JP2017212253A - 放熱シートおよび半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(放熱シート)
図1は、本実施形態の放熱シートの断面模式図である。図1に示されるように、本実施形態の放熱シート1は、絶縁層11(絶縁性熱伝導性樹脂層)と、絶縁層11の片側に設けられた伝熱層12とを備える。
まず、硬化前の第1の熱硬化型樹脂31に絶縁性粒子21を加え混練する。その後、混練物をシート状に延ばして、例えば5〜10分の熱処理で第1の熱硬化型樹脂31をゲル化(半硬化)させる。
本実施形態の半導体装置は、発熱部材、発熱部材の熱を放散させるための放熱部材、および、発熱部材と放熱部材との間に配置された放熱シートを備える。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、基本的に、
発熱部材の表面に放熱シートを積層し、放熱シートの発熱部材と反対側の表面に放熱部材を積層する、積層工程と、
放熱シートを発熱部材と放熱部材で加圧(狭圧)する、加圧工程と、
放熱シートを伝熱層中に含まれるはんだ材料の融点以上に加熱する、加熱工程と、
を含む。
図2に示される半導体装置10の製造方法は、
電子部品5を搭載した配線板2の配線層2b(発熱部材)の表面に無洗浄フラックスを塗布する塗布工程と、
無洗浄フラックスが塗布された配線層2bの表面に放熱シート1を積層し、放熱シート1の配線層2bと反対側の表面に放熱部材4を積層する、積層工程と、
放熱シート1を配線板2と放熱部材4とで加圧(狭圧)する、加圧工程と、
放熱シート1を伝熱層12中に含まれる(はんだ粒子22を構成する)はんだ材料の融点以上に加熱する、加熱工程と、
を含んでいる。
放熱シートの熱伝導性は、熱抵抗を用いて評価される。「熱抵抗」とは、温度の伝わりにくさを表す指標であり、単位発熱量当たりの温度上昇値を意味する。放熱シートの熱伝導性を向上させるためには、熱抵抗(R)を小さくする必要がある。
R=Rb+Rc ・・・(1)
に示されるように、放熱シート自体の熱抵抗(Rb)と、放熱シートと発熱部材との間での接触熱抵抗(Rc)との和で表わされる。
Rb=t/(λA) ・・・(2)
〔t:放熱シート厚、λ:放熱シートの熱伝導率(主にフィラーの熱伝導率)、A:放熱シートの伝熱面積(放熱シートの面積、フィラー径、フィラー充填率などの因子によって定められる熱伝導に寄与する面積)〕
で求められる。
1/Rc=(a/A)/{(δ1/λ1)+(δ2/λ2)}+{(A−a)/A}・λf/(δ1+δ2) ・・・(3)
で表わされる。
本変形例の放熱シートは、絶縁層の両側に伝熱層が設けられている点で、実施形態1とは異なる。それ以外の点は、基本的に上記の実施形態1と同じである。
まず、硬化前の第2の熱硬化型樹脂32aに第1のはんだ粒子22aを加え混練した後、シート状に延ばして、5〜10分の加熱処理で第2の熱硬化型樹脂32aをゲル化させる。次に、硬化前の第1の熱硬化型樹脂31a中に絶縁性粒子21を加え混練した後、上記ゲル化した第2の熱硬化型樹脂32a上に塗布し、5〜10分加熱し、第1の熱硬化型樹脂をゲル化させる。この結果、ゲル化した熱硬化型樹脂層からなる第1の伝熱層12aと絶縁層11とを積層してなる放熱シートを得ることができる。
各熱硬化型樹脂を熱で硬化させることで、絶縁層11の一方側に第1の伝熱層12aが設けられ、他方側に第2の伝熱層12bが設けられた放熱シート1を得ることができる。
図5(a)は、本実施形態の放熱シートの断面模式図である。また、図5(b)は、図5(a)のAで示す部分を拡大した部分拡大図である。図5(a)および(b)に示されるように、本実施形態の放熱シートは、伝熱層12が、はんだ粒子22よりも小さく、第2の熱硬化型樹脂32より高い熱伝導性を有する小粒子23をさらに含む点で、実施形態1とは異なる。それ以外の点は、基本的に実施形態1と同じである。
本実施形態の放熱シートは、第2の熱硬化型樹脂32bが第1の熱硬化型樹脂31bよりも硬い点で、実施形態1とは異なる。それ以外の構成は、基本的に図1に示した実施形態1の放熱シートと同じである。
図7は、本実施形態の放熱シートの断面模式図である。図7に示されるように、本実施形態の放熱シートは、伝熱層12が、はんだ粒子22を含有する層(はんだ粒子層)と金属粒子24を含有する層(金属粒子層)の2層を含み、金属粒子を含有する層が絶縁層11側に設けられている点で、実施形態1とは異なる。それ以外の点は、基本的に実施形態1と同じである。
図9は、本実施形態の放熱シートの断面模式図である。
Claims (6)
- 絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも片側に設けられた伝熱層と、を備える放熱シートであって、
前記絶縁層は、第1の熱硬化型樹脂と、前記第1の熱硬化型樹脂中に分散された絶縁性粒子と、を含み、
前記絶縁性粒子は、前記第1の熱硬化型樹脂より高い熱伝導性を有する材料からなり、
前記伝熱層は、第2の熱硬化型樹脂と、前記第2の熱硬化型樹脂中に分散されたはんだ材料からなるはんだ粒子と、を含む、放熱シート。 - 前記伝熱層は、前記はんだ粒子よりも小さく、前記第2の熱硬化型樹脂より高い熱伝導性を有する小粒子をさらに含む、請求項1に記載の放熱シート。
- 前記第2の熱硬化型樹脂は前記第1の熱硬化型樹脂よりも硬い、請求項1または2に記載の放熱シート。
- 前記伝熱層は、前記はんだ粒子を含有する第1層と、金属粒子を含有する第2層と、を含み、
前記第2層は、前記第1層の前記絶縁層側に設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の放熱シート。 - 前記絶縁層の一方側に設けられた前記伝熱層である第1の伝熱層と、
前記絶縁層の他方側に設けられた前記伝熱層である第2の伝熱層と、を備え、
前記第1の伝熱層に含まれる前記はんだ粒子の融点は、前記第2の伝熱層に含まれる前記はんだ粒子の融点よりも低い、請求項1〜4のいずれか1項に記載の放熱シート。 - 発熱部材、前記発熱部材の熱を放散させるための放熱部材、および、前記発熱部材と前記放熱部材との間に配置された放熱シートを備える、半導体装置であって、
前記放熱シートは、絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも片側に設けられた伝熱層とを備え、
前記絶縁層は、第1の熱硬化型樹脂と、前記第1の熱硬化型樹脂中に分散された絶縁性粒子と、を含み、
前記絶縁性粒子は、前記第1の熱硬化型樹脂より高い熱伝導性を有する材料からなり、
前記伝熱層は、第2の熱硬化型樹脂と、はんだ材料と、を含み、
前記発熱部材と前記放熱シートの界面に、はんだ結合部を有する、半導体装置。
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