JP2017222892A - チタン材及びチタン材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】黒色の外観を呈するチタン材を提供する。【解決手段】本発明に係るチタン材は、純チタン又はチタン合金を含む基材と、当該基材の表面に配置され、厚みが１．０〜５０μｍである酸化チタン層と、を有し、前記酸化チタン層は、Ｘ線回折法で最大強度を示すチタン酸化物がルチル型のＴｉＯ２であり、かつ、当該酸化チタン層の表面に複数の細孔を有し、前記複数の細孔は、最大径の平均値が５．０〜７０ｎｍ、個数密度が１．０×１０７〜１．０×１０９個／ｍｍ２であり、かつ、前記複数の細孔の数に対する深さ２００ｎｍ以上の細孔の数の割合が２０％以上である。【選択図】 図１

Description

本発明は、チタン材及びチタン材の製造方法に関する。

チタンは、軽量で、耐食性に優れた材料であり、航空機、化学プラント、建築物の外装材、装飾品、民生品など、様々な用途に使用されている。特に、外装材や装飾材では、意匠性の観点から、種々の色調の外観を呈する発色チタンが求められることがある。従来から、発色チタンは、陽極酸化処理やイオンプレーティングによって製造されている。

陽極酸化処理では、チタン基材の酸化チタン層の干渉作用を利用して発色させており、様々な色調を呈する発色チタンの製造が可能である。用途によっては、黒色の外観を呈する発色チタンが求められるが、酸化チタン層の干渉作用を利用して発色させる陽極酸化処理のみでは製造することができない。

従来、陽極酸化処理によって形成された酸化チタン層に、陰極電解や、還元雰囲気又は減圧下での熱処理を施し、黒色を呈する低次のチタン酸化物、例えば、Ｔｉ_３Ｏ_５やＴｉＯを生成させて黒色化する方法が提案されている（例えば、特許文献１〜３、参照）。

また、陽極酸化処理では、条件によっては、光触媒活性を有するチタン酸化物が形成されることが知られている。これまでに、チタン基材の前処理や陽極酸化後の熱処理などによって光触媒活性を高めたり、可視光応答性を発現させる方法が提案されている（例えば、特許文献４、５、参照）。

特開平２−９３０９７号公報 特開平３−２３６４９７号公報 特開平４−１５４９９１号公報 国際公開２０１５／２２９６０号 特開２００８−１８４６５２号公報

しかしながら、特許文献１〜３に記載される低次のチタン酸化物は、大気中の酸素によって安定なＴｉＯ_２に変化するため、経時とともに黒色の外観を維持できなくなる可能性がある。

また、特許文献４、５に記載される方法によって形成された、微細孔を有する多孔質の酸化チタン層の外観は、黒色ではなく、灰色である。

したがって、本発明の目的は、黒色の外観を呈するチタン材及び当該チタン材の製造方法を提供することにある。

本発明者らは、特定の条件で陽極酸化処理を施した後、真空中で熱処理を施した発色チタン（チタン材）が、黒色の外観を呈することを見出した。そして、このような黒色の外観を呈するチタン材においては、チタン基材の表面に、低次のチタン酸化物ではなく、微細で深い孔を有するルチル型のＴｉＯ_２を主体とする酸化チタン層が形成されていること、更には当該チタン材が光触媒活性をも備えていることがわかった。本発明の要旨は、以下のとおりである。

（１） 純チタン又はチタン合金を含む基材と、当該基材の表面に配置され、厚みが１．０〜５０μｍである酸化チタン層と、を有し、
前記酸化チタン層は、Ｘ線回折法で最大強度を示すチタン酸化物がルチル型のＴｉＯ_２であり、
かつ、当該酸化チタン層の表面に複数の細孔を有し、
前記複数の細孔は、最大径の平均値が５．０〜７０ｎｍ、個数密度が１．０×１０^７〜１．０×１０^９個／ｍｍ^２であり、
かつ、前記複数の細孔の数に対する深さ２００ｎｍ以上の細孔の数の割合が２０％以上である、
チタン材。
（２） Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間においてＬ^＊：１０〜３９、ａ^＊：−３．０以上２．０未満、ｂ^＊：−３．０〜６．０で表される色を呈する、（１）に記載のチタン材。
（３） ０．０１０Ｍから飽和濃度までの濃度の硝酸イオンを含む水溶液中で、純チタン又はチタン合金に、電圧が１０〜１００Ｖ、時間が３０〜３６００秒である陽極酸化処理を施すことと、
前記陽極酸化処理後に、真空度が１．０×１０^−１Ｔｏｒｒ以下、温度が３５０〜７５０℃の雰囲気に、１８００〜８６４００秒保持する真空焼純処理を施すことと、を含むチタン材の製造方法。

