JP2017502333A - 合成ダイヤモンド光学ミラー - Google Patents
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Abstract
Description
− 高い平坦性
− 高い剛性
− 大面積(>50mm)
− 低い質量/密度−ミラーは、適応光学システムで調整されることが必要であるので、銅の密度/質量が課題である。
− ラムダが10.6μmである場合、ラムダ/10またはそれより良好なオーダの光学的許容範囲
− 熱レンズ化型効果(thermal lensing type effect)を避けるための低い熱膨張係数(CTE)
− 高い熱伝導率
− 高いレーザ誘起損傷閾値。
(2)Kleinは、ダイヤモンドベースミラー支持プレートの適切な表面特性、およびこれらの達成のされ方に関しても沈黙している。ダイヤモンド材料は、ミラー用途に必要とされる高精密表面仕上げ(例えば、低い表面粗さと組み合わせての、ならびに低い表面および下部表面結晶損傷と組み合わせての高い平坦性または精密な湾曲)に処理することが難しいことで有名である。これは、低い靭性と組み合わされたダイヤモンド材料の極端な硬さのためである。反射および散乱などの光学的特性は、ダイヤモンドベースミラー支持プレートの表面特性に依存する。さらに、反射コーティングとダイヤモンドベース支持プレートとの間の界面におけるダイヤモンドベースミラーの熱伝導率および熱障壁抵抗などの熱的特性も、ダイヤモンドベースミラー支持プレートの表面特性に依存する。このような特性は、例えば、反射光学部品のレーザ誘起損傷閾値に影響を与える。
(3)Kleinは、ダイヤモンドベースミラー支持プレートに適用される反射コーティングの性質およびそれがダイヤモンドベースミラー支持プレートに接着される方法に関しても沈黙している。様々な反射コーティングおよび結合方法が銅などの他のミラー支持プレート材料による使用について当技術分野で公知である一方で、ダイヤモンド材料は、ダイヤモンド表面の化学的不活性、およびダイヤモンド材料とダイヤモンド材料をコーティングするために用いられる材料との間の熱膨張係数の不一致をもたらすダイヤモンド材料の低い熱膨張係数のために、確実にコーティングすることは難しいことで有名である。これは、反射光学部品がコーティングの剥離を引き起こす熱誘起応力をもたらすコーテッド反射光学部品における熱膨張係数不一致を有して、高出力レーザに露光される場合に特に問題がある。したがって、ダイヤモンドベースミラー支持プレートを使用する場合、反射コーティングのタイプおよびコーティングがダイヤモンドベースミラー支持プレートに結合される方法は、工業的に有用な反射のレベル、好ましくは高いレーザ誘起損傷閾値を達成するように慎重に選択されなければならない。
合成ダイヤモンド材料を含む支持プレート;および
支持プレートの上に配置された反射コーティング
を備え、
反射コーティングは、反射コーティングを支持プレート中の合成ダイヤモンド材料に結合する炭化物形成材料の結合層、結合層の上に配置された反射金属層、および反射金属層の上に配置された誘電体材料の1つまたは複数の層を含み、
結合層および反射金属層は一緒に、50nm〜10μmの範囲の全厚さを有し、反射金属層は5μm以下の厚さを有し、かつ
支持プレートおよび反射コーティングは、ミラーが、ミラーの操作波長で少なくとも99%、少なくとも99.2%、少なくとも99.4%、少なくとも99.6%、少なくとも99.7%、または少なくとも99.8%の反射率と、好ましくは以下の特性:
レーザ誘起損傷閾値が、100nsのパルス持続時間および1〜10Hzの範囲のパルス繰り返し周波数によって操作波長でパルスレーザを使用して測定された、少なくとも1Jcm-2、少なくとも2Jcm-2、少なくとも5Jcm-2、少なくとも10Jcm-2、少なくとも20Jcm-2、少なくとも30Jcm-2、少なくとも50Jcm-2、少なくとも75Jcm-2、少なくとも100Jcm-2、少なくとも150Jcm-2、または少なくとも200Jcm-2である;および
レーザ誘起損傷閾値が、操作波長で連続波レーザを使用して測定された、少なくとも1MW/cm2、少なくとも5MW/cm2、少なくとも10MW/cm2、少なくとも20MW/cm2、少なくとも30MW/cm2、または少なくとも50MW/cm2である
の一方または両方を満たすレーザ誘起損傷閾値とを有するように構成される、ミラーが提供される。
炭化物形成材料の結合層は、反射コーティングと支持プレート中の合成ダイヤモンド材料との間に強い接着を与えて、特に高出力レーザ用途において高い熱負荷下に置かれる場合に、反射コーティングの剥離の問題を軽減する。
ミラー構造、材料、および前述の特性を有するダイヤモンドベースミラーを達成する製作方法の詳細な例は、詳細な説明で示される。
合成ダイヤモンド材料を含む支持プレート;および
支持プレートの上に配置された反射コーティング
を備え、
反射コーティングは、反射コーティングを支持プレート中の合成ダイヤモンド材料に結合する炭化物形成材料の結合層、結合層の上に配置された反射金属層、および反射金属層の上に配置された誘電体材料の1つまたは複数の層を含み、
結合層および反射金属層は一緒に、50nm〜10μmの範囲の全厚さを有し、反射金属層は5μm以下の厚さを有し、かつ
支持プレートおよび反射コーティングは、ミラーが、ミラーの操作波長で少なくとも99%、少なくとも99.2%、少なくとも99.4%、少なくとも99.6%、少なくとも99.7%、または少なくとも99.8%の反射率と、好ましくは以下の特性:
