JP2017512307A - 差圧検知ダイ - Google Patents

Abstract

差圧センサは、隔壁を形成する薄くされた部分を有する半導体ダイを含む、圧力検知ダイを含む。隔壁は、隔壁上に及ぼされる力に基づいて変動する抵抗を呈する、ピエゾ抵抗素子を含む。第１の支持構造は半導体ダイの第１の表面に接合され、この支持構造を通して開口が画定されており、隔壁の第１の表面が開口を通して露出されるようになっている。第２の支持構造は、半導体ダイの反対側に接合され、隔壁の反対側の面と位置合わせされる開口を有する。ピエゾ抵抗素子と電気的に連絡する電気構成要素が、第１の支持構造および第２の支持構造と半導体ダイとの間の接合箇所によって画定される領域の外側に配置される。オイルが充填される容積は、半導体ダイと、作用の強い媒体がダイと接触せずにダイに流体圧力を伝達する作用の強い媒体との間に画定され得る。【選択図】 図３Ａ

Description

本出願は、センサに関する。より具体的には、本出願は、流体および気体の差圧を検出するためのセンサに関する。

差圧センサは、２つの隔離された流体同士または気体同士の間の圧力の差を測定する。導電性のまたは腐食性の気体または流体を含む環境において使用されるとき、センサ自体、ならびにセンサに取り付けられた電子構成要素または電気構成要素を保護するために、これらの作用の強い媒体からセンサを隔離しなければならない。差圧センサは、作用の強い媒体から隔離するのがゲージセンサまたは絶対圧センサよりも難しいが、これは、２つの圧力源がセンサの対向する両面に適用されることに起因している。したがって、センサの両面を何らかの方法で隔離しなければならず、さもなければ、電子圧力センサデバイスが損傷する可能性がある。

差圧センサ（またはトランスデューサ）は、圧力の差を、差圧値を決定するために測定可能な電気信号に変換する。圧力検知デバイスは通常、微小機械加工式のまたは微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）型の方法を使用して製造される。この技術は、差圧を電気信号に変換する非常に小さく高価でないデバイスを製作するためのエッチング技法および接合技法とともに、工業用半導体を製造するために使用される。これらのデバイスにおいて使用される材料は、腐食性の流体および気体の配管において通常使用される、ステンレス鋼、チタン、銅、および真鍮などの他のよく知られている耐食性金属ほど良好には、腐食に耐えない。この理由により、腐食に対する障壁として働くが、信号を大きく劣化させることなく圧力検知デバイスに圧力を連絡することのできる隔離方法が、必要とされている。

圧力検知ダイは、シリコンなどの半導体材料から形成される。図１は、先行技術のＭＥＭＳ型の圧力検知ダイ１００の断面図である。ダイ１００は、ダイシングなどの方法によってシリコンウエハから形成されて、シリコン構造１０１を作り出す。構造１０１は薄くされて、空洞１０５、および隔壁１０３を画定する薄くされた部分を創出する。半導体構造１０１を、任意の好適な手段で薄くすることができる。たとえば、構造１０１を、当技術分野で知られている異方性エッチングを使用して、薄くすることができる。隔壁１０３の表面上に、抵抗要素が形成される。抵抗要素は、隔壁１０３を形成する薄くされた半導体材料上に配されたひずみに比例する抵抗を呈する。

図２は、圧力検知ダイ１００を使用するゲージデバイスまたは絶対圧測定デバイスとして設計された、先行技術のＭＥＭＳ圧力センサを例示したものである。圧力検知デバイス１００は通常、支持構造２０７に装着され、支持構造２０７は次いで、非腐食性材料、たとえばステンレス鋼から形成される、基部プレート２０１に接合される。検知ダイ１００および支持構造２０７を、ヘッダと称される場合もある基部プレート２０１に、接着剤２０５で接合することができる。支持構造２０７は、支持構造２０７が、圧力検知デバイス１００と基部プレート２０１との間で異なる熱膨張などの、圧力とは関係のないひずみの発生源から、圧力検知デバイス１００を隔離するように使用される。基部プレート２０１に、圧力検知デバイス１００の隔壁の下面と流体連通する開口を画定する、開口部２０３が画定される。開口部２０３により、周囲圧力が圧力検知デバイス１００の一方の側と接触して、基準圧力を提供することが可能になる。
基準圧力は、圧力検知デバイス１００の反対側に圧力を及ぼす試験下で、流体の圧力を測定する際に使用され得る。圧力検知ダイ１００は、支持構造２０７を介して、基部プレート２０１に開口部２０３を覆うように取り付けられる。支持構造２０７を、基部プレート２０１を構成するステンレス鋼の熱膨張係数と比較したときに、シリコン圧力検知ダイ１００の熱膨張係数により近い熱膨張係数を有する、ガラスまたは類似の材料から形成することができる。この熱膨張係数の適合により、圧力に関連しておらずむしろダイ１００と基部プレート２０１との間の同様でない膨張率に関連するひずみによって引き起こされる、ダイ１００に対する力の作用が防止される。拘束要素２０７が、当技術分野で知られている適切な接着剤２０５によって、基部プレート２０１に取り付けられる。たとえば、接合を、シリコーン接着剤、エポキシ、はんだ付け、ろう付け、または他の一般に知られている技法によって行うことができる。

圧力検知デバイス２００は上側ハウジング２２３を含む。上側ハウジング２２３は、基部プレート２０１への封止された取り付けを実現するように構成される。上側ハウジング２２３と基部プレート２０１との間に、閉じ込められた容積が画定される。可撓性の波形隔壁２２１が、閉じ込められた容積を、第１の容積２１９および第２の容積２２７へと分割する役割を果たす。上側ハウジング２２３の壁を通してポート２２５が画定され、これは第１の容積２１９と連通している。ポート２２５を、圧力に関して試験されることになる流体源に結合することができる。圧力検知ダイ１００は、ダイ１００に対して及ぼされる圧力を示す電気信号を創出し伝達する、電気構成要素をさらに含む。試験中の流体が、燃料またはオイルなどの作用の強い媒体である適用例では、そのような媒体は、ダイ１００の電気構成要素を腐食させる可能性がある。
したがって、試験中の流体からダイ１００を隔離するよう、注意を払わねばならない。可撓性の波形隔壁２２１によって、隔離が達成される。基部プレート２０１を通して、オイル充填ポート２１５が設けられる。オイル充填ポートにより、ダイ１００と隔壁２２１との間の容積２１９を、シリコーンオイルなどの非腐食性の流体で充填することが可能となる。容積２１９を画定する空洞が充填されると、オイル充填ポート２１５が、たとえば球体２１７をオイル充填ポート２１５の開口部にわたって溶接することによって、封止される。容積２１９中のオイルはこうして、完全に閉じ込められ、かつダイ１００の上側表面と流体連通している。

圧力検知デバイス２００を、試験または測定されるべき流体と流体連通している導管または他の伝達手段に取り付けることができるように、ポート２１５にねじ山を切ることができる。測定中の流体は、ポート２２５の中に入り、内部容積２２７を充填する。内部容積２２７が充填されると、測定中の流体は可撓性隔壁２２１の上面と接触する。測定中の流体によって及ぼされる圧力が、可撓性隔壁２２１を通して、オイルの閉じ込められた容積２１９に伝達される。可撓性隔壁２２１によってオイルに加えられる力は、オイル全体にわたって、および圧力検知ダイ１００の上側表面を含めオイルを収容する表面に、伝達される。

圧力検知ダイ１００に対して力が及ぼされるとき、圧力検知ダイ１００の隔壁の上側表面に形成されるピエゾ抵抗素子を通る電気信号は、これらのピエゾ抵抗素子における変動に応じて変動する。この電気信号は、圧力検知ダイ１００の表面に加えられる力を表す。電気信号は、ボンドワイヤ２０９を介して、制御回路などの他のシステム回路機構に電気的に接続可能な導電性のピン２１１に伝導されるか、または、非限定的な例として電子メモリに保存可能な、圧力データに変換される。

可撓性隔壁２２１およびオイルが充填される容積２１９により、ダイ１００、ボンドワイヤ２０９、および導電性のピン２１１が、ポート２２５を介する測定中の腐食性のまたは作用の強い媒体から隔離される。加えて、容積２１９内でオイルの漏れまたは汚染が発生しないように、オイルを収容する容積２１９を封止しなければならない。圧力検知ダイ１００から電気信号を搬送する導電性のピン２１１は、他のシステム構成要素の外部接続を可能にするために、基部プレート２０１を通過しなければならない。導電ピン２１１が、管または穴２１３内に焼き付けられたガラス材料またはセラミック材料内に閉じ込められ、このことにより、基部プレート２０１との密封封止を形成する。密封封止は、作り出すのに高い費用がかかりかつ脆弱であるが、容積２１９の完全性を保証するためには必要である。したがって、単純で高価でないフォームファクタで、測定中の作用の強い媒体からの検知構成要素および関連する回路機構の隔離をもたらす圧力センサが望まれる。

ある実施形態では、２つの流体間の差圧を測定するための差圧検知ダイは、上側表面および下側表面を有する半導体ダイを含む。ダイは、少なくとも１つのピエゾ抵抗素子を有する一体型隔壁を含む。この少なくとも１つの抵抗素子は、隔壁の偏向および／またはひずみに応じて変動する抵抗を呈する。半導体ダイの上側表面上に、第１の支持構造が配設される。支持構造は、第１の支持構造を通して画定される開口を有する、中実体である。開口は隔壁と位置合わせして配置され、このことにより、第１の支持構造を通して隔壁を露出する。半導体ダイの下側表面上に、第２の支持構造が配設される。第２の支持構造も中実体であり、これを通して画定される、第２の支持構造を通して隔壁を露出するように適合される開口を有する。

