JP2017204615A - Tape sticking device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、板状の被加工物にテープを貼り付けるためのテープ貼着装置に関する。 The present invention relates to a tape attaching apparatus for attaching a tape to a plate-like workpiece.
半導体ウェーハのような板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、被加工物の表面又は裏面に大径のテープ（粘着テープ）を貼り付けるとともに、このテープの外周部分に環状のフレームを固定する。これにより、被加工物をチャックテーブルで確実に保持して分割でき、また、分割後の被加工物も取り扱い易くなる。 When a plate-like workpiece such as a semiconductor wafer is divided into a plurality of chips, for example, a large-diameter tape (adhesive tape) is attached to the front or back surface of the workpiece, and the outer periphery of the tape An annular frame is fixed to the part. Accordingly, the workpiece can be reliably held and divided by the chuck table, and the divided workpiece can be easily handled.
近年では、被加工物やフレームに対してテープを貼り付けるためのテープ貼着装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。このテープ貼着装置は、繰り出しローラーから繰り出されるテープに対して切断刃を備える切断刃ローラーを押し当てることで、貼り付け先となるフレームに相当する大きさの円形状のテープを切り出す。 In recent years, a tape sticking device for sticking a tape to a workpiece or a frame has been put into practical use (see, for example, Patent Document 1). This tape sticking device cuts out a circular tape having a size corresponding to a frame to be affixed to by pressing a cutting blade roller having a cutting blade against a tape fed from a feeding roller.
上述の方法で切り出された円形状のテープは、例えば、粘着材層を保護する保護シートから剥離された後に、被加工物及びフレームに貼り付けられる。ところが、この貼り付けの工程で円形状のテープを適切に貼り付けられないと、後にフレームからテープが剥がれて被加工物をチャックテーブルで保持できなくなってしまう。 The circular tape cut out by the above method is, for example, peeled off from a protective sheet that protects the adhesive material layer, and then attached to the workpiece and the frame. However, if the circular tape is not properly applied in this attaching process, the tape is later peeled off from the frame and the workpiece cannot be held by the chuck table.
そこで、被加工物及びフレームに対してテープを貼り付けた後には、例えば、被加工物とフレームとの間でテープの有無を確認している。しかしながら、この方法では、被加工物とフレームとの間のテープの有無のみを確認するので、例えば、テープがフレームの適切な位置に貼り付けられているか否かまで判定できなかった。 Therefore, after the tape is attached to the workpiece and the frame, for example, the presence or absence of the tape is confirmed between the workpiece and the frame. However, in this method, only the presence / absence of the tape between the workpiece and the frame is confirmed, and therefore, for example, it cannot be determined whether or not the tape is attached to an appropriate position of the frame.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定できるテープ貼着装置を提供することである。 This invention is made | formed in view of this problem, The place made into the objective is providing the tape sticking apparatus which can determine whether the tape is stuck on the predetermined position of the flame | frame. .
本発明の一態様によれば、板状の被加工物と該被加工物が収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化するテープ貼着装置であって、帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼り付られてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、該フレームの外周の直径よりも小さく内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを該テープに形成し、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、該テープ体から該円形状テープを分離する分離手段と、該円形状テープを該被加工物及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化する押圧手段と、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される該円形状テープの上方に配置され、該フレームに対して相対的に移動することで該フレームと該円形状テープとの段差を検出し、該段差の位置に基づいて該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段と、を備え、該検出判定手段は、基準となる位置と該段差の位置との距離から、該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定することを特徴とするテープ貼着装置が提供される。 According to one embodiment of the present invention, a tape is attached to a plate-shaped workpiece and a ring-shaped frame having an opening in which the workpiece is accommodated, and the workpiece and the frame are integrated. Protection for protecting the adhesive material layer on the adhesive material layer side of a tape comprising a strip-like base material sheet and an adhesive material layer provided on one surface of the base material sheet A feeding means for feeding out a tape body to which a sheet is attached; and a circular notch that is smaller than the outer peripheral diameter of the frame and larger than the inner peripheral diameter, and is formed on the tape. A notch forming means for cutting out a circular tape to be attached to one surface from the tape, a separating means for separating the circular tape from the tape body, and the circular tape as one of the workpiece and the frame. Adhering while pressing on the surface of the A pressing means for integrating the object and the frame, and the workpiece and the circular tape that is attached to one surface of the frame, and is moved relative to the frame. Detecting and determining means for detecting a step between the frame and the circular tape and determining whether or not the circular tape is attached to a predetermined position of the frame based on the position of the step. And the detection judging means judges whether or not the circular tape is stuck at a predetermined position of the frame from a distance between a reference position and the position of the step. An apparatus is provided.
