JP6913879B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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Description
Claims (2)
- ワークとブレードとを相対的に移動させながら前記ワークを前記ブレードによって切削加工する加工部と、
前記ブレードに備えられたRFIDタグに前記ブレードの刃部の突出量を読み書き可能なリードライト手段と、
前記リードライト手段によって読み取られた前記突出量に基づいて前記加工部を制御するとともに、前記加工部による切削加工の終了時又は途中時に最新の前記突出量を前記リードライト手段を介して前記RFIDタグに書き込む制御手段と、
を備えるダイシング装置。 - 前記リードライト手段によって読み取られた前記突出量に基づいて、前記ブレードが使用可能であるか否かを判定する判定手段を更に備える、
請求項1に記載のダイシング装置。
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JP2021113525A Division JP7368424B2 (ja) | 2019-12-25 | 2021-07-08 | ダイシング装置 |
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