ある実施形態では、差圧検知ダイは、上側表面および下側表面を有しかつ第１の厚さにおいて第１の領域を有する半導体ダイ、ならびに、第１の領域の内部にある第１の厚さ未満の第２の厚さを有する隔壁を含み、隔壁は少なくとも１つのピエゾ抵抗素子を有し、少なくとも１つのピエゾ抵抗素子は、前記隔壁の偏向に応じた変動する抵抗を呈する。差圧検知ダイは、半導体ダイの上側表面に接合される第１の支持構造をさらに含み、この第１の支持構造はこれを通して画定される開口を有し、この開口は隔壁と位置合わせされる。差圧検知ダイは、半導体ダイの下側表面に接合される第２の支持構造をさらに含み、この第２の支持構造はこれを通して画定されかつ隔壁と位置合わせされる開口を有する。

ある実施形態では、差圧センサは、一体型検知隔壁を含む半導体ダイ、この隔壁上に画定されるピエゾ抵抗素子、半導体ダイの表面に接合される第１の支持構造であって、これを通して画定され第１の開口を通して前記検知隔壁を露出する第１の開口を有する第１の支持構造、および半導体ダイの反対側の表面に接合される第２の支持構造であって、これを通して画定され第２の開口を通して検知隔壁を露出する第２の開口を有する第２の支持構造を有する、差圧検知ダイと、前記第１の開口と流体連通する上側内部容積を画定し、かつ上側内部容積の壁を画定する上側可撓性隔壁を有する、上側ハウジングと、前記第２の開口と流体連通する下側内部容積を画定し、かつ下側内部容積の壁を画定する下側可撓性隔壁を有する、下側ハウジングと、検知隔壁に加えられる差圧を決定するための、ピエゾ抵抗素子に結合される電気回路と、を含む。

ある実施形態では、内部容積を画定するハウジングを含む差圧センサが開示される。内部容積内には、差圧ダイが設置される。差圧ダイは、隔壁の表面上に形成される少なくとも１つのピエゾ抵抗素子を有する隔壁を有する、半導体圧力検知ダイを含む。第１の支持構造が、半導体圧力検知ダイの一方の表面に接合される。第１の支持構造は、開口または通路が通っている中実体であり、この開口は、前記隔壁の一方の側と位置合わせされる。第１の支持構造は、ハウジングにさらに接合される。第２の支持構造が、第１の支持構造の反対側の前記半導体圧力検知ダイの第２の表面に接合される。第２の支持構造は、開口または通路が通っている中実体である。この開口は、隔壁の第２の側と位置合わせされ、前記第２の支持構造は、ハウジングにさらに接合される。オイルまたは他の流体を収容する２つの封止された容積は、それぞれの外部隔壁から個別の流体の容積へとおよびダイの隔壁の対向する両面へと、圧力を伝達する役割を果たす。
コンタクトパッドおよび他の電気構成要素を、２つの封止された容積の外側の区域においてダイ上に画定し、結果としてそれぞれの流体から隔離することができる。ダイの隔壁におけるピエゾ抵抗素子は、隔壁の偏向およびひずみに応じることができ、また電気回路パッケージと連絡しており、それぞれの外部隔壁に対して及ぼされる圧力の差を示す信号を出力する。

ある実施形態では、圧力センサは、一体型検知隔壁と、この検知隔壁上に画定される第１のピエゾ抵抗素子と、第１の半導体ダイの表面に接合される第１の支持構造であって、これを通して画定され第１の開口を通して前記検知隔壁を露出する第１の開口を有する第１の支持構造と、第１の半導体ダイの反対側の表面に接合される第２の支持構造であって、これを通して画定され第２の開口を通して検知隔壁を露出する第２の開口を有する第２の支持構造と、を有する第１の半導体ダイを有する、差圧検知ダイを含む。圧力センサは、一体型絶対圧検知隔壁と、この絶対圧検知隔壁上に画定される第２のピエゾ抵抗素子と、第２の半導体ダイの表面に接合される第１の絶対圧支持構造であって、絶対圧検知隔壁上の第２のピエゾ抵抗素子の周囲にシールを形成する第１の絶対圧支持構造と、絶対圧検知半導体ダイの反対側の表面に接合される第２の絶対圧支持構造であって、これを通して画定され第３の開口を通して絶対圧検知隔壁を露出する第３の開口を有する第２の絶対圧支持構造と、を含む第２の半導体ダイを有する、絶対圧検知ダイをさらに含む。
圧力センサは、前記第１の開口と流体連通する上側内部容積を画定し、かつ上側内部容積の壁を画定する上側可撓性隔壁を有する、上側ハウジングと、前記第２の開口および前記第３の開口と流体連通する下側内部容積を画定し、かつ下側内部容積の壁を画定する第２の可撓性隔壁を有する、下側ハウジングと、をさらに含む。圧力センサは、差圧検知ダイの隔壁に加えられる差圧を決定するための、差圧検知ダイのピエゾ抵抗素子に結合される第１の電気回路、および、差圧検知ダイの隔壁に加えられる絶対圧を決定するための、絶対圧検知ダイのピエゾ抵抗素子に結合される第２の電気回路をさらに含む。

ある実施形態では、差圧検知ダイを受容するためのパッケージが開示される。このダイは、隔壁の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合された一体型隔壁を有する半導体ダイを備える。パッケージは、差圧検知ダイを受容するように構成された第１のハウジング部材と、少なくとも１つの第２のハウジング部材であって、第１のハウジング部材および少なくとも１つの第２のハウジング部材が互いと合体してハウジングを画定するように構成され、このハウジングはその中に前記差圧検知ダイを収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材と、前記第１のハウジング部材の壁を通して画定される第１のポートであって、前記差圧検知ダイが前記第１のハウジング部材内に収容されているときに、前記差圧検知ダイの第１の側に画定される開口と位置合わせされて位置付けられる前記第１のポートと、前記第２のハウジング部材の壁を通して画定される第２のポートであって、前記第１のハウジング部材が前記第１のハウジング部材と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイの第２の側に画定される第２の開口と位置合わせされて位置付けられる前記第２のポートと、を含む。

ある実施形態では、差圧検知ダイを受容するためのパッケージが開示される。このダイは、隔壁の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合された一体型隔壁を有する半導体ダイを備える。パッケージは、１つまたは複数のハウジング部材によって画定されるハウジングであって、差圧検知ダイを支持し収容するように構成される内部容積を画定する壁を有するハウジングと、前記ハウジングの壁を通して画定される第１のポートであって、前記差圧検知ダイがハウジング内に収容されているときに、前記差圧検知ダイの第１の側に画定される開口と位置合わせされて位置付けられる前記第１のポートと、前記ハウジングの壁を通して画定される第２のポートであって、前記第１のハウジング部材が前記第１のハウジング部材と嵌合するときに、前記差圧検知ダイがハウジング内に収容されているときに前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイの第２の側に画定される第２の開口と位置合わせされて位置付けられる前記第２のポートと、ハウジングから外向きに延在し、かつ前記隔壁の表面に形成されるピエゾ抵抗素子と電気的に連絡しているリードに接続するように壁を通して電気的に連絡している、少なくとも１つの電気接続ピンと、を含む。

先行技術の圧力センサダイの断面図である。 先行技術の、隔離式のオイル充填型のゲージ圧力センサの断面図である。 本開示の実施形態による差圧ダイの断面図である。 半導体と支持構造との間の接合部をより詳細に示す、本開示による差圧ダイの実施形態の部分断面図である。 本開示の実施形態による隔離式の差圧デバイスの断面図である。 ９０度回転されてオイル充填導管を示す、図４Ａの差圧デバイスの断面図である。 本開示の差圧デバイスの実施形態によるハウジングおよび差圧センサの等角図である。 図５Ａのハウジングおよび差圧センサの透視図である。 本開示の実施形態による差圧デバイスの等角図である。 図６Ａの差圧デバイスの実施形態を断面視して示す図である。 図６Ａの差圧デバイスの実施形態を断面視して示す図である。 本開示の実施形態によるＯリングマウントを有する差圧デバイスの断面図である。 本開示の実施形態による非隔離式の差圧センサの部分断面斜視図である。 本開示の実施形態による非隔離式の差圧センサおよびハウジングの立面図である。 図８Ｂの非隔離式の差圧センサの断面図である。 本開示の実施形態による、２つのダイ、第１の差圧検知ダイおよび絶対圧検知ダイを含む、隔離式のオイル充填型の圧力センサの透視図である。

流体の圧力を測定することは、システム内の流体の動作圧力などのパラメータを決定しモニタするために有用である。車両などのいくつかのシステムにおいて、燃料、オイル、または冷却剤などの腐食性のまたは作用の強い流体の圧力をモニタすることが望ましい。圧力検知デバイスおよびこれらの関連する回路機構を、そのような作用の強い媒体から保護しなければならない。圧力センサは、半導体材料の個片から全体に形成されるダイを含む。ダイは、隔壁を画定する比較的薄い一体の部分を含む。隔壁は、圧力の印加に応じて偏向するように構成される。
隔壁上にまたは隔壁に、ピエゾ抵抗素子が画定される。ピエゾ抵抗素子は、素子上のひずみに応じて変動する電気抵抗を呈する。圧力に応じた隔壁の偏向により、ピエゾ抵抗素子にひずみが加えられる。こうして、ピエゾ抵抗素子を組み込んだ回路は、流体によってダイの隔壁に対して加えられる力に応じた電気信号を提供し得る。好適な較正構成要素および処理構成要素により、流体圧を示す出力信号が提供される。電気信号によって示される圧力測定値を、表示、制御信号、診断目的、または他の目的などの目的で、他の処理構成要素に提供することができる。

