JP2017218299A - 搬送装置 - Google Patents

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JP2017218299A JP2016115147A JP2016115147A JP2017218299A JP 2017218299 A JP2017218299 A JP 2017218299A JP 2016115147 A JP2016115147 A JP 2016115147A JP 2016115147 A JP2016115147 A JP 2016115147A JP 2017218299 A JP2017218299 A JP 2017218299A
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高橋 雄一
Yuichi Takahashi
雄一 高橋
隆典 山田
Takanori Yamada
山田  隆典
俊 萬田
Satoshi Manda
俊 萬田
正紀 西澤
Masaki Nishizawa
正紀 西澤
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Abstract

【課題】簡単な構成で作業負担を軽減しつつ搬送能力を向上できるようにすること。【解決手段】搬送装置(10)は、所定の搬送方向に部品(W)を搬送する搬送路(11)と、搬送路上の部品に対して送風する送風機構(12)とを備えている。送風機構は、前記搬送方向への力が部品に作用するよう送風し、送風する気体によって部品の帯電を除去する。これにより、送風によって効率良く部品を送り出して搬送性能を高めつつ、搬送路を通過する際に部品を除塵することができる。【選択図】図1

Description

本発明は、搬送路を介して複数の部品を搬送することができる搬送装置に関する。
種々の部品を用いて製品化する際、各部品が所定方向に延在する搬送路を備えた搬送装置によって供給元から供給先へ搬送される(例えば、特許文献1参照)。また、かかる製品の品質を良好に保つため、それぞれの部品に付着した埃等の粉塵が除塵される。かかる除塵においては、搬送された部品を搬送路から取り出すときに、圧縮エアを吹き付けて部品に付着した粉塵を吹き飛ばす場合がある。また、部品を除塵した状態に予め保ち、作業スペースをクリーンルーム化する場合もある。
特開2008−120520号公報
しかしながら、上記のように圧縮エアを吹き付ける場合、搬送された供給先にて、取り出した部品1つずつに対して圧縮エアを吹き付けることが要求され、作業時間が長くなる等、作業負担が増大する、という問題がある。また、クリーンルーム化する場合には、設備を設置するためのスペースや初期費用だけでなく維持費用も膨大になる、という問題がある。更に、搬送装置にあっては、搬送路上の部品を供給元から供給先への搬送方向の力が効率良く作用することが、搬送能力を向上する観点から要求される。
なお、特許文献1は、搬送物を搬送する搬送路に、除電空気供給器及び空気噴出ノズルを設けた搬送装置を開示している。特許文献1では、搬送物を検出する光電式センサの誤動作を防止するために、除電空気供給器及び空気噴出ノズルを用いてガイド板への粉塵付着を防止するものである。言い換えると、特許文献1は、搬送物に対して空気を噴射しないものであり、上述した部品の粉塵を除去する技術とは全く異なり関連性が極めて低い技術である。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で作業負担を軽減しつつ搬送能力を向上することができる搬送装置の提供を目的の一つとする。
本発明の一態様の搬送装置は、所定の搬送方向に部品を搬送する搬送路と、前記搬送路上の前記部品に対して送風する送風機構と、を備えた搬送装置であって、前記送風機構は、前記搬送方向への力が前記部品に作用するよう送風し、該送風する気体によって前記部品の帯電を除去することを特徴とする。
この構成では、送風機構によって送風することで、部品の帯電除去と搬送方向への押し出しとを同時に行うことができる。これにより、送風によって効率良く部品を送り出して搬送性能を高めつつ、搬送路を通過する際に部品を除塵することができ、搬送装置からの取り出し時にエアブローする場合に比べ、作業時間の短縮化を達成できる等、作業負担の軽減を図ることができる。しかも、クリーンルームのような大掛かりな設備を不要として簡略な構成にでき、設備コストの削減を図ることができる。
