JP2017504187A - センサアセンブリを備えた荷電粒子リソグラフィシステム - Google Patents
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Abstract
Description
前記ターゲットを保持するための第1の側面を有するターゲットホルダを含むターゲット位置決め装置と;
荷電粒子ビームを生成し、当該荷電粒子ビームを変調し、更に前記ターゲットホルダの前記第1の側面に向かって当該荷電粒子ビームを方向づけるための荷電粒子光学部と;
前記変換素子に衝突する各荷電粒子を光に変換するための変換素子を含むセンサアセンブリとを備え、前記変換素子は前記ターゲット位置決め装置の上に配置され、前記センサアセンブリは前記光を検出するための光センサを更に備え、当該光センサは前記ターゲット位置決め装置から一定の距離に配置され、前記センサアセンブリは前記変換素子から前記センサへ生ずる光を方向づけるために当該変換素子と前記光センサとの間に配置された光の光学レンズを更に備えている。
前記ターゲットを保持するための第1の側面を有するターゲットホルダを含むターゲット位置決め装置と;
荷電粒子ビームを生成し、当該荷電粒子ビームを変調し、更に当該荷電粒子ビームを前記ターゲットホルダの前記第1の側面に方向づけるための荷電粒子光学部と;
変換素子に衝突する各荷電粒子を光に変換するための当該変換素子を含むセンサアセンブリとを備え、ここで当該変換素子は、前記ターゲット位置決め装置の上に配置され、前記センサアセンブリは前記光を検出するための光センサを更に備え、ここで当該光センサは前記ターゲット位置決め装置から一定の距離に配置され、前記センサアセンブリは前記変換素子から前記センサへ発生する光を方向づけるために、前記変換素子と前記光センサとの間に配置されている光の光学レンズをまた更に備え、
前記方法は、前記各荷電粒子ビームが前記変換素子に衝突する位置に前記ターゲット位置決め装置を移動させる工程を含む。
荷電粒子ビーム源101とビームコリメーティングシステム102を含む照明光学モジュール201と:
アパチャアレイ103とコンデンサレンズアレイ104を含むアパチャアレイ及びコンデンサレンズモジュール202と;
ビームブランカアレイ105を含むビームスイッチングモジュール203と;
ビーム停止アレイ108、ビーム偏向器アレイ109、および各投影レンズ・アレイ110を含む投影光学モジュール204とを含んでいる。
前記ターゲット位置決め装置の上、特に前記チャック210の上に配置されている、図2に更に詳しく示されている各変換素子140、150と;
前記ターゲット位置決め装置212、211、210、209から離隔して配置された光の光学レンズ302および光センサ303とを含むセンサアセンブリを備えている。
Claims (25)
- ターゲット上にパターンを転写するための荷電粒子リソグラフィシステムであって、
前記ターゲットを保持するための第1の側面を有するターゲットホルダを含むターゲット位置決め装置と、
荷電粒子ビームを生成し、当該荷電粒子ビームを変調し、更に当該荷電粒子ビームを前記ターゲットホルダの前記第1の側面に向かって方向づけるための荷電粒子光学部と、
変換素子の上に衝突する各荷電粒子を光に変換するための前記変換素子を含むセンサアセンブリとを備え、前記変換素子は前記ターゲット位置決め装置の上に配置され、前記センサアセンブリは前記光を検出するための光センサを更に備え、当該光センサは前記ターゲット位置決め装置から一定の距離に配置され、前記センサアセンブリは、前記変換素子から前記センサへ生ずる光を方向づけるために前記変換素子と前記光センサとの間に配置される光の光学レンズを更に含む
荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記レンズは、前記荷電粒子光学部に面する前記変換素子の実質的な側面の画像を前記光センサ上に投影するように配置される
請求項1に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記光センサは、ピクセル化センサ特にCCDアレイまたはダイオードアレイを含む
請求項1または2に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記荷電粒子光学部は、前記ターゲットホルダの第1の側面に配置され、前記光の光学レンズと前記光センサが当該ターゲットホルダの第2の側面に配置され、当該第2の側面は前記第1の側面に実質的に対向している
請求項1、2または3に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記荷電粒子光学部は光軸を定義し、前記光の光学レンズと前記光センサは前記光軸の上に配置されている
請求項1乃至4の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記ターゲットホルダおよび前記荷電粒子光学部は、前記真空チャンバの内部に少なくとも部分的に配置されており、前記真空チャンバは当該真空チャンバの内部に延在しているコンパートメントを備え、当該コンパートメントの内部は前記真空チャンバの内部から離隔されており、前記コンパートメントは前記ターゲットホルダに面した側面において窓を備え、更に少なくとも前記光の光学レンズは、前記コンパートメントの内部に配置される
請求項1乃至5の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記センサは前記コンパートメントの内部にも配置されている
請求項6に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記コンパートメントの内部は、前記真空チャンバの外部に実質的に開放されている
請求項6もしくは7に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記コンパートメントは前記真空チャンバの壁の開口部内に配置されている
請求項6、7もしくは8に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記真空壁に隣接する前記コンパートメントの一部を実質的に取り囲む筒部を更に備え、当該筒部は前記コンパートメントに沿って、前記真空チャンバに対し外部方向に延在し、前記筒部は少なくともμ−メタルまたはパーマロイの層を含む
