JP7192056B2 - 光学装置 - Google Patents
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Description
本願は、「バルブ及びVUV光学系の温度制御用傾斜被覆」(GRADED COATINGS FOR TEMPERATURE CONTROL OF BULBS AND VUV OPTICAL)と題しIlya Bezel、Anatoly Shchemelinin、Ken Gross、Matthew Panzer、Anant Chimmalgi、Lauren Wilson及びJoshua Wittenbergを発明者とする2015年12月6日付米国暫定特許出願第62/263663号に基づき米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張し、且つ当該暫定特許出願の通常(非暫定)特許出願を構成する出願であるので、この参照を以て当該暫定特許出願の全容を本願に繰り入れることにする。
A[%]={max(Q)-Q}/W*100%
を用い算出することができる;式中、Wはガス収容構造103の透過素子104(例.ガラス壁)上における輻射光束の分布であり
W=Pplasma/{4π(R2+z2)}
により与えられるもの、Qはガス収容構造の透過素子104(例.ガス収容構造のガラス壁)により吸収されるパワー密度であり
Q=Aglass・W
により与えられるもの、Aglassはガス収容構造103のガラス製円筒状透過素子104の吸収率である。
Claims (9)
- 反射性素子及び透過素子のうち少なくとも一方を有する光学部材と、
上記反射性素子及び上記透過素子のうち少なくとも1個の一表面又は複数表面上に配された1個又は複数個の傾斜吸収層であり、プラズマにより放射された広帯域輻射により引き起こされる当該反射性素子及び当該透過素子のうち少なくとも1個の熱勾配を低減する、1個又は複数個の傾斜吸収層と、
を備え、前記プラズマはレーザ維持プラズマ広帯域照明源で生成され、
前記傾斜吸収層が、前記レーザ維持プラズマ広帯域照明源の使用可能スペクトル帯から離れた広帯域輻射を吸収する吸収性素材を含む光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置であって、その傾斜吸収プロファイルが、上記反射性素子及び上記透過素子のうち少なくとも1個の上に射突する広帯域輻射の強度プロファイルに対応している光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置であって、その傾斜吸収プロファイルが、上記反射性素子及び上記透過素子のうち少なくとも1個の、最高強度の広帯域輻射を受光している部分にて、その広帯域輻射のうち少なくとも一部分につき最低吸収率を呈する光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置であって、その傾斜吸収プロファイルが、上記反射性素子及び上記透過素子のうち少なくとも1個の、最低強度の広帯域輻射を受光している部分にて、その広帯域輻射のうち少なくとも一部分につき最高吸収率を呈する光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置であって、その傾斜吸収プロファイルが、上記反射性素子及び上記透過素子のうち少なくとも1個の一方向又は複数方向に沿い連続的な吸収率変化を呈する光学装置。
- 請求項5に記載の光学装置であって、上記1個又は複数個の透過素子の上記一表面又は複数表面が、
内表面及び外表面のうち少なくとも一方を含む光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置であって、上記1個又は複数個の傾斜吸収層が、アルミニウム、炭素及びハフニウムのうち少なくとも一種類で形成されている光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置であって、上記透過素子が、プラズマバルブ、プラズマセル、プラズマチャンバの窓、レンズ及びビームスプリッタのうち少なくとも1個を備える光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置であって、上記反射性素子が、鏡及びビームスプリッタのうち少なくとも1個を備える光学装置。
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