JP2017513188A - ナノ構造の反射防止層を有する光源 - Google Patents
ナノ構造の反射防止層を有する光源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017513188A JP2017513188A JP2016557932A JP2016557932A JP2017513188A JP 2017513188 A JP2017513188 A JP 2017513188A JP 2016557932 A JP2016557932 A JP 2016557932A JP 2016557932 A JP2016557932 A JP 2016557932A JP 2017513188 A JP2017513188 A JP 2017513188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- light source
- plasma cell
- gas
- transparent portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/025—Associated optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/35—Vessels; Containers provided with coatings on the walls thereof; Selection of materials for the coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/32—Special longitudinal shape, e.g. for advertising purposes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
Description
Claims (49)
- ガスの体積を含むように構成され、ポンプレーザから照明を受けて前記ガスの体積内にプラズマを発生させるように構成されたプラズマセルであって、前記プラズマが広帯域放射を放出し、前記プラズマセルが、
前記ポンプレーザからの照明の少なくとも一部と、前記プラズマにより放出される前記広帯域放射の少なくとも一部とを少なくとも部分的に透過する1つ以上の透明部分と、
前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に配置された1つ以上のナノ構造層とを含み、
前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって屈折率制御の領域を形成するプラズマセルを含むレーザ持続プラズマ光源。 - 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と前記プラズマセル内の大気との界面にわたって屈折率制御の領域を形成する光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と前記プラズマセルの外部の大気との界面にわたって屈折率制御の領域を形成する光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって屈折率が連続的に変化する領域を形成する光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって、選択された外形に従って屈折率が変化する領域を形成する光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって、フレネル損失を選択されたレベル未満まで低減させるように構成される光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記プラズマセルがプラズマバルブを含む光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記プラズマセルが、透過素子と、前記透過素子の1つ以上の開口部に配置された1つ以上のフランジとを含み、前記1つ以上のフランジが、前記透過素子の内部体積を取り囲んで、前記透過素子内にガスの体積を含むように構成される光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層と前記1つ以上の透明部分とが同じ材料から形成される光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層が第1の材料から形成され、前記1つ以上の透明部分が前記第1の材料とは異なる第2の材料から形成される光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記1つ以上のナノ構造層の各々が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の少なくとも一部の表面にわたって形成された一連の構造を含む光源。
- 請求項11に記載の光源であって、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の少なくとも一部の表面にわたって形成された前記一連の構造が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の少なくとも一部の表面にわたって形成された一連の周期的構造を含む光源。
- 請求項12に記載の光源であって、前記周期的構造が、選択されたピッチで前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の前記表面にわたって形成される光源。
- 請求項13に記載の光源であって、前記選択されたピッチが、前記ポンプレーザからの照明の前記1つ以上の波長よりも小さい間隔を含む光源。
- 請求項13に記載の光源であって、前記選択されたピッチが、前記プラズマにより放出される広帯域照明の少なくとも一部の1つ以上の波長よりも小さい間隔を含む光源。
- 請求項12に記載の光源であって、前記周期的構造が特徴高さを有する光源。
- 請求項12に記載の光源であって、前記周期的構造が特徴幅を有する光源。
- 請求項11に記載の光源であって、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の少なくとも一部の表面にわたって形成された前記一連の構造が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の少なくとも一部の表面にわたって形成された一連の非周期的構造を含む光源。
- 請求項18に記載の光源であって、第1の構造と第2の構造との第1の間隔が、前記一連の非周期的構造の前記第2の構造と少なくとも第3の構造との第2の間隔とは異なる光源。
- 請求項18に記載の光源であって、前記一連の非周期的構造の第1の構造の特徴が、前記一連の非周期的構造の少なくとも第2の構造の特徴とは異なる光源。