本発明によれば、黒色の外観を呈するチタン材及び当該チタン材の製造方法を提供することが可能になり、本発明は、産業上の貢献が極めて顕著である。

本発明の一実施形態に係るチタン材の酸化チタン層の表面に形成された細孔を説明する模式図である。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書において、数値範囲が示されている場合、別段の明示がない限り、当該数値範囲はその境界値（上限値および下限値）を含む。例えば、数値範囲が「５．０〜２０」と記載されている場合、当該数値範囲は、別段の明示がない限り、「５．０」と「２０」とを含む。

１． チタン材
本実施形態に係るチタン材は、純チタン又はチタン合金を含む基材と、当該基材の表面に配置され、ルチル型のＴｉＯ_２を主体とする酸化チタン層と、を有する。本実施形態に係るチタン材の酸化チタン層の表面を走査型電子顕微鏡によって観察すると、図１に模式的に示すように、チタン材１の表面を構成する酸化チタン層１０上に所定の細孔１１が観察される。

そして、本実施形態に係るチタン材は、黒色の色調を呈する。本実施形態に係るチタン材が黒色の外観を呈するメカニズムについては不明な点もあるが、後述するように酸化チタン層の表面に形成された、最大径が５〜７０ｎｍ、深さが２００ｎｍ以上の細孔によって、可視光が吸収されるためであると推察される。

１．１ 基材
チタン材の基材には、純チタン又はチタン合金を用いることができる。加工性が要求される場合は、不純物を低減したＪＩＳ１種（たとえば、ＪＩＳ Ｈ ４６００）の工業用純チタンが好適である。また、強度が必要とされる場合は、ＪＩＳ２種〜４種の工業用純チタンについても適用できる。チタン合金は、例えば、耐食性を向上させるために、微量の貴金属系の元素（パラジウム、白金、ルテニウム等）を添加したＪＩＳ１１種から２３種等のチタン合金が挙げられる。また、基材の形状は限定されず、例えば基材としてＪＩＳ Ｈ ４６００に記載される板及び条に限らず、管や棒線を使用してもよい。

ただし、Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ系合金のように、アルミニウムを多量に含有する場合、耐食性が劣化し、耐変色性に悪影響を及ぼす場合がある。そのため、チタン合金に後述する酸化チタン層を形成する場合、予め、合金元素の影響を調査し、基材に応じて、各層の組成、厚みを適宜調整することが推奨される。

１．２ 酸化チタン層
酸化チタン層は、基材の表面に形成されている。本実施形態に係るチタン材は、酸化チタン層を有することにより、その外観が黒色を呈するものとなる。また、酸化チタン層は、光触媒作用を有し、例えば有機物の酸化、特に分解を触媒することが可能である。

（酸化チタン層の厚み）
また、酸化チタン層の厚みは、チタン材の色調がチタン基材の影響を受けず、黒色を呈するようにするため、少なくとも１．０μｍ以上が必要である。酸化チタン層の厚みの上限は、特に設けるものではないが、５０μｍを超えると基材との密着性が低下することがあるため、５０μｍを上限とする。酸化チタン層の厚みは、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は２μｍ、上限は３５μｍであり、より好ましい下限は３μｍ、上限は２５μｍである。

酸化チタン層の厚みは、例えば、グロー放電分光分析法（Ｇｌｏｗ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＧＤＳ）によって測定することができる。ＧＤＳでは、Ｏ及びＴｉの分析を行うことができる。本実施形態においては、チタン材の表面からＧＤＳによる測定を行い、最表面から、Ｏ濃度が最表面のＯ濃度に対して半減した部位までの深さ方向の距離を酸化チタン層の厚みとする。