ピエゾ抵抗素子、これらの間の接続部、コンタクトパッド、リード線などは、金属などの導電性材料から形成されるか、または、半導体表面に画定されるドーパントから成る複数の拡散された区域である。これらの構成要素において採用される材料は、作用の強い媒体による腐食に敏感である。加えて、導電性の流体は、これらの導電性トレースおよび金属接続部、たとえばワイヤボンドにおいて電気信号に影響を及ぼす場合がある。ダイを保護しつつ圧力測定を行うために、ダイの隔壁の表面から延在する閉じ込められた容積を画定する圧力センサが開発されてきた。閉じ込められた容積は、オイルなどの媒体で充填されるが、この媒体がダイにおける金属構成要素を損なうことはない。
たとえば、シリコンベースのダイでは、シリコーンオイルを使用できる。閉じ込められた容積は、測定されるべき流体と接触している外側隔壁によって部分的に画定される。外側隔壁を、ステンレス鋼またはチタンなどの耐腐食性金属から形成することができ、これらは作用の強い媒体と接触しても損なわれることがない。測定中の流体の圧力は、外側隔壁上に力を及ぼす。外側隔壁は、圧力に応じて偏向し、この偏向により、閉じ込められた容積内のオイルに力が伝達される。オイルは隔壁に力を伝達する。このようにして、測定中の流体が及ぼす圧力が、測定中の流体がダイまたはダイ上の電気構成要素と接触することなく、ダイに移される。

図３Ａは、本開示の実施形態による差圧検知ダイ３００の横断面図を示す。差圧検知ダイ３００は、第１の流体と第２の流体との間の差圧の圧力を測定すること、および、第１の流体と第２の流体との間の測定された差圧を表す出力信号を生成することが可能である。半導体ダイ３１０は、実質的に均一な第１の厚さを有する第１の領域、および同じく実質的に均一な、第１の厚さよりも小さい第２の厚さを有する第２の領域を有する、中実体である。第２の領域は、半導体ダイ３１０の周囲の区域の厚さよりも実質的に小さい厚さを有する一体型隔壁３１３を画定する。隔壁３１３は、半導体ダイ３１０の一体の部分である。半導体ダイ３１０は、第１の全体に平坦な上側表面３１０_ｕ、および第１の上側表面３１０_ｕの反対側の第２の下側表面３１０_ｌを含む。第２の下側表面３１０_ｌは、一体型隔壁３１３を画定する第２の領域において以外は、全体に平坦である。一方の端部において隔壁３１３によって閉じられ、反対側の端部において開いており、ダイ３００の内部にある一続きの側壁によって画定される、チャンバ３１１が示されている。

第１の支持構造３０１（「拘束要素」と呼ばれる場合もある）が、半導体ダイ３１０の上側表面３１０_ｕ上に設けられこれに取り付けられる。第１の支持構造３０１は、平坦で平行な上側表面および下側表面を有する中実体とすることができる。支持構造３０１の下側表面に、凹部３０８を画定し得る。凹部３０８は、上側支持構造３０１の下側表面に、隔壁３１３によって画定される面積よりも大きい面積を有する空間を画定する、矩形形状または正方形形状の凹部である。第１の支持構造３０１の下側表面は、半導体ダイ３１０の上側表面３１０_ｕと接触し、これに取り付けられる。第１の支持構造３０１を通して、開口３０７が画定され、第１の支持構造３０１の下側表面に画定される凹部３０８において終端する。
開口３０７が、第１の支持構造３０１の上側表面と第１の支持構造３０１の下側表面との間に、一続きの開いた通路を提供する。開口３０７は、示すように、円筒形の断面を有し得る。開口３０７を、隔壁３１３と位置合わせすることができる。開口３０７を、隔壁３１３の直径に対応するかまたはこれを僅かに上回る直径を有するように、構成することができる。開口３０７の内部はこうして、隔壁３１３の上側表面と連通する。第１の支持構造３０１と半導体ダイ３１０の上側表面との間の接合箇所は、流体によって浸透されない。

第２の支持構造３０３（「拘束要素」と呼ばれる場合もある）が、半導体ダイ３１０の下側表面３１０_ｌに取り付けられる。第２の支持構造３０３は、平坦で平行な上側表面および下側表面を有する中実体である。第２の支持構造３０３は、この支持構造３０３を通して画定される開口３０９を有する。開口３０９が、第２の支持構造３０３の上側表面と第２の支持構造３０３の下側表面との間に、一続きの開いた通路を提供する。開口３０９は、示されるように円筒形とすることができ、チャンバ３１１の開口端部と位置合わせすることができる。こうして、開口３０９の内部は、チャンバ３１１を介して隔壁３１３の下側表面と連通する。開口３０９は、開口３０９の内側寸法が、隔壁３１３の直径と実質的に等しいか、またはこれよりも僅かに大きいようなサイズとすることができる。第２の支持構造３０３は、半導体ダイ３１０の下側表面３１０_ｌに接合されて、チャンバ３１１の開口端部の周囲に流体不浸透性の封止をもたらす。

半導体ダイ３１０の上側表面３１０_ｕ上に、コンタクトパッド３０５が画定される。コンタクトパッド３０５は金属から形成されるものであり、上側支持構造３０１の外部にあるダイ３１０の上側表面３１０_ｕの一部分上に画定される。

図３Ｂは、図３Ａの差圧検知ダイ３００に類似した、差圧ダイ３５０の部分断面を示す。図３Ｂには、上側支持材３５１と半導体ダイ３６０と下側支持構造３５３との間の接合部を明示する領域が、さらに詳細に示されている。半導体隔壁３６３の上側表面に、好適に拡散されたドーパントによって、構造３７５が画定される。この構造は、半導体隔壁３６３の縁部を越えて、ダイ３６０の上側表面の他の部分まで延在する。構造３７５は、ピエゾ抵抗素子３６５、および、ピエゾ抵抗素子からダイの外部にある回路機構への接続を容易にするコンタクトまで電気信号を搬送するための導電線としての役割を果たす、導電領域３７３を含む。ピエゾ抵抗素子３６５および導電領域３７３を、当技術分野でよく知られている技法および材料を使用して、１つまたは複数のドーパントを半導体材料内に様々に拡散してピエゾ抵抗素子および導電回路要素を画定することによって、形成することができる。
導電領域３７３は、ピエゾ抵抗素子３６５とコンタクトパッド３５５との間の電気的な連絡をもたらす。ピエゾ抵抗素子３６５は、複数のピエゾ抵抗素子を表し得る。また、導電領域３７３は、ピエゾ抵抗素子３６５および複数のコンタクトパッド３５５を含む回路を完成させるための、半導体材料における導電経路を表し得る。酸化物層３６２を、半導体隔壁３６３の上側表面および構造３７５を含む、ダイ３６０の上側表面を覆って配設することができる。コンタクトパッド３５５を、酸化物層３６２上に配設することができる。酸化物層３６２を通して、コンタクトパッド３５５と導電線または導電領域３７３との間に電気接続をもたらすための、金属化されたビアを設けることができる。

酸化物層３６２と上側支持構造３５１との中間に、接合層３６７が示されている。接合層３６７は、例として、半導体ダイ３６０の上側表面上に配設されるポリシリコン層とすることができる。上側支持構造３５１を、接合層３６７に陽極接合することができる。下側支持構造３５３を、半導体ダイ３６０の下面上に露出されるシリコンの領域に陽極接合することができる。接合層３６７を、流体によって浸透されないような好適な材料から形成することができる。

上側支持構造３５１の下方を、その下側外縁部の周囲で切除して、外側凹部３７１を画定することができる。外側凹部３７１は、差圧検知ダイ３００の電気回路機構において使用される電気トレースなどの、電気接続部を導くための空間を提供する。

第２の支持構造３５３の下側表面３６９が、外側接合表面を提供し得る。外側接合表面を、接着剤を介してパッケージ内に取り付けることができる。パッケージは、ピエゾ抵抗素子から抵抗値を得るための、およびこれらの値を処理し、検出された差圧値を表す処理されたデータを出力するための、回路および接続部を含み得る。

半導体ダイ３６０は、単結晶シリコンまたは他の好適な半導体材料から形成することができる。第１の支持構造３５１および第２の支持構造３５３は、半導体ダイ３６０を構成する半導体材料の熱膨張係数に類似した熱膨張係数を有する材料から形成される。第１の支持構造３５１および第２の支持構造３５３はさらに、半導体ダイ３６０に安定した支持構造を提供し、センサハウジングを半導体材料に直接取り付ける必要なく、圧力センサのハウジングにダイ３５０を取り付けるための区域を提供する。たとえば、第１の支持構造３５１および第２の支持構造３５３を、シリコン、またはガラスもしくはＰＹＲＥＸ（登録商標）などの他の材料から形成することができる。これらは化学的に不活性であり、半導体ダイ３６０のシリコンに結合可能である。

支持構造３５１、３５３の熱膨張係数を、半導体ダイ３６０の熱膨張係数に近くなるように維持することにより、ダイと支持構造との間の異なる熱膨張率などの、半導体ダイ３６０に加えられる圧力に関連しない力が、低減または排除される。

再び図３Ａを参照すると、半導体ウエハを矩形の個片へとダイシングすることによって、半導体ダイ３１０を製造することができる。１つの実施形態によれば、各半導体ダイ３１０は、約２ミリメートル（ｍｍ）の外側寸法を有する半導体キューブを基本とする。半導体キューブの一部分を除去して隔壁３１３を形成する領域を画定することによって、より薄い厚さを有する領域が画定される。この部分を、エッチングまたは当技術分野で知られている他の工程によって除去することができる。たとえば、例示の実施形態によれば、異方性エッチングを使用して、１ｍｍの外側寸法を有する実質的に正方形の隔壁３１３を作り出すことができる。支持構造３０１、３０３を形成するとき、エッチング工程によって、開口３０７および３０９が形成される。これらの開口３０７および３０９は、角が丸みを帯びている正方形に似た断面形状を有する開口を作り出すことができる。
開口３０７、３０９は、隔壁３１３の周縁寸法と等しいかまたはこれよりも僅かに大きい内側寸法を有するように創出される。上側支持構造３０１は、その下側表面に、上側支持構造３０１の下側表面に開口部を画定する凹部を含み得る。この凹部により、半導体隔壁３１３のどの部分も上側支持構造３０１によって覆われないことが保証される。このことにより、流体が開口３０７、３０９を通過し、隔壁３６３の表面全体と流体連通することが可能になる。支持構造を、任意の好適な接着剤を使用して、半導体ダイ３１０に接合することができる。例として、第１の支持構造３０１を、半導体ダイ３１０の上側表面上のポリシリコン層３６７に陽極接合することができる。第２の支持構造３０３は、半導体ダイ３１０の下面上に露出された半導体材料に陽極接合することができる。ダイおよび支持構造のそれぞれの材料に応じて、陽極接合、シリコン溶融接合、ガラスフリット接合、または他の技法などの、他の接合工程を使用して、支持構造を半導体ダイ３１０に接合することができる。

差圧検知ダイ３００の動作について、ここで記載する。差圧検知ダイ３００は、開口３０７に封止されて接合される第１の流体ポート、および開口３０９に封止されて接合される第２の流体ポートを提供する、差圧センサパッケージなどの構造内に組み込まれる。第１の流体ポートは、圧力下の第１の流体を受容し、第２の流体ポートは、圧力下の第２の流体を受容する。支持構造３０１の外部にあるダイ３１０の上側部分は、第１の流体および第２の流体の両方から隔離される。第１の流体および第２の流体は開口３０７、３０９およびチャンバ３１１を充填し、隔壁３１３の上面および下面のそれぞれに圧力を加える。
隔壁３１３は、屈曲してひずみを受け、この結果、ピエゾ抵抗素子３１５の抵抗が変化する。ピエゾ抵抗素子３６５の抵抗を、したがって第１の流体および第２の流体のそれぞれによって隔壁３１３に対して加えられる差圧を示す信号を処理することによって、差圧を決定することができる。コンタクトパッド３０５と電気的に連絡する処理デバイスは、ピエゾ抵抗素子３１５からのデータに基づいて、差圧値を決定し得る。酸化物層３６２は、第１の流体からの、隔壁３１３の上側表面上の金属構成要素の保護を提供する。第２の流体は、開口およびダイの下面におけるシリコンおよびガラスに接触する。

特定の適用例では、測定中の流体は、本質的に腐食性であり得る。腐食性の流体は、差圧検知ダイ３００上の電気構成要素を損傷する可能性があるか、または接合箇所を損なう可能性さえある。構成要素を保護するために、オイルなどの隔離されている流体の容積を、差圧検知ダイ３００と測定中の流体との間に置くことができる。この実施形態では、第１の容積は、開口３０７と封止されて連連する第１の流体ポートを有して画定される。上側可撓性隔壁が、第１の容積の壁を形成する。上側可撓性隔壁は、ステンレス鋼、チタン、または真鍮などの金属から形成することができ、これらは測定中の流体によって浸透されない。
第１の容積は、オイルなどの、作用の比較的強くない流体で充填される。測定中の流体の圧力により隔壁が偏向し、このことにより、圧力を、開口３０７を介して隔壁に達する第１の容積内のオイルに伝える。第２の、下側可撓性隔壁は、オイルで充填され開口３０９を充填し隔壁３１３の下面に達する第２の容積の壁を、同様に画定する。下側可撓性隔壁は、測定されるべき第２の流体と接触し、第２の流体の圧力を、第２の容積内のオイルを介して隔壁の下面に同様に伝えることができる。したがって、オイルの２つの封止された容積を有する隔壁３００のこの配置構成により、腐食性の流体の差圧測定が可能となる。このようにして、差圧検知ダイ３００は、ダイ上の敏感な電気構成要素を保護するために、測定中の流体から隔離される。

ここで図４Ａを参照すると、図３Ａの差圧検知ダイ３００を組み込んだパッケージを含む、オイル充填型の差圧センサ４００の実施形態の横断面図が示されている。図４Ｂは、９０度回転されてオイル充填管４１７および溶接された球体シールをよりよく示す、図４Ａのオイル充填型の差圧センサ４００を示す。差圧検知ダイ３００を収納するためのパッケージは、第１の上側ハウジング４０１および第２の下側ハウジング４１１を含む。ハウジング４０１、４１１はいずれも、内部オイル充填容積を有する中実体４０５、４１５を含む。上側ハウジング４０１の中実体４０５の下側壁は、第１の支持構造３０１において差圧検知ダイ３００に接合される。接合箇所は、第１の支持構造３０１と上側ハウジング４０１との間に、液密シール４２０を創出する。
第１の支持構造３０１は、半導体圧力ダイ３１０の半導体隔壁３１３の頂部表面へのアクセスを提供する上側ポートを形成する、開口（３０７、図３Ａに示す）を有する。図４Ａの差圧センサ４００の実施形態では、上側ハウジング４０１は、可撓性隔壁４０３を含む。可撓性隔壁４０３は、差圧検知ダイ３００に接合される上側ハウジング４０１の中実体の下側壁の反対側にある。可撓性隔壁４０３は、センサ４００が配備されると、作用の強い媒体であり得る測定されるべき流体と、流体連通する。可撓性隔壁４０３は、作用の強い媒体との接触に起因する腐食に対して、耐性のある金属から形成することができる。非限定的な例として、可撓性隔壁４０３は、ステンレス鋼またはチタンとすることができ、これらはいずれも、ほとんどの作用の強い媒体に対する耐腐食性を実現する。

上側ハウジング４０１は、オイルなどの流体で充填し、充填し、封止するのに好適な容積を含む。流体で充填され封止されることになる容積を有する本出願において開示される実施形態の各々において、この容積の１つの壁は、可撓性隔壁である。容積の他の壁は剛性であり、容積はセンサダイ隔壁に係合する。可撓性隔壁の外面に加えられる圧力は、センサダイ隔壁に応力を加え、かつ／またはこれを偏向させる。容積の他の壁は、たとえば、比較的厚い鋼で、またはガラスもしくはシリコンから成るなどの、支持構造の相対厚さに起因して、剛性である。実施形態では、上側ハウジングまたは下側ハウジングは完全に中空であってよく、こうしてオイルで完全に充填するのに好適なものとすることができる。他の実施形態では、上側ハウジングまたは下側ハウジングは、ステンレス鋼合金、チタン合金、または他の金属から成る中実体などの中実体とすることができる。この中実体は、中空の中央穿孔を有し、一方の端部において上側可撓性隔壁または下側可撓性隔壁に、かつ反対側の端部において支持構造に開口している。他の実施形態では、流体で充填するのに好適な容積は、他の形状および形態を有し得る。

可撓性隔壁４０３は、オイルが充填される容積の壁としての役割を果たす。この実施形態では、管４０４は、可撓性隔壁４０３から支持構造３０１の対応する開口まで延在し得る。実施形態では、可撓性隔壁４０３を中実体４０５の上側壁の周囲のリップまたはへり上に支持して、流体で充填されることになる容積の一部である空洞を画定することができる。内部容積４０５は、可撓性隔壁４０３によって加えられる力を受けるためにオイルで完全に充填するのに好適なものとすることができる。別法として、ハウジング内に、オイルで充填されることになるより小さい容積を画定することができる。オイルは、管４０４を介して、可撓性隔壁４０３と流体連通する容積４０６内に導入される。図４Ｂにおいて最もよく見える充填管４０７が、管４０４から中実体４０５の外壁まで延在する。この管４０７は、金属隔壁４０３と検知ダイ３００との間の、空の空洞の任意の部分に結合することができる。
その理由は、この管４０７がこの空洞を流体で充填するためにしか使用されないからである。容積が充填されると、充填管に球体４０８で栓をすることができ、この球体４１８は、中実体に溶接することができる。他の実施形態では、圧着すること、縁部を１つに溶接すること、充填管内にピンを押し込むこと、またはこれら以外の方法により、充填管を閉じることができる。管４０４は一般に、一方の端部において開いており、可撓性隔壁４０３に隣接する容積に開口し、他方の端部において開いており、差圧検知ダイ３００の第１の支持構造３０１の開口と封止されて接触するポートを画定する、管である。容積を充填するために採用されるオイルまたは他の流体は、これが半導体圧力ダイ３１０と適合するように選択される。１つの実施形態では、シリコーンオイルが使用される。他の実施形態では、上側ハウジング４０１は、周縁の壁を有することができ、また流体で完全に充填することができる。そのような実施形態では、側壁および低壁は、隔壁４０３の外面に適用される圧力が、半導体ダイの隔壁に伝えられ、上側ハウジングの壁を変形させる役割を果たさないように、剛性となるのに十分な厚さでなければならない。