- 請求項20に記載の光源であって、前記一連の非周期的構造の第1の構造の形状が、前記一連の非周期的構造の少なくとも第2の構造の形状とは異なる光源。
- 請求項20に記載の光源であって、前記一連の非周期的構造の第1の構造の高さが、前記一連の非周期的構造の少なくとも第2の構造の高さとは異なる光源。
- 請求項20に記載の光源であって、前記一連の非周期的構造の第1の構造の幅が、前記一連の非周期的構造の少なくとも第2の構造の幅とは異なる光源。
- 請求項11に記載の光源であって、前記構造の少なくとも一部が、ナノロッド、ナノコーン、切頭ナノコーン、またはナノ放物面のうちの少なくとも1つを含む光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記プラズマセルの前記透明部分が、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化リチウム、結晶石英、サファイア、または溶融シリカのうちの少なくとも1つから形成される光源。
- 請求項1に記載の光源であって、前記ガスが、不活性ガス、非不活性ガス、および2つ以上のガスの混合物のうちの少なくとも1つを含む光源。
- 広帯域レーザ持続プラズマ光を発生させるための装置であって、
照明を発生させるように構成された1つ以上のポンプレーザと、
ガスの体積を含むように構成され、前記1つ以上のポンプレーザから照明を受けて前記ガスの体積内にプラズマを発生させるように構成されたプラズマセルであって、前記プラズマが広帯域放射を放出し、前記プラズマセルが、前記ポンプレーザからの照明の少なくとも一部と、前記プラズマにより放出される前記広帯域放射の少なくとも一部とを少なくとも部分的に透過する1つ以上の透明部分と、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に配置された1つ以上のナノ構造層とを含み、前記1つ以上のナノ構造層が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって屈折率制御の領域を形成するプラズマセルと、
前記1つ以上のポンプレーザからの前記照明の焦点を前記ガスの体積に合わせて、前記プラズマセル内に含まれた前記ガスの体積内にプラズマを発生させるように配置されたコレクタ素子とを含む装置。 - 請求項27に記載の装置であって、前記コレクタ素子が、前記発生したプラズマにより放出された前記広帯域放射の少なくとも一部を集め、前記広帯域放射を1つ以上の追加の光学素子に向けるように配置される装置。
- 請求項27に記載の装置であって、前記コレクタ素子が楕円形のコレクタ素子を含む装置。
- 請求項27に記載の装置であって、前記1つ以上のポンピングレーザが1つ以上の赤外線レーザを含む装置。
- 請求項27に記載の装置であって、前記1つ以上のポンピングレーザが、ダイオードレーザ、連続波レーザ、または広帯域レーザのうちの少なくとも1つを含む装置。
- 請求項27に記載の装置であって、前記1つ以上のポンピングレーザが、略一定の電力でレーザ光を前記プラズマに提供するように構成された1つ以上のレーザを含む装置。
- 請求項27に記載の装置であって、前記1つ以上のポンピングレーザが、変調レーザ光を前記プラズマに提供するように構成された1つ以上の変調レーザを含む装置。
- ガスの体積を含むように構成されたアークランプであって、
前記ガスの体積内で放電を発生させるように構成された一連の電極と、
前記放電に関連して放出された広帯域放射の少なくとも一部を少なくとも部分的に透過する1つ以上の透明部分と、
前記アークランプの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に配置された1つ以上のナノ構造層とを含み、
前記1つ以上のナノ構造層が、前記アークランプの前記1つ以上の透明部分と大気との界面にわたって屈折率制御の領域を形成するアークランプを含む光源。 - 広帯域レーザ持続プラズマ光を発生させるための装置であって、
照明を発生させるように構成された1つ以上のポンピングレーザと、
ガス封じ込め構造と、
ガスの体積を含むように前記ガス封じ込め構造に機械的に連結された凹状領域を含むコレクタ素子であって、前記1つ以上のポンピングレーザからの前記照明の焦点を前記ガスの体積に合わせて、前記コレクタ素子の前記凹状領域および前記ガス封じ込め構造により含まれた前記ガスの体積内にプラズマを発生させるように配置されたコレクタ素子と、
照明を前記1つ以上のポンピングレーザから前記ガス封じ込め構造へ透過させるように構成された第1の透明部分と、
前記プラズマから前記ガス封じ込め構造の外部の領域へ広帯域放射を透過させるように構成された追加の透明部分であって、前記1つ以上のナノ構造層が、前記第1の透明部分または前記追加の透明部分の少なくとも一方の1つ以上の表面に形成され、前記1つ以上のナノ構造層が、前記第1の透明部分または前記追加の透明部分の少なくとも一方と、前記ガス封じ込め構造の内部のガスまたは前記ガス封じ込め構造の外部のガスの少なくとも一方とにより画成された界面にわたって屈折率制御の領域を形成する追加の透明部分とを含む装置。 - 請求項35に記載の装置であって、前記ガス封じ込め構造がチャンバを含む装置。
- 請求項35に記載の装置であって、前記コレクタ素子が、前記発生したプラズマにより放出される広帯域照明を集め、前記追加の透明部分を介して前記広帯域照明を1つ以上の追加の光学素子に向けるように配置される装置。
- 請求項35に記載の装置であって、前記コレクタ素子が楕円形のコレクタ素子を含む装置。
- 請求項35に記載の装置であって、前記1つ以上のポンピングレーザが、ダイオードレーザ、連続波レーザ、または広帯域レーザのうちの少なくとも1つを含む装置。
- 請求項35に記載の装置であって、前記ガスが、不活性ガス、非不活性ガス、および2つ以上のガスの混合物のうちの少なくとも1つを含む装置。
- 1つ以上の反射防止面を有する広帯域光源を形成するための方法であって、
1つ以上の透明部分を有するランプを設けるステップと、