（酸化チタン層の結晶構造）
酸化チタン層に存在し得るＴｉＯ_２の結晶構造は、例えば、ルチル型、アナターゼ型、ブルッカイト型、非晶質であり、酸化チタン層は、このうちルチル型ＴｉＯ_２を主体とする。このような酸化チタン層の結晶構造と、後述する細孔構造により、チタン材の外観を黒色とすることができる。これに対し、例えば、アナターゼ型ＴｉＯ_２を主体とする場合には、外観の色調が灰色になる。なお、ブルッカイト型や非晶質のＴｉＯ_２は、後述する陽極酸化後の真空焼鈍処理によってルチル型に転移すると考えられる。

また、酸化チタン層に存在する各結晶構造および非晶質のチタン酸化物の同定、定量は、Ｘ線回折法によって行うことができる。そして、酸化チタン層が、ルチル型を主体とする場合、Ｘ線回折法で最大強度を示すチタン酸化物がルチル型のＴｉＯ_２となる。上述のように、ブルッカイト型や非晶質のＴｉＯ_２は非常に少ないため、Ｘ線回折法では、回折角２０〜３０°の範囲でピーク強度（回折ピークの高さ）を比較し、ルチル型、アナターゼ型のうち、ピーク強度が高い方が主体となる結晶構造であると考えてよい。

（酸化チタン層の細孔）
また、酸化チタン層は、その表面に、最大径の平均値が５.０〜７０ｎｍで、深さが２００ｎｍ以上の複数の細孔が形成されている。このような細孔は、酸化チタン層の色を黒色とするのに寄与し、ひいては、本実施形態に係るチタン材の外観を黒色とするのに寄与する。

酸化チタン層において、細孔の最大径の平均値は、５．０〜７０ｎｍである。これにより、チタン材は、黒色の外観を呈する。一方で、細孔の最大径の平均値が５．０ｎｍ未満である、または７０ｎｍを超える場合、灰色に近い外観を呈する。細孔の最大径の平均値が５．０ｎｍ未満であると可視光が反射され、７０ｎｍを超えると可視光の吸収が不十分になり、灰色に近い外観を呈するようになると考えられる。細孔の最大径の平均値の好ましい下限は６．０ｎｍ、上限は６０ｎｍ、より好ましい下限は７．０ｎｍ、上限は４０ｎｍである。

また、チタン材の外観を黒色にするには、最大径の平均値が５．０〜７０ｎｍの細孔の個数密度及び深さも重要である。酸化チタン層は、上記細孔のうち、深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合が数基準で２０％以上である。深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合が、上述したように十分に高いことにより、チタン材の外観は黒色となる。一方、深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合が２０％未満の場合、チタン材は灰色に近い外観を呈する。深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合は、２０％以上であればよいが、好ましくは２５％以上、より好ましくは３５％以上である。また、深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合は、１００％であってもよい。

また、酸化チタン層の上記細孔の個数密度は、１．０×１０^７〜１．０×１０^９個／ｍｍ^２である。これにより、チタン材の外観が十分に黒色となる。一方、細孔の個数密度が１×１０^７個／ｍｍ^２未満であると、チタン材は灰色に近い外観を呈する。一方、細孔の個数密度が１×１０^９個／ｍｍ^２を超えると、酸化チタン層の密着性が低下する。酸化チタン層の上記細孔の個数密度は、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は３．０×１０^７個／ｍｍ^２、上限は８．０×１０^８個／ｍｍ^２、より好ましい下限は５．０×１０^７個／ｍｍ^２、上限は６．０×１０^８個／ｍｍ^２である。

酸化チタン層の細孔の最大径の平均値及び密度は、ＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）によって、酸化チタン層の表面を倍率５００００倍以上で観察し、撮影したＳＥＭ写真を用いて測定することができる。酸化チタン層の表面から細孔を観察した場合、細孔の形状は必ずしも円状だけでない。細孔が、楕円状である場合は長径、多角形状である場合は長辺の長さを測定し、平均値を求める。