下側ハウジング４１１は、第２の支持構造３０３において、差圧検知ダイ３００に接合される。第２の支持構造３０３は、第２の支持構造３０３と下側ハウジング４１１との間に、液密シール４２１を創出するように接合される。下側ハウジング４１１は、上側ハウジング４０１に接触し、これに溶接、ろう付け、または接着剤により取り付けられ、このとき上側ハウジングと下側ハウジングとの中間に容積を画定する、中実体４１５を含む。この容積は、ダイ３００を収容し、ダイ３００のピエゾ抵抗素子と連絡する電子回路４１９のための空間を提供する。この中間の容積は、上側ハウジングおよび下側ハウジングにおける流体を充填可能な容積から、封止的に分離される。支持構造３０３は、中実体４１５の上側表面と接触し、これに接合される。中実体４１５は、隔壁３１３の底部表面へのアクセスを提供するように第２の支持構造３０３の開口と位置合わせされる、連絡経路または管４１６を有する。
内部容積４１５を、可撓性隔壁４０３によって加えられる力を受けるように、オイルで完全に充填することができる。別法として、より小さい容積４０８を画定することができる。オイルは、管４１６を介して、可撓性隔壁４１３と流体連通する容積４０８内に導入される。第２の支持構造３０３の開口はしたがって、管の一方の端部と封止されて連連する。管４１６の反対側の端部は、実施形態では、下側隔壁４１３によって閉じられるか、または、隔壁４１３と接触する容積と連通する。オイル充填管４１７は、管４１６または隔壁４１３とダイ３００との間の任意の容積と、および下側ハウジングの外部と、連通する。オイル充填管４０７は、図４Ｂに示す球体４１８によってなどで、閉じられてもよい。隔壁４１３は、ダイ３００の反対側の下側ハウジング４１１の下側壁およびシールを形成する。可撓性隔壁４１３は、隔壁４０３と同様に、作用の強い媒体と接触することができ、また、作用の強い媒体との接触による腐食に対して耐性のある金属から成る。下側ハウジングのオイルが充填される容積内に置かれるオイルは、これがシリコン圧力ダイ１００と適合するように選択される。ある実施形態では、シリコーンオイルを使用することができる。

差圧センサ４００の動作について、ここで記載する。差圧センサ４００は、圧力が測定されるべき２つの流体を受容するパッケージ内に設置される。パッケージ内の第１のポートを通して、上側可撓性隔壁４０３に第１の流体が導入される。可撓性隔壁４０３は、第１の流体と流体連通し、第１の流体の圧力による力は、可撓性隔壁４０３の上側表面上に及ぼされる。可撓性隔壁４０３の上側表面上に及ぼされる力は、隔壁を屈曲させ、隔壁に、上側ハウジング内のオイルに対して圧力を及ぼさせる。閉じ込められたオイルに対して及ぼされる圧力は、このオイルを通して隔壁３１３の上面に伝達される。差圧センサ４００を収容するパッケージ内に、第１の流体に類似した様式で導入される、下側ハウジング内のオイルに対して力を及ぼす可撓性隔壁４１３と流体連通する第２の流体を受容する、第２のポートが設けられる。次いでこのオイルは、半導体圧力ダイ３１０の半導体隔壁３１３の下面と流体連通する。
第１の流体の圧力は、（図４に示す配向において）下向きの圧力を及ぼし、一方、第２の流体の圧力は、シリコン隔壁３１３の下面上に、対向する上向きの圧力をもたらす。隔壁に加えられる圧力の差により、隔壁３１３の偏向および／またはひずみが生じる。これらは、差圧検知ダイ３００のピエゾ抵抗素子および関連する回路機構の抵抗の変化を検出することによって、測定することができる。電気信号は、回路機構４１９にさらに電気的に接続される導電性コンタクトパッド３０５を通る、差圧検知ダイ３００からの出力として提供される。回路機構４１９は、センサの較正を行い、センサが一般に使用するデジタルまたはアナログ電気出力を提供するための、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）または他の回路機構を含み得る。導電性コンタクトパッドは、上側支持構造３０１の外部にあるので、ダイの隔壁に力を伝達するために使用される流体によって接触されない。ワイヤ、ピン、またはコネクタなどの好適なコンタクトが回路機構４１９に接続されて、データ信号の出力を提供するとともに、差圧センサ４００において、入力電力接続コンタクトを設けることができる。

オイル充填型の圧力センサを使用するときは、閉じ込められたオイルにおける温度の変動がオイルの濃度を増減させないように、注意を払わねばならない。そのような濃度の変化は、圧力検知ダイに対して、測定中の圧力とは関係のない力を及ぼし得る。図４Ａの差圧センサ４００において、上側ハウジングおよび下側ハウジング内のオイルが充填される容積の比較した容積は、実質的に等しい。したがって、一方の容積の濃度の、温度変化により誘起されたどのような変動も、反対側の容積による反対方向の等しい変動によって相殺されることになる。結果として、温度変化を補償するための半導体圧力ダイ３１０の較正を、低減するかまたは不要にすることができる。

図５Ａおよび図５Ｂは、図４の差圧センサ４００を収納するように構成可能なパッケージ５００を示す。パッケージ５００は、差圧センサ４００を受容するための内部容積を画定する主ハウジング５０５を含む。パッケージ５００は、第１の流体および第２の流体をそれぞれ受容する、第１の流体ポート５０１および第２の流体ポート５０３を含む。流体ポート５０１、５０３は、測定されるべき第１の流体および第２の流体を搬送するためのホースまたは管材を受容するための、フランジまたは隆起した縁部を含み得る。図５Ａおよび図５Ｂに示す実施形態によれば、流体ポート５０１、５０３は、ホースまたは管材の継手を受容するように、ねじ山を切られる。

パッケージ５００は、差圧センサ３００の回路機構と電気的に連絡する回路機構を含む、電気回路領域５１９を含む。適用例を調整するために、ハウジング内には通常、圧力センサ４００と隣り合って、他のチップおよび回路機構が設置される。この回路機構は、センサを較正する、およびさらに、センサに関して一般に使用されるアナログまたはデジタル出力を提供するために、使用される。電気回路領域５１９は、自動車形式のコネクタワイヤ５１３などの導電端子と電気的に連絡して、プラグまたはワイヤリングハーネスを介したシステム回路機構の電気接続を可能にし得る。回路領域５１９は、ハウジング４２０内に配置される。回路領域５１９は、主ハウジング５０５内で、試験中の流体から隔離される。上側ハウジングおよび下側ハウジングを、試験中の流体ならびに半導体隔壁に力を伝達するために使用されるオイルまたは他の流体から回路領域がこうして物理的に隔離されることをもたらすように、構成することができる。

図６Ａおよび図６Ｂは、差圧センサ３００を収納するためのパッケージを示す。このパッケージは、非腐食性の流体または腐食性の穏やかな流体に耐えることのできる、プラスチックまたは他の材料から形成することができる。パッケージは、ねじまたはボルトなどの固定具を介した、表面へのパッケージ６００の取り付けを可能にする孔６０９を含む、フランジ状部分６０７を含み得る。たとえば、パッケージ５００を、トラックまたは他の車両のフレームに取り付けられるように適合することができる。ハウジング６０２を、パッケージ６００の内部容積へのアクセスを可能にする蓋（図示せず）を備えて構成することができる。内部容積は、パッケージ６００を表面に取り付けるための、追加の固定孔５０９を含み得る。そのような孔は、パッケージ６００が装着される表面上の装着孔とねじ孔を位置合わせするための、主ハウジング６０２から延在する壁を含み得る。

パッケージ６００は、差圧センサ４００の回路機構と電気的に連絡する回路機構を含む、電気回路領域（図示せず）を含み得る。電気回路領域は、プラグまたはワイヤリングハーネスを介したシステム回路機構の電気接続を可能にするための、導電端子またはピン５１３と、電気的に連絡することができる。パッケージ６００を、車両、たとえばトラック上に装着して、その車両と関連するエンジン構成要素の差圧を検知することができる。例として、車両は、ねじ山付きスタッドを介してエンジン上に螺着する、交換可能なオイルフィルタを有し得る。オイルは、ポンプ送給されてねじ山付きスタッドを通り、交換可能なフィルタ内のフィルタエレメントを通り、フィルタ処理されたオイルとしてエンジンに戻る。フィルタ用エレメントが新しいかまたは比較的きれいなときは、フィルタを通るオイルの流れの制限は最小限である。
土および沈殿物がオイルからフィルタ処理される際、これらはフィルタ用エレメントを詰まらせ、フィルタを通るオイルの流れを制限する。流れの制限が少ないときは、交換可能なオイルフィルタの入口と出口とで比較したオイル圧力の差は小さい。流れが制限されるようになるにつれ、有限の容積内でのオイルの蓄積に起因して、オイルフィルタの入口において圧力が高まることになり、一方、オイルフィルタの出口におけるオイル圧力は、低減されたオイルの流れに起因して降下することになる。この結果、流れがさらに制限されるようになるにつれ、入口と出口との間の差圧が高まる。