また、上記搬送装置において、前記搬送路上の前記部品の帯電量を測定する帯電計と、前記搬送路上の前記部品を前記搬送方向に所定個数毎に切り出す切出機構とを備え、前記切出機構は、前記帯電計が測定した前記部品の帯電量が所定の閾値より大きいと前記部品の搬送を停止し、前記帯電量が前記閾値以下になるときに停止された前記部品の搬送を開始するとよい。この構成によれば、切り出される部品の除電を閾値以下の帯電量になるまで確実に行うことができ、帯電によって部品に付着した粉塵を良好に除去することができる。
また、上記搬送装置において、前記搬送路上の前記部品を前記搬送方向に所定個数毎に切り出す切出機構を備え、前記切出機構は、前記搬送方向への力が前記部品に作用するよう送風する補助送風部を備えているとよい。この構成によれば、切出機構によって停止した部品を、補助送風部による送風で搬送方向に押し出して送出することができる。これにより、切出機構での部品の搬送速度を速くすることができ、搬送性能をより向上させることができる。
また、上記搬送装置において、前記切出機構は、前記搬送路に対して進退するストッパを備え、前記補助送風部は前記ストッパに設けられているとよい。この構成によれば、ストッパを利用して搬送路上から補助送風部を介して部品に送風でき、これによっても、搬送性能を向上させることができる。
また、上記搬送装置において、前記切出機構は、前記ストッパを進退移動させるエアシリンダを更に備え、前記エアシリンダに供給される空気の一部を分岐して前記補助送風部に空気を供給するとよい。この構成によれば、補助送風部に供給する空気の経路設計の簡略化を図ることができる。
また、上記搬送装置において、前記搬送路は、前記部品が通過する位置に、複数の開口が形成された支持部材を備えているとよい。この構成によれば、部品から除去された粉塵を開口を通じて搬送路の外部に排出でき、部品への粉塵の再付着を回避することができる。しかも、部品と支持部材との接触面積を縮小して支持部材上で部品を滑り易くすることができ、搬送速度、搬送能力の向上を図ることができる。
また、上記搬送装置において、前記支持部材の前記開口を通った粉塵を吸引する集塵機構を備えているとよい。この構成によれば、集塵機構によって粉塵を簡単に回収、廃棄することができる。
また、上記搬送装置において、前記搬送路には、前記送風機構によって前記部品から除去された粉塵の飛散を規制するカバー部材が設けられているとよい。この構成によれば、部品から除去した粉塵が飛散することによる部品への粉塵の再付着や、各種装置への付着を防止することができる。
本発明によれば、送風機構からの送風で部品に搬送方向への力を加えつつ除電するので、簡単な構成で作業負担を軽減しつつ搬送能力を向上することができる。
本実施の形態に係る搬送装置の概略構成図である。 本実施の形態に係る搬送路の部分平面図である。 本実施の形態に係る切出機構の説明用部分断面図である。 本実施の形態に係る切出機構の説明用部分平面図である。 本実施の形態に係る切出機構の切り出し手順を示すフローチャートである。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る搬送装置について説明する。以下の説明では、本実施の形態に係る搬送装置を、工場や配送所等、複数の部品を所定の供給元から供給先へ搬送、運搬する施設に適用した場合について説明する。なお、本明細書及び特許請求の範囲において、「部品」とは、被搬送品全般を示し、ワークとも呼ばれる場合もある。
図1は、本実施の形態に係る搬送装置の概略構成図である。なお、図1に示す搬送装置の概略構成図は、本発明を説明するために簡略化したものであり、搬送装置が通常備える構成については備えているものとする。図1に示すように、搬送装置10は、図1にて矢印で示す搬送方向D1に部品Wを搬送する搬送路11と、搬送路11上の部品Wに対して送風する送風機構12とを備えている。
搬送路11は、脚部14を介して床面Fから所定の高さ位置に支持されている。ここで、搬送路11は、搬送方向D1に進行する従って次第に低くなるように傾斜した姿勢で支持される。従って、搬送路11上の部品Wは、重力(自重)によって搬送方向D1にスライド移動する力が作用することとなる。なお、特に限定されるものでないが、本実施の形態では、部品Wの上部における搬送方向D1下流側が部分的に突出した形状に形成されている。
図2は、本実施の形態に係る搬送路の部分平面図である。図2に示すように、搬送路11は、載置された部品Wを下方から支持する支持部材16と、支持部材16の幅方向(図2中上下方向)両側に設けられたガイド板17とを備えている。
