JP2017524983A - ピエゾ抵抗式ポジションセンサを備えたシステム - Google Patents
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/0009—Force sensors associated with a bearing
- G01L5/0019—Force sensors associated with a bearing by using strain gages, piezoelectric, piezo-resistive or other ohmic-resistance based sensors
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板(4)と、該基板(4)に少なくとも1つの固体ジョイント(6,6’,6’’)を介して結合されていると共に前記基板(4)に対して相対運動可能なプラットホーム(5)と、1つの電気的なブリッジを形成するように互いに接続された複数のピエゾ抵抗素子(10,10’,14,15,16)を有する少なくとも1つのポジションセンサとを備えたシステムであって、前記少なくとも1つの固体ジョイント(6)に1つのピエゾ抵抗素子(10,10’)が配置されているシステムにおいて、
前記基板(4)又は前記プラットホーム(5)に少なくとも1つのピエゾ抵抗素子(14,15,16)が配置されていることを特徴とする、システム。 - 前記固体ジョイント(6)にはピエゾ抵抗素子(10,10’)が1つだけ配置されており、且つ前記基板(4)又は前記プラットホーム(5)には3つのピエゾ抵抗素子(14,15,16)が配置されていると共に、各ピエゾ抵抗素子が互いに接続されて1つのホイートストンブリッジ(17)を形成している、請求項1記載のシステム。
- 少なくとも1つのピエゾ抵抗素子(10,10’,14,15,16)は、ドープされた結晶質又は多結晶質の半導体材料から形成されている、請求項1又は2記載のシステム。
- 少なくとも1つのピエゾ抵抗素子(10)は、U字形に形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のシステム。
- 少なくとも1つのピエゾ抵抗素子(10,10’,14,15,16)は、非透光性の層により被覆されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のシステム。
- 少なくとも1つの温度センサが、前記基板(4)又は前記プラットホーム(5)に配置されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のシステム。
- 整数2で、好適には整数4で割り切れる数の固体ジョイント(6,6’,6’’)と、前記プラットホームの周りに均等に配置された2つ、好適には4つのポジションセンサとが設けられている、請求項1から6までのいずれか1項記載のシステム。
- 各前記ピエゾ抵抗素子(10,10’)は、同形式の各前記固体ジョイント(6)においてそれぞれ同じ位置に配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のシステム。
- 前記ピエゾ抵抗素子(10,10’)は、前記各固体ジョイント(6)のプラットホーム側又は基板側に配置されている、請求項1から8までのいずれか1項記載のシステム。
- 前記プラットホーム(5)に配置された1つのピエゾ抵抗素子(14,15,16)に通じる少なくとも1つの接続導線(18,19,20,21)が、1つの固体ジョイント(6’,6’’)上に延びている、請求項1から9までのいずれか1項記載のシステム。
- 1つの固体ジョイント(6’,6’’)に少なくとも2つの接続導線(18〜21)が配置されている、請求項1から10までのいずれか1項記載のシステム。
- 1つの固体ジョイント(6)に配置された1つのピエゾ抵抗素子(10’)に通じる1つの接続導線(28)は、隣の固体ジョイント(6’,6’’)及び前記プラットホーム(5)又は前記基板(4)を介して案内されている、請求項1から11までのいずれか1項記載のシステム。
- 前記プラットホーム(5)上にはミラー(7)が配置されている、請求項1から12までのいずれか1項記載のシステム。
- 前記プラットホーム(5)の下には、磁石(9)又は磁化可能な材料が配置されており、該磁石(9)又は該磁化可能な材料の領域には、少なくとも1つのコイル(100)が設けられている、請求項1から13までのいずれか1項記載のシステム。
- 前記ポジションセンサの信号を測定及び評価するための測定装置と評価装置とが設けられている、請求項1から14までのいずれか1項記載のシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP14178608.7 | 2014-07-25 | ||
EP14178608.7A EP2977811A1 (de) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | System mit einem piezoresistiven Positionssensor |
PCT/EP2015/066925 WO2016012559A1 (de) | 2014-07-25 | 2015-07-23 | System mit einem piezoresistiven positionssensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017524983A true JP2017524983A (ja) | 2017-08-31 |
JP6516243B2 JP6516243B2 (ja) | 2019-05-22 |
Family
ID=51229824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017504174A Expired - Fee Related JP6516243B2 (ja) | 2014-07-25 | 2015-07-23 | ピエゾ抵抗式ポジションセンサを備えたシステム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10408695B2 (ja) |
EP (1) | EP2977811A1 (ja) |
JP (1) | JP6516243B2 (ja) |
CN (1) | CN107076983B (ja) |
WO (1) | WO2016012559A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017220813A1 (de) | 2017-11-22 | 2019-05-23 | Robert Bosch Gmbh | Laserprojektionsvorrichtung |
CN111122027A (zh) * | 2018-11-01 | 2020-05-08 | 中科院微电子研究所昆山分所 | 一种压力传感器 |
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-
2014
- 2014-07-25 EP EP14178608.7A patent/EP2977811A1/de not_active Withdrawn
-
2015
- 2015-07-23 CN CN201580041133.6A patent/CN107076983B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-07-23 JP JP2017504174A patent/JP6516243B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2015-07-23 WO PCT/EP2015/066925 patent/WO2016012559A1/de active Application Filing
-
2017
- 2017-01-25 US US15/414,751 patent/US10408695B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016012559A1 (de) | 2016-01-28 |
CN107076983A (zh) | 2017-08-18 |
EP2977811A1 (de) | 2016-01-27 |
US10408695B2 (en) | 2019-09-10 |
US20170131162A1 (en) | 2017-05-11 |
JP6516243B2 (ja) | 2019-05-22 |
CN107076983B (zh) | 2019-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170815 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |