JP2017527997A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. シェル部分、及び開放前面を画定するドアフレームを備える容器部分と、
   前記ドアフレームに受け入れられるような大きさのドアであって、前記ドアを前記容器部分に係止するためのラッチ機構を備えるドアと、
   ウェーハを受け入れる領域を画定するための前記容器部分内に位置する１対のウェーハ棚構成要素と
   を備え、
   前記ウェーハ棚構成要素のそれぞれは、複数の着座部分を有し、ウェーハ縁部を係合するための前記着座部分上で露出されるポリブチレンテレフタレートポリマーは前記ウェーハは縁部に対して摩擦耐性がある、フロントオープニングウェーハ容器。
2. ３００ｍｍ又は４５０ｍｍのウェーハを受け入れるように構成されるとともに開放前面及び前記ウェーハを受け入れるように構成された１組の積み重ねられた傾斜部を有する容器部分を備え、前記傾斜部のそれぞれは棚間のウェーハの着座位置に通じ、１対の組の棚は複数の棚上の着座位置を提供し、前記開放前面を閉じるためにドアが前記容器部分によって受け入れられるような大きさにされ、前記ドアは、前記容器部分内で前記１組の積み重ねられた傾斜部と協働する１組の積み重ねられた傾斜部を有し、
   前記容器部分の前記１組の積み重ねられた傾斜部は、前記ドアの前記積み重ねられた傾斜部に比べて前記ウェーハの縁部に対する滑り摩擦が小さいポリマーで形成される、フロントオープニングウェーハ容器。
3. 前記ポリマーは、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせを含む、請求項２に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
4. 前記母材はポリカーボネートであり、前記ポリマーは、オーバーモールド成型することによって前記ポリカーボネートに接合されるポリブチレンテレフタレートである、請求項２に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
5. 開放前面及び前記開放前面を閉じるためのドアを有する容器部分を備え、前記容器部分は、棚上の着座位置を画定する複数の棚及び高い棚間の着座位置を画定する複数の傾斜部を備え、前記棚は第１のポリマー材料で形成され、前記複数の傾斜部は第２のポリマー材料で形成されるフロントオープニングウェーハ容器。
6. 前記複数の棚は、前記容器部分の１つの面にある第１の１組の積み重ねられた棚と、前記容器部分の前記１つの面とは反対側の面にある第２の１組の積み重ねられた棚とを備え、前記複数の傾斜部は、前記容器部分の前記１つの面にある第１の１組の積み重ねられた傾斜部と、前記容器部分の前記反対側の面にある第２の１組の積み重ねられた傾斜部とを備える、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
7. 前記第１のポリマー材料は、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせを含む、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
8. 前記第１のポリマー材料はポリブチレンテレフタレートであり、前記第２のポリマー材料はポリカーボネートである、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
9. ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせから、１組の積み重ねられた傾斜部を備える予備形成品を形成することと、
   ウェーハ棚構成要素用の型に前記予備形成品を挿入することと、
   前記型内に母材を注入することによって前記予備形成品上に前記母材をオーバーモールド成型し、ウェーハ棚構成要素を形成することと、
   成型された前記ウェーハ棚構成要素を前記型から取り除くことと、
   容器部分内に前記ウェーハ棚構成要素を設置することと
   を含む、ウェーハ容器を製造する方法。