JP2017202606A - Polyimide film with resin, polyimide film including resin layer, laminate for printed wiring board, and method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide film with resin that has a surface roughness of a resin layer reduced, and has high adhesiveness on a metal thin film even with the reduced surface roughness of the resin layer, and also provide a polyimide film including a resin layer obtained by thermally hardening the polyimide film with resin, a laminate for printed wiring boards, and a method for manufacturing a printed wiring board.SOLUTION: A polyimide film with resin includes a resin composition containing (A) epoxy resin and (B) an active ester group-containing compound, and a polyimide film.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂付きポリイミドフィルム、樹脂層を備えたポリイミドフィルム、プリント配線板用積層体、及びプリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide film with a resin, a polyimide film provided with a resin layer, a laminate for a printed wiring board, and a method for producing a printed wiring board.

電子機器の小型化、軽量化及び多機能化が一段と進み、これに伴い、LSI及びチップ部品等の高集積化が進み、その形態も、多ピン化及び小型化へと急速に変化している。このため、電子部品の実装密度を向上するために、微細配線化に対応できるプリント配線板の開発が進められている。このようなプリント配線板としては、ガラスクロスを含まない絶縁樹脂をプリプレグの代わりに用い、必要な部分のみビアホールで接続しながら配線層を形成するビルドアップ方式のプリント配線板があり、軽量化、小型化及び微細化に適した手法として主流になりつつある。   As electronic devices become smaller, lighter, and more functional, LSIs and chip components are becoming more highly integrated, and their forms are rapidly changing to higher pins and smaller sizes. . For this reason, in order to improve the mounting density of electronic components, development of printed wiring boards that can cope with fine wiring has been underway. As such a printed wiring board, there is a build-up type printed wiring board that uses an insulating resin not containing a glass cloth instead of a prepreg, and forms a wiring layer while connecting only necessary portions with via holes. It is becoming mainstream as a method suitable for miniaturization and miniaturization.

このビルドアップ方式のプリント配線板は、まず、回路を有した基板上に樹脂層(絶縁樹脂層)を形成する。そして、該樹脂層を硬化した後、配線導体との接着強度を確保するために、樹脂層表面を酸化性の処理液に浸して粗化処理を行う。次いで、めっき前処理を行って無電解めっきする。さらに、レジストパターンを無電解めっき層上に形成し、電解めっきで厚付けした後、レジストパターンを剥離し、無電解めっき層を除去してプリント配線板とする。
しかしながら、配線の微細化に伴い、樹脂層表面を粗化して形成した樹脂層表面の凹凸が配線形成の歩留まり低下の原因となっている。この理由は、無電解金属めっき層が樹脂層表面の凹凸に食い込み、除去し難くなって配線ショートの原因となること、及び樹脂層表面の凹凸に起因してレジストパターンの形成精度が低下すること等が挙げられる。
In this build-up type printed wiring board, first, a resin layer (insulating resin layer) is formed on a substrate having a circuit. And after hardening this resin layer, in order to ensure the adhesive strength with a wiring conductor, the resin layer surface is immersed in an oxidizing treatment liquid, and a roughening process is performed. Next, electroless plating is performed by pre-plating treatment. Further, after forming a resist pattern on the electroless plating layer and thickening by electroplating, the resist pattern is peeled off, and the electroless plating layer is removed to obtain a printed wiring board.
However, with the miniaturization of the wiring, the unevenness on the surface of the resin layer formed by roughening the surface of the resin layer causes a decrease in the yield of wiring formation. This is because the electroless metal plating layer bites into the irregularities on the surface of the resin layer, making it difficult to remove and causing a wiring short, and the formation accuracy of the resist pattern is reduced due to the irregularities on the surface of the resin layer. Etc.

したがって、樹脂層表面の凹凸を小さくすることが微細配線化の実現に重要となるが、凹凸が小さくなると、樹脂層と無電解金属めっき層との接着強度が低下するため、該接着強度を向上させる必要がある。
これらの要求に対して、例えば、ポリフェニレンエーテル樹脂を用いた樹脂層に、酸素存在下で紫外線を照射し、導体層を設けた後、熱処理してから該導体層に回路を形成する、又は導体層に回路を形成してから熱処理する方法等が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
Therefore, reducing the unevenness on the surface of the resin layer is important for realizing fine wiring. However, if the unevenness is reduced, the adhesive strength between the resin layer and the electroless metal plating layer is lowered, so the adhesive strength is improved. It is necessary to let
In response to these requirements, for example, a resin layer using a polyphenylene ether resin is irradiated with ultraviolet rays in the presence of oxygen to provide a conductor layer, and then heat-treated before forming a circuit in the conductor layer, or a conductor A method of performing a heat treatment after forming a circuit in a layer has been proposed (for example, see Patent Document 1).