レーザ誘起損傷閾値が、100nsのパルス持続時間および1〜10Hzの範囲のパルス繰り返し周波数によって操作波長でパルスレーザを使用して測定された、少なくとも1Jcm-2、少なくとも2Jcm-2、少なくとも5Jcm-2、少なくとも10Jcm-2、少なくとも20Jcm-2、少なくとも30Jcm-2、少なくとも50Jcm-2、少なくとも75Jcm-2、少なくとも100Jcm-2、少なくとも150Jcm-2、または少なくとも200Jcm-2である;および
レーザ誘起損傷閾値が、操作波長で連続波レーザを使用して測定された、少なくとも1MW/cm2、5MW/cm2、10MW/cm2、20MW/cm2、30MW/cm2、または50MW/cm2である
の一方または両方を満たすレーザ誘起損傷閾値とを有するように構成される、ミラーを提供する。
(i)多結晶ダイヤモンド材料を含む支持プレートを製作する工程と;
(ii)支持プレートの表面を高精密光学仕上げに処理する工程と;
(iii)反射コーティングを支持プレートの処理表面に適用する工程と
を含む。
(1)ミラー支持プレートとして使用されるべきダイヤモンド材料の特定の性質および形態ならびにダイヤモンドベースミラー支持プレートが製作される方法;
(2)ダイヤモンドベースミラー支持プレートの表面特性およびこれらが達成される方法;ならびに
(3)ダイヤモンドベースミラー支持プレートに適用される反射コーティングの性質およびそれがダイヤモンドベースミラー支持プレートに接着される方法
が含まれる。
ミラー支持プレート−材料および合成
ダイヤモンド材料を含むミラー支持プレートを提供するために3つの基本的な可能性、すなわち、
(1)合成ダイヤモンド材料の自立性プレート;
(2)支持基板上に配置された合成ダイヤモンド材料の層;または
(3)支持マトリックス材料を介して分布したダイヤモンド粒子を含むコンポジットダイヤモンドプレート
が存在する。
ミラー支持プレートが合成ダイヤモンド材料の自立性プレートの形態で与えられる場合、ダイヤモンド材料は、反射コーティングを支持し、製作、取付けの間、および使用中にミラーに与えられる熱的および機械的応力に耐えるように十分に機械的に頑強であるように製作されなければならない。例えば、可能性の1つは、よく相互成長したマイクロメートルスケールのダイヤモンド粒子を含む高品質多結晶CVDダイヤモンド材料の比較的厚いウェハを与えることである。比較的高い厚さは、いくつかの理由、すなわち、(i)ミラーを支持するバルク多結晶CVDダイヤモンド材料を与えること;(ii)ミラーが、より大きい範囲の幾何形状に製作されるのを可能にすること;(iii)より厚い多結晶CVDダイヤモンド材料の成長が、ミラーのためのさらなる機械的支持を与えるより大きなマイクロメートルスケールのダイヤモンド粒子のより良い相互成長をもたらし得ること;および(iv)高出力光学用途における使用の間に発生した熱を拡散するバルク多結晶CVDダイヤモンド材料を与えること、のために有用である。例えば、自立性合成ダイヤモンドプレートの厚さは、200μm以上、400μm以上、600μm以上、800μm以上、1mm以上、1.5mm以上、もしくは2mm以上、および/または3mm以下、2mm以下、もしくは1.5mm以下、ならびに/あるいはこれらの端点の任意の組合せにより規定される範囲内であってもよい。例えば、600μm〜1.5mmまたは800μm〜1mmの範囲の厚さが、機械的および熱的要件と費用との間の均衡を取って、多くの反射光学部品用途に好ましくあり得る。
基板を準備する工程と;
前記基板の表面にシードする工程と;
化学蒸着(CVD)技術を使用して前記表面上にダイヤモンド核形成層を成長させる工程と;
ダイヤモンド核形成層の上に多結晶CVDダイヤモンド材料のより厚い層を成長させる工程と
を含み、
以下の技術:
(a)シーディング工程のためにナノ結晶ダイヤモンド粉末を使用する技術であって、ナノ結晶ダイヤモンド粉末は200nm以下の平均粒径および500nm以下のD90粒径を有し、それにより、基板表面に形成される溝のサイズを減少させ、その結果として、より大きい播粒子を用いるシーディングプロセスと比較する場合、その上でのダイヤモンド成長の間のボイド形成を減少させる技術;
(b)ダイヤモンド核形成層を製作するために代替のCVDダイヤモンド成長および非ダイヤモンド炭素エッチング工程を使用する技術であって、化学蒸着により第1の厚さのダイヤモンド層を成長させる工程と、前記ダイヤモンド層の少なくとも一部をエッチングする工程と、前記ダイヤモンド層の厚さ全体が第2の厚さに到達するまで前記ダイヤモンド層を成長させ、前記ダイヤモンド層の少なくとも一部をエッチングする前記工程を繰り返す工程とを含み、前記ダイヤモンド層の少なくとも一部をエッチングする前記工程は、ダイヤモンド相を上回って非ダイヤモンド相を優先的にエッチングし、それにより、非ダイヤモンド相に対するダイヤモンド核形成層中のダイヤモンド相の割合を増加させる技術;
(c)シーディング後かつその上のダイヤモンド核形成層の成長の前に、基板表面に適用される成長前エッチング工程を使用する技術であって、結晶種は、シーディングの間に基板表面上に堆積され、成長前エッチング工程は、基板表面上の結晶種を上回って基板表面を優先的にエッチングし、基板表面を平滑にし、それにより、結晶種により与えられる核形成部位に対して基板表面上の鋭い溝エッジにより形成される核形成部位を減少させるように選択される化学を使用する工程を含む技術
の少なくとも1つを適用する工程をさらに含む方法論を使用して成長させてもよい。
多結晶CVD合成ダイヤモンド材料の層を成長基板上で成長させる工程であって、多結晶CVD合成ダイヤモンド材料の層は核形成面および成長面を有し、核形成面は成長面よりも小さい粒子を含み、成長面の平均横方向粒度は10μm以上である、工程
を含み、