請求項9に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記筒部は、前記真空チャンバの内部に前記コンパートメントに沿って延在し、当該筒部は前記真空チャンバの内部に配置され且つ前記真空壁内の前記開口部の周囲に前記真空壁とほぼ平行に延在し、放射状に延びるリップを含む
請求項10に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記真空壁は、前記真空チャンバの内部に面するシールドを具備しており、放射状に延びるリップは前記真空壁内の開口部の周囲で前記シールドを少なくとも部分的に被覆し、当該シールドは前記放射状に延びるリップと前記真空壁との間に配置される
請求項11に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記コンパートメントは、真空シールを提供するために前記真空壁に接続して配置されるフランジ部を含む
請求項9乃至12の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - フランジリングは、前記真空チャンバの壁と前記フランジ部との間に配置され、当該フランジリングはμ−メタルもしくはパーマロイの層を少なくとも含む
請求項13に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記フランジリングは、前記真空壁に隣接する前記コンパートメントの一部を実質的に取り囲む筒部を備え、前記筒部は前記コンパートメントに沿って前記真空チャンバに対して外部方向に延在し、前記筒部は、μ−メタルまたはパーマロイの層を少なくとも含む
請求項14に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記筒部は第1の筒部であり、前記フランジリングは、前記真空壁に隣接する前記コンパートメントの一部を実質的に取り囲む第2の筒部を更に備え、当該第2の筒部は前記コンパートメントに沿って前記真空室に対して内部方向に延在し、当該第2の筒部は前記コンパートメントに沿って前記真空チャンバに対して内部方向に延在し、前記第2の筒部はμ―メタルまたはパーマロイの層を少なくとも含む
請求項15に荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記第2の筒部は、前記真空壁内の前記開口部の周囲に前記真空壁に対してほぼ平行に延在し、放射状に延びるリップを備え、当該真空壁は前記真空チャンバの内部に面するシールドを具備しており、放射状に延びるリップは前記真空壁内の前記開口部の周囲で前記シールドを少なくとも部分的に被覆し、前記シールドは前記放射状に延びるリップと前記真空壁との間に配置される
請求項16に荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記コンパートメントの前記フランジ部は、前記真空チャンバの内部に面する前記真空壁の側面に配置されている
請求14乃至17の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記ターゲットホルダは、前記ターゲットを保持するための第1の側面を備え、前記真空チャンバの内部に延在する前記コンパートメントは、前記ターゲットを保持するための前記第1の側面から反対側の前記ターゲットホルダの一側に配置される
請求項6乃至18の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記荷電粒子光学部が、前記ターゲットホルダの上方に配置され、前記コンパートメントが前記ターゲットホルダの下方に配置されている
請求項19に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記真空チャンバの内部に配置された前記コンパートメントの一部の直径が、前記真空チャンバの前記壁に隣接する前記コンパートメントの一部の直径よりも大きい
請求項6乃至20の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 前記コンパートメントは、前記真空チャンバの外部にも延在する
請求項6乃至21の何れか一つに記載の荷電粒子リソグラフィシステム。 - 荷電粒子リソグラフィシステムにおけるターゲットのレベルで1個もしくはそれ以上の荷電粒子ビームの各特性を決定するための方法であって、前記システムは、
前記ターゲットを保持するための前記第1の側面を有するターゲットホルダを含むターゲット位置決め装置と、
前記荷電粒子ビームを生成し、当該荷電粒子ビームを変調し、更に前記荷電粒子ビームを前記ターゲットホルダの前記第1の側面に向かって方向づけるための荷電粒子光学部と、
変換素子の上に衝突する各荷電粒子を光に変換するための前記変換素子を含むセンサアセンブリとを備え、当該変換素子は前記ターゲット位置決め装置の上に配置され、前記センサアセンブリは前記光を検出する光センサを更に備え、当該光センサは前記ターゲット位置決め装置から一定の距離に配置され、前記センサアセンブリは変換素子から前記センサへ生ずる光を方向づけるために前記変換素子と前記光センサとの間に配置されている光の光学レンズを更に備えており、
前記ターゲット位置決め装置を前記各荷電粒子ビームが前記変換素子に衝突する位置に移動させる工程を含む
方法。 - 前記変換素子は、前記光センサから独立して移動されることを特徴とする
請求項23に記載の方法。 - 前記光センサと前記光の光学レンズは、前記荷電粒子光学部に対して実質的に固定された位置に配置され、そして前記荷電粒子光学部に実質的に固定されて整列され、前記センサアセンブリに関しては、前記変換器だけが、前記荷電粒子光学部の前記光軸に上またはその近傍の前記各荷電粒子ビーム(複数可)の前記ビーム経路内へ前記ターゲット位置決め装置により移動される
請求項23もしくは24に記載の方法。
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