パッケージ６００を、車両のエンジン、またはシャーシなどの他の好適な場所上に装着することができる。オイルフィルタの入口とパッケージ６００の第１の流体ポート６０１との間に、およびオイルフィルタの出口とパッケージ６００の第２の流体ポート６０３との間に、ホースを置くことができる。電気接続ピン６１３において、オイルフィルタの両面におけるオイル差圧を表す電気信号が提供される。交換可能なオイルフィルタの状況を判定するための診断または制御回路機構によって、電気信号が使用され得る。たとえば、オイルフィルタの両面におけるオイル差圧が所定のレベルに達するかまたはこれを上回るとき、フィルタを交換する必要のあることを示す警報を操縦者に提供するように、車両内の制御システムを適合させることができる。時間にわたり、オイルフィルタの両面におけるオイル差圧を示す電気信号を使用して、オイルフィルタの動作状態を判定することができる。
電気信号から導出されるデータを、たとえばコンピュータメモリに保存し、将来の分析のために使用することができる。たとえば、エンジン不具合の場合には、オイルフィルタの動作状態をエンジンの寿命にわたって履歴的に見たものを分析して、オイルフィルタがエンジン不具合に寄与する要因であったかを判定することができる。オイルフィルタの動作状態の履歴記録を使用して、エンジンオイルおよび／またはオイルフィルタの交換が、製造者推奨の整備および保守スケジュールに従って行われたかを判定することもできる。

図６Ｃは、図４の差圧センサを組み込んだ差圧センサパッケージ６００の横断面図である。センサパッケージ６００は、測定されるべき圧力を有する第１の流体および第２の流体を受容するための第１の流体ポート６０’および第２の流体ポート６０３を画定する、ハウジング６０２を含む。実施形態では、ハウジング６０２は、第１のハウジング部材および第２のハウジング部材として画定され、これらのハウジング部材は、互いと合体するように構成される。第１のハウジング部材および第２のハウジング部材を、シール６０５において結合することができる。実施形態では、ハウジング６０２は単体であってよく、または、互いと合体するように構成される３つ以上のハウジング部材を含んでもよい。ハウジング６０２のハウジング部材が互いと合体するとき、ハウジング内に内部容積が画定される。内部容積は、差圧センサを受容し支持するようなサイズおよび構成とされる。ハウジング６０２の内部空間内に、図４Ａの差圧検知デバイスなどの差圧センサが挿入される。２つの部材はシール６０５において接続および封止されて、差圧センサをハウジング６０２内に液密な様式で閉じ込める。

図４Ａおよび図４Ｂに関連して上記したように、差圧ダイ３００と流体ポート６０１、６０３との間に、上側ハウジングおよび下側ハウジングが挿置される。

第１の流体は、流体ポート６０１の中に入り、可撓性隔壁４０３を屈曲させる。次いでこの可撓性隔壁４０３は、オイルまたは他の隔離された流体を介して、（図４Ｃの配向に示すように）差圧検知ダイの下面に力を伝達する。同様に、第２の流体は、流体ポート６０３の中に入り、可撓性隔壁４１３を屈曲させる。次いでこの可撓性隔壁４１３は、オイルまたは他の隔離された流体を介して、（図４Ｃの配向に示すように）差圧検知ダイ３００の頂面に力を伝達する。第１の流体および第２の流体は各々、半導体隔壁の対向する両面に間接的に圧力を加える。第１の流体および第２の流体のそれぞれの圧力が異なる場合、２つの流体間の結果的な差圧により、半導体隔壁が応力を受けかつ／または変形する。半導体隔壁の表面上に配設されたピエゾ抵抗素子の電気抵抗は、そのような応力および／または変形に応じて変化する。ボンドワイヤを介して搬送される電流をピエゾ抵抗素子を通して電気回路に供給することによって、電気抵抗が測定される。電気信号は回路機構において処理され、図５Ａに示される電気コンタクトピンもしくはワイヤ５１３、またはコネクタなどの他の接続方法を介して、外部回路によって利用可能となる。

パッケージを、車両のフレームまたはシャーシにパッケージを取り付けるための装着孔６０９を有するように構成することができる。そのような実施形態では、第１の流体ポート６０１および第２の流体ポート６０３を、車両を動作させるために使用される流体に接続される流体ホースまたは導管に取り付けることができる。たとえば、車両のオイル循環系における２つの箇所の間の差圧を測定するために、流体ポート６０１、６０３を通してエンジンオイルを導入することができる。

図６Ｃは、図４の差圧センサを組み込んだ差圧センサパッケージ６００の横断面図である。センサパッケージ６００は、測定されるべき圧力を有する第１の流体および第２の流体を受容するための第１の流体ポート６０’および第２の流体ポート６０３を画定する、ハウジング６０２を含む。ハウジング６０２は、シール６０５において結合される２つの部材として画定される。ハウジング６０２の内部空間内に、図４Ａの差圧検知デバイスなどの差圧センサが挿入される。２つの部材はシール６０５において接続および封止されて、差圧センサをハウジング６０２内に液密な様式で閉じ込める。

第１の流体ポート６０１と流体連通するように、第１の流体が置かれる。第１の流体は第１の流体ポートを充填し、可撓性隔壁４０３と流体連通する第１の圧力チャンバ６０４の中に入る。可撓性隔壁４０３は、第１の流体の反対側の可撓性隔壁４０３の側のオイルが充填される容積と、流体的に接触する。第２の流体ポート６０３は、流体ポート６０１と同様に構成され、第２の流体が第２の圧力チャンバ６０６の中に入ることを可能にする。第２の圧力チャンバ６０６は、可撓性隔壁４１３と流体連通する。可撓性隔壁４１３はオイルが充填される容積と流体連通し、次いでこの容積は、差圧検知ダイ３００の隔壁と連通する。圧力チャンバ６０４内の第１の流体と第２の圧力チャンバ６０６内の第２の流体との間の差圧は、差圧検知ダイ３００のシリコン隔壁に対して加えられる正味の力として具現化する。
力は、ピエゾ抵抗素子の１つまたは複数の抵抗値に変換され、これらは次いで、回路４１９に連絡され処理され得る。回路４１９の出力は、検出された差圧を示すデータを含む。回路４１９へのコネクタは、差圧センサパッケージ６００の外部でアクセス可能である。第１の流体および第２の流体と差圧検知ダイ３００との間の流体連通を確立するために、圧力チャンバ６０４、６０６を、これらのそれぞれの流体ポート６０１、６０３に対して垂直となるように適合することができる。

図７は、Ｏリング接続継手を有する、隔離式のオイル充填型の圧力センサ７００の横断面図である。圧力センサ７００は、試験中の流体に直接暴露しないように圧力検知ダイを隔離しながら、差圧測定を行う。圧力検知ダイは、圧力検知ダイから試験中の第１の流体を隔離する管７１３内のオイルの第１の容積、および圧力検知ダイから試験中の第２の流体を隔離する管７２３内のオイルの第２の容積によって、試験流体から隔離される。

圧力検知ダイは、一体型隔壁（３１３、図３Ａおよび図３Ｂに示すようなもの）を含む、半導体圧力ダイ３１０を含む。隔壁は、圧力によって半導体圧力ダイ３１０内の隔壁上に加えられる力に基づく変動する電気抵抗を呈する、半導体に画定されるピエゾ抵抗素子を有する。半導体圧力ダイの上側表面および下側表面は、第１の支持構造３０１および第２の支持構造３０３によって支持される。支持構造３０１、３０３は、これらを通して画定される開口を有し、これらの開口は、管７１３、７２３およびオイルが充填される容積７１７、７２７内のオイルが、隔壁の上側表面および下側表面とそれぞれ流体連通するように、隔壁と位置合わせされる。

管および他の容積を、オイルが中を通って導入されるポート７１５、７２５を有する、オイル充填導管を通して充填することができる。ポート７１５、７２５を、ポート開口部を覆って金属球体を溶接することよって封止することができるか、または、ポートは例として、圧着されてまたは折り畳まれてポートを封止する、細長い部位を有し得る。

可撓性隔壁４０３、４１３は、オイルが充填される容積の壁を構成する表面を画定する。実施形態では、ハウジングをオイルで充填すること、ならびにこのハウジングに、支持構造３０１、３０３が取り付けられる剛性の側壁および剛性の基部壁を設けることが可能である。剛性の壁を、たとえば鋼製プレートによって提供することができる。可撓性隔壁４０３、４１３は、試験中の流体に暴露されたときの腐食に対して耐性のある材料で作製される。この流体は、腐食性の流体、たとえば酸または燃料であり得る。例として、可撓性隔壁４０３、４１３を、ほとんどの流体の存在下で耐腐食性を実現するステンレス鋼またはチタンで構築することができる。可撓性隔壁４０３、４１３の外面は、圧力を測定中である第１の流体および第２の流体を受容したポート７０５、７０７の壁を画定する。
ポートは、耐腐食性材料から形成される側壁７０９、７１１を有する。ポート７０５、７０７の外壁上に、測定中の流体を搬送するための管路に接続するためのねじ山付き継手の取り付けを可能にする、外部ねじ山７０３が画定される。第１のポート７０５および第２のポート７０７の側壁７０９、７１１は、Ｏリング７０１を受容するための溝路をさらに画定する。Ｏリング７０１は、ポート７０５、７０７とポート７０５、７０７上にねじ切りされる受容継手との間に、液密シールを形成する。

ポート７０５の中に第１の流体が入り、可撓性隔壁４０３に対する圧力に起因する力を及ぼす。可撓性隔壁４０３は屈曲し、これに対して加えられる力を、オイルが充填される容積７１７内などの、中のオイルに伝達する。第１の支持構造３０１の開口および半導体圧力検知ダイ３１０の隔壁の上側表面によって画定される領域内を含め、オイルが充填される容積７１７内のオイル全体にわたって、圧力が伝達される。ポート７０７の中に第２の流体が入り、可撓性隔壁４１３に対する圧力に起因する力を及ぼす。可撓性隔壁４１３は屈曲し、これに対して加えられる力を、オイルが充填される容積７２７内のオイルに伝達する。第２の支持構造３０３の開口および半導体圧力検知ダイ３１０の隔壁の下側表面によって画定される領域内を含め、オイルが充填される容積７２７内のオイル全体にわたって、圧力が伝達される。

