JP2017202616A - 構造体の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の面に複数の開口が形成された基板と、前記基板の前記第一の面上に形成され、前記開口の一部と連通する開口部が形成された蓋構造体と、を有する構造体の製造方法であって、ベースフィルム上に感光性樹脂組成物を含む層を形成した積層体を準備する工程と、前記基板の前記第一の面上に、前記第一の面と前記感光性樹脂組成物を含む層とが接するように、前記積層体を積層する工程と、前記感光性樹脂組成物を含む層に対して前記ベースフィルムを介してパターン露光し、前記感光性樹脂組成物を含む層に前記蓋構造体の前記開口部となるパターンを形成する工程とを有し、前記ベースフィルムは、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度が、散乱角度0度の光の強度の1/10万以下のベースフィルムである方法。
【選択図】図2
Description
本実施例では、図2(a)〜(h)に示される工程に従って、液体吐出ヘッドを作製した。まず、図2(a)に示されるように、エネルギー発生素子2を有する8インチのシリコンからなる基板1を準備した。
SP−172(商品名、アデカ製) 5質量部
A−187(商品名、東レ・ダウコーニング製) 5質量部
メチルイソブチルケトン 100質量部
その後、前記樹脂層に対して、マスクアライナーMPA600FA(商品名、キヤノン製)を用い、吐出口パターンが描かれたフォトマスクを介して、3000mJ/cm2の露光量で紫外線を照射した。そして、90℃で180秒PEBを行い、前記樹脂層を硬化させた。次に、メチルイソブチルケトンとキシレンとからなる溶液(メチルイソブチルケトン/キシレン=2/3(体積比))を用いて現像処理を行い、キシレンを用いてリンス処理を行うことで、吐出口4を有する流路形成部材7を形成した。
ベースフィルム9として、シクロオレフィンコポリマーを含む耐熱透明COCフィルム(Fフィルム) 50μm(商品名、グンゼ製)を用いた以外は、実施例1と同様にして液体吐出ヘッドを作製した。なお、GCMS−3Bを用いて測定した耐熱透明COCフィルム(Fフィルム)の、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度は、散乱角度0度の光の強度の1/410000倍であった(図3)。また、バートスキャンを用い、縦936.70μm、横703.78μmの画像から算出した耐熱透明COCフィルム(Fフィルム)の表面粗さSaは3.4nmであった。また、CA−X150を用いて測定した耐熱透明COCフィルム(Fフィルム)の接触角は100度であった。なお、耐熱透明COCフィルム(Fフィルム)には離型処理は施されていない。該液体吐出ヘッドについて、蓋構造体12の開口部13を評価したところ、パターン形状は良好であった(図4(a))。
ベースフィルム9として、ポリエチレンテレフタラートポリマーを含むピューレックスA−53 50μm(商品名、帝人デュポン製)を用いた以外は、実施例1と同様にして液体吐出ヘッドを作製した。なお、GCMS−3Bを用いて測定したピューレックスA−53の、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度は、散乱角度0度の光の強度の1/2600倍であった(図3)。また、バートスキャンを用い、縦936.70μm、横703.78μmの画像から算出したピューレックスA−53の表面粗さSaは36.0nmであった。また、CA−X150を用いて測定したピューレックスA−53の純水の接触角は110度であった。該液体吐出ヘッドについて、蓋構造体12の開口部13を評価したところ、部分的に開口すべきパターンに閉塞が確認された(図4(b))。
ベースフィルム9として、ポリエチレンテレフタラートポリマーを含むコスモシャインA4100 50μm(商品名、東洋紡製)を用いた以外は、実施例1と同様にして液体吐出ヘッドを作製した。なお、GCMS−3Bを用いて測定したコスモシャインA4100の、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度は、散乱角度0度の光の強度の1/21000倍であった(図3)。また、バートスキャンを用い、縦936.70μm、横703.78μmの画像から算出したコスモシャインA4100の表面粗さSaは1.1nmであった。また、CA−X150を用いて測定したコスモシャインA4100の純水の接触角は77度であった。なお、コスモシャインA4100には離型処理は施されていない。該液体吐出ヘッドについて、蓋構造体12の開口部13を評価したところ、部分的に開口すべきパターン形状に不良が確認された(図4(c))。
2 エネルギー発生素子
3 共通液室
4 吐出口
5 感光性樹脂組成物を含む層
6 供給路
7 流路形成部材
8 型材
9 ベースフィルム
10 マスク
11 露光
12 蓋構造体
13 開口部
14 流路
15 積層体
Claims (8)
- 第一の面に複数の開口が形成された基板と、前記基板の前記第一の面上に形成され、前記開口の一部と連通する開口部が形成された蓋構造体と、を有する構造体の製造方法であって、
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物を含む層を形成した積層体を準備する工程と、
前記基板の前記第一の面上に、前記第一の面と前記感光性樹脂組成物を含む層とが接するように、前記積層体を積層する工程と、
前記感光性樹脂組成物を含む層に対して前記ベースフィルムを介してパターン露光し、前記感光性樹脂組成物を含む層に前記蓋構造体の前記開口部となるパターンを形成する工程と、
をこの順に有し、
前記ベースフィルムは、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度が、散乱角度0度の光の強度の1/10万以下のベースフィルムであることを特徴とする構造体の製造方法。 - 前記ベースフィルムの表面粗さSaが10.0nm以下である請求項1に記載の構造体の製造方法。
- 前記ベースフィルムの純水の接触角が80度以上120度未満である請求項1又は2に記載の構造体の製造方法。
- 前記ベースフィルムは離型処理が施されていない請求項1から3のいずれか1項に記載の構造体の製造方法。
- 前記ベースフィルムに含まれるフィラーの量が3000質量ppm以下である請求項1から4のいずれか1項に記載の構造体の製造方法。
- 前記ベースフィルムが、シクロオレフィンポリマー及びシクロオレフィンコポリマーからなる群から選択される少なくとも一種を含む請求項1から5のいずれか1項に記載の構造体の製造方法。
- 前記感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である請求項1から6のいずれか1項に記載の構造体の製造方法。
- 第一の面に複数の開口が形成され、前記第一の面とは反対側の第二の面に液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が配置された基板と、
前記基板の前記第一の面上に形成され、前記開口の一部と連通する開口部が形成された蓋構造体と、
前記基板の前記第二の面上に形成され、液体を吐出する吐出口と、液体の流路とが形成された流路形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物を含む層を形成した積層体を準備する工程と、
前記基板の前記第一の面上に、前記第一の面と前記感光性樹脂組成物を含む層とが接するように、前記積層体を積層する工程と、
前記感光性樹脂組成物を含む層に対して前記ベースフィルムを介してパターン露光し、前記感光性樹脂組成物を含む層に前記蓋構造体の前記開口部となるパターンを形成する工程と、
をこの順に有し、
前記ベースフィルムは、波長400nmにおける、散乱角度10度以上において最大の散乱光強度が、散乱角度0度の光の強度の1/10万以下のベースフィルムであることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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