本発明の一態様に係るテープ貼着装置は、フレームに対して相対的に移動することでフレームと円形状テープとの段差を検出し、この段差の位置に基づいて円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段を備えるので、基準となる位置と段差の位置との距離から、円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定できる。つまり、本発明の一態様に係るテープ貼着装置によれば、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定できる。 The tape adhering device according to one aspect of the present invention detects a step between the frame and the circular tape by moving relative to the frame, and the circular tape is determined based on the position of the step. Detection means for determining whether or not a circular tape has been attached to a predetermined position on the frame from the distance between the reference position and the step position. it can. That is, according to the tape sticking apparatus according to one aspect of the present invention, it can be determined whether or not the tape is stuck at a predetermined position of the frame.
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、テープ貼着装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図１に示すように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、円筒状に巻回された状態のテープ体１を支持する円柱状の繰り出しローラー（繰り出し手段）４を備えている。 Embodiments according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a partial cross-sectional side view schematically showing a configuration example of a tape sticking apparatus. As shown in FIG. 1, the tape sticking apparatus 2 according to this embodiment includes a columnar feeding roller (feeding means) 4 that supports a tape body 1 in a state of being wound in a cylindrical shape.
繰り出しローラー４は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向（Ｙ軸方向）に伸びる回転軸の周りに回転する。繰り出しローラー４の第１方向の長さは、テープ体１の幅よりも大きくなっている。そのため、巻回された状態のテープ体１は、繰り出しローラー４によって幅方向の全体で支持される。 The feeding roller 4 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis extending in the first direction (Y-axis direction) by a force generated from the rotation drive source. The length of the feeding roller 4 in the first direction is larger than the width of the tape body 1. Therefore, the wound tape body 1 is supported by the entire feeding roller 4 in the width direction.
テープ体１は、テープ３に保護シート５を貼り付けて形成され、例えば、保護シート５側を内側にして円筒状の芯（不図示）に巻回されている。繰り出しローラー４をこの芯の内側の空間に挿入することで、テープ体１は繰り出しローラー４に支持される。テープ３は、例えば、帯状に形成された樹脂製の基材シート（不図示）と、基材シートの一方の面に設けられた粘着材層（不図示）とで構成されており、保護シート５は、テープ３の粘着材層側に貼り付けられる。 The tape body 1 is formed by affixing a protective sheet 5 to the tape 3, and is wound around a cylindrical core (not shown) with the protective sheet 5 side inside, for example. The tape body 1 is supported by the feeding roller 4 by inserting the feeding roller 4 into the space inside the core. The tape 3 is composed of, for example, a resin-made base sheet (not shown) formed in a belt shape, and an adhesive layer (not shown) provided on one surface of the base sheet, and a protective sheet 5 is attached to the adhesive layer side of the tape 3.
保護シート５は、離型フィルム等とも呼ばれ、テープ３の粘着材層を保護する。この保護シート５は、テープ３を板状の被加工物１１等へと貼り付ける際にテープ３から剥離される。被加工物１１は、例えば、円盤状に形成されたウェーハ等である。本実施形態では、被加工物１１を囲むように配置される環状（リング状）のフレーム１３の外径（外周の直径）よりもテープ体１の幅が大きくなっており、このフレーム１３にもテープ３が貼り付けられる。なお、フレーム１３の中央には、被加工物１１を収容できる開口部が設けられている。 The protective sheet 5 is also called a release film or the like, and protects the adhesive layer of the tape 3. The protective sheet 5 is peeled off from the tape 3 when the tape 3 is attached to the plate-like workpiece 11 or the like. The workpiece 11 is, for example, a wafer formed in a disk shape. In the present embodiment, the width of the tape body 1 is larger than the outer diameter (outer diameter) of the annular (ring-shaped) frame 13 disposed so as to surround the workpiece 11. Tape 3 is affixed. In the center of the frame 13, an opening that can accommodate the workpiece 11 is provided.