前記ランプの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に1つ以上のナノ構造を形成して、前記1つ以上のナノ構造が、プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と、前記プラズマセルの内部の体積または前記プラズマセルの外部の体積の少なくとも一方との間に屈折率制御の領域を形成するようにするステップとを含む方法。 - 請求項41に記載の方法であって、前記1つ以上の透明部分を有するランプを設けるステップが、1つ以上の透明部分を有するプラズマセルを設けるステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記1つ以上の透明部分を有するプラズマセルを設けるステップが、1つ以上の透明部分を有するプラズマバルブを含むプラズマセルを設けるステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記1つ以上の透明部分を有するプラズマセルを設けるステップが、1つ以上の透明部分を有する透過素子を含むプラズマセルを設けるステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記1つ以上の透明部分を有するランプを設けるステップが、1つ以上の透明部分を含むアークランプを設けるステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記ランプの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に1つ以上のナノ構造を形成するステップが、エッチングプロセスにより、前記ランプの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に1つ以上のナノ構造を形成するステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記ランプの前記1つ以上の透明部分の1つ以上の表面に1つ以上のナノ構造を形成するステップが、成形プロセスにより、前記ランプの前記1つ以上の透明部分の前記1つ以上の表面に1つ以上のナノ構造を形成するステップを含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記ランプの前記1つ以上の透明部分と、前記ランプの内部の体積または前記ランプの外部の体積の少なくとも一方との間の前記屈折率制御の領域が、前記ランプの前記1つ以上の透明部分と、前記ランプの内部の体積または前記ランプの外部の体積の少なくとも一方との間の、屈折率が連続的に変化する領域を含む方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記ランプの前記1つ以上の透明部分と、前記ランプの内部の体積または前記ランプの外部の体積の少なくとも一方との間の前記屈折率制御の領域が、前記プラズマセルの前記1つ以上の透明部分と、前記ランプの内部の体積または前記ランプの外部の体積の少なくとも一方との間の、選択された外形に従って屈折率が変化する領域を含む方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019238419A JP6891261B2 (ja) | 2014-03-20 | 2019-12-27 | ナノ構造の反射防止層を有する光源、装置、及び方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201461968161P | 2014-03-20 | 2014-03-20 | |
US61/968,161 | 2014-03-20 | ||
US14/660,849 | 2015-03-17 | ||
US14/660,849 US9530636B2 (en) | 2014-03-20 | 2015-03-17 | Light source with nanostructured antireflection layer |
PCT/US2015/021460 WO2015143150A1 (en) | 2014-03-20 | 2015-03-19 | Light source with nanostructured antireflection layer |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019238419A Division JP6891261B2 (ja) | 2014-03-20 | 2019-12-27 | ナノ構造の反射防止層を有する光源、装置、及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017513188A true JP2017513188A (ja) | 2017-05-25 |
JP2017513188A5 JP2017513188A5 (ja) | 2018-04-26 |
Family
ID=54143490
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016557932A Pending JP2017513188A (ja) | 2014-03-20 | 2015-03-19 | ナノ構造の反射防止層を有する光源 |
JP2019238419A Active JP6891261B2 (ja) | 2014-03-20 | 2019-12-27 | ナノ構造の反射防止層を有する光源、装置、及び方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019238419A Active JP6891261B2 (ja) | 2014-03-20 | 2019-12-27 | ナノ構造の反射防止層を有する光源、装置、及び方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9530636B2 (ja) |
JP (2) | JP2017513188A (ja) |
DE (1) | DE112015001355B4 (ja) |
WO (1) | WO2015143150A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9723703B2 (en) * | 2014-04-01 | 2017-08-01 | Kla-Tencor Corporation | System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma |
EP3356864B1 (en) | 2015-09-22 | 2024-03-20 | PureFize Technologies AB | Extraction structure for a uv lamp |
SE542334C2 (en) * | 2016-05-23 | 2020-04-14 | Lightlab Sweden Ab | Method for manufacturing a light extraction structure for a uv lamp |
US11422084B2 (en) * | 2017-12-06 | 2022-08-23 | California Institute Of Technology | System for analyzing a test sample and method therefor |
US10109473B1 (en) | 2018-01-26 | 2018-10-23 | Excelitas Technologies Corp. | Mechanically sealed tube for laser sustained plasma lamp and production method for same |