特開2004−214597号公報JP 2004-214597 A

特許文献1では、樹脂層の表面の凹凸を抑え、樹脂層と導体層の密着性を良好にすることを課題としている。しかし、特許文献1では歩留まり向上のために支持体をつけたまま硬化する手法が用いられているが、本発明者等の検討によると、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の支持体を用いた樹脂付き支持体を加熱すると、支持体からオリゴマー成分が析出して樹脂層と支持体との界面付近に存在し、樹脂層表面の凹凸が大きくなるという問題があることが判明した(図1参照)。
本発明は、こうした事情に鑑み、樹脂層の表面粗さを小さく抑制し、樹脂層の表面粗さが小さい状態でも、金属薄膜に対して高い接着性を有する樹脂付きポリイミドフィルムを提供すること、並びに、該樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理してなる樹脂層を備えたポリイミドフィルム、プリント配線板用積層体、及びプリント配線板の製造方法を提供することを課題とする。
In patent document 1, the unevenness | corrugation of the surface of a resin layer is suppressed, and it makes it the subject to make the adhesiveness of a resin layer and a conductor layer favorable. However, in Patent Document 1, a method of curing with a support attached is used to improve yield, but according to the study by the present inventors, a resin using a support such as polyethylene terephthalate (PET) is attached. It was found that when the support was heated, the oligomer component precipitated from the support and was present in the vicinity of the interface between the resin layer and the support, resulting in increased unevenness on the surface of the resin layer (see FIG. 1).
In view of such circumstances, the present invention suppresses the surface roughness of the resin layer to provide a polyimide film with a resin having high adhesion to a metal thin film even when the surface roughness of the resin layer is small. Another object of the present invention is to provide a polyimide film provided with a resin layer obtained by thermosetting the polyimide film with resin, a laminate for a printed wiring board, and a method for producing a printed wiring board.

本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究した結果、エポキシ樹脂と、活性型エステル基含有化合物とを含む樹脂組成物を用い、ポリイミドフィルムと組み合わせることで、上記の課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、係る知見に基づいて完成したものである。   As a result of earnest research to solve the above problems, the present inventors have solved the above problems by combining a polyimide film with a resin composition containing an epoxy resin and an active ester group-containing compound. The present invention has been found and the present invention has been completed. The present invention has been completed based on such knowledge.

本発明は下記[1]〜[9]に関する。
[1](A)エポキシ樹脂及び(B)活性型エステル基含有化合物を含有する樹脂組成物と、ポリイミドフィルムとを備える、樹脂付きポリイミドフィルム。
[2]前記(A)エポキシ樹脂が、炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位を有する、上記[1]に記載の樹脂付きポリイミドフィルム。
[3]前記樹脂組成物が、さらに無機充填材を含有する、上記[1]又は[2]に記載の樹脂付きポリイミドフィルム。
[4]前記(B)活性型エステル基含有化合物が下記一般式(V)で示される構造単位を有する芳香族エステル系化合物である、上記[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂付きポリイミドフィルム。

[5]上記[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理してなる、樹脂層を備えたポリイミドフィルムであって、該樹脂層におけるポリイミドフィルム側の面の表面粗さが0.1μm以下である、樹脂層を備えたポリイミドフィルム。
[6]基板材料と上記[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してなる、プリント配線板用積層体。
[7]下記工程を有する、プリント配線板の製造方法。
(1)基板材料と上記[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してプリント配線板用積層体を形成する工程。
(2)工程(1)で得たプリント配線板用積層体を加熱する工程。
(3)下記工程(3−i)、又は下記工程(3−i)及び(3−ii)を有する工程。
(3−i)工程(1)で得たプリント配線板用積層体からポリイミドフィルムを除去する工程。
(3−ii)工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体に紫外線を照射する工程。
(4)工程(3)で得たプリント配線板用積層体に回路パターンを形成する工程。
[8]前記工程(2)における加熱温度が160〜300℃である、上記[7]に記載のプリント配線板の製造方法。
[9]前記工程(3−ii)における紫外線の積算光量が2,000〜5,000mJ/cmである、上記[7]又は[8]に記載のプリント配線板の製造方法。
The present invention relates to the following [1] to [9].
[1] A resin-coated polyimide film comprising: (A) an epoxy resin and (B) a resin composition containing an active ester group-containing compound; and a polyimide film.
[2] The polyimide film with a resin according to the above [1], wherein the (A) epoxy resin has a structural unit derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms.
[3] The resin-coated polyimide film according to the above [1] or [2], wherein the resin composition further contains an inorganic filler.
[4] The resin according to any one of the above [1] to [3], wherein the (B) active ester group-containing compound is an aromatic ester compound having a structural unit represented by the following general formula (V): With polyimide film.

[5] A polyimide film provided with a resin layer obtained by heat-curing the resin-coated polyimide film according to any one of [1] to [4], wherein the polyimide film side surface of the resin layer is The polyimide film provided with the resin layer whose surface roughness is 0.1 micrometer or less.
[6] A laminate for a printed wiring board, which is formed by laminating a substrate material and a polyimide film with a resin according to any one of [1] to [4].
[7] A method for producing a printed wiring board, comprising the following steps.
(1) A step of laminating a substrate material and the polyimide film with resin according to any one of the above [1] to [4] to form a laminate for a printed wiring board.
(2) A step of heating the printed wiring board laminate obtained in step (1).
(3) A step having the following step (3-i) or the following steps (3-i) and (3-ii).
(3-i) The process of removing a polyimide film from the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (1).
(3-ii) A step of irradiating the laminate for a printed wiring board obtained in the step (3-i) with ultraviolet rays.
(4) A step of forming a circuit pattern on the printed wiring board laminate obtained in step (3).
[8] The method for producing a printed wiring board according to [7], wherein the heating temperature in the step (2) is 160 to 300 ° C.
[9] The method for producing a printed wiring board according to the above [7] or [8], wherein an integrated light amount of ultraviolet rays in the step (3-ii) is 2,000 to 5,000 mJ / cm 2 .

本発明により、樹脂層の表面粗さを小さく抑制し、樹脂層の表面粗さが小さい状態でも、金属薄膜に対して高い接着性を有する樹脂付きポリイミドフィルムを提供できる。さらに、該樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理してなる、樹脂層を備えたポリイミドフィルムと共にプリント配線板用積層体も提供でき、加えて、プリント配線板の製造方法も提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a polyimide film with a resin that suppresses the surface roughness of the resin layer to be small and has high adhesion to the metal thin film even in a state where the surface roughness of the resin layer is small. Furthermore, the laminated body for printed wiring boards can be provided with the polyimide film provided with the resin layer which heat-processes this polyimide film with resin, In addition, the manufacturing method of a printed wiring board can also be provided.

PETフィルムを180℃で60分加熱したときのフィルム表面の走査型電子顕微鏡写真図である。It is a scanning electron micrograph figure of the film surface when a PET film is heated at 180 degreeC for 60 minutes.

[樹脂付きポリイミドフィルム]
本発明の樹脂付きポリイミドフィルムは、(A)エポキシ樹脂及び(B)活性型エステル基含有化合物を含有する樹脂組成物と、ポリイミドフィルムとを備える。以下、樹脂組成物とポリイミドフィルムについて、順に詳細に説明する。
[Polyimide film with resin]
The polyimide film with resin of the present invention comprises (A) an epoxy resin and (B) a resin composition containing an active ester group-containing compound, and a polyimide film. Hereinafter, the resin composition and the polyimide film will be described in detail in order.

〔樹脂組成物〕
樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂(以下、「(A)成分」と呼ぶことがある)及び(B)活性型エステル基含有化合物(以下、「(B)成分」と呼ぶことがある)を含有する。以下、樹脂組成物が含有する各成分について順に説明する。
((A)成分:エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂である。耐熱性を向上させる観点からは、芳香族エポキシ樹脂であることが好ましい。
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、それぞれ、好ましくは50〜3,000g/eq、より好ましくは80〜2,000g/eq、さらに好ましくは100〜1,000g/eqである。ここで、エポキシ当量は、1当量のエポキシ基あたりの樹脂の質量(g/eq)であり、JIS K 7236(2001年)に規定された方法に従って測定することができる。具体的には、自動滴定装置「GT−200型」(株式会社三菱化学アナリテック製)を用いて、200mlビーカーにエポキシ樹脂2gを秤量し、メチルエチルケトン90mlを滴下し、超音波洗浄器溶解後、氷酢酸10ml及び臭化セチルトリメチルアンモニウム1.5gを添加し、0.1mol/Lの過塩素酸/酢酸溶液で滴定することにより求められる。
(Resin composition)
The resin composition comprises (A) an epoxy resin (hereinafter sometimes referred to as “(A) component”) and (B) an active ester group-containing compound (hereinafter sometimes referred to as “(B) component”). Containing. Hereinafter, each component which a resin composition contains is demonstrated in order.
((A) component: epoxy resin)
The epoxy resin is an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. From the viewpoint of improving heat resistance, an aromatic epoxy resin is preferable.
The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 to 3,000 g / eq, more preferably 80 to 2,000 g / eq, and still more preferably 100 to 1,000 g / eq. Here, the epoxy equivalent is the mass (g / eq) of resin per equivalent of epoxy groups, and can be measured according to the method defined in JIS K 7236 (2001). Specifically, using an automatic titration apparatus “GT-200 type” (manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.), 2 g of epoxy resin was weighed into a 200 ml beaker, 90 ml of methyl ethyl ketone was dropped, and after dissolving in an ultrasonic cleaner, It is determined by adding 10 ml of glacial acetic acid and 1.5 g of cetyltrimethylammonium bromide and titrating with a 0.1 mol / L perchloric acid / acetic acid solution.

