JP2017204497A - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、制御部26がリーダライタ54を制御して、RFIDタグ52に記憶されたブレード情報をリーダライタ54によって読み取る。なお、リーダライタ54による読み取り動作は、ブレード12をスピンドル14に装着する前に行われてもよいし、ブレード12をスピンドル14に装着した後に行われてもよい。
次に、制御部26は、リーダライタ54によってRFIDタグ52から読み取ったブレード情報を記憶部56に記憶する。
次に、ブレード診断部66は、記憶部56にブレード情報の一部として記憶されたブレード先端形状情報及びブレード使用履歴情報に基づいて、ブレード12をそのまま使用可能な許容範囲内であるか否かを診断する。診断の結果、ブレード12が使用可能な状態である場合(すなわち、ブレード12の先端形状、ブレード12の積算加工時間及び積算加工距離のいずれも許容値を超えていない場合)には、次のステップS16に進む。一方、ブレード12が使用不可能な状態である場合(すなわち、ブレード12の先端形状、ブレード12の積算加工時間及び積算加工距離のいずれかが許容値を超えている場合)には、ブレード12の交換が必要である旨のメッセージを表示手段(不図示)に表示させる通知処理を行い、本フローチャートを終了する。
次に、加工部18は、ワークWとブレード12とを相対的に移動させながらワークWをブレード12によって切削加工する。その際、制御部26は、記憶部56に記憶されたブレード情報に基づいてブレード12とワークWとの相対位置を制御する。すなわち、制御部26は、ブレード12をY方向にインデックス送りするインデックス送り量やZ方向に切り込み送りする切り込み送り量を変更する際に、前述のブレード情報に含まれる刃部48の外径φ1、厚さt、及び突出量aなどを参照しながら、ワークWに対するブレード12の切り込み位置や切り込み深さが所望の状態となるように、インデックス送り量や切り込み送り量の制御を行う。これにより、使用中のブレード12に最適化された加工条件でワークWを効率よく高精度に加工することができる。
ダイシング工程が行われた後、制御部26は加工部18の加工動作を制御して、ブレード12によってワークWの空領域(チップ未形成領域)に対してチョップ加工を行う。このチョップ加工は、加工部18において、スピンドル14によって回転させたブレード12をZテーブル44によってZ方向に下降させ、ブレード12の刃先(先端)をワークWに垂直に当接させて、ワークWに対してワークWを貫通しない所定深さの溝(カーフ)を形成した後、ブレード12をZテーブル44によってZ方向に上昇させる。この間、ワークWとブレード12とのX方向及びY方向の相対位置を変えずに上記動作が行われる。なお、チョップ加工では、ワークWに代えてダミーワークに対して行ってもよい。
次に、カメラ19に対してワークWの上面を対向させて配置し、チョップ加工工程(ステップS18)で形成したカーフ100の平面視の画像(カーフ画像)を撮像する。図9は、カメラ19で撮像されたカーフ画像の一例を示した図である。カメラ19で撮像されたカーフ画像は制御部26(ブレード先端形状情報検出部62)に入力される。カメラ19は撮像手段の一例であり、カーフ画像は撮像画像の一例である。
次に、ブレード先端形状情報検出部62は、カメラ19で撮像されたカーフ画像に基づいて、ブレード12の先端形状を示すブレード先端形状情報を検出する。具体的には、以下のようにして行われる。
次に、ブレード先端形状情報検出部62は、記憶部56にブレード情報の一部として記憶されたブレード先端形状情報を、検出工程(ステップS20)で検出したブレード先端形状情報に更新する。これにより、記憶部56には、ブレード情報の一部として最新のブレード先端形状情報が記憶される。
次に、制御部26はリーダライタ54を制御して、記憶部56に記憶されたブレード情報をリーダライタ54によってRFIDタグ52に書き込む。これにより、本フローチャートは終了となる。
Claims (6)
- ワークとブレードとを相対的に移動させながら前記ワークを前記ブレードによって切削加工するダイシング装置であって、
前記ブレードに備えられたRFIDタグからブレード情報を読み取るブレード情報読み取り手段と、
前記ブレード情報読み取り手段によって読み取られた前記ブレード情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報に基づいて前記ワークと前記ブレードとの相対位置を制御する制御手段と、を備え、
前記ブレード情報は前記ブレードの先端形状を示すブレード先端形状情報を含み、
前記切削加工が行われる前に、前記ブレード先端形状情報に基づいて前記ブレードが使用可能であるか否かを診断する診断手段を備える、
ダイシング装置。 - 前記ブレードによって前記ワーク又はダミーワークに形成したカーフを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で前記カーフを撮像した撮像画像に基づいて前記ブレード先端形状情報を検出する検出手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報を、前記検出手段で検出した前記ブレード先端形状情報を用いて更新する更新手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報を前記RFIDタグに書き込むブレード情報書き込み手段と、
を備える、請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記ブレード情報は前記ブレードの使用履歴を示すブレード使用履歴情報を含み、
前記診断手段は、前記ブレード使用履歴情報に基づいて前記ブレードが使用可能であるか否かを診断する、
請求項1又は2に記載のダイシング装置。 - ワークとブレードとを相対的に移動させながら前記ワークを前記ブレードによって切削加工するダイシング方法であって、
前記ブレードに備えられたRFIDタグからブレード情報を読み取るブレード情報読み取り工程と、
前記ブレード情報読み取り工程によって読み取られた前記ブレード情報を記憶する記憶工程と、
前記記憶工程で記憶された前記ブレード情報に基づいて前記ワークと前記ブレードとの相対位置を制御しながら前記切削加工を行うダイシング工程と、
を備え、
前記ブレード情報は前記ブレードの先端形状を示すブレード先端形状情報を含み、
前記切削加工が行われる前に、前記ブレード先端形状情報に基づいて前記ブレードが使用可能であるか否かを診断する診断工程を備える、
ダイシング方法。 - 前記ブレードによって前記ワーク又はダミーワークに形成したカーフを撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で前記カーフを撮像した撮像画像に基づいて前記ブレード先端形状情報を検出する検出工程と、
前記記憶工程で記憶された前記ブレード情報を、前記検出工程で検出した前記ブレード先端形状情報を用いて更新する更新工程と、
前記記憶工程で記憶または前記更新工程で更新された前記ブレード情報を前記RFIDタグに書き込むブレード情報書き込み工程と、
を備える、請求項4に記載のダイシング方法。 - 前記ブレード情報は前記ブレードの使用履歴を示すブレード使用履歴情報を含み、
前記診断工程は、前記ブレード使用履歴情報に基づいて前記ブレードが使用可能であるか否かを診断する、
請求項4又は5に記載のダイシング方法。
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