US10714327B2 (en) * | 2018-03-19 | 2020-07-14 | Kla-Tencor Corporation | System and method for pumping laser sustained plasma and enhancing selected wavelengths of output illumination |
DE102018221189A1 (de) | 2018-12-07 | 2020-06-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Bilden von Nanostrukturen an einer Oberfläche und optisches Element |
US11887835B2 (en) * | 2021-08-10 | 2024-01-30 | Kla Corporation | Laser-sustained plasma lamps with graded concentration of hydroxyl radical |
DE102022206465A1 (de) | 2022-06-27 | 2023-06-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Entspiegelung von optischen elementen für lithographiesysteme über einen grossen lichteinfallswinkelbereich mittels einer nanostrukturierung der oberfläche |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011033420A2 (en) * | 2009-09-15 | 2011-03-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp with improved efficiency |
JP2012001000A (ja) * | 2006-11-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 反射防止構造を有する光学素子用成形型及び光学素子 |
US20130003384A1 (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Kla-Tencor Corporation | Adaptive optics for compensating aberrations in light-sustained plasma cells |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1462618A (en) | 1973-05-10 | 1977-01-26 | Secretary Industry Brit | Reducing the reflectance of surfaces to radiation |
JP2002025503A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Nippon Photo Science:Kk | 紫外線を利用した処理装置 |
JP2004527881A (ja) | 2001-03-30 | 2004-09-09 | アドバンスド ライティング テクノロジイズ,インコーポレイティド | 改良されたプラズマランプ及び方法 |
US7026076B2 (en) | 2003-03-03 | 2006-04-11 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of patterning photoresist on a wafer using a reflective mask with a multi-layer ARC |
US20050168148A1 (en) * | 2004-01-30 | 2005-08-04 | General Electric Company | Optical control of light in ceramic arctubes |
DE102005000660A1 (de) * | 2005-01-04 | 2006-11-09 | Schott Ag | Leuchtvorrichtung mit einem strukturierten Körper |
EP1935035A2 (de) | 2005-10-10 | 2008-06-25 | X-FAB Semiconductor Foundries AG | Herstellung von selbstorganisierten nadelartigen nano-strukturen und ihre recht umfangreichen anwendungen |
US7435982B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
KR101254161B1 (ko) | 2007-12-14 | 2013-04-18 | 지고 코포레이션 | 주사 간섭계를 사용해서 표면 구조를 분석하는 방법 및 장치 |
US8553333B2 (en) | 2009-01-23 | 2013-10-08 | State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Nanostructured anti-reflective coatings for substrates |
JP5252586B2 (ja) | 2009-04-15 | 2013-07-31 | ウシオ電機株式会社 | レーザー駆動光源 |
US9099292B1 (en) | 2009-05-28 | 2015-08-04 | Kla-Tencor Corporation | Laser-sustained plasma light source |
WO2010143503A1 (ja) | 2009-06-12 | 2010-12-16 | シャープ株式会社 | 反射防止膜、表示装置及び透光部材 |
EP2534672B1 (en) * | 2010-02-09 | 2016-06-01 | Energetiq Technology Inc. | Laser-driven light source |
MX2012012034A (es) | 2010-04-16 | 2013-05-30 | Flex Lighting Ii Llc | Dispositivo de iluminacion frontal que comprende una guia de luz a base de pelicula. |
US20120057235A1 (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for Antireflection in Binary and Multi-Level Diffractive Elements |
WO2012032162A1 (de) | 2010-09-09 | 2012-03-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Verfahren zur reduzierung der grenzflächenreflexion einer glasoberfläche |
JP6110319B2 (ja) | 2011-03-14 | 2017-04-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ナノ構造化物品 |
US9318311B2 (en) | 2011-10-11 | 2016-04-19 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell for laser-sustained plasma light source |
US9927094B2 (en) | 2012-01-17 | 2018-03-27 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell for providing VUV filtering in a laser-sustained plasma light source |
JP6035841B2 (ja) * | 2012-04-24 | 2016-11-30 | 三浦工業株式会社 | 紫外線照射装置 |
US9775226B1 (en) | 2013-03-29 | 2017-09-26 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for generating a light-sustained plasma in a flanged transmission element |
US9390902B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-07-12 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for controlling convective flow in a light-sustained plasma |
-
2015
- 2015-03-17 US US14/660,849 patent/US9530636B2/en active Active
- 2015-03-19 JP JP2016557932A patent/JP2017513188A/ja active Pending
- 2015-03-19 WO PCT/US2015/021460 patent/WO2015143150A1/en active Application Filing
- 2015-03-19 DE DE112015001355.5T patent/DE112015001355B4/de active Active
-
2019
- 2019-12-27 JP JP2019238419A patent/JP6891261B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012001000A (ja) * | 2006-11-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 反射防止構造を有する光学素子用成形型及び光学素子 |
WO2011033420A2 (en) * | 2009-09-15 | 2011-03-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp with improved efficiency |
US20130003384A1 (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Kla-Tencor Corporation | Adaptive optics for compensating aberrations in light-sustained plasma cells |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9530636B2 (en) | 2016-12-27 |
JP2020074307A (ja) | 2020-05-14 |
WO2015143150A1 (en) | 2015-09-24 |
DE112015001355T5 (de) | 2016-12-01 |
US20150271905A1 (en) | 2015-09-24 |
DE112015001355B4 (de) | 2024-02-01 |
JP6891261B2 (ja) | 2021-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6891261B2 (ja) | ナノ構造の反射防止層を有する光源、装置、及び方法 | |
JP6951512B2 (ja) | レーザ励起光源においてポンプ(励起)光と集光光とを分離するためのシステム | |
US20210231292A1 (en) | Plasma Cell for Providing VUV Filtering in a Laser-Sustained Plasma Light Source | |
US9775226B1 (en) | Method and system for generating a light-sustained plasma in a flanged transmission element | |
US9723703B2 (en) | System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma | |
JP2009532829A5 (ja) | ||
JP7192056B2 (ja) | 光学装置 | |
TWI809036B (zh) | 高功率短通道之全內反射濾波器 | |
TW202127507A (zh) | 用於雷射持續電漿照明源的旋轉燈 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180315 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190528 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190903 |