エポキシ樹脂としては、例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールT型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、テトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェニル型エポキシ樹脂、テトラフェニル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフタレンジオールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、エチレン性不飽和基を骨格に有するエポキシ樹脂、脂環式型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種を単独で使用してもよいし、絶縁信頼性及び耐熱性の観点から、2種以上を併用してもよい。
エポキシ樹脂の市販品としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂である、「jER828EL」、「YL980」(以上、三菱化学株式会社製)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂である、「jER806H」、「YL983U」(以上、三菱化学株式会社製)等が挙げられる。
Examples of the epoxy resin include a cresol novolak type epoxy resin, a phenol novolak type epoxy resin, a naphthol novolak type epoxy resin, an aralkyl novolak type epoxy resin, a biphenyl novolak type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, and a bisphenol. S type epoxy resin, bisphenol T type epoxy resin, bisphenol Z type epoxy resin, tetrabromobisphenol A type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, tetramethylbiphenyl type epoxy resin, triphenyl type epoxy resin, tetraphenyl type epoxy resin, naphthol Aralkyl-type epoxy resin, Naphthalene all-aralkyl-type epoxy resin, Naphthol aralkyl-type epoxy resin, Fluorene-type epoxy resin Carboxymethyl resins, epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton, epoxy resins having an ethylenically unsaturated group in the backbone, the alicyclic type epoxy resins. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together from a viewpoint of insulation reliability and heat resistance.
Examples of commercially available epoxy resins include “jER828EL” and “YL980” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), which are bisphenol A type epoxy resins, and “jER806H” and “YL983U”, which are bisphenol F type epoxy resins. (Above, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

ここで、エポキシ樹脂としては、特に制限されるわけではないが、柔軟性を付与する観点からは、1分子中に2個以上のエポキシ基を有すると共に、炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位を有するエポキシ樹脂が好ましい。該炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位は、エポキシ樹脂の主鎖に有することが好ましい。また、柔軟性をより向上させる観点からは、炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位は、2個以上連続して繰り返していることが好ましい。
なお、「炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位を有する」とは、炭素数3以上のアルキレングリコールをモノマとして用いて得られたものであってもよいし、炭素数3以上のアルキレングリコール骨格を有する化合物を用いて得られたものであってもよい。
Here, the epoxy resin is not particularly limited, but from the viewpoint of imparting flexibility, it has two or more epoxy groups in one molecule and is derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms. Epoxy resins having structural units are preferred. The structural unit derived from the alkylene glycol having 3 or more carbon atoms is preferably included in the main chain of the epoxy resin. Further, from the viewpoint of further improving flexibility, it is preferable that two or more structural units derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms are continuously repeated.
Note that “having a structural unit derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms” may be obtained by using an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms as a monomer, or an alkylene having 3 or more carbon atoms. It may be obtained using a compound having a glycol skeleton.