支持部材16は、多孔板、例えばステンレスなどの金属板にパンチングにより複数の開口(孔)を等間隔に形成したパンチングメタルによって構成されている。このように複数の開口を形成することで、支持部材16と部品Wの下面との接触面積を縮小でき、支持部材16の上面を滑って通過する部品Wとの摩擦抵抗を小さくして滑り性能を向上することができる。また、送風機構12(図1参照)によって後述するように除去された粉塵(屑や埃)を、開口を通じて支持部材16の上方から下方に落下させることができる。
一対のガイド板17は、支持部材16の幅方向両側で起立しており、部品Wの幅に応じた離間幅に設定されている。ガイド板17は、部品Wの搬送方向D1と平行に延在しており、ガイド板17に案内されて部品Wが自重によって傾斜した支持部材16上を搬送方向D1に滑り落ちるように搬送される。
図1に戻り、送風機構12は、図示しないフレーム等を介して搬送路11の上方から所定距離離れた位置に設置されている。送風機構12は、旋回するファン等を備えて図1中一点鎖線で示す範囲、具体的には、送風機構12の直下から後述するカバー部材27の内部まで空気(気体)を送風するように設けられる。従って、送風機構12による送風によって、搬送路11上で送風を受ける部品Wは搬送方向D1へ押し出されるような力が作用することとなる。
送風機構12は、イオン化された除電用空気を送風として放出するイオナイザー等しての機能も有するものであり、送風する除電用空気によって部品Wの帯電を除去する。例を挙げると、部品Wの静電電位が1000Vである場合、除電用空気を1秒間吹き付けることで、静電電位を100V以下までに除電する機能を備える。送風機構12は、図1中一点鎖線で示す範囲内の部品W及びカバー部材27の内部の部品Wに対して静電気を除去して静電電位を低下させる。
搬送装置10は、部品から除去された粉塵を吸引して収集する集塵機構20を備えている。集塵機構20は、搬送路11の下方に設けられて支持部材16の開口を通った粉塵を吸引する第1吸引部21及び第2吸引部22と、第1吸引部21及び第2吸引部22に対してホース23を介して接続される集塵本体部25とを備えている。第1吸引部21の方が、第2吸引部22より搬送方向D1で上流側(供給元側)に配置され、第1吸引部21は、送風機構12の直下より若干下流側(供給先側)に設けられている。第2吸引部22は、切出機構30を設置する部分に設けられている。切出機構30の詳細については後述する。集塵本体部25は、第1吸引部21及び第2吸引部22での吸引のための吸引源や、粉塵を捕集するためのフィルタ等を内蔵している。
搬送装置10は、搬送路11に設けられたカバー部材27と、カバー部材27の内側に設けられた帯電計28とを更に備えている。カバー部材27の形状は、一対のガイド板17に跨って支持部材16の上方を覆うように設けられる限りにおいて、搬送方向D1から見てコの字状としたり、半円状としたりする等、種々の形状を採用することができる。カバー部材27は、支持部材16上の部品Wの上方も覆うようになり、送風機構12によって部品Wから除去された粉塵の飛散を規制可能に設けられている。
帯電計28は、カバー部材27の内側に設けられて搬送路11上の部品Wの帯電量を測定する。例えば、帯電計28は、下方にセンサヘッドを有しており、所定の測定レンジ及びサンプリング周期にて直下に位置する部品W表面の静電電位を測定する。
続いて、図3を参照して、切出機構について説明する。図3は、本実施の形態に係る切出機構の説明用部分断面図である。図3に示すように、切出機構30は、搬送路11の下方にブラケットBを介して設けられる第1エアシリンダ31及び第2エアシリンダ32を備えている。第1エアシリンダ31は第1ストッパ33を、第2エアシリンダ32は第2ストッパ34を、搬送路11における支持部材16の上面から出没するように進退移動させる。第1エアシリンダ31の方が、第2エアシリンダ32より搬送方向D1で下流側(供給先側)に配置され、第1エアシリンダ31は帯電計28より下流側、第2エアシリンダ32は帯電計28より上流側に設けられている。
ここで、第2ストッパ34には、空気(気体)を吹き出す吹出口等を備えた補助送風部36が設けられている。補助送風部36は、搬送方向D1下流側(図3中右側)に向かって送風するものであり、この送風によって第2ストッパ34より下流側に位置する部品Wに対し、搬送方向D1への力が作用する。
第1エアシリンダ31及び第2エアシリンダ32には、供給源39から動力源となる圧縮空気が流路を介して供給される。本実施の形態では、単一の供給源39から継手40を介して流路を分岐することで各々のシリンダ31、32に圧縮空気を供給しているが、シリンダ31、32毎に別々の供給源39を用いてもよい。供給源39と第2エアシリンダ32とを接続する流路には、更に継手41が設けられ、この継手41によって第2エアシリンダ32に供給される圧縮空気の一部を分岐し、補助送風部36に圧縮空気を供給している。第1エアシリンダ31、第2エアシリンダ32及び補助送風部36における圧縮空気の入口側には、圧縮空気の供給量や供給の有無を制御する開閉弁42がそれぞれ設けられている。従って、各開閉弁42を駆動制御することによって、各シリンダ31、32による各ストッパ33、34の駆動や、補助送風部36からの送風が制御される。
なお、搬送路11の下流端側にはエンド部材18が設けられ、このエンド部材18によって、第1ストッパ33を通過した後の部品Wが停止され、搬送路11から取り出し得る状態となる。ここで、以下において、搬送路11上の部品Wに関し、エンド部材18によって搬送が停止した部品Wの位置を取出位置P0、第1ストッパ33によって搬送が停止した部品Wの位置を第1切出位置P1、第2ストッパ34によって搬送が停止した部品Wの位置を第2切出位置P2とする。
図4は、本実施の形態に係る切出機構の説明用部分平面図である。図4に示すように、切出機構30は、搬送路11の支持部材16を幅方向から挟むように設けられる第1検出部45及び第2検出部46を備えている。第1検出部45は、エンド部材18の上流側隣接位置に設けられ、第2検出部46は、第1ストッパ33の上流側隣接位置に設けられている。各検出部45、46は、透過型センサであり、投光部45a、46aから投光される測定光をそれぞれ受光部45b、46bで受光するように構成される。各検出部45、46では、受光部45b、46bが測定光を受光するか否かによって部品Wの有無を信号として出力する。具体的には、第1検出部45では、投光部45aからの測定光を受光部45bが受光しないと取出位置P0に部品Wが有り、受光すると取出位置P0に部品Wが無いとする信号を出力する。第2検出部46では、投光部46aからの測定光を受光部46bが受光しないと第1待機位置P1に部品Wが有り、受光すると第1待機位置P1に部品Wが無いとする信号を出力する。
搬送装置10には、装置各構成要素を統括制御する制御部50(図1参照)が設けられている。制御部50は各種処理を実行するプロセッサで構成される。制御部50には、図示省略した各種検出器や、帯電計28、各検出部45、46からの検出結果、測定結果が入力される。制御手段50からは、集塵機構20、開閉弁42、送風機構12等に制御信号を出力する。
次いで、本実施の形態の搬送装置を用いた搬送方法について説明する。図1に示すように、供給元から傾斜した搬送路11に複数の部品Wが供給されると、部品Wの自重によって支持部材16上を滑ることで搬送方向D1に部品W1が搬送される。そして、部品Wが送風機構12の直下を通過すると、送風機構12からの送風を受け、かかる送風と自重との両方の力が作用して搬送が進行される。送風機構12では、イオン化された除電用空気が送風として放出されるので、部品Wの帯電が除去され、帯電に起因して部品Wに付着した粉塵が部品Wから除去される。この除去された粉塵は支持部材16の開口を通じて落下され、集塵機構20の第1吸引部21及び第2吸引部22にて吸引され、集塵本体部25内に集塵される。
上記のように搬送路11にて複数の部品Wが搬送されると、搬送路11の供給先側において、切出機構30によって搬送方向D1に部品Wが1つずつ切り出される。以下、本実施の形態の搬送における部品Wの切り出しについて、図5のフローチャートも参照しながら説明する。図5は、本実施の形態に係る切出機構の切り出し手順を示すフローチャートである。
ここでは、図3及び図4に示すように、搬送路11に複数の部品Wが供給されるとともに、第1ストッパ33及び第2ストッパ34が上昇され、取出位置P0、第1待機位置P1、第2待機位置P2のそれぞれで部品Wの搬送が停止されているものとする。この状態から、先ず、取出位置P0にて停止する部品Wが、不図示の取出機構や作業者等によって搬送路11から取り出される(ステップ(以下、「ST」という)101)。