成長基板は、成長基板に横切って5mmの長さにわたって測定して≦5μmの表面平坦性および≦20nmの表面粗さRaを有し;
多結晶CVD合成ダイヤモンド材料の成長は、成長基板の除去後に、多結晶CVD合成ダイヤモンド材料の層の核形成面が
(a)成長面よりも小さいダイヤモンド粒子;
(b)10nm〜15μmの範囲の平均横方向粒度;ならびに
(c)以下の特性;
(1)8.0cm-1以下の半値全幅(full withdth half−maximum)を有する1332cm-1でのsp3炭素ピーク、
(2)633nmでのラマン励起源を使用する場合のバックグラウンド差引き後の、1332cm-1でのsp3炭素ピークの高さの20%以下である高さを有する1550cm-1でのsp2炭素ピーク;および
(3)1332cm-1でのsp3炭素ピークが、785nmでのラマン励起源を使用してのラマンスペクトルの局所バックグラウンド強度の10%以上であること
の1つまたは複数を示す処理核形成面に焦点を合わせたレーザにより発生したラマンシグナル
を有するように制御される、方法が提供されてもよい。
代わりに、多結晶CVDダイヤモンド材料は、支持材料から形成された支持基板上に配置された多結晶CVDダイヤモンド層の形態で提供されてもよい。この溶液は、比較的厚い自立性多結晶CVDダイヤモンドミラー支持プレートとは対照的に提供される多結晶CVDダイヤモンド材料の大面積の薄いコーティングを可能にする。
ケイ素結合ダイヤモンド(ScD)支持プレートの製作方法は、当技術分野で公知である。例えば、WO99/12866、WO00/18702、WO02/42240、WO2004/089850号、およびWO2009/013713を参照されたい。多結晶CVDダイヤモンドコーティングを有するScD材料を含むコンポジット支持基板の製作方法は、WO2004/034466に記載されている。多結晶CVDダイヤモンドコーティングは、典型的にはダイヤモンド成長前に支持基板にシードして、ケイ素、炭化ケイ素、または熱分解黒鉛の支持基板上で直接成長させることもできる。これらの方法は当業者に公知である。基板は、通常は所望の費用および合成ダイヤモンド材料の品質を得るために選択された温度およびガス組成によってCVDダイヤモンド成長の間600〜1200℃の範囲の成長温度で維持される。
成長基板の厚さは、通常2mmから20mmの間である。成長基板の最大線寸法は、通常少なくとも10mm、少なくとも20mm、少なくとも40mm、少なくとも60mm、少なくとも80mm、少なくとも100mm、少なくとも120mm、または少なくとも140mmである。基板の表面プロファイルは、ダイヤモンドコーティングが基板に十分接着されているダイヤモンドコーテッド基板を製作することが望ましい場合にダイヤモンド層の基板への接着を補助するために、少なくとも15nm、少なくとも25nm、少なくとも50nm、少なくとも100nm、少なくとも200nm、少なくとも500nm、または少なくとも1マイクロメートルの表面粗さRaを有しもよい。
高い反射率および少ない光学ビーム収差または光散乱を有する高い反射光学部品性能を得るために、ミラー支持プレートの表面は、平滑目標プロファイルに非常に精密に処理されてもよい。例えば、支持プレートは、少なくとも3mm、少なくとも5mm、少なくとも10mm、少なくとも20mm、少なくとも40mm、少なくとも60mm、少なくとも80mm、少なくとも100mm、少なくとも120mm、または少なくとも140mmの最大線寸法、および100nm以下、80nm以下、60nm以下、40nm以下、20nm以下、15nm以下、10nm以下、または5nm以下の平滑目標表面プロファイルからの二乗平均偏差を有する表面プロファイルを有してもよい。さらに、支持プレートの表面プロファイルは、20nm以下、15nm以下、10nm以下、5nm以下、3nm以下、または1nm以下の表面粗さRaを有してもよい。適用要件に依存して、平滑目標表面プロファイルは、完全に平坦、凸状、または凹状の面であってもよい。用語「表面粗さRa」(「中心線平均」または「c.l.a」と称されることもある)は、例えば、英国規格BS 1134パート1およびパート2に従って0.08mmの長さにわたって触針式粗さ計によって測定された平均線からの表面プロファイルの絶対偏差の算術平均を指す。
(a)平滑目標表面プロファイルから第1の二乗平均偏差内の第1の表面プロファイルを有するようにダイヤモンドベースミラー支持プレートの表面を形成する工程であって、前記第1の二乗平均偏差は5μm以下である工程と;
(b)ダイヤモンドベースミラー支持プレートの前記表面を分析して、前記表面上の複数の突出領域を検出する工程と;
(c)ダイヤモンドベースミラー支持プレートの表面上の突出領域だけにわたって選択的に処理して、平滑目標表面プロファイルからの第2の二乗平均偏差内の第2の表面プロファイルを形成する工程であって、前記第2の二乗平均偏差は、100nm未満、80nm未満、60nm未満、40nm未満、20nm未満、15nm未満、10nm未満、または5nm未満である工程と
を含む。
選択的表面処理の適用前に初期表面プロファイルを生成するために、いくつかの異なる表面処理技術が使用されてもよい。処理技術には、直接成長;切削;ラッピング;研磨;化学機械研磨;融除(ablating);放電加工;およびエッチングの1つまたは複数が含まれる。
切削は、電子ビーム切削などの他の切削技術が使用され得るが、通常はレーザを使用して行われる。さらになお、ダイヤモンドベース材料が導電性である場合、それは放電加工を使用して切削されてもよい。