炭素数3以上のアルキレングリコールとしては、炭素数4以上のアルキレングリコールが好ましい。該炭素数の上限は、限定されないが、15以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。エポキシ樹脂としては、例えば、炭素数4〜8のアルキレングリコールに由来する構造単位を主鎖に有するビスフェノールA型エポキシ樹脂が好ましく、ヘキサンジオールに由来する構造単位を主鎖に有するビスフェノールA型エポキシ樹脂がより好ましい。
炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位を主鎖に有するエポキシ樹脂の具体例として、例えば、下記一般式(I)で示されるビニルエーテル化合物と下記一般式(II)で示される2官能性フェノール化合物とを反応させて得られるエポキシ樹脂が挙げられる。より詳細には、下記一般式(I)で示されるビニルエーテル化合物と下記一般式(II)で示される2官能性フェノール化合物とを反応させた後、エピクロロヒドリン等のエピハロヒドリンによって末端をエポキシ化することによって製造できる。当該エポキシ樹脂は、HO[−R−O]n−H(R及びnは、一般式(I)中のものと同じである。)で表されるアルキレンジオールに由来する構造と、下記一般式(II)で示される2官能性フェノール化合物に由来する構造とを有するとも言える。
The alkylene glycol having 3 or more carbon atoms is preferably an alkylene glycol having 4 or more carbon atoms. The upper limit of the carbon number is not limited, but is preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and still more preferably 8 or less. As the epoxy resin, for example, a bisphenol A type epoxy resin having a structural unit derived from alkylene glycol having 4 to 8 carbon atoms in the main chain is preferable, and a bisphenol A type epoxy resin having a structural unit derived from hexanediol in the main chain. Is more preferable.
Specific examples of the epoxy resin having a structural unit derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms in the main chain include, for example, a vinyl ether compound represented by the following general formula (I) and a bifunctional compound represented by the following general formula (II). The epoxy resin obtained by making it react with a phenol compound is mentioned. More specifically, after reacting a vinyl ether compound represented by the following general formula (I) with a bifunctional phenol compound represented by the following general formula (II), the terminal is epoxidized with an epihalohydrin such as epichlorohydrin. Can be manufactured. The epoxy resin has a structure derived from an alkylene diol represented by HO [—R 1 —O] n—H (R 1 and n are the same as those in the general formula (I)), and It can also be said that it has a structure derived from a bifunctional phenol compound represented by the general formula (II).

一般式(I)中、Rは、炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基である。Rは、炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基を示し、好ましくは炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、より好ましくは炭素数1〜3の脂肪族炭化水素基である。また、nは1〜15の整数を表し、好ましくは1〜10の整数、より好ましくは1〜5の整数、さらに好ましくは1〜3の整数、特に好ましくは1である。
が示す炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチレン基、1,2−ジメチレン基、1,2−トリメチレン基、1,3−トリメチレン基、1,4−テトラメチレン基、1,5−ペンタメチレン基、1,6−ヘキサメチレン基、1,9−ノナメチレン基等の炭素数1〜10のアルキレン基などが挙げられる。該炭素数1〜10のアルキレン基としては、好ましくは炭素数2〜10のアルキレン基、より好ましくは炭素数2〜7のアルキレン基であり、さらに好ましくは1,6−ヘキサメチレン基である。
が示す炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチレン基、1,2−ジメチレン基、1,3−トリメチレン基、1,4−テトラメチレン基、1,5−ペンタメチレン基等の炭素数1〜10のアルキレン基;エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、イソブチリデン基、ペンチリデン基、イソペンチリデン基等の炭素数2〜10のアルキリデン基などが挙げられる。該炭素数1〜10のアルキレン基としては、好ましくは炭素数1〜5のアルキレン基、より好ましくは炭素数1〜3のアルキレン基である。該炭素数2〜10のアルキリデン基としては、好ましくは炭素数2〜5のアルキリデン基、より好ましくは炭素数2〜3のアルキリデン基、さらに好ましくはイソプロピリデン基である。Rとしては、炭素数2〜10のアルキリデン基が好ましく、より好ましいものは前述の通りである。
は、フェノールの4位で結合していることが好ましい。
一般式(I)で示す構造単位を有するエポキシ樹脂の市販品としては、例えば、「エピクロン EXA−4816」(DIC株式会社製、ビスフェノールAと長鎖脂肪族骨格を有するエポキシ樹脂)等が挙げられる。
In the general formula (I), R 1 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. R 2 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms. N represents an integer of 1 to 15, preferably an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 1 to 5, still more preferably an integer of 1 to 3, and particularly preferably 1.
Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 1 include a methylene group, a 1,2-dimethylene group, a 1,2-trimethylene group, a 1,3-trimethylene group, and a 1,4-tetramethylene group. And an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms such as 1,5-pentamethylene group, 1,6-hexamethylene group and 1,9-nonamethylene group. The alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferably an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 2 to 7 carbon atoms, and further preferably a 1,6-hexamethylene group.
Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 2 include a methylene group, a 1,2-dimethylene group, a 1,3-trimethylene group, a 1,4-tetramethylene group, and 1,5-penta. An alkylene group having 1 to 10 carbon atoms such as a methylene group; an alkylidene group having 2 to 10 carbon atoms such as an ethylidene group, a propylidene group, an isopropylidene group, a butylidene group, an isobutylidene group, a pentylidene group, and an isopentylidene group. . The alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferably an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms. The alkylidene group having 2 to 10 carbon atoms is preferably an alkylidene group having 2 to 5 carbon atoms, more preferably an alkylidene group having 2 to 3 carbon atoms, and further preferably an isopropylidene group. R 2 is preferably an alkylidene group having 2 to 10 carbon atoms, more preferably as described above.
R 2 is preferably bonded at the 4-position of phenol.
As a commercial item of the epoxy resin which has a structural unit shown by general formula (I), "Epiclon EXA-4816" (the DIC Corporation make, epoxy resin which has bisphenol A and a long-chain aliphatic skeleton) etc. are mentioned, for example. .