また、酸化チタン層の細孔の深さは、ＳＥＭによって、酸化チタン層の断面を倍率５００００倍以上で観察し、撮影したＳＥＭ写真を用いて測定することができる。酸化チタン層の断面の細孔を観察した場合、細孔の深さの方向は、必ずしも酸化チタン層の厚みの方向と一致しない。細孔の深さは、酸化チタン層の表面から幅が５ｎｍになる位置までの距離として求める。そして、酸化チタン層の断面のＳＥＭ写真において、細孔の数を測定し、そのうち、深さ２００ｎｍ以上の細孔の数から、深さ２００ｎｍ以上の細孔の割合を求める。

（チタン材の外観）
上述したように、チタン材は黒色の外観を有している。本明細書においては、チタン材の測色をＪＩＳ Ｋ ５６００−４−５に準じて行い、色調をＪＩＳ Ｋ ５６００−４−４に準じて、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間の数値範囲で定量的に定義することができる。Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間で、Ｌ^＊を１０〜３９、ａ^＊を−３．０以上２．０未満、ｂ^＊を−３．０〜６．０の場合、チタン材が黒色であるということができる。Ｌ^＊が３９を超えると、灰色の外観となるため、３９を上限とする。好ましい上限は３５、より好ましくは３０である。また、Ｌ^＊の下限は、低いほど好ましいが、１０よりも低くすることが工業的に極めて困難であるため、１０を下限とする。

また、ａ^＊が２．０以上になると赤色系統の色調が、−３．０未満になると緑色系統の色調が強くなり、黒色の外観を呈さなくなる。ａ^＊の好ましい下限は−２．０、上限は１．８であり、より好ましい下限は−１．０、上限は１．６である。ｂ^＊が６．０を超えると黄色系統の色調が、−３．０未満になると青系統の色調が強くなり、黒色の外観を呈さなくなる。ｂ^＊の好ましい下限は−２．０、上限は５．０、より好ましい下限は−１．５、上限は４．０である。

２． チタン材の製造方法
次に、本発明の好適な実施形態に係るチタン材の製造方法について説明する。
本実施形態に係るチタン材の製造方法は、
０．０１０Ｍから飽和濃度までの濃度の硝酸イオンを含む水溶液中で、純チタン又はチタン合金に、電圧が１０〜１００Ｖ、時間が３０〜３６００ｓである陽極酸化処理を施すことと、
前記陽極酸化処理後に、真空度が１．０×１０^−１Ｔｏｒｒ以下、温度が３５０〜７５０℃の雰囲気に、１８００〜８６４００ｓ保持する真空焼純処理を施すことと、を含む。

なお、各処理に先立ち、基材としての純チタン又はチタン合金を準備する。このような純チタン又はチタン合金としては、上述したようなものが挙げられる。また、意匠性の観点から、基材である純チタン又はチタン合金に、予め、鏡面仕上げ、研磨仕上げ、ダル仕上げ、ヘアライン仕上げ、ブラスト仕上げ等の各種の表面仕上げを適用することができる。

２．１ 陽極酸化処理
陽極酸化処理は、水溶液中でチタン基材と対極（例えばステンレス鋼）とを直流電源で電気的に接続して、チタン基材を正極として電圧を負荷して行う。陽極酸化処理においては、基材のチタン表面で水の電気分解による酸素発生と酸化膜生成とが同時に生じる条件を選ぶことができる。本実施形態においては、少なくとも０．０１０Ｍ以上の硝酸イオンを含む水溶液を使用し、１０Ｖ以上の電圧で陽極酸化処理を行う。

水溶液の硝酸イオンの濃度が０．０１０Ｍ未満であったり、陽極酸化処理の電圧が１０Ｖ未満であると、形成される酸化チタン層の厚みが不足し、その後、真空焼鈍処理を施しても、チタン材の外観が黒色にならない。一方、陽極酸化処理の電圧は、１００Ｖを超えるとジュール発熱で溶液の温度が著しく上昇するため、１００Ｖを上限とする。水溶液の硝酸イオンの濃度の上限は、硝酸塩の飽和濃度でよい。