繰り出しローラー４の側方には、繰り出しローラー４から繰り出されるテープ体１を下流側へと送る一対の搬送ローラー６，８が配置されている。搬送ローラー６，８の下方には、フレーム１３の外径よりも小さく内径（内周の直径）よりも大きい概ね円形状の切り込みをテープ３に形成するための切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）１０が設けられている。 A pair of transport rollers 6 and 8 are arranged on the side of the feed roller 4 to feed the tape body 1 fed from the feed roller 4 to the downstream side. Below the transport rollers 6 and 8, a cut forming unit (cut forming means) 10 for forming a substantially circular cut in the tape 3 that is smaller than the outer diameter of the frame 13 and larger than the inner diameter (inner diameter). Is provided.
切り込み形成ユニット１０は、テープ３側に配置される切断刃ローラー１２と、テープ体１を挟んで切断刃ローラー１２に対向する支持ローラー１４とを含む。例えば、支持ローラー１４に向けて切断刃ローラー１２を押し付けながら、テープ体１を下方へと送ることで、被加工物１１やフレーム１３の一方の面に貼り付けるための円形状のテープ（円形状テープ）３ａをテープ３から切り出すことができる。 The cut forming unit 10 includes a cutting blade roller 12 disposed on the tape 3 side, and a support roller 14 facing the cutting blade roller 12 with the tape body 1 interposed therebetween. For example, by pressing the cutting blade roller 12 toward the support roller 14 and feeding the tape body 1 downward, a circular tape (circular shape) to be attached to one surface of the workpiece 11 or the frame 13 Tape) 3a can be cut out from tape 3.
切断刃ローラー１２の近傍には、支持ローラー１４側へと向かう向きの力を切断刃ローラー１２に付与する加圧ユニット（付勢手段）１６が配置されている。なお、この加圧ユニット１６は、切断刃ローラー１２側へと向かう向きの力を支持ローラー１４に付与するものでも良い。 In the vicinity of the cutting blade roller 12, a pressurizing unit (biasing means) 16 that applies a force in the direction toward the support roller 14 to the cutting blade roller 12 is disposed. In addition, this pressurization unit 16 may provide the support roller 14 with a force in a direction toward the cutting blade roller 12 side.
切り込み形成ユニット１０の下方には、テープ体１から不要なテープ３ｂを剥離する際の支点となる支点ローラー（分離手段）１８が配置されている。支点ローラー１８を経てテープ体１から剥離されたテープ３ｂは、支点ローラー１８の斜め上方に配置されたテープ巻き取りローラー（分離手段）２０で巻き取られる。 A fulcrum roller (separating means) 18 serving as a fulcrum when the unnecessary tape 3 b is peeled from the tape body 1 is disposed below the cut forming unit 10. The tape 3 b peeled from the tape body 1 through the fulcrum roller 18 is taken up by a tape take-up roller (separating means) 20 disposed obliquely above the fulcrum roller 18.
テープ巻き取りローラー２０は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向に伸びる回転軸の周りに回転する。テープ巻き取りローラー２０の第１方向の長さは、テープ３ｂの幅よりも大きくなっている。 The tape take-up roller 20 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis extending in the first direction by a force generated from the rotation drive source. The length of the tape take-up roller 20 in the first direction is larger than the width of the tape 3b.