エポキシ樹脂としては、ビフェニル構造を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂であってもよい。ビフェニル構造を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂とは、分子中にビフェニル誘導体の芳香族環を含有したアラルキルノボラック型のエポキシ樹脂をいい、例えば、下記式(III)で示される構造単位を有するエポキシ樹脂が挙げられる。
The epoxy resin may be an aralkyl novolac type epoxy resin having a biphenyl structure. The aralkyl novolak type epoxy resin having a biphenyl structure refers to an aralkyl novolak type epoxy resin containing an aromatic ring of a biphenyl derivative in the molecule. For example, an epoxy resin having a structural unit represented by the following formula (III) Can be mentioned.

前記式(III)で示される構造単位を有するエポキシ樹脂の市販品としては、「NC−3000」(エポキシ当量=275g/eq)、「NC−3000H」(エポキシ当量=290g/eq、下記式(IV)参照)[以上、日本化薬株式会社製]が挙げられる。

(式(IV)中、pは、1〜5を示す。pは、好ましくは1.2〜5、より好ましくは1.4〜3である。)
Commercially available epoxy resins having the structural unit represented by the formula (III) include “NC-3000” (epoxy equivalent = 275 g / eq), “NC-3000H” (epoxy equivalent = 290 g / eq, the following formula ( See IV)) [Nippon Kayaku Co., Ltd.].

(In formula (IV), p represents 1 to 5. p is preferably 1.2 to 5, and more preferably 1.4 to 3.)

樹脂組成物において、(A)成分の含有量に特に制限はないが、密着性を高める観点から、樹脂組成物の全質量(全固形分)を基準として、30質量%以上が好ましく、40質量%以上がより好ましく、50質量%以上がさらに好ましい。また、レーザー加工性を高める観点から、樹脂組成物の全質量(全固形分)を基準として、85質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましく、75質量%以下がさらに好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in content of (A) component in a resin composition, From a viewpoint of improving adhesiveness, 30 mass% or more is preferable on the basis of the total mass (total solid content) of a resin composition, and 40 mass % Or more is more preferable, and 50 mass% or more is more preferable. Moreover, from a viewpoint of improving laser workability, 85 mass% or less is preferable on the basis of the total mass (total solid content) of a resin composition, 80 mass% or less is more preferable, 75 mass% or less is more preferable.