水溶液の硝酸イオンの濃度は、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は０．０２０Ｍ、上限は１．００Ｍであり、より好ましい下限は０．０５Ｍ、下限は０．５０Ｍである。
また、陽極酸化処理における処理電圧は、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は２０Ｖであり、上限は８０Ｖであり、より好ましい下限は３０Ｖであり、上限は７０Ｖである。

硝酸イオンの濃度は、硝酸水溶液、硝酸塩などの添加によって調整することができる。代表的な硝酸塩としては、硝酸ナトリウム、硝酸カリウム、硝酸リチウム、硝酸アンモニムがあるが、他の硝酸金属塩を用いても良い。なお、陽極酸化にリン酸、硫酸水溶液を用いた場合は、細孔の少ない酸化チタン層が形成されるため、黒色状の外観を得ることができない。

陽極酸化処理の時間は、チタン材の色調が基材の影響を受けず黒色を呈するようにするために、厚みが１．０μｍ以上である酸化チタン層を形成する必要があり、３０秒以上とする。一方、陽極酸化処理の時間が３６００秒（６０分）を超えると、厚みが５０μｍを超える酸化チタン層が形成され、密着性が低下する場合があるため、３６００秒以下とする。

また、陽極酸化処理の時間は、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は４５秒、上限は６００秒であり、より好ましい下限は６０秒、上限は３００秒である。

２．２ 真空焼鈍処理
陽極酸化処理後、真空焼純処理を施す。陽極酸化処理を施したチタンの外観は灰色であるが、適正な条件で真空焼純処理を施すことにより、黒色の外観を呈するチタン材が得られる。この理由は必ずしも明らかではないが、陽極酸化処理後は基材の表面に非晶質で細孔のない酸化チタンが存在し、真空焼純処理によって当該非晶質の酸化チタンが結晶化するとともに収縮し、細孔を有し、主にルチル型のＴｉＯ_２からなる酸化チタン層が形成されるのではないかと推定される。

真空焼鈍処理の真空度は、１．０×１０^−１Ｔｏｒｒ以下である。これによりルチル型のＴｉＯ_２が効率よく生成する。真空焼鈍処理の真空度が１．０×１０^−１Ｔｏｒｒより高いと、アナターゼ型のＴｉＯ_２が増加し、チタン材の外観が灰色を呈する。真空焼鈍処理の真空度は１．０×１０^−２Ｔｏｒｒ以下が好ましく、１．０×１０^−３Ｔｏｒｒ以下がより好ましい。真空度は低いほど好ましく、下限は特に定めるものでないが、実用的には、例えば１．０×１０^−７Ｔｏｒｒが限界であり、これを下限としてもよい。

真空度は、上述した範囲内であればよいが、更に好ましくは１．０×１０^−４Ｔｏｒｒ以下である。真空度の下限は、１．０×１０^−６Ｔｏｒｒであってもよく、工業的に実施できる１．０×１０^−５Ｔｏｒｒであってもよい。

真空焼鈍処理の温度は、３５０〜７５０℃である。これにより、ルチル型のＴｉＯ_２が十分に生成する。真空焼鈍処理の温度が３５０℃よりも低いと、ルチル型のＴｉＯ_２が形成されない。一方、真空焼鈍処理の温度が７５０℃を超えると、アナターゼ型のＴｉＯ_２が増加し、チタン材の外観が灰色を呈する。
真空焼鈍処理の温度は、上述した範囲内であればよいが、好ましい下限は３７０℃、上限は６００℃、より好ましい下限は４００℃、上限は５５０℃である。

真空焼鈍処理の時間は、１８００〜８６４００秒（３０分から２４時間）である。真空焼鈍処理の時間が１８００秒よりも短いと、色調の黒色化が不十分で灰色を呈することがある。真空焼鈍処理の時間の上限は特に定めるものでないが、生産性の観点から８６４００秒（２４時間）以下とすることができる
真空焼鈍処理の時間は、上述した範囲内であればよいが、上限は、生産性の観点から、好ましくは４３２００秒、より好ましくは１８０００秒である。

