JP2017510853A - オートフォーカス・システム - Google Patents
オートフォーカス・システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017510853A JP2017510853A JP2016561298A JP2016561298A JP2017510853A JP 2017510853 A JP2017510853 A JP 2017510853A JP 2016561298 A JP2016561298 A JP 2016561298A JP 2016561298 A JP2016561298 A JP 2016561298A JP 2017510853 A JP2017510853 A JP 2017510853A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- light beam
- sample
- optical
- collimator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- 238000012014 optical coherence tomography Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000010261 cell growth Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 230000004962 physiological condition Effects 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
- G02B21/361—Optical details, e.g. image relay to the camera or image sensor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/102—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type for infrared and ultraviolet radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2014年4月10日に出願された米国仮特許出願第61/978,087号、および、2014年6月3日に出願された米国仮特許出願第62/006,972号の利益を主張するものである。米国仮特許出願第61/978,087号および同第62/006,972号の開示内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
1.顕微鏡。Z軸ピエゾ・ステージ上に固定された試料を撮像するのに使用する。
2.試料アーム。位置検出に必要な干渉信号の生成に用いる2本のアームの片方である。顕微鏡において、チューブ・レンズの前または後に挿入することができる。
3.参照アーム。干渉信号の生成に用いる、第2のアームである。このアームは、対物レンズの違いがもたらす経路長の違いを補償し、自己相関信号のために物質的特徴を分離させるためにも使用される。
4.ベース・ユニット。OCTの使用を通じた表面検出を可能にする。このベース・ユニットには、試料からの前後走査を行い、分析するのに必要な要素が含まれる。
5.コンピュータ。信号の取得と分析に用いる、NI−DAQカードおよびソフトウェアを含む。ソフトウェア内で得られた測定値に基づき、補正信号をZ軸ピエゾ・ステージに適用することで、試料を対物レンズの焦平面内に留めることが可能となる。
Claims (13)
- 光源(101)と、
第1のポート、第2のポート、第3のポート、および第4のポートを有する光カプラ(112)であって、前記光源(101)からの光出力が前記第1のポートに連結されて第1の光ビームおよび第2の光ビームへと分かれ、前記第1の光ビームは前記第2のポートに対する出力であり、前記第2の光ビームは前記第3のポートに対する出力であり、前記第4のポートが分光計の入力に連結される、光カプラ(112)と、
前記第1の光ビームを、前記光カプラ(112)の前記第2のポートから試料へと、ダイクロイック・ミラー(108)および顕微鏡対物レンズ(103)を通じて向かわせるための第1の光コリメータ(106)であって、前記試料が、調整型顕微鏡検査ステージ(102)によって支持される基板上に載せられる、第1の光コリメータ(106)と、
前記第2の光ビームを、前記光カプラ(112)の前記第3のポートから再帰反射体(111)へと向かわせるための、第2の光コリメータ(110)と
を備える、オートフォーカス装置であって、
前記試料から反射した前記第1の光ビームが、前記第2のポートに戻って前記第4のポートから出るように導かれ、前記再帰反射体(111)から反射した第2の光ビームが、前記第3のポートに戻って前記第4のポートから出るように導かれ、
前記分光計が、前記反射された第1および第2の光ビームからの干渉信号に基づき、前記調整型顕微鏡検査ステージ(102)を制御するための制御信号を出力する、オートフォーカス装置。 - 前記再帰反射体の位置が、前記第2の光ビームの光路と前記第1の光ビームの光路とが整合するように調整される、請求項1に記載の装置。
- 前記調整型顕微鏡検査ステージが、電動X−Yステージと、Z軸ピエゾ・ステージとを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記光カプラが、50:50ファイバ・カプラである、請求項1に記載の装置。
- 前記分光計が、回折格子へと光を向けるファイバ・コリメータと、前記回折された光をカメラ上にフォーカスする対物レンズとを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のコリメータ以降に前記試料へと向かう前記第1の光ビームを遮るために閉鎖するメカニカル・シャッタをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- オートフォーカス装置を自動的に動作させるための方法であって、
光カプラ(112)を、第1のポートにおいて光源(101)の光信号出力に連結し、第2のポートにおいて第1の光コリメータ(106)に連結し、第3のポートにおいて第2の光コリメータ(110)に連結することと、
前記光カプラ(112)の前記第2のポートからの第1の光ビームを、前記第1の光コリメータ(106)により、ダイクロイック・ミラー(108)および顕微鏡対物レンズ(103)を通じて、試料へと誘導することであって、前記試料が、調整型顕微鏡検査ステージ(102)によって支持される基板上に載せられる、誘導することと、
前記光カプラ(112)の前記第3のポートからの第2の光ビームを、再帰反射体(111)へと誘導することと、
前記基板で反射した前記第1の光ビームを捕捉し、分光計へ向けて、前記第1の光コリメータ(106)を経由し、前記光カプラ(112)の前記第2のポートに入り前記第4のポートから出るように送出することと、
前記再帰反射体(111)で反射した前記第2の光ビームを捕捉し、分光計へ向けて、前記第2の光コリメータ(110)を経由し、前記光カプラ(112)の前記第3のポートに入り前記第4のポートから出るように送出することと、
前記調整型顕微鏡検査ステージ(102)の位置を、前記反射された第1および第2の光ビームからの干渉信号に基づいて移動させるための制御信号を生成することと
を含む、方法。 - 前記再帰反射体の位置を、前記第2の光ビームの光路と前記第1の光ビームの光路とが整合するように調整することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記分光計が、回折格子へと光を向けるファイバ・コリメータと、前記回折された光をカメラ上にフォーカスする対物レンズとを備える、請求項7に記載の方法。