プリント回路基板（ＰＣＢ）４１９は、ボンドワイヤ７２１によって、半導体圧力検知ダイ３１０に電気的に接続される。ＰＣＢ回路機構４１９はさらに、測定された差圧値を表す電気信号を差圧センサ７００の外側の外部システムに提供する、電気コンタクトピン７１４と、電気的に接続される。

差圧センサ７００を作り出すように、ポート側壁７０９、７１１、可撓性隔壁４０３、４１３、およびオイルが充填される容積７１７、７２７が、溶接部７１９によって接続され得る場所である接点。

差圧センサダイ３００から試験中の流体を隔離する、オイル充填型の差圧センサを収納するために、図５Ａ、図５Ｂ、図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃ、および図７に示すパッケージの実施形態が使用されるが、これは単なる例として示されている。当業者によって、他の構成が使用および企図され得る。たとえば、パッケージのハウジング６０２を、非腐食性または半腐食性のいくつかの流体からの腐食に対して耐性のあるプラスチックから形成することができる。この実施形態では、パッケージは、オイルが充填される容積を有さず差圧検知ダイ３００のみを備える差圧センサを収納することができる。この実施形態では、試験中の流体は、流体ポート５０１、５０３を通して直接アクセス可能である、図３Ａを示している第１の支持構造の開口３０７および第２の支持構造の開口３０９を通って、差圧ダイ３００の中に入ることができる。この構成の例示の実施形態について、以下で図８を参照して詳細に記載する。

図８Ａは、本開示の実施形態による、差圧検知ダイ３００が中に装着されて示されている、差圧検知ダイ用のパッケージ８００の等角部分断面図である。パッケージ８００は、半腐食性または非腐食性の流体の差圧を測定するための、差圧検知ダイを受容するように構成される。パッケージ８００はハウジング８０２を含む。この例示的な実施形態では、ハウジング８０２は２つの部材を有する。この例示的な実施形態では、下側ハウジング部材８０３は、基部、およびこの基部の周囲の直立した周縁壁を含む。上側ハウジング部材８０１は、下側部材８０３上に、および特に下側部材８０３の周縁壁の頂部のへり上に置かれるとき、蓋またはシールとして働く。上側部材８０１と下側部材８０３との間に、ガスケットまたは接着剤シール８０５が配設される。シール８０５は、外側の混入物からハウジングの内部を封止する。ハウジングの対向する両面を通って、２つのポート８０７、８０９が画定される。
例示した実施形態では、これらのポートは、上側部材８０１および下側部材８０３の基部を通してそれぞれ画定されるが、ハウジングの他の部分を通して画定してもよい。ポート８０９は、その内側開口部が、差圧検知ダイ３００の開口３０９などの差圧検知ダイの開口との位置合わせ、およびこの開口との流体不浸透性の封止にとって好適となるように、位置付けられる。同様に、ポート８０７は、その内側開口部が、差圧検知ダイ３００の開口３０７などの差圧検知ダイの他の開口との位置合わせ、およびこの開口との流体不浸透性の封止にとって好適となるように、位置付けられる。こうして、ポート８０７、８０９を介して、差圧検知ダイ３００の隔壁の対向する両面への流体連通が確立される。差圧センサパッケージ８００は非腐食性または半腐食性の流体の差圧を測定するように設計されるので、半導体圧力ダイ３１０および支持構造３０１、３０３は、試験中の流体から隔離されない。しかしながら、ポート８０７、８０９と開口３０７、３０９との間のそれぞれのシールの結果として、ハウジング８０２の内部容積は、試験中の流体から隔離される。ハウジング８０２は、内部容積を外部環境からさらに隔離する。

パッケージ８００は、ハウジング８０２の外壁から延在する電気接続ピン８１３をさらに含む。電気接続ピン８１３は、ハウジング８０２の壁を通して、ハウジング８０２の内部のコンタクトに電気的に連絡する。複数の実施形態では、コンタクトは、ＡＳＩＣと、および場合によっては回路機構４１９を有するＰＣＢと、電気的に連絡することができる。ＰＣＢ回路機構４１９およびパッケージ８００のＡＳＩＣを、半導体圧力ダイの圧電素子と通信するように、および差圧データを出力するように、構成することができる。半導体圧力ダイ３１０は、半導体圧力ダイ３１０がボンディングワイヤ８１１に接続される場所である電気接点を含む。ボンディングワイヤ８１９は、半導体圧力ダイ３１０を、ＰＣＢ回路機構４１９に電気的に接続する。ＰＣＢ回路機構４１９は、半導体圧力ダイ３１０から受信される電気信号に基づいて差圧値を決定するためのマイクロプロセッサと連絡する、マイクロプロセッサおよびメモリを含み得る。電気接続ピン８１３は、ハウジングの壁を通って延在し、ＰＣＢ回路機構４１９に電気的に接続される。
これらは、第１の流体と第２の流体との間で測定された差圧に関連する電気信号を、外部システムに搬送する。図８Ａに示すように、電気接続ピン８１３を、コンタクトピンの単一の列を有する単一のシングルインラインパッケージ（ＳＩＰ）として、配置構成することができる。この構成は例としてのみ提供されており、他の構成が使用可能である。たとえば、デュアルインラインパッケージ（ＤＩＰ）を使用することができるか、または、差圧センサパッケージ８００を、配線ハウジングに接続されたアダプタを受容するためのポートを有する、表面実装型ハウジングとして構成することができる。外部システムは、差圧測定値を使用して異常な状況を判定し警告信号を送ることのできる、制御装置または表示器システムに関連し得る。または、外部システムは、例として、弁から上流の箇所と下流の箇所との間で測定される差圧に基づいて弁を動作させる、弁制御装置とすることができる。
差圧センサパッケージ８００の実施形態を使用する例示の適用例では、第１の流体は、車両のエンジン内の、その車両のオイルフィルタの中に入る前のオイルである。第２の流体は、オイルがオイルフィルタを通過した後の、車両のエンジンオイルである。フィルタの中に入る前とフィルタを離れた後の、エンジンオイルの差圧は、オイルフィルタの状況を示すことができる。オイルフィルタ内の流れが制限されていると判定される場合、保守が必要であることまたはオイルフィルタを交換すべきであることを示す警告を、車両操縦者に提供することができる。

好適な継手（図示せず）を介したポート８０７を通して、第１の流体が導入される。第１の流体は、第１の支持構造または拘束要素３０１の断面長さを通過する開口３０７と位置合わせされる、ポート８０７の中に入る。第１の流体は、第１の支持構造３０１を通って流れ、半導体圧力ダイ３１０の隔壁の上側表面と流体的に接触する。

第２の流体は、好適な継手（図示せず）を介してポート８０９に導入される。第２の流体は、第２の支持材または拘束要素３０３の断面長さを通過する開口３０９と位置合わせされる、ポート８０９を通過する。流体は、第２の支持構造３０３を通って流れ、半導体圧力ダイ３１０に画定された隔壁の下面と、流体的な連通を通して接触する。第１の流体および第２の流体が、これらのそれぞれの圧力を隔壁の対向する両表面に対して加える際、半導体隔壁の表面上のピエゾ抵抗素子は、ピエゾ抵抗素子に加えられている差圧の量と相関する電気抵抗を生じさせる。ピエゾ抵抗素子を通って流れる電流は、圧力差によって生み出される抵抗に比例し、第１の流体および第２の流体の圧力間の差圧値を導出するために使用可能な電流測定値を生成する。

図８Ａは、ハウジングの上側部材８０１に第１のポート８０７が配設され、一方、ハウジングの下側部材８０３の下面に第２のポート８０９が配設される、差圧センサを示す。この構成は、単に例として提供されている。他の構成を使用可能である。たとえば、第１のポート８０７を、ハウジングの下側部材８０３の側壁に画定することができる。第２のポート８０９を、下側部材８０３の、第１のポート８０７の反対側の壁に画定することができる。または別法として、第２のポート８０９を、第１のポート８０７を含む側壁に隣接する側壁に画定することができる。

差圧センサパッケージ８００の実施形態によれば、ハウジング部材８０１、８０３は、プラスチックから製作される。プラスチックを、ポート８０７、８０９を画定する開口を形成するように成形することができる。ポート８０７、８０９を介する試験中の流体からの耐腐食性を実現するために、プラスチックが選択される。このようにして、試験中の流体を、ポート８０７、８０９に直接導入することができる。流体はポート８０７、８０９の中に入り、第１の支持構造３０１および第２の支持構造３０３の開口部によって画定される容積を充填する。流体はこうして、半導体圧力検知ダイ３１０に画定される隔壁３１３の上面および下面と流体連通する。差圧検知ダイ３００（図３Ａに示す）を、差圧検知ダイ３００の開口３０７、３０９とポート８０７、８０９が位置合わせされるように、ハウジング部材８０１、８０３によって画定されるパッケージ内に設置することができる。
このプラスチックのパッケージを、ハウジング部材８０１、８０３とダイの支持構造３０１、３０３との間に液密シール８２１を提供する適切な接着剤によって、差圧検知ダイに取り付けることができる。別法として、内部の壁またはリブによってなどで画定される、差圧検知ダイ３００の外形に対応する外形を有する内部容積を有するプラスチックのパッケージを、成形することができる。たとえば、パッケージの下側ハウジング部材８０３に、内部容積を画定することができる。ダイは、ダイにおける開口３０７、３０９がパッケージにおけるポート８０７、８０９と位置合わせされた状態で、内部容積内に置かれる。上側ハウジング部材８０１が下側ハウジング部材８０３に合体されて、液密なパッケージを画定する。