１． チタン材の製造
表１に示す種類及び表面仕上げの純チタン及びチタン合金を基材とし、陽極酸化処理と真空焼同処理を施し、チタン材を製造した。表１では、純チタンの種類をＪＩＳ Ｈ ４６００に準じて、「純チタン１種」、「純チタン２種」、「純チタン３種」、「純チタン４種」と表記している。また、表面仕上げのＨＬはヘアライン仕上げ、ＶＡは真空焼鈍を意味する。

陽極酸化処理には、蒸留水に、硝酸アンモニウム、硝酸ナトリウム、リン酸の何れかを加えて、表１に示す濃度に調整した水溶液を用いた。陽極酸化処理における処理電圧および処理時間は、表１に示す各種電圧および時間とした。陽極酸化処理を施した後、試験片を水洗し、乾燥して、真空焼純炉に挿入し、表１に示す条件で真空焼鈍処理を施し、炉冷した。

２． 評価
２．１ 物性評価
各例にかかるチタン材の酸化チタン層の厚みをＧＤＳによって測定し、Ｘ線回折法によって酸化チタン層の同定を行った。また、酸化チタン層の表面及び断面をＳＥＭで観察し、５０００倍で撮影したＳＥＭ写真を用いて、細孔の最大径の平均値、個数密度、深さが２００μｍ以上の細孔の個数についての割合を求めた。次に、各例にかかるチタン材から試料を採取し、ＪＩＳ Ｚ ５６００−４−５に準拠して測色を行い、ＪＩＳ Ｋ ５６００−４−４に準じて、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間の各座標（Ｌ^＊、ａ^＊、ｂ^＊）を求めた。

２．２ 光触媒活性評価
光触媒活性の評価は、２５℃の０．０１ｇ／ｌのメチレンブルー試薬を含む水溶液中に１５×２５ｍｍの寸法の試験片（各例にかかるチタン材）を浸漬し、上部からブラックライトを用いて３６５ｎｍの照射強度が０．１ｍＷ／ｃｍ^２で３００分間照射して行った。各試験片をメチレンブルー溶液に浸漬し、ブラックライトによる照射後、分光光度計を用いて、６６４ｎｍの波長の吸光度を測定し、基準となるブランク（溶液中に試験片を入れずにブラックライトを照射）に比べて、その数値が低いほど、チタン材の光触媒活性が高いと評価した。そして、ブランクに対する低下の割合が２０％以上の場合を「Ａ」、２０％未満の場合を「Ｂ」と評価した。

表２に示すように、本発明にかかるチタン材は、外観が黒色を呈し、かつ優れた光触媒活性を有していた。一方、比較例に係るチタン材は、外観が黒色でなく、また、例２７においてはさらに光触媒活性に劣っていた。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

Claims (3)

1. 純チタン又はチタン合金を含む基材と、当該基材の表面に配置され、厚みが１．０〜５０μｍである酸化チタン層と、を有し、
   前記酸化チタン層は、Ｘ線回折法で最大強度を示すチタン酸化物がルチル型のＴｉＯ_２であり、
   かつ、当該酸化チタン層の表面に複数の細孔を有し、
   前記複数の細孔は、最大径の平均値が５．０〜７０ｎｍ、個数密度が１．０×１０^７〜１．０×１０^９個／ｍｍ^２であり、
   かつ、前記複数の細孔の数に対する深さ２００ｎｍ以上の細孔の数の割合が２０％以上である、
   チタン材。
2. Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間においてＬ^＊：１０〜３９、ａ^＊：−３．０以上２．０未満、ｂ^＊：−３．０〜６．０で表される色を呈する、請求項１に記載のチタン材。
3. ０．０１０Ｍから飽和濃度までの濃度の硝酸イオンを含む水溶液中で、純チタン又はチタン合金に、電圧が１０〜１００Ｖ、時間が３０〜３６００秒である陽極酸化処理を施すことと、
   前記陽極酸化処理後に、真空度が１．０×１０^−１Ｔｏｒｒ以下、温度が３５０〜７５０℃の雰囲気に、１８００〜８６４００秒保持する真空焼純処理を施すことと、を含むチタン材の製造方法。

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