JP2017509795A - 静的反応性スパッタ処理のための処理ガスセグメンテーション - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板上に材料を静的堆積するための装置であって、
基板搬送方向に沿って離間された3つ以上のカソードを有するカソードアレイ、及び
1つ又は複数の処理ガスを供給するためのガス供給システムであって、前記基板搬送方向に沿った2つ以上の位置に対して、個別に、前記1つ又は複数の処理ガスのうちの少なくとも1つの処理ガスの流量を制御するように構成される、ガス供給システム
を備える装置。 - 前記ガス供給システムが、前記3つ以上のカソードの長手方向軸に対して平行な3つ以上のガスラインを備え、前記3つ以上のガスラインが、前記基板搬送方向に沿って離間される、請求項1に記載の装置。
- 前記ガス供給システムが、前記3つ以上のカソードの前記長手方向軸に対して垂直な3つ以上のガスラインを備え、前記3つ以上のガスラインが、前記基板搬送方向に対して垂直に離間される、請求項1又は2に記載の装置。
- ガスラインが、前記3つ以上のカソードの前記長手方向軸に対して平行な方向に沿って、2つ以上のセグメントを画定する、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ガス供給システムが、3つ以上のガスラインに対して、1つ又は複数の処理ガスの流量を個別に制御するように構成された3つ以上のマスフローコントローラを更に備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 水平方向に沿って延在する1つのアノード、或いは、前記基板搬送方向に沿って離間された少なくとも3つのアノードを更に備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記カソードアレイが8つ以上の回転式スパッタターゲットを備え、具体的には、前記カソードアレイが12個の回転式スパッタターゲットを備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記3つ以上のカソードがDC電源に接続される、請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記3つ以上のカソードに隣接するカソードの対がAC電源に接続される、請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記カソードアレイのうちの前記3つ以上のカソードは、その長手方向軸が互いに対して平行であるように互いから離間され、前記長手方向軸が、処理される基板から等距離で配置される、請求項1から9のいずれか一項に記載の装置。
- 基板上に材料を静的堆積する方法であって、
ガス供給システムを通して1つ又は複数の処理ガスを供給すること、
基板搬送方向に沿った2つ以上の位置に対して、個別に、前記1つ又は複数の処理ガスのうちの少なくとも1つの処理ガスの流量を制御すること、及び
カソードアレイからの材料をスパッタリングすることであって、前記カソードアレイが、前記基板搬送方向に沿って離間された3つ以上のカソードを有する、スパッタリングすること
を含む方法。 - 前記3つ以上のカソードの長手方向軸に対して平行に位置付けされた少なくとも1つのガスラインからの処理ガスを使用して、基板上へ材料をスパッタリングすることを更に含む、請求項11に記載の方法。
- 前記ガス供給システムによって供給される前記1つ又は複数の処理ガスが、非反応性ガスと反応性ガスとの混合物を供給する2つ以上の処理ガスである、請求項11又は12に記載の方法。
- 前記ガス供給システムによって供給される前記1つ又は複数の処理ガスが、非反応性ガスである、請求項11から13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1つ又は複数の処理ガスのうちの少なくとも1つの処理ガスの分圧を変動させ得る、請求項11から14のいずれか一項に記載の方法。
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