すると、第1検出部45で取出位置P0に部品Wが無いとする信号が出力される(ST102)。この出力のタイミングで、第1待機位置P1の部品Wの帯電量が帯電計28にて測定され(ST103)、かかる帯電量が制御部50(図1参照)にて所定の閾値と比較される(ST104)。
帯電計28が測定した部品Wの帯電量が閾値より大きいと(ST104:NO)、第1ストッパ33が上昇した状態が維持され、第1待機位置P1での部品Wの搬送が停止されたままとなる(ST105)。この状態では、カバー部材27の内部に流れ込む送風機構12(図1参照)からの送風を部品が継続的に受けることとなり、部品Wの帯電が除去されて帯電量が低下する。そして、測定された部品Wの帯電量が閾値以下になると(ST104:YES)、第1ストッパ33が下降する(ST106)。すると、搬送路11の傾斜と補助送風部36からの送風によって、第1待機位置P1に位置する部品Wの搬送方向D1への搬送が開始(再開)される。なお、このとき、第2ストッパ34は上昇した状態で維持され、第2ストッパ34によって第2待機位置P2の部品Wにおける搬送停止が維持される。
第1待機位置P1の部品Wが取出位置P0に移動すると、第1検出部45で取出位置P0に部品Wが有るとする信号が出力される(ST107)。この出力のタイミングで、第1ストッパ33が上昇するとともに第2ストッパ34が下降し(ST108)、第2待機位置P2の部品Wが第1待機位置P1まで搬送されてから第1ストッパ33によって搬送停止される。また、供給先側から第2待機位置P2にも部品Wが搬送され、第1待機位置P1の部品Wと第1ストッパ33を介して搬送停止される。その後、第1ストッパ33が上昇した状態を維持しつつ第2ストッパ34が上昇し(ST109)、第1待機位置P1の部品Wと第2待機位置P2の部品Wとの間に第2ストッパ34が挿入されるように配設される。これにより、第2ストッパ34によって第2待機位置P2の部品Wの搬送が停止し得る状態となる。なお、このとき、第1ストッパ33は上昇した位置で維持される。この状態で、図3に示した状態の各部品Wの次の部品Wが搬送方向D1に1つ移動した位置で切り出されて図3に示した状態に戻るようになり、以降、上記の動作が繰り返し行われる。
このような実施の形態によれば、送風機構12による送風によって、搬送路11における取出位置P0の直前まで除電による部品Wの除塵を行うことができる。これにより、搬送路11で搬送された後のエアブロー等による除塵作業をなくして、作業負担の軽減を図ることができる。しかも、送風で部品Wの搬送が後押しされることで、自重によって支持部材16上を滑る部品Wの搬送速度の高速化或いは安定化を図ることができ、搬送性能の向上を図ることができる。更には、クリーンルーム等の大掛かりな設備を不要にでき、設備の簡略化を通じて導入コスト及び維持コストの削減を図ることができる。
また、部品Wの帯電量を測定して閾値以下となった場合に停止した搬送を開始するので、部品Wが帯電した状態、言い換えると、粉塵が付着した状態で取出位置P0まで搬送されることを防ぐことができる。これにより、部品Wの除塵状態を良好に保って取出位置P0まで搬送でき、搬送された部品Wを含む製品の品質向上に寄与することができる。
また、第2ストッパ34に補助送風部36を設けたので、第1待機位置P1に極めて近い位置であって部品Wの高さより低い位置から部品Wに送風することができる。これにより、一旦停止して搬送の初動に大きな力が必要となる第1待機位置P1の部品であっても搬送を再開し易くなり、送風機構12及び搬送路11の傾斜による搬送を良好に補助することができる。
また、継手41で分岐して第2エアシリンダ32と補助送風部36とに圧縮空気を供給しているので、圧縮空気の供給源を共通化、流路の短縮化等を通じて装置構成の簡略化を図ることができる。
また、カバー部材27を設けたので、第1待機位置P1で除去された粉塵が取出位置P0側等、種々の方向に飛散することを防止することができる。
本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
例えば、搬送路11は、所定の搬送方向に部品Wを搬送する限りにおいて、種々の変更が可能であり、例えば、ベルトコンベアを用いたり、複数のローラを並べて設けたりして部品Wを搬送するようにしてもよい。ベルトコンベアのように動力を用いて搬送する場合には、搬送路11は傾斜していなくてもよい。
また、支持部材16は、メッシュ部材によって構成する等、部品Wとの滑り性能が確保されつつ粉塵を落下できるものであれば、他の部材を用いてもよい。