支点ローラー１８の斜め下方には、テープ３ｂが除去されたテープ体１（すなわち、テープ３ａ及び保護シート５）からテープ３ａを剥離するための剥離板（分離手段）２２が配置されている。剥離板２２は、支点ローラー１８から遠い一端側が斜め下方を向くように水平面（ＸＹ平面）に対して傾斜しており、この一端側へと向かって薄くなっている。また、剥離板２２の第１方向の長さは、テープ体１の幅よりも大きい。 A peeling plate (separating means) 22 for peeling the tape 3a from the tape body 1 from which the tape 3b has been removed (that is, the tape 3a and the protective sheet 5) is disposed obliquely below the fulcrum roller 18. The peeling plate 22 is inclined with respect to a horizontal plane (XY plane) so that one end side far from the fulcrum roller 18 faces obliquely downward, and is thinned toward the one end side. Further, the length of the peeling plate 22 in the first direction is larger than the width of the tape body 1.
この剥離板２２の一端側で保護シート５を折り返して下流側へと送ることで、テープ３ａをテープ体１（保護シート５）から剥離できる。剥離板２２の一端の近傍には、テープ体１から剥離されたテープ３ａに下向きの力を加えるための加圧ローラー（押圧手段）２４が配置されている。また、剥離板２２及び加圧ローラー２４よりも低い位置には、被加工物１１等を保持するための保持テーブル２６が配置されている。 The tape 3a can be peeled from the tape body 1 (protective sheet 5) by folding back the protective sheet 5 on one end side of the peeling plate 22 and sending it downstream. In the vicinity of one end of the peeling plate 22, a pressure roller (pressing means) 24 for applying a downward force to the tape 3 a peeled from the tape body 1 is disposed. A holding table 26 for holding the workpiece 11 and the like is disposed at a position lower than the peeling plate 22 and the pressure roller 24.
保持テーブル２６の上面中央は、被加工物１１を保持するための第１保持面２６ａになっている。また、第１保持面２６ａの周囲には、被加工物１１を囲む環状のフレーム１３を保持するための第２保持面２６ｂが形成されている。この第２保持面２６ｂの高さは、第１保持面２６ａの高さよりも低くなっている。 The center of the upper surface of the holding table 26 is a first holding surface 26 a for holding the workpiece 11. In addition, a second holding surface 26b for holding the annular frame 13 surrounding the workpiece 11 is formed around the first holding surface 26a. The height of the second holding surface 26b is lower than the height of the first holding surface 26a.
そのため、保護部材１５等を介して第１保持面２６ａに載せられる被加工物１１の上面と、第２保持面２６ｂに載せられるフレーム１３の上面とが概ね同じ高さになる。保持テーブル２６の下方には、ボールねじ式の移動機構２８が設けられている。保持テーブル２６は、この移動機構２８によって水平面に平行かつ第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）に移動する。 Therefore, the upper surface of the workpiece 11 placed on the first holding surface 26a and the upper surface of the frame 13 placed on the second holding surface 26b are approximately the same height via the protective member 15 or the like. Below the holding table 26, a ball screw type moving mechanism 28 is provided. The holding table 26 is moved by the moving mechanism 28 in the second direction (X-axis direction) parallel to the horizontal plane and perpendicular to the first direction.
剥離板２２及び加圧ローラー２４の側方には、剥離板２２で折り返された保護シート５を下流側へと送る一対の搬送ローラー３０，３２が配置されている。搬送ローラー３０，３２の更に側方には、搬送ローラー３０，３２で搬送された保護シート５を巻き取る保護シート巻き取りローラー３４が配置されている。 A pair of conveying rollers 30 and 32 that send the protective sheet 5 folded back by the peeling plate 22 to the downstream side are disposed on the sides of the peeling plate 22 and the pressure roller 24. A protective sheet take-up roller 34 that winds the protective sheet 5 conveyed by the carry rollers 30 and 32 is disposed further to the side of the carry rollers 30 and 32.
保護シート巻き取りローラー３４は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向に伸びる回転軸の周りに回転する。保護シート巻き取りローラー３４の第１方向の長さは、保護シート５の幅よりも大きくなっている。 The protective sheet take-up roller 34 is connected to, for example, a rotational drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotational axis extending in the first direction by a force generated from the rotational drive source. The length of the protective sheet take-up roller 34 in the first direction is larger than the width of the protective sheet 5.