驚くべきことに、材料処理のより高い速度が、処理砥石車の表面がそこに配置された1つまたは複数の供給ポートを有し、研磨スラリーが、より標準的なラッピング構成で行われるように上から処理砥石車の表面上に滴下されるよりもむしろ、処理砥石車の下から処理砥石車の表面上にミラー支持プレートの処理の間に供給ポートを介して供給されるラッピング構成を使用してはるかにより制御可能な仕方で達成され得ることがわかった。特に上面供給手法と比較する場合の大きなミラー支持プレートについても、より良好な表面仕上げが達成される。
上に記載されたとおりに突出領域を検出後、これらの突出領域は、再びまた選択的に処理され得る。選択処理は、レーザビームなどの集束ビーム、電子ビーム、または集束イオンビーム;標的放電;マスクドエッチング;またはミラー支持プレートの表面上の突出領域のみの上で選択的処理が行われるように、処理されるミラー支持プレートの表面よりも面積でより小さい機械もしくは化学機械研磨パッド、の1つによって行われてもよい。
支持プレートが上に記載されたとおりの高精密光学仕上げに一旦処理されると、それは、次の項で記載されるとおりの反射コーティングでコーティングされてもよい。
反射コーティングは、操作波長で光の大部分を反射する表面を与えることが必要とされる。例えば、反射コーティングは、ミラーの操作波長で少なくとも99%、少なくとも99.2%、少なくとも99.4%、少なくとも99.6%、少なくとも99.7%、または少なくとも99.8%の反射率を有するように構成されてもよく、ここで、操作波長は、10.6μm;1.06μm;532nm;355nm;または266nmの1つから選択される。さらに、エネルギーの少ない割合が一般的に使用中に吸収され、温度の大きな増加をもたらすと仮定すると、コーティングは、反射コーティングの剥離を避けるために熱的に安定である結合によって、下にあるダイヤモンドコンポジット支持基板に十分に接着されなければならない。好適なコーティングの例には、金などの金属コーティングが含まれる。このような金属コーティングが下にあるダイヤモンドベース材料に十分に接着されることを確実にするために、反射コーティングは、炭化物形成層、任意選択によるバリヤ層、および反射層を含む多層コーティングから形成され得る。このような多層コーティングの一例は、チタン−白金−金多層構造を含む。
典型的には、このようにして、反射コーティングは、ダイヤモンド支持プレートに近接した、かつダイヤモンド支持プレートへの強い結合を与えるように選択された材料から形成された結合層;およびダイヤモンド支持プレートの遠位の、かつミラーの操作波長で高度の反射率を与えるように選択された材料から形成された反射層を含めて、少なくとも2つのコーティング層を含む。任意選択により、バリヤ層がまた、金属拡散を減少させるために結合層と反射層との間に設けられもよい。このようなバリヤ層の一例は、白金である。これらの層のすべては、金属であってもよい。さらに、誘電体コーティングを、反射金属層の上に設けて、反射率をさらに増加させることができる。
高出力レーザミラー用途のためのコーティング層の典型的な厚さは、以下のとおりである:50〜250nm厚さの結合層(例えば、CrまたはTiなどの炭化物形成金属);0〜250nm厚さの任意選択によるバリヤ層(例えば、白金、これはTi結合層と組み合わせて特に有用であるが、より安定であるCr結合層には必要とされない);および高い反射率およびいずれかの下にある層からの光学的独立を得るための少なくとも100nmまたは200nm〜500nm厚さ(金属に依存する)の最終反射金属層(例えば、AuまたはAg)。コーティングは、熱がダイヤモンド材料により効率的に拡散されることを確実にするために、コーティング内で使用中に発生した熱が、下にあるダイヤモンド材料から相当に間隔があくほどは厚くあるべきではない。
反射金属層上に配置された誘電体層は、低いインデックスのフッ化物、例えば、ThF4、BaF2、またはYbF3から形成されてもよい。2つ以上の誘電体層が設けられる場合、第1の層は、低いインデックスのフッ化物から形成されてもよく、第2の層は、ZnS、ZnSe、またはGeから形成されてもよい。複数スタック対の誘電体層、例えば、1、2、3、または4対の層が設けられてもよく、2対が好ましい。
本明細書で記載されるとおりの方法は、高い反射率、十分な機械的強度、および例えば、高出力光学用途のための高いレーザ誘起損傷閾値を達成するための良好な熱的性能を有するいくつかの異なるミラー構成を製作するために適用され得る。
図1は、自立性多結晶CVDダイヤモンド支持プレートに基づくミラー構成を例証する。このミラー構成は、およそ0.8mm厚さである多結晶CVDダイヤモンド支持プレート2を備える。多結晶CVDダイヤモンド層2は、高度の平坦性および低い表面粗さに処理される表面4を有する。さらに、表面4を形成するダイヤモンド材料は、低濃度の非ダイヤモンドsp2炭素、低濃度のボイド、低濃度の表面および下部表面結晶損傷を含み、したがって、高い熱伝導率を有するダイヤモンド表面を与える。
チタン結合層6は、多結晶CVDダイヤモンド支持プレート2の表面4上に配置され、かつそれに結合される。チタン結合層6は、厚さで50〜250nmであり、マグネトロンスパッタリングなどのエネルギー的方法、または蒸発などのあまりエネルギー的でない方法、続いて、多結晶CVDダイヤモンド支持プレート2の表面4と結合反応を引き起こすのに十分に高い温度でのアニールサイクルによって堆積されてもよい。
例えば、0〜250nmの範囲の厚さを有する白金の、任意選択によるバリヤ層8は、チタン結合層6上に堆積される。およそ200nmの厚さを有するAuまたはAgの金属反射コーティング10は、結合層6および任意選択によるバリヤ層8の上に堆積される。最後に、誘電体スタック12が、金属反射コーティングの上に形成される。誘電体スタックは、2対のラムダ/4誘電体層を含んでもよい。誘電体スタックにおける使用のための好適な材料には、ThF4、YbF3、BaF2、ZnSe、および/またはZnSの組合せが含まれる。
図3は、コンポジットダイヤモンド支持プレート36に基づく別のミラー構造を例証する。コンポジット支持プレート36は、非ダイヤモンド支持材料40に埋め込まれたダイヤモンド結晶38を含む。ダイヤモンドコンポジット支持プレートは、良好な熱的特性を有する一方で、また、多結晶CVDダイヤモンド基板と比較する場合、大面積および三次元形状により容易に形成され得るケイ素結合ダイヤモンド(ScD)から形成されてもよい。ダイヤモンドコンポジット支持プレート36は、高度の平坦性および低い表面粗さに処理されている表面を含む。次いで、支持プレートは、図1に例証されるのと同様の仕方でコーティングされて、結合層42、任意選択による白金バリヤ層44、AuまたはAgの金属反射層46、および誘電体スタック48を含む。
レーザ誘起損傷閾値が、100nsのパルス持続時間および1〜10Hzの範囲のパルス繰り返し周波数によって前記操作波長でパルスレーザを使用して測定された、少なくとも1Jcm-2、少なくとも2Jcm-2、少なくとも5Jcm-2、少なくとも10Jcm-2、少なくとも20Jcm-2、少なくとも30Jcm-2、少なくとも50Jcm-2、少なくとも75Jcm-2、少なくとも100Jcm-2、少なくとも150Jcm-2、または少なくとも200Jcm-2であること;ならびに
レーザ誘起損傷閾値が、前記操作波長で連続波レーザを使用して測定された、少なくとも1MW/cm2、少なくとも5MW/cm2、少なくとも10MW/cm2、少なくとも20MW/cm2、少なくとも30MW/cm2、または少なくとも50MW/cm2であること
の一方または両方を満たすレーザ誘起損傷閾値とを有し得る。
本明細書で記載されるとおりのダイヤモンドミラーは、電磁スペクトルの赤外、可視、および/または紫外領域における操作波長でのそれらの高いレーザ誘起損傷閾値、ならびに非ダイヤモンド代替品と比較する場合、相当に低下した熱レンズ化をもたらすそれらの熱安定性のために高出力光学システムにおける使用に適する。したがって、本発明の別の態様によれば、
本明細書で記載されるとおりのミラー62;および
連続波またはパルス出力のいずれかとして少なくとも20kW、少なくとも25kW、少なくとも30kW、少なくとも35kW、少なくとも40kW、少なくとも45kW、または少なくとも50kWの出力で光66を発生させ、電磁スペクトルの赤外、可視、または紫外領域における操作波長で前記光をミラー62に向けて伝送するように構成された光源64(例えば、レーザ)
を備える、図5に例証されるとおりの光学システムが提供される。
上記との関連で、記載された光学システムの操作出力は、1MW/cm2の連続波レーザ誘起損傷閾値よりもかなり低いことが留意される。しかしながら、長い操作寿命を有する光学エレメントを与えるために、光学エレメントのレーザ誘起損傷閾値は、光学システムの操作出力よりもかなり高くあるべきであることが留意されるべきである。
本発明のまた別の態様は、以下のとおりであってもよい。
〔1〕高出力光学用途における使用のためのミラーであって、
合成ダイヤモンド材料を含む支持プレート;および
前記支持プレートの上に配置された反射コーティング
を備え、
前記反射コーティングは、前記反射コーティングを前記支持プレート中の前記合成ダイヤモンド材料に結合する炭化物形成材料の結合層、前記結合層の上に配置された反射金属層、および前記反射金属層の上に配置された誘電体材料の1つまたは複数の層を含み、
前記結合層および前記反射金属層は一緒に、50nm〜10μmの範囲の全厚さを有し、前記反射金属層は5μm以下の厚さを有し、かつ
前記支持プレートおよび前記反射コーティングは、ミラーが、ミラーの操作波長で少なくとも99%の反射率を有するように構成される、ミラー。
〔2〕前記反射金属層の厚さが、3μm以下、1μm以下、500nm以下、または300nm以下である、前記〔1〕に記載のミラー。
〔3〕前記反射金属層の厚さが、50nm以上、100nm以上、150nm以上、または200nm以上である、前記〔1〕または〔2〕に記載のミラー。
〔4〕前記反射金属層が、Au、Ag、Al、Mo、Cu、Ni、Rh、またはWから形成される、前記〔1〕から〔3〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔5〕前記結合層の前記炭化物形成材料が、炭化物形成金属材料である、前記〔1〕から〔4〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔6〕前記炭化物形成金属材料が、W、Cr、またはTiである、前記〔5〕に記載のミラー。
〔7〕結合層および前記反射金属層が、異なる材料から形成される、前記〔1〕から〔6〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔8〕前記結合層が、500nm以下、250nm以下、150nm以下、または100nm以下の厚さを有する、前記〔1〕から〔7〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔9〕前記結合層の厚さが、10nm以上、20nm以上、または50nm以上である、前記〔8〕に記載のミラー。
〔10〕前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、20μm以下、15μm以下、10μm以下、または5μm以下の全厚さを有する、前記〔1〕から〔9〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔11〕前記誘電体材料の1つまたは複数の層の全厚さが、0.5μm以上、1μm以上、または2μm以上である、前記〔10〕に記載のミラー。
〔12〕前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、前記反射金属層の上に配置された2つ以上の誘電体層のスタックを含み、各誘電体層は、前記ミラーの前記操作波長の4分の1に等しい厚さを有する、前記〔1〕から〔11〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔13〕前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、ThF 4 、YbF 3 、BaF 2 、ZnSe、および/またはZnSの1種または複数から形成される、前記〔1〕から〔12〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔14〕前記反射コーティングが、前記結合層と前記反射金属層との間に設けられたバリヤ層をさらに含む、前記〔1〕から〔13〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔15〕前記バリヤ層が、500nm以下、250nm以下、150nm以下、または100nm以下の厚さを有する、前記〔14〕に記載のミラー。
〔16〕前記バリヤ層が、白金から形成される、前記〔15〕に記載のミラー。
〔17〕前記支持プレートが、合成ダイヤモンド材料の自立性プレートを含む、前記〔1〕から〔16〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔18〕前記支持プレートが、合成ダイヤモンド材料の層がその上に配置される非ダイヤモンド支持基板を含む、前記〔1〕から〔16〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔19〕前記支持プレートが、ダイヤモンドコンポジット支持プレートを形成するために支持材料内に配置された合成ダイヤモンド材料を含む、前記〔1〕から〔16〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔20〕前記ダイヤモンドコンポジット支持プレートが、その上に配置された合成ダイヤモンド材料の層を含む、前記〔19〕に記載のミラー。
〔21〕前記反射コーティングがその上に配置される前記支持プレートの表面が、低いsp2炭素含有量を有する合成ダイヤモンド材料を含み、それにより、前記表面に焦点を合わせたレーザにより発生したラマンシグナルは、以下の特性:
(a)8.0cm -1 以下の半値全幅を有する1332cm -1 でのsp3炭素ピーク、
(b)633nmでのラマン励起源を使用する場合のバックグラウンド差引き後の、1332cm -1 でのsp3炭素ピークの高さの20%以下である高さを有する1550cm -1 でのsp2炭素ピーク;および
(c)1332cm -1 でのsp3炭素ピークが、785nmでのラマン励起源を使用してのラマンスペクトルの局所バックグラウンド強度の10%以上であること
の1つまたは複数を示す、前記〔1〕から〔20〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔22〕前記合成ダイヤモンド材料が、少なくとも1000Wm -1 K -1 、少なくとも1200Wm -1 K -1 、少なくとも1400Wm -1 K -1 、少なくとも1600Wm -1 K -1 、少なくとも1800Wm -1 K -1 、少なくとも1900Wm -1 K -1 、少なくとも2000Wm -1 K -1 、少なくとも2100Wm -1 K -1 、または少なくとも2200Wm -1 K -1 の熱伝導率を有する、前記〔1〕から〔21〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔23〕前記支持プレートが、少なくとも3mm、少なくとも5mm、少なくとも10mm、少なくとも20mm、少なくとも40mm、少なくとも60mm、少なくとも80mm、少なくとも100mm、少なくとも120mm、または少なくとも140mmの最大線寸法を有する、前記〔1〕から〔22〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔24〕前記支持プレートが、平滑目標表面プロファイルからの二乗平均偏差を有する表面プロファイルを有し、前記二乗平均偏差は、100nm以下、80nm以下、60nm以下、40nm以下、20nm以下、15nm以下、10nm以下、または5nm以下である、前記〔1〕から〔23〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔25〕前記平滑目標表面プロファイルが、平坦な面、凸状の面、または凹状の面である、前記〔24〕に記載のミラー。
〔26〕前記支持プレートが、20nm以下、15nm以下、10nm以下、5nm以下、3nm以下、または1nm以下の表面粗さR a を有する表面プロファイルを有する、前記〔1〕から〔25〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔27〕前記反射コーティングが、前記支持プレートのものよりも低い表面粗さを有する、前記〔1〕から〔26〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔28〕前記反射コーティングが、前記支持プレートのものよりも低い平滑目標表面プロファイルからの二乗平均偏差を有する表面プロファイルを有する、前記〔1〕から〔27〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔29〕前記ミラーの前記反射率が、前記ミラーの前記操作波長で少なくとも99.2%、少なくとも99.4%、少なくとも99.6%、少なくとも99.7%、または少なくとも99.8%である、前記〔1〕から〔28〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔30〕前記操作波長が、10.6μm、1.06μm、532nm、355nm、または266nmの1つである、前記〔1〕から〔29〕までのいずれか1項に記載のミラー。
〔31〕前記ミラーが、以下の特性:
レーザ誘起損傷閾値が、100nsのパルス持続時間および1〜10Hzの範囲のパルス繰り返し周波数によって前記操作波長でパルスレーザを使用して測定された、少なくとも1Jcm -2 、少なくとも2Jcm -2 、少なくとも5Jcm -2 、少なくとも10Jcm -2 、少なくとも20Jcm -2 、少なくとも30Jcm -2 、少なくとも50Jcm -2 、少なくとも75Jcm -2 、少なくとも100Jcm -2 、少なくとも150Jcm -2 、または少なくとも200Jcm -2 である;および
前記レーザ誘起損傷閾値が、前記操作波長で連続波レーザを使用して測定された、少なくとも1MW/cm 2 、少なくとも5MW/cm 2 、少なくとも10MW/cm 2 、少なくとも20MW/cm 2 、少なくとも30MW/cm 2 、または少なくとも50MW/cm 2 である
の一方または両方を満たす前記レーザ誘起損傷閾値を有するように、前記支持プレートおよび前記反射コーティングが構成される、前記〔1〕から〔30〕までのいずれか1項に記載のミラー。
Claims (31)
- 高出力光学用途における使用のためのミラーであって、
合成ダイヤモンド材料を含む支持プレート;および
前記支持プレートの上に配置された反射コーティング
を備え、
前記反射コーティングは、前記反射コーティングを前記支持プレート中の前記合成ダイヤモンド材料に結合する炭化物形成材料の結合層、前記結合層の上に配置された反射金属層、および前記反射金属層の上に配置された誘電体材料の1つまたは複数の層を含み、
前記結合層および前記反射金属層は一緒に、50nm〜10μmの範囲の全厚さを有し、前記反射金属層は5μm以下の厚さを有し、かつ
前記支持プレートおよび前記反射コーティングは、ミラーが、ミラーの操作波長で少なくとも99%の反射率を有するように構成される、ミラー。 - 前記反射金属層の厚さが、3μm以下、1μm以下、500nm以下、または300nm以下である、請求項1に記載のミラー。
- 前記反射金属層の厚さが、50nm以上、100nm以上、150nm以上、または200nm以上である、請求項1または2に記載のミラー。
- 前記反射金属層が、Au、Ag、Al、Mo、Cu、Ni、Rh、またはWから形成される、請求項1から3までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記結合層の前記炭化物形成材料が、炭化物形成金属材料である、請求項1から4までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記炭化物形成金属材料が、W、Cr、またはTiである、請求項5に記載のミラー。
- 結合層および前記反射金属層が、異なる材料から形成される、請求項1から6までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記結合層が、500nm以下、250nm以下、150nm以下、または100nm以下の厚さを有する、請求項1から7までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記結合層の厚さが、10nm以上、20nm以上、または50nm以上である、請求項8に記載のミラー。
- 前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、20μm以下、15μm以下、10μm以下、または5μm以下の全厚さを有する、請求項1から9までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記誘電体材料の1つまたは複数の層の全厚さが、0.5μm以上、1μm以上、または2μm以上である、請求項10に記載のミラー。
- 前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、前記反射金属層の上に配置された2つ以上の誘電体層のスタックを含み、各誘電体層は、前記ミラーの前記操作波長の4分の1に等しい厚さを有する、請求項1から11までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記誘電体材料の1つまたは複数の層が、ThF4、YbF3、BaF2、ZnSe、および/またはZnSの1種または複数から形成される、請求項1から12までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記反射コーティングが、前記結合層と前記反射金属層との間に設けられたバリヤ層をさらに含む、請求項1から13までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記バリヤ層が、500nm以下、250nm以下、150nm以下、または100nm以下の厚さを有する、請求項14に記載のミラー。
- 前記バリヤ層が、白金から形成される、請求項15に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、合成ダイヤモンド材料の自立性プレートを含む、請求項1から16までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、合成ダイヤモンド材料の層がその上に配置される非ダイヤモンド支持基板を含む、請求項1から16までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、ダイヤモンドコンポジット支持プレートを形成するために支持材料内に配置された合成ダイヤモンド材料を含む、請求項1から16までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記ダイヤモンドコンポジット支持プレートが、その上に配置された合成ダイヤモンド材料の層を含む、請求項19に記載のミラー。
- 前記反射コーティングがその上に配置される前記支持プレートの表面が、低いsp2炭素含有量を有する合成ダイヤモンド材料を含み、それにより、前記表面に焦点を合わせたレーザにより発生したラマンシグナルは、以下の特性:
(a)8.0cm-1以下の半値全幅を有する1332cm-1でのsp3炭素ピーク、
(b)633nmでのラマン励起源を使用する場合のバックグラウンド差引き後の、1332cm-1でのsp3炭素ピークの高さの20%以下である高さを有する1550cm-1でのsp2炭素ピーク;および
(c)1332cm-1でのsp3炭素ピークが、785nmでのラマン励起源を使用してのラマンスペクトルの局所バックグラウンド強度の10%以上であること
の1つまたは複数を示す、請求項1から20までのいずれか1項に記載のミラー。 - 前記合成ダイヤモンド材料が、少なくとも1000Wm-1K-1、少なくとも1200Wm-1K-1、少なくとも1400Wm-1K-1、少なくとも1600Wm-1K-1、少なくとも1800Wm-1K-1、少なくとも1900Wm-1K-1、少なくとも2000Wm-1K-1、少なくとも2100Wm-1K-1、または少なくとも2200Wm-1K-1の熱伝導率を有する、請求項1から21までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、少なくとも3mm、少なくとも5mm、少なくとも10mm、少なくとも20mm、少なくとも40mm、少なくとも60mm、少なくとも80mm、少なくとも100mm、少なくとも120mm、または少なくとも140mmの最大線寸法を有する、請求項1から22までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、平滑目標表面プロファイルからの二乗平均偏差を有する表面プロファイルを有し、前記二乗平均偏差は、100nm以下、80nm以下、60nm以下、40nm以下、20nm以下、15nm以下、10nm以下、または5nm以下である、請求項1から23までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記平滑目標表面プロファイルが、平坦な面、凸状の面、または凹状の面である、請求項24に記載のミラー。
- 前記支持プレートが、20nm以下、15nm以下、10nm以下、5nm以下、3nm以下、または1nm以下の表面粗さRaを有する表面プロファイルを有する、請求項1から25までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記反射コーティングが、前記支持プレートのものよりも低い表面粗さを有する、請求項1から26までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記反射コーティングが、前記支持プレートのものよりも低い平滑目標表面プロファイルからの二乗平均偏差を有する表面プロファイルを有する、請求項1から27までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記ミラーの前記反射率が、前記ミラーの前記操作波長で少なくとも99.2%、少なくとも99.4%、少なくとも99.6%、少なくとも99.7%、または少なくとも99.8%である、請求項1から28までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記操作波長が、10.6μm、1.06μm、532nm、355nm、または266nmの1つである、請求項1から29までのいずれか1項に記載のミラー。
- 前記ミラーが、以下の特性:
レーザ誘起損傷閾値が、100nsのパルス持続時間および1〜10Hzの範囲のパルス繰り返し周波数によって前記操作波長でパルスレーザを使用して測定された、少なくとも1Jcm-2、少なくとも2Jcm-2、少なくとも5Jcm-2、少なくとも10Jcm-2、少なくとも20Jcm-2、少なくとも30Jcm-2、少なくとも50Jcm-2、少なくとも75Jcm-2、少なくとも100Jcm-2、少なくとも150Jcm-2、または少なくとも200Jcm-2である;および
前記レーザ誘起損傷閾値が、前記操作波長で連続波レーザを使用して測定された、少なくとも1MW/cm2、少なくとも5MW/cm2、少なくとも10MW/cm2、少なくとも20MW/cm2、少なくとも30MW/cm2、または少なくとも50MW/cm2である
の一方または両方を満たす前記レーザ誘起損傷閾値を有するように、前記支持プレートおよび前記反射コーティングが構成される、請求項1から30までのいずれか1項に記載のミラー。
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