また、切出機構30で切り出す部品Wの個数は、1個に限定されず複数個ずつ切り出すようにしてもよい。
また、補助送風部36にイオン化された除電用空気を供給し、補助送風部36から送風する除電用空気によって部品Wの帯電を除去するようにしてもよい。これにより、第1待機位置P1における部品Wの除電及び除塵をより一層効率的に行うことができる。
上記実施の形態では、図5のフローチャートのST104にて、測定した帯電量が閾値以下となることを条件として部品Wの搬送停止を解除したが、これに限られるものでない。例えば、測定した帯電量に対し、閾値以下の帯電量とするために必要な除電時間(搬送停止して部品Wに除電用空気を送風する時間)を予め求めておき、その時間を経過した後、部品Wの搬送停止を解除するようにしてもよい。
また、送風機構12の設置位置は、図1に示した位置に追加或いは変更し、ガイド部材17に設ける等、送風によって部品Wに搬送する力を加えつつ除電できる限りにおいて、種々の位置に設置できる。
また、部品Wは、種々の形状を採用可能であり、例えば、枠状に形成したり、上記実施の形態のように突出した部分をなくした直方体状に形成したりしてもよい。部品Wを枠状に形成した場合には、枠の内側に第2ストッパ34が挿入されるようにして第2ストッパ34で部品Wを搬送停止するようにすればよい。また、部品Wを直方体状に形成した場合には、第2ストッパ34に替えて第2待機位置P2の部品Wを幅方向から挟む機構を設置して搬送を停止するようにすればよい。
10 搬送装置
11 搬送路
12 送風機構
16 支持部材
20 集塵機構
27 カバー部材
28 帯電計
30 切出機構
31 第1エアシリンダ(エアシリンダ)
32 第2エアシリンダ(エアシリンダ)
33 第1ストッパ(ストッパ)
34 第2ストッパ(ストッパ)
36 補助送風部
W 部品

Claims (8)

  1. 所定の搬送方向に部品を搬送する搬送路と、
    前記搬送路上の前記部品に対して送風する送風機構と、
    を備えた搬送装置であって、
    前記送風機構は、前記搬送方向への力が前記部品に作用するよう送風し、該送風する気体によって前記部品の帯電を除去することを特徴とする搬送装置。
  2. 前記搬送路上の前記部品の帯電量を測定する帯電計と、前記搬送路上の前記部品を前記搬送方向に所定個数毎に切り出す切出機構とを備え、
    前記切出機構は、前記帯電計が測定した前記部品の帯電量が所定の閾値より大きいと前記部品の搬送を停止し、前記帯電量が前記閾値以下になるときに停止された前記部品の搬送を開始することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
  3. 前記搬送路上の前記部品を前記搬送方向に所定個数毎に切り出す切出機構を備え、
    前記切出機構は、前記搬送方向への力が前記部品に作用するよう送風する補助送風部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
  4. 前記切出機構は、前記搬送路に対して進退するストッパを備え、前記補助送風部は前記ストッパに設けられていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の搬送装置。
  5. 前記切出機構は、前記ストッパを進退移動させるエアシリンダを更に備え、
    前記エアシリンダに供給される空気の一部を分岐して前記補助送風部に空気を供給することを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。
  6. 前記搬送路は、前記部品が通過する位置に、複数の開口が形成された支持部材を備えていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の搬送装置。
  7. 前記支持部材の前記開口を通った粉塵を吸引する集塵機構を備えていることを特徴とする請求項6に記載の搬送装置。
  8. 前記搬送路には、前記送風機構によって前記部品から除去された粉塵の飛散を規制するカバー部材が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の搬送装置。
JP2016115147A 2016-06-09 2016-06-09 搬送装置 Withdrawn JP2017218299A (ja)

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