- 前記制御信号が、前記干渉信号のピークに基づいて生成される、請求項7に記載の方法。
- 前記第1のコリメータ以降に前記試料へと向かう前記第1の光ビームを遮るためのメカニカル・シャッタを閉鎖することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記干渉信号において、3つのピークが識別される、請求項7に記載の方法。
- 1つのピークに対応する前記試料の位置を設定点として設定することと、
前記試料の前記位置を監視することと、
誤差値を得るために、前記設定点から前記試料の現在位置を減算することと、
前記誤差値を最小化するために、前記調整型顕微鏡検査ステージの前記位置を移動させることと
をさらに含む、請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201461978087P | 2014-04-10 | 2014-04-10 | |
US61/978,087 | 2014-04-10 | ||
US201462006972P | 2014-06-03 | 2014-06-03 | |
US62/006,972 | 2014-06-03 | ||
PCT/US2015/025113 WO2015157520A1 (en) | 2014-04-10 | 2015-04-09 | Autofocus system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017510853A true JP2017510853A (ja) | 2017-04-13 |
JP6722111B2 JP6722111B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=54264964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016561298A Active JP6722111B2 (ja) | 2014-04-10 | 2015-04-09 | オートフォーカス・システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9488820B2 (ja) |
EP (1) | EP3129817B1 (ja) |
JP (1) | JP6722111B2 (ja) |
CN (1) | CN106255911B (ja) |
CA (1) | CA2944688C (ja) |
WO (1) | WO2015157520A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA3039471A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | Novartis Ag | Visualization systems and methods for optimized optical coherence tomography |
CN109358462B (zh) * | 2018-11-05 | 2024-01-19 | 佛山科学技术学院 | 一种自动对焦的方法及系统 |
EP4092462A1 (en) * | 2021-05-18 | 2022-11-23 | Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. | Laser assisted autofocus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1071158A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-03-17 | Carl Zeiss:Fa | 多座標マニピュレータを含むoct援用手術用顕微鏡 |
JP2013508756A (ja) * | 2009-10-16 | 2013-03-07 | ソルラブス、 インコーポレイテッド | オートフォーカス装置 |
JP2014045906A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Canon Inc | 光断層撮像装置及びその制御方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0697611B9 (en) * | 1994-08-18 | 2003-01-22 | Carl Zeiss | Optical coherence tomography assisted surgical apparatus |
US5994690A (en) * | 1997-03-17 | 1999-11-30 | Kulkarni; Manish D. | Image enhancement in optical coherence tomography using deconvolution |
AU1210502A (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-15 | Forskningsct Riso | Optical amplification in coherent optical frequency modulated continuous wave reflectometry |
EP1610088B1 (de) * | 2004-06-22 | 2007-01-03 | Polytec GmbH | Vorrichtung zum optischen Vermessen eines Objektes |
DE112005002575A5 (de) * | 2004-10-20 | 2007-11-29 | Universität Stuttgart | Interferometrisches Verfahren und Anordnung |
JP4785480B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-10-05 | 三鷹光器株式会社 | 光学計測システム |
US7602501B2 (en) * | 2006-07-10 | 2009-10-13 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Interferometric synthetic aperture microscopy |
WO2008089393A2 (en) * | 2007-01-19 | 2008-07-24 | Thorlabs, Inc. | An optical coherence tomography imaging system and method |
EP2107406A4 (en) | 2007-01-19 | 2012-02-01 | Nikon Corp | DEVICE AND MICROSCOPE FOR DETECTING THE FOCUS |
US8705047B2 (en) * | 2007-01-19 | 2014-04-22 | Thorlabs, Inc. | Optical coherence tomography imaging system and method |
WO2009115108A1 (en) * | 2008-03-19 | 2009-09-24 | Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg | A method and an apparatus for localization of single dye molecules in the fluorescent microscopy |