例えば、切り込み形成ユニット１０によって切り出された円形状のテープ３ａは、保護シート５を部分的に剥離された後に、加圧ローラー２４で下向きに加圧（押圧）されて、保持テーブル２６上のフレーム１３の一部に貼り付けられる。その後、繰り出しローラー４、テープ巻き取りローラー２０、及び保護シート巻き取りローラー３４を回転させながら、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。 For example, the circular tape 3 a cut by the cut forming unit 10 is pressed (pressed) downward by the pressure roller 24 after the protective sheet 5 is partially peeled off, and the frame on the holding table 26. 13 is affixed to a part. Thereafter, the holding table 26 is moved in the second direction while rotating the feeding roller 4, the tape winding roller 20, and the protective sheet winding roller 34.
すなわち、被加工物１１及びフレーム１３と、加圧ローラー２４と、を第２方向に相対的に移動させる。その結果、加圧ローラー２４によって加圧される被加圧領域が被加工物１１及びフレーム１３に対して第２方向に移動し、テープ３ａは、加圧ローラー２４から作用する下向きの力によって被加工物１１及びフレーム１３の全体に貼り付けられる。そして、テープ３ａを介して被加工物１１とフレーム１３とが一体化される。 That is, the workpiece 11 and the frame 13 and the pressure roller 24 are relatively moved in the second direction. As a result, the pressurized area to be pressurized by the pressure roller 24 moves in the second direction with respect to the workpiece 11 and the frame 13, and the tape 3 a is covered by the downward force acting from the pressure roller 24. Affixed to the entire workpiece 11 and the frame 13. And the to-be-processed object 11 and the flame | frame 13 are integrated via the tape 3a.
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かを判定する際に必要な動作を説明するための一部断面側面図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、保持テーブル２６（被加工物１１、フレーム１３、テープ３ａ）の上方には、検出判定ユニット（検出判定手段）３６が配置されている。 2 (A) and 2 (B) are partial cross-sectional side views for explaining an operation necessary for determining whether or not the tape 3a is attached to a predetermined position of the frame 13. FIG. . As shown in FIGS. 2A and 2B, a detection determination unit (detection determination means) 36 is disposed above the holding table 26 (workpiece 11, frame 13, tape 3a). .
検出判定ユニット３６は、測定対象までの距離を測定可能なレーザーセンサを含み、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出できるように構成されている。また、検出判定ユニット３６は、検出されたフレーム１３とテープ３ａとの段差に基づいて、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かを判定する。 The detection determination unit 36 includes a laser sensor capable of measuring the distance to the measurement target, and is configured to detect a step between the frame 13 and the tape 3a. Further, the detection determination unit 36 determines whether or not the tape 3a is attached to a predetermined position of the frame 13 based on the detected step between the frame 13 and the tape 3a.
この検出判定ユニット３６でフレーム１３とテープ３ａとの段差を検出する際には、まず、保持テーブル２６を第２方向に移動させて、フレーム１３上で基準となる任意の位置に検出判定ユニット３６を合わせる。次に、図２（Ａ）に示すように、段差検出用のレーザービームＬを検出判定ユニット３６からフレーム１３の上面に向けて照射する。 When detecting the level difference between the frame 13 and the tape 3 a by the detection determination unit 36, first, the holding table 26 is moved in the second direction, and the detection determination unit 36 is moved to an arbitrary position on the frame 13 as a reference. Adjust. Next, as shown in FIG. 2A, a laser beam L for level difference detection is emitted from the detection determination unit 36 toward the upper surface of the frame 13.
その後、レーザービームＬを照射しながら、図２（Ｂ）に示すように、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。具体的には、検出判定ユニット３６がフレーム１３の中央に向かって相対的に移動するように、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。このように、レーザービームＬを照射しながら検出判定ユニット３６とフレーム１３とを相対的に移動させることで、フレーム１３及びテープ３ａの上面の高さを測定できる。 Thereafter, while irradiating the laser beam L, the holding table 26 is moved in the second direction as shown in FIG. Specifically, the holding table 26 is moved in the second direction so that the detection determination unit 36 moves relatively toward the center of the frame 13. In this way, by relatively moving the detection determination unit 36 and the frame 13 while irradiating the laser beam L, the heights of the upper surfaces of the frame 13 and the tape 3a can be measured.
