JP2017516979A - 赤外線を用いた半導体ワークピースの温度測定および較正技術 - Google Patents
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Claims (15)
- プラテンと、
前記プラテン上に配置される較正ワークピースと、
赤外線スペクトルにおける波長範囲を用いて前記較正ワークピースの温度を判定する赤外線カメラと、
前記較正ワークピースの上面の一部分に配置され、前記波長範囲での温度範囲にわたってほぼ一定の放射率を有する被覆と、
を備える、処理システム。 - 前記温度範囲は、0℃から600℃の間である、請求項1に記載の処理システム。
- 前記被覆は、前記上面の直径に沿って施される、請求項1に記載の処理システム。
- 前記被覆は、前記上面全体に施される、請求項1に記載の処理システム。
- ワークピースプロセスを較正する方法であって、
プロセスチャンバにおける加熱プラテンを、100℃を超える昇温状態に維持するステップと、
前記プロセスチャンバに、所望温度範囲にわたってほぼ一定の放射率を有する被覆を上面の一部分に備える較正ワークピースを導入するステップと、
前記較正ワークピースを、前記加熱プラテン上に配置するステップと、
赤外線カメラの焦点を前記一部分に合わせて、経時的に前記較正ワークピースの温度を監視するステップと、
前記較正ワークピースが所定温度に到達するための時間を記録するステップと、
を有する、方法。 - さらに、前記記録後にワークピースを処理するステップを有し、
前記処理するステップは、
前記ワークピースを前記加熱プラテン上に配置するステップ と、
所定時間待機するステップと、
前記待機後に前記ワークピースを処理するステップと、
を有し、
前記所定時間は、前記較正ワークピースが前記所定温度に到達するための前記記録された時間に基づいて決定される、
請求項5に記載の方法。 - 前記被覆は、前記較正ワークピースの前記上面全体に施され、
さらに、前記赤外線カメラの焦点を前記上面の複数箇所に合わせて、前記較正ワークピースの温度均一性を判定するステップを有する、
請求項5に記載の方法。 - 前記一部分は、前記上面の直径を含み、
さらに、前記赤外線カメラの焦点を前記直径の複数箇所に合わせて、前記較正ワークピースの温度均一性を推定するステップを有する、
請求項5に記載の方法。 - ワークピース製造プロセスを確認する方法であって、
第1ワークピースをプロセスチャンバに導入するステップと、
前記第1ワークピースを、前記プロセスチャンバにおける加熱プラテンであって、100℃を超える昇温状態の加熱プラテン上に配置するステップと、
前記加熱プラテン上で、前記第1ワークピースを処理するステップと、
前記第1ワークピースの導入と同じように、較正ワークピースを前記プロセスチャンバに導入するステップとを有し、前記較正ワークピースは所望温度範囲にわたってほぼ一定の放射率を有する被覆を上面の一部分に備え、
前記被覆を有する前記一部分に焦点を合わせた赤外線カメラを用いて、前記較正ワークピースの温度を測定するステップと、
前記温度が許容範囲内であることを検証するステップと、
を有する、方法。 - さらに、
前記温度が前記許容範囲内であることを検証した後、第2ワークピースを前記プロセスチャンバに導入するステップと、
前記第2ワークピースを、前記プロセスチャンバにおける前記加熱プラテン上に配置するステップと、
前記加熱プラテン上で、前記第2ワークピースを処理するステップと、
を有する、請求項9に記載の方法。 - さらに、前記温度が前記許容範囲内でない場合に、補正動作を行うステップを有する、
請求項9に記載の方法。 - 前記導入するステップは、
ワークピースをロードロックに配置するステップと、
前記プロセスチャンバ内に配置されたロボット機構を用いて、前記ワークピースを前記ロードロックから取り出すステップと、
を有する、
請求項9に記載の方法。 - 前記被覆は、前記較正ワークピースの前記上面全体に施され、
さらに、前記赤外線カメラの焦点を前記上面の複数箇所に合わせて、前記較正ワークピースの温度均一性を判定するステップを有する、
請求項9に記載の方法。 - 前記一部分は、前記上面の直径を含み、
さらに、前記赤外線カメラの焦点を前記直径の複数箇所に合わせて、前記較正ワークピースの温度均一性を推定するステップを有する、
請求項9に記載の方法。 - ワークピースを昇温状態で処理する方法であって、
所望温度範囲についてほぼ一定の放射率を有する被覆を、前記ワークピースの上面の第1部分に施すステップと、
前記ワークピースを加熱プラテン上に配置するステップと、
前記ワークピースの温度を監視するように、赤外線カメラの焦点を前記第1部分に合わせるステップと、
前記第1部分と異なる前記ワークピースの第2部分を処理するステップと、
前記ワークピースを前記昇温状態に維持するように、前記ワークピースを処理しながら、前記ワークピースの前記監視された温度に基づいて前記加熱プラテンの温度を調整するステップと、
を有し、
前記昇温状態は、100℃を超える、
方法。
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