((B)成分:活性型エステル基含有化合物)
活性型エステル基含有化合物は、前記(A)成分の硬化剤として機能し得る。ここで、「活性型エステル基」とは、エポキシ樹脂と反応し得るエステル基を意味する。なお、該エステル基含有化合物は、後述する紫外線の照射によって分解し、その結果、金属薄膜との接着性の向上に寄与する。
活性型エステル基含有化合物としては、例えば、脂肪族カルボン酸又は芳香族カルボン酸と、脂肪族ヒドロキシ化合物又は芳香族ヒドロキシ化合物との反応によって得られるエステル化合物が挙げられる。
脂肪族カルボン酸と脂肪族ヒドロキシ化合物とから得られる脂肪族エステル化合物は、脂肪族鎖を含むことにより、有機溶剤への可溶性、及びエポキシ樹脂との相溶性が高くなる傾向にある。また、芳香族カルボン酸と芳香族ヒドロキシ化合物とから得られる芳香族エステル化合物は、芳香族環を有することで耐熱性が高くなる傾向にある。これらの中でも、後者の芳香族エステル化合物が好ましい。
前記芳香族カルボン酸としては、例えば、ベンゼン、ナフタレン、ビフェニル、ジフェニルプロパン、ジフェニルメタン、ジフェニルエーテル、ジフェニルスルホン酸等の芳香族化合物の水素原子の2〜4個をカルボキシル基で置換した芳香族カルボン酸が好ましい。前記芳香族ヒドロキシ化合物としては、前記芳香族化合物の水素原子の1個を水酸基で置換した1価フェノール、又は、前記芳香族化合物の水素原子の2〜4個を水酸基で置換した多価フェノールが好ましい。活性型エステル基含有化合物としては、該芳香族カルボン酸と該芳香族ヒドロキシ化合物との混合物を原材料として、芳香族カルボン酸とフェノール性水酸基との縮合反応にて得られる芳香族エステルが好ましくは使用される。
反り低減の観点から、活性型エステル基含有化合物としては、芳香族エステル系化合物が好ましく、両末端に置換されていてもよい芳香環を有するエステル基を含有することがより好ましい。例えば、下記一般式(V)で示される構造単位を有する芳香族エステル系化合物が好ましい。
((B) component: active ester group-containing compound)
The active ester group-containing compound can function as a curing agent for the component (A). Here, the “active ester group” means an ester group that can react with an epoxy resin. In addition, this ester group containing compound decomposes | disassembles by the ultraviolet irradiation mentioned later, As a result, it contributes to the improvement of adhesiveness with a metal thin film.
Examples of the active ester group-containing compound include ester compounds obtained by reacting aliphatic carboxylic acids or aromatic carboxylic acids with aliphatic hydroxy compounds or aromatic hydroxy compounds.
An aliphatic ester compound obtained from an aliphatic carboxylic acid and an aliphatic hydroxy compound tends to have high solubility in an organic solvent and compatibility with an epoxy resin by including an aliphatic chain. In addition, an aromatic ester compound obtained from an aromatic carboxylic acid and an aromatic hydroxy compound has an aromatic ring and tends to have high heat resistance. Among these, the latter aromatic ester compound is preferable.
Examples of the aromatic carboxylic acid include aromatic carboxylic acids in which 2 to 4 hydrogen atoms of an aromatic compound such as benzene, naphthalene, biphenyl, diphenylpropane, diphenylmethane, diphenyl ether, and diphenylsulfonic acid are substituted with a carboxyl group. preferable. Examples of the aromatic hydroxy compound include a monovalent phenol in which one of the hydrogen atoms of the aromatic compound is substituted with a hydroxyl group, or a polyhydric phenol in which 2 to 4 hydrogen atoms of the aromatic compound are substituted with a hydroxyl group. preferable. The active ester group-containing compound is preferably an aromatic ester obtained by a condensation reaction of an aromatic carboxylic acid and a phenolic hydroxyl group using a mixture of the aromatic carboxylic acid and the aromatic hydroxy compound as a raw material. Is done.
From the viewpoint of reducing warpage, the active ester group-containing compound is preferably an aromatic ester compound, and more preferably an ester group having an aromatic ring which may be substituted at both ends. For example, an aromatic ester compound having a structural unit represented by the following general formula (V) is preferable.

活性型エステル基含有化合物としては、市販品としても入手可能である。市販品としては、例えば、EXB−9451、EXB−9460、EXB−9460S、EXB−9480、EXB−9420(いずれもDIC株式会社製、商品名)、BPN80(三井化学株式会社製、商品名)等が挙げられる。
活性型エステル基含有化合物は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
The active ester group-containing compound is also available as a commercial product. As a commercial item, EXB-9451, EXB-9460, EXB-9460S, EXB-9480, EXB-9420 (all are the brand names made by DIC Corporation), BPN80 (the Mitsui Chemicals brand name, brand names) etc., for example. Is mentioned.
An active ester group containing compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

活性型エステル基含有化合物の含有量としては、活性型エステル基含有化合物が有するエステル基が、前記エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対して0.3〜1.5当量となる量が好ましく、0.3〜1.25当量となる量より好ましく、0.5〜0.9当量となる量がさらに好ましい。この範囲内であると、耐熱性及びガラス転移温度がより良好となる傾向にある。   The content of the active ester group-containing compound is preferably such that the ester group of the active ester group-containing compound is 0.3 to 1.5 equivalents relative to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. More preferred is an amount of 3 to 1.25 equivalents, and even more preferred is an amount of 0.5 to 0.9 equivalents. Within this range, the heat resistance and glass transition temperature tend to be better.