よって、この検出判定ユニット３６によって測定される高さの変化に基づいて、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出できる。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かの判定例を説明するための平面図である。 Therefore, the step between the frame 13 and the tape 3a can be detected based on the change in height measured by the detection determination unit 36. FIGS. 3A and 3B are plan views for explaining an example of determining whether or not the tape 3a is attached to a predetermined position of the frame 13. FIG.
図３（Ａ）に示すように、基準の位置Ｐ１から段差の位置Ｐ２までの距離Ｄ１が所定の範囲内にある場合、検出判定ユニット３６は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられていると判定する。なお、判定の基準として用いられる範囲は、基準の位置Ｐ１、テープ３ａの直径、フレーム１３の内径等に基づいて任意に設定される。 As shown in FIG. 3A, when the distance D1 from the reference position P1 to the step position P2 is within a predetermined range, the detection determination unit 36 attaches the tape 3a to a predetermined position of the frame 13. It is determined that Note that the range used as a reference for determination is arbitrarily set based on the reference position P1, the diameter of the tape 3a, the inner diameter of the frame 13, and the like.
一方で、図３（Ｂ）に示すように、基準の位置Ｐ３から段差の位置Ｐ４までの距離Ｄ２が所定の範囲内にない場合、検出判定ユニット３６は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられていないと判定する。なお、図３（Ｂ）では、距離Ｄ２が所定の範囲の上限を超えている場合を例示している。 On the other hand, as shown in FIG. 3B, when the distance D2 from the reference position P3 to the step position P4 is not within the predetermined range, the detection determination unit 36 determines that the tape 3a is at the predetermined position of the frame 13. It is determined that it is not pasted. FIG. 3B illustrates the case where the distance D2 exceeds the upper limit of the predetermined range.
以上のように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、フレーム１３に対して相対的に移動することでフレーム１３とテープ（円形状テープ）３ａとの段差を検出し、この段差の位置に基づいてテープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定ユニット（検出判定手段）３６を備えるので、基準となる位置（Ｐ１，Ｐ３）と段差の位置（Ｐ２，Ｐ４）との距離（Ｄ１，Ｄ２）から、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼着されたか否かを判定できる。 As described above, the tape adhering device 2 according to the present embodiment detects a step between the frame 13 and the tape (circular tape) 3a by moving relative to the frame 13, and the position of the step. Is provided with a detection determination unit (detection determination means) 36 for determining whether or not the tape 3a has been attached to a predetermined position of the frame 13, so that the reference position (P1, P3) and the step position (P2) , P4) from the distances (D1, D2), it can be determined whether or not the tape 3a is attached to a predetermined position of the frame 13.
なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出する際に、保持テーブル２６側を移動させているが、フレーム１３と検出判定ユニット３６との相対的な移動の態様に制限はない。例えば、検出判定ユニット３６を移動させる移動機構を設けることで、保持テーブル２６を移動させずに検出判定ユニット３６を移動させることもできる。 In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, A various change can be implemented. For example, in the above embodiment, the holding table 26 side is moved when detecting the step between the frame 13 and the tape 3a. However, the relative movement between the frame 13 and the detection determination unit 36 is limited. Absent. For example, by providing a moving mechanism for moving the detection determination unit 36, the detection determination unit 36 can be moved without moving the holding table 26.
また、上記実施形態では、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを第２方向（Ｘ軸方向）に沿って相対的に移動させているが、フレーム１３と検出判定ユニット３６との相対的な移動の方向にも制限はない。例えば、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを第１方向（Ｙ軸方向）に沿って相対的に移動できるように構成しても良い。 In the above-described embodiment, the frame 13 and the detection determination unit 36 are relatively moved along the second direction (X-axis direction). However, the relative movement between the frame 13 and the detection determination unit 36 is relatively small. There are no restrictions on the direction. For example, the frame 13 and the detection determination unit 36 may be configured to be relatively movable along the first direction (Y-axis direction).
