較して小さい直径を有するイオン化器開口を画定し、
前記イオン化管と前記貯留台部とは一体であり、連続するグラファイトまたはグラファイト含有の本体材料で形成されている、イオン供給アセンブリ。