図８Ｂおよび図８Ｃは、成形されたパッケージ８００内のオイル充填型でない差圧センサ実施形態の実施形態の、立面図および断面図をそれぞれ示す。第１の流体ポート８１０および第２の流体ポート８１２はパッケージの中に入り、差圧検知ダイ３００の対向する両端部と流体的に接触する。ハウジングは、ガスケットまたは接着材シール８０５によって封止可能な上側部材８０１および下側部材８０３を有する。流体ポート８１０、８１２は返しを設けられ、このことにより、返し８０６、８０８によってまたはホースもしくは管材を流体ポート８１０、８１２に固着するためのリングクランプの追加によって、ホースが流体ポートを覆って嵌合することおよびホースを所定位置に保持し封止することが可能になる。電気信号は、第１の流体ポート８１０と第２の流体ポート８１２との間の流体の差圧を表す信号を含み、電気コンタクト８１３を介して伝達または搬送され得る。

図９は、差圧センサおよび絶対圧センサを用いて構成される、隔離式のオイル充填型の圧力センサの、断面立面図である。センサハウジングは、図４Ａおよび図４Ｂに示すような差圧センサのオイルが充填される実施形態に類似している。図９の圧力センサ９００では、しかしながら、追加の絶対圧検知ダイ３５０が追加されている。絶対圧検知ダイ３５０は、差圧検知ダイ３００に類似した半導体圧力検知ダイを用いて構成される。しかしながら、絶対圧検知ダイ３５０の上側拘束要素９０１は、流体が上側拘束要素９０１の中に入り半導体ダイと流体的に接触することを可能にする開口を有さない。代わりに、上側拘束要素９０１は、真空として維持される内部容積を有し得る、封止されたガラス製拘束要素である。
このようにして、センサ９００の可撓性の金属隔壁９１３と流体的に接触する流体は、その圧力が、オイルが充填される容積を通して、絶対圧検知ダイ３５０の下面に伝達されることになる。したがって、検知される圧力は、真空などの基準圧力と比較した場合の、下側隔壁９１３から及ぼされる圧力のみの因子である。図９における圧力センサ９００はしたがって、差圧センサもしくは絶対圧センサのいずれか、または両方として、使用可能である。信号が生み出される元となった圧力検知ダイ３００、３５０を識別することによって、差圧信号を絶対圧信号から区別することができる。

上述の発明は上記の実施形態を参照して記載されているが、本発明の精神から逸脱することなく、様々な修正および変更を行うことができる。したがって、そのような修正および変更は全て、付属の特許請求の範囲の範囲内にあるものと見なされる。したがって、本明細書および本図面は、制限的な意味においてではなく例示的な意味において検討されるべきである。本明細書の一部を形成する添付の図面は、限定ではなく例示として、本主題が実施され得る具体的な実施形態を示す。例示される実施形態は、当業者が本明細書に開示される教示を実施できるように、十分に詳細に記載される。他の実施形態を利用すること、および例示される実施形態から他の実施形態を導出することができ、この場合、本開示の範囲から逸脱することなく、構造的および論理的な置換および変更を行うことができる。したがって、本明細書の発明を実施するための形態は、限定的な意味において解釈されるべきでなく、様々な実施形態の範囲は、付属の特許請求の範囲、ならびにかかる特許請求の範囲の均等物と認められるものの全範囲によってのみ、規定される。

本明細書では、進歩性を備えた本主題のそのような実施形態を、個々におよび／またはまとめて「発明」という用語で呼ぶ場合があるが、これは単に便利のためであり、２つ以上の発明または進歩性を備えた概念が事実上開示されている場合に、本出願の範囲をどのような単一の発明または進歩性を備えた概念に限定することも意図していない。したがって、本明細書において具体的な実施形態が例示され記載されたが、示される具体的な実施形態を、同じ目的を達成するように意図された任意の配置構成で代用可能であることを諒解されたい。本開示は、様々な実施形態の変形形態のありとあらゆる適合形態を包含することを意図する。上記の実施形態の組み合わせ、および本明細書において具体的に記載されない他の実施形態が、上記の記載を検討することで、当業者には明らかとなろう。

Claims (11)

1. ２つの隔離された流体間の差圧を測定するための差圧検知ダイ（３００）であって、
   前記差圧検知ダイ（３００）は、半導体ダイ（３１０）と、第１の支持構造（３５１）と、第２の支持構造（３５３）と、を備え、
   前記半導体ダイ（３１０）は、上側表面（３１０_ｕ）および下側表面（３１０_ｌ）を有し、かつ第１の厚さを有する第１の領域、および第２の厚さを有する第２の領域を有しており、
   前記第２の厚さが前記第１の厚さ未満であり、
   前記第２の領域が隔壁（３１３、３６３）を画定し、
   前記隔壁の上に、前記隔壁の偏向に応じて変動する抵抗を呈する、少なくとも１つのピエゾ抵抗素子（３６５）が配設され、
   前記半導体ダイの前記上側表面に接合される前記第１の支持構造（３５１）は、前記第１の支持構造を通して画定される開口（３０７）を有し、
   前記開口（３０７）が前記第１の支持構造を通して前記隔壁を露出しかつ前記第１の半導体ダイの前記上側表面とのシールを提供するように適合されており、
   前記半導体ダイの前記下側表面に接合される前記第２の支持構造（３５３）は、前記第２の支持構造を通して画定される開口（３０９）を有し、
   前記開口（３０９）が前記第２の支持構造を通して前記隔壁を露出するように適合されている、
   差圧検知ダイ（３００）。
2. 前記半導体ダイ（３１０）がシリコンから構成される、
   請求項１に記載の差圧検知ダイ。
3. 前記第１の支持構造（３５１）がシリコンから構成される、
   請求項２に記載の差圧検知ダイ。
4. 前記第２の支持構造（３５３）がシリコンおよびガラスの一方から構成される、
   請求項３に記載の差圧検知ダイ。
5. 前記第１の支持構造（３５１）が、前記半導体ダイ（３１０）の前記表面上のポリシリコンの層（３６７）に陽極接合され、
   前記第２の支持構造がシリコンから構成される場合は、前記第２の支持構造（３５３）が前記半導体ダイの露出されたシリコンに陽極接合され、
   前記第２の支持構造がガラスから構成される場合は、前記第２の支持構造がガラスフリット接合部（３６７）によって前記半導体ダイに接合される、
   請求項４に記載の差圧検知ダイ。
6. 前記隔壁（３１３、３６３）と電気的に連絡する導電性コンタクトパッド（３０５、３５５）をさらに備え、
   前記導電性コンタクトパッドは、前記隔壁、前記第１の支持構造（３０１、３５１）、および前記第２の支持構造（３０３、３５３）によって画定される領域の外側の領域において、前記半導体ダイ（３１０）の表面上に配設されている、
   請求項１に記載の差圧検知ダイ。
7. 半導体材料からなる半導体ダイ（３１０）を提供するステップと、第１の支持構造（３０１）を前記半導体ダイ（３１０）の第１の側に接合するステップと、第２の支持構造（３０３）を前記第１の支持構造（３０１）とは反対側の前記半導体ダイ（３１０）の第２の側に接合するステップと、を含む、差圧ダイを作製する方法であって、
   前記半導体ダイ（３１０）が、第１の厚さの第１の領域と、前記第１の厚さ未満である第２の厚さを有し前記第１の領域の内部にある隔壁（３１３）と、を有し、
   前記隔壁が、前記隔壁（３１３）の偏向に応じた可変抵抗を呈する少なくとも１つのピエゾ抵抗素子（３６５）を有しており、
   前記第１の支持構造（３０１）が、前記第１の支持構造を通して画定され前記隔壁（３１３）と位置合わせされる開口（３０７）を有し、
   前記第２の支持構造（３０３）が、前記第２の支持構造を通して画定され前記隔壁（３１３）と位置合わせされる第２の開口（３０９）を有する、
   差圧ダイを作製する方法。
8. 前記半導体材料がシリコンである、
   請求項７に記載の方法。
9. 前記第１の支持構造（３０１）がガラスから形成され、
   前記第２の支持構造（３０３）がガラスおよびシリコンの一方から形成される、
   請求項７に記載の方法。
10. 前記第１の支持構造（３０１）を前記半導体ダイ（３１０）に接合するステップが、ガラスフリット接合（３６７）によるものであり、
    前記第２の支持構造（３０３）を前記半導体ダイ（３１０）に接合するステップが、
    前記第２の支持構造（３０３）がシリコンから形成される場合は陽極接合によるものであり、
    前記第２の支持構造（３０３）がガラスから形成される場合はガラスフリット接合（３６７）によるものである、
    請求項９に記載の方法。
11. 前記半導体ダイ（３１０）の上側表面上に画定される１つまたは複数の導体（３７５）を介して前記ピエゾ抵抗素子（３６５）と電気的に連絡する電気コンタクトパッド（３０５）を画定するステップをさらに含み、
    前記電気コンタクトパッド（３０５）が、前記半導体ダイ（３１０）の前記上側表面上で前記第１の支持構造（３０１）から外側にある、
    請求項７に記載の方法。

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