また、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを、２つ以上の方向に相対的に移動できるように構成しても良い。この場合、例えば、第１方向及び第２方向に沿ってフレーム１３とテープ３ａとの段差を検出することで、いずれか一方のみで段差を検出する場合に比べて、判定の精度を高めることができる。 Further, the frame 13 and the detection determination unit 36 may be configured to be relatively movable in two or more directions. In this case, for example, by detecting the step between the frame 13 and the tape 3a along the first direction and the second direction, the accuracy of the determination can be improved compared to the case where the step is detected by only one of them. it can.
また、同様の観点から、フレーム１３に対する相対的な移動の方向が異なる２組の検出判定ユニット（検出判定手段）を設けても良い。 Further, from the same viewpoint, two sets of detection determination units (detection determination means) having different relative movement directions with respect to the frame 13 may be provided.
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
２ テープ貼着装置
４ 繰り出しローラー（繰り出し手段）
６，８ 搬送ローラー
１０ 切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）
１２ 切断刃ローラー
１４ 支持ローラー
１６ 加圧ユニット（付勢手段）
１８ 支点ローラー（分離手段）
２０ テープ巻き取りローラー（分離手段）
２２ 剥離板（分離手段）
２４ 加圧ローラー（押圧手段）
２６ 保持テーブル
２６ａ 第１保持面
２６ｂ 第２保持面
２８ 移動機構
３０，３２ 搬送ローラー
３４ 保護シート巻き取りローラー
３６ 検出判定ユニット（検出判定手段）
１ テープ体
３ テープ
３ａ テープ（円形状テープ）
３ｂ テープ
５ 保護シート
１１ 被加工物
１３ フレーム
１５ 保護部材
2 Tape sticking device 4 Feeding roller (feeding means)
6, 8 Transport roller 10 Incision forming unit (incision forming means)
12 Cutting blade roller 14 Support roller 16 Pressure unit (biasing means)
18 fulcrum roller (separation means)
20 Tape take-up roller (separation means)
22 Release plate (separation means)
24 Pressure roller (pressing means)
26 holding table 26a first holding surface 26b second holding surface 28 moving mechanism 30, 32 transport roller 34 protective sheet take-up roller 36 detection determination unit (detection determination means)
1 Tape body 3 Tape 3a Tape (circular tape)
3b Tape 5 Protective sheet 11 Work piece 13 Frame 15 Protective member
Claims (1)
帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼り付られてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、
該フレームの外周の直径よりも小さく内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを該テープに形成し、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、
該テープ体から該円形状テープを分離する分離手段と、
該円形状テープを該被加工物及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化する押圧手段と、
該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される該円形状テープの上方に配置され、該フレームに対して相対的に移動することで該フレームと該円形状テープとの段差を検出し、該段差の位置に基づいて該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段と、を備え、
該検出判定手段は、基準となる位置と該段差の位置との距離から、該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定することを特徴とするテープ貼着装置。 A tape applicator for attaching a tape to a plate-like workpiece and a ring-shaped frame having an opening in which the workpiece is accommodated, and integrating the workpiece and the frame. ,
A tape body in which a protective sheet for protecting the adhesive material layer is attached to the adhesive material layer side of a tape including a strip-shaped base material sheet and an adhesive material layer provided on one surface of the base material sheet. A feeding means for feeding,
A circular incision is formed in the tape that is smaller than the outer peripheral diameter of the frame and larger than the inner peripheral diameter, and the circular tape to be adhered to one surface of the workpiece and the frame is removed from the tape. Cutting forming means for cutting,
Separating means for separating the circular tape from the tape body;
A pressing means for attaching the circular tape to the workpiece and one side of the frame while pressing, and integrating the workpiece and the frame;
Located above the circular tape that is attached to one surface of the workpiece and the frame, and detects a step between the frame and the circular tape by moving relative to the frame. And a detection determination means for determining whether or not the circular tape is attached to a predetermined position of the frame based on the position of the step,
The detection judging means judges whether or not the circular tape is stuck at a predetermined position of the frame from the distance between a reference position and the step position. .
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