US8264694B2 (en) * | 2009-03-16 | 2012-09-11 | Ut-Battelle, Llc | Quantitative phase-contrast and excitation-emission systems |
US8174761B2 (en) * | 2009-06-10 | 2012-05-08 | Universitat Heidelberg | Total internal reflection interferometer with laterally structured illumination |
DE102011003807A1 (de) * | 2011-02-08 | 2012-08-09 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit Autofokuseinrichtung und Verfahren zur Autofokussierung bei Mikroskopen |
WO2014018950A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Thorlabs, Inc. | Agile imaging system |
-
2015
- 2015-04-09 US US14/682,581 patent/US9488820B2/en active Active
- 2015-04-09 CA CA2944688A patent/CA2944688C/en active Active
- 2015-04-09 CN CN201580023248.2A patent/CN106255911B/zh active Active
- 2015-04-09 WO PCT/US2015/025113 patent/WO2015157520A1/en active Application Filing
- 2015-04-09 EP EP15776410.1A patent/EP3129817B1/en active Active
- 2015-04-09 JP JP2016561298A patent/JP6722111B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1071158A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-03-17 | Carl Zeiss:Fa | 多座標マニピュレータを含むoct援用手術用顕微鏡 |
JP2013508756A (ja) * | 2009-10-16 | 2013-03-07 | ソルラブス、 インコーポレイテッド | オートフォーカス装置 |
JP2014045906A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Canon Inc | 光断層撮像装置及びその制御方法 |
US9186057B2 (en) * | 2012-08-30 | 2015-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical coherence tomographic imaging apparatus and control method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2944688A1 (en) | 2015-10-15 |
US9488820B2 (en) | 2016-11-08 |
WO2015157520A1 (en) | 2015-10-15 |
EP3129817A1 (en) | 2017-02-15 |
CN106255911A (zh) | 2016-12-21 |
CN106255911B (zh) | 2019-03-26 |
CA2944688C (en) | 2022-07-26 |
EP3129817B1 (en) | 2023-09-06 |
US20150293340A1 (en) | 2015-10-15 |
JP6722111B2 (ja) | 2020-07-15 |
EP3129817A4 (en) | 2017-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6097516B2 (ja) | 顕微鏡撮像光線路の球面収差を識別し補正する方法及び装置 | |
US6992779B2 (en) | Interferometer apparatus for both low and high coherence measurement and method thereof | |
CN106461925B (zh) | 用于具有自适应光学系统的拉曼散射光学显微镜的系统和方法 | |
JP7153552B2 (ja) | 合焦状態参照サブシステムを含む可変焦点距離レンズシステム | |
JP5168168B2 (ja) | 屈折率測定装置 | |
EP2352989B1 (en) | Sample analysis apparatus and a method of analysing a sample | |
JP2014529102A (ja) | フォーカスおよびイメージングシステムならびにエラー信号を使用する技術 | |
TWI835976B (zh) | 成像反射計 | |
JP6523286B2 (ja) | オートフォーカス装置 | |
EP3278164A1 (en) | System and method for continuous, asynchronous autofocus of optical instruments | |
JP6722111B2 (ja) | オートフォーカス・システム | |
JP2013508756A (ja) | オートフォーカス装置 | |
CN111247471B (zh) | 包括电可调透镜的显微镜的自动聚焦控制 | |
KR20210025130A (ko) | 다수의 파장을 사용하는 다수의 작업 거리 높이 센서 | |
CN107728304B (zh) | 一种多焦点频域oct自适应调焦装置及其方法 | |
CN114112322A (zh) | 一种基于差分共焦的显微镜焦点偏移测量方法 | |
CN106772983A (zh) | 一种自动对焦的显微镜 | |
CN116699821A (zh) | 显微成像离焦量自动补偿系统、方法及显微镜 | |
US10761398B2 (en) | Imaging ellipsometer system utilizing a tunable acoustic gradient lens | |
US11415789B2 (en) | Microscope and method for determining an aberration in a microscope | |
RU2012135405A (ru) | Двухфотонный сканирующий микроскоп с автоматической точной фокусировкой изображения и способ автоматической точной фокусировки изображения | |
JP2013036848A (ja) | 高さ計測装置及び方法 | |
KR100781095B1 (ko) | 라인센서를 갖는 자동초점모듈을 포함하는 압흔 검사용미분간섭 현미경 | |
JP2008256504A (ja) | 形状測定装置 | |
JP2010038868A (ja) | 光学的粘度測定システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190402 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6722111 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |