JP2017228479A - 導電接続装置 - Google Patents
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Abstract
Description
これは、中空形状の接続部に対して突出した形状の電極を篏合させるもので、中空形状の接続部と電極との間に低融点の導電部材を予め設けておいて、篏合した後に加熱して導電部材を溶融させて接合させるものである。
大きな構造物の場合には、様々な構造のものを採用できるが、前述の数ミクロンから数十ミクロンの寸法の電極に他の導電部材を接続させる導電接続装置では、採用できる構造に制限がある。
以下、この発明の実施の形態1による導電接続装置を、図1に基づいて説明する。なお、図中同一符号は各々同一または相当部分を示している。
図1は、実施の形態1に係る導電接続装置100の構成を表す概略的な断面図である。導電接続装置100は、図1に示すように、基板101に導電接続子102が設けられた構造となっている。導電接続子102は、台座21と、台座21上に自立して配置された複数の導電柱22とを備えている。基板101には電気配線(図示せず)が設けられており、導電接続子102の台座21が電気配線に接続されている。台座21の中央部分の空間を説明のために中空部23と名前を付けておく。複数の導電柱22は、中空部23を取り囲むように配置されている。被接続体200は、被接続体基板201から突出して被接続部材202が設けられた構造になっている。被接続体基板201には電気配線(図示せず)が設けられており、この電気配線に被接続部材202が接続されている。
被接続部材202は、被接続体基板201に精度よく配置されるが、この被接続部材202の配置に合わせて、導電接続装置100の基板101上に導電接続子102が設けられている。
案内すると共に被接続部材202を中空部23の領域内で包み込むように保持するように構成されている。すなわち、導電接続子102の導電柱22は弾性のある導電材、例えばニッケル合金などで形成されている。
この被接続部材202の形状は、図2に示したように柱状で、その直径は約20μmから30μmで、長さは約30μmから40μmである。
これに対して、中空部23の深さは、被接続部材202が挿入されても台座21の表面に接触しないように、被接続部材202の長さよりも長い寸法に設定されている。例えば、台座21の表面から導電柱22の先端までの寸法は、約50μmから100μmに設定されている。
すなわち、被接続部材202の先端が導電柱22の先端に接触した時点で電気的導通が開始され、被接続部材202の側面が複数の導電柱22によって挟み込まれる状態においては電気的導通が安定状態になる。
図3および図4に示している導電接続子102の構造は、台座21の周辺に複数の導電柱22が設けられ、台座21は、導電柱22の支持部の内側部分を掘り下げた形状となっている。すなわち、導電柱22の内側(中空部23側)が面一にして掘り下げられた形状とされている。この台座21を掘り下げ、導電柱22の内側の面を面一とすることによって、被接続部材202が導電接続子102の中空部23に挿入された際に生じる応力集中を緩和させることができる。被接続部材202が中空部23に挿入されると、導電柱22は、変形するが、その際の応力は形状の変化するところに集中する。しかし、この実施の形態のように、台座21を掘り下げ、導電柱22の内側の面を面一にすることによって台座21への取り付け部分における応力は緩和されることになる。
なお、台座21に導電柱22を設けたとして説明しているが、この図3および図4に示した構造から明らかなように、台座21は、複数の導電柱22を一体としてまとめるものであれば実質的な機能を満足するものである。
図6は、導電接続子102の動作解析結果を示した特性図である。ここでは導電接続子102の先端から台座21の面までの距離が40μmの場合を示している。図6Aは、被接続部材202と導電接続子102の位置関係を表す配置図である。図6Bは、Z反力を表す特性図で、Z反力は、導電接続子102が被接続部材202をつかむ力(把持力)を表している。すなわち、被接続部材202が導電接続子102の先端に接触するまでは、把持力は生じていないが、傾斜部24に接触して後、押圧部25によってほぼ一定の力が加えられていることが表れている。図6Cは、Y反力を表す特性図である。Y反力は、導電接続子102が被接続部材202を押し戻そうとする力を表している。すなわち、被接続部材202が導電接続子102の傾斜部24に接触している状態では圧力が加えられているが、傾斜部24を通過すると、ほとんど抵抗は生じていない。図6Dは、導電接続子102の導電柱22における応力を表す特性図である。すなわち、被接続部材202が導電接続子102の先端に接触して後、傾斜部24および押圧部25を通過するまで導電柱22は変形し、応力が生じるが、押圧部25を通過するとその応力は、大きくなることはない。
導電接続装置100の導電接続子102の構成として、台座21に複数の導電柱22を、台座21の中空部23の周辺に配置するとして示した。その導電接続子102の形状としては、図7に示すように、複数の導電柱22の根元部分を台座21によって結合するようにして、導電柱22が台座21からはみ出ている構造としている。このように複数の導電柱22を、隣り合う導電柱22の距離を変更せずに、中空部23からの放射方向の寸法を設定することによって、断面積の寸法を設定することができ、導電柱22の弾性力の設定を行うことができる。このような形状を採ることによって、図6Bに示したZ反力の設定および図6Cに示したY反力の設定を行うことができる。
中空部23の内径は被接続部材202の太さよりも大きく設定されている。そのため、被接続部材202は、導電柱22の押圧部25からの締め付ける圧力を受けるだけで、それ以外の力を受けることがない。
さらに、図8Cに示すように、導電柱22の押圧部25が、被接続部材202を受け入れた場合に、破線で示すような状態となるには、変形量による傾斜θの分だけ予め内側に傾斜させた形状にしておけば、押圧部25と被接続部材202の側面との接触が面接触に近くなる。
導電接続装置100の導電接続子102の弾性力を設定するための構成を、さらに、図9に示す。
図9に示した構造は、導電柱22の形状を変更したもので、導電柱22の根元部分に対して先端部分を縮小したものである。すなわち、導電接続子の導電柱は、根元部が先端部に比較して断面積が大きい形状としたもので、このような形状を採用することによって、Y反力を低下させずに最大応力のみを低減することができる。
図7および図9に示した構造の導電接続子102は、一つの構造体であって、これを、半導体デバイスの電極に対応させるには基板101の上に複数配置することになる。この状態を断面図で表すと、図1に示すようになるが、これを平面図で表すと、図10に示すように配列することになる。
図10は、複数の導電接続子102を基板101上に、配列した場合の平面図である。この図10に示した平面図では複数の導電接続子102を、台座21の側面が一直線に並ぶようにマトリックス状に配置した状態を示している。これによって複数の被接続部材202に対応して導電接続を行うことができる。
図10に示した構造の導電接続子102の場合、導電柱22が被接続部材202の挿入によって変形し、隣接する導電接続子102の導電柱22が接触することが起こり得る。この導電柱22の変形による接触の問題に対しては、図11に示すように、導電接続子102を基板101上に、それぞれの導電接続子102を所定の角度に回転させた状態でマトリックス状に配置することにより対処する。すなわち、この実施の形態5では、基板101上に導電接続子102を、それぞれの導電接続子102を45度回転させた状態でマトリックス状に配置し、それぞれの導電柱22の屈曲の変形が、隣接する導電接続子102によって形成される空間の内側で起こり、隣接する導電接続子102の導電柱22が接触することの無いように配慮している。
25 押圧部、26 凹部、100 導電接続装置、101 基板、
102 導電接続子、200 被接続体、201 被接続体基板、
202 被接続部材
Claims (7)
- 基板に導電接続子が設けられ、前記導電接続子は、台座と、突き出た形状の被接続部材を受け入れる中空部を取り囲むように前記台座上に立てて配置され、前記中空部の内側に向かってそれぞれが押圧するよう屈曲し得る複数の導電柱とを備え、前記導電柱によって前記被接続部材の側面を押圧するようにしたことを特徴とする導電接続装置。
- 前記台座は、前記導電柱の支持部の内側部分を面一にして掘り下げられた形状とされていることを特徴とする請求項1に記載の導電接続装置。
- 前記導電柱の断面形状が、前記屈曲の方向の寸法を前記屈曲の方向に対する垂直方向の寸法に比べて小さく設定されていることを特徴とする請求項1に記載の導電接続装置。
- 前記導電柱の断面形状が、前記屈曲の方向の寸法を前記屈曲の方向に対する垂直方向の寸法に対して50%以上に設定されていることを特徴とする請求項3に記載の導電接続装置。
- 前記導電接続子の前記導電柱は、根元部が先端部に比較して断面積が大きいことを特徴とする請求項1に記載の導電接続装置。
- 前記導電柱の長さ(L)と前記屈曲の変形量(ΔN)との関係が、0.01≦(ΔN/L)≦0.10であることを特徴とする請求項1に記載の導電接続装置。
- 前記導電接続子が前記基板上にマトリックス状に配列されていることを特徴とする請求項1に記載の導電接続装置。
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