(その他の成分)
樹脂組成物は、さらに、前記(A)成分及び(B)成分に該当しないその他の成分を含有していてもよい。他の成分としては、例えば、硬化剤[前記(B)成分以外]、硬化促進剤、無機充填材、有機充填材、レベリング剤、酸化防止剤、難燃剤、揺変性付与剤、増粘剤、チキソ性付与剤、界面活性剤、カップリング剤等が挙げられ、これらから選択される少なくとも1つを含有することが好ましい。
(Other ingredients)
The resin composition may further contain other components not corresponding to the components (A) and (B). Examples of other components include a curing agent [other than the component (B)], a curing accelerator, an inorganic filler, an organic filler, a leveling agent, an antioxidant, a flame retardant, a thixotropic agent, a thickener, Examples include thixotropic agents, surfactants, coupling agents, and the like, and it is preferable to contain at least one selected from these.

(硬化剤)
硬化剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、酸無水物系硬化剤等のエポキシ樹脂用硬化剤が挙げられる。硬化剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(Curing agent)
Examples of the curing agent include epoxy resin curing agents such as phenol-based curing agents, cyanate ester-based curing agents, and acid anhydride-based curing agents. A hardening | curing agent may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

フェノール系硬化剤としては、特に制限されないが、例えば、クレゾールノボラック型硬化剤、ビフェニル型硬化剤、フェノールノボラック型硬化剤、ナフチレンエーテル型硬化剤、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤等が好ましく挙げられる。
フェノール系硬化剤の市販品としては、例えば、KA−1160、KA−1163、KA−1165(いずれもDIC株式会社製、商品名)等のクレゾールノボラック型硬化剤;MEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(いずれも明和化成株式会社製、商品名)等のビフェニル型硬化剤;TD2090(DIC株式会社製、商品名)等のフェノールノボラック型硬化剤;EXB−6000(DIC株式会社製、商品名)等のナフチレンエーテル型硬化剤;LA3018、LA7052、LA7054、LA1356(いずれもDIC株式会社製、商品名)等のトリアジン骨格含有フェノール系硬化剤などが挙げられる。
Although it does not restrict | limit especially as a phenol type hardening | curing agent, For example, a cresol novolak type hardening | curing agent, a biphenyl type hardening | curing agent, a phenol novolak type hardening | curing agent, a naphthylene ether type hardening | curing agent, a triazine skeleton containing phenol type hardening | curing agent etc. are mentioned preferably. .
Examples of commercially available phenolic curing agents include cresol novolac type curing agents such as KA-1160, KA-1163, and KA-1165 (all manufactured by DIC Corporation, trade names); MEH-7700, MEH-7810, Biphenyl type curing agents such as MEH-7851 (both made by Meiwa Kasei Co., Ltd., trade name); phenol novolac type curing agents such as TD2090 (made by DIC, trade name); EXB-6000 (made by DIC Corporation, product) Naphthylene ether type curing agents such as LA3018, LA7052, LA7054, and LA1356 (all manufactured by DIC Corporation, trade names) and the like.

シアネートエステル系硬化剤としては、特に制限はないが、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、ビス(4−シアネートフェニル)エーテル等が挙げられる。
酸無水物系硬化剤としては、特に制限はないが、例えば、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等が挙げられる。
The cyanate ester curing agent is not particularly limited, and examples thereof include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl). Cyanate), 4,4′-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate) -3,5-dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, bis (4-cyanatephenyl) ether and the like. It is done.
The acid anhydride curing agent is not particularly limited. For example, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, Hydrogenated methyl nadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid Anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, etc. are mentioned.

(硬化促進剤)
硬化促進剤としては、エポキシ樹脂の硬化に用いられる一般的な硬化促進剤を使用することができる。硬化促進剤としては、例えば、例えば、イミダゾール化合物及びその誘導体;リン系化合物;第3級アミン化合物;第4級アンモニウム化合物等が挙げられる。硬化反応促進の観点から、イミダゾール化合物及びその誘導体が好ましい。
イミダゾール化合物及びその誘導体の具体例としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−1−メチルイミダゾール、1,2−ジエチルイミダゾール、1−エチル−2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、4−エチル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2'−メチルイミダゾリル−(1’)]エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2'−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2'−エチル−4'−メチルイミダゾリル−(1’)]エチル−s−トリアジン等のイミダゾール化合物;1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート等の、前記イミダゾール化合物とトリメリト酸との塩;前記イミダゾール化合物とイソシアヌル酸との塩;前記イミダゾール化合物と臭化水素酸との塩などが挙げられる。イミダゾール化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(Curing accelerator)
As a hardening accelerator, the general hardening accelerator used for hardening of an epoxy resin can be used. Examples of the curing accelerator include imidazole compounds and derivatives thereof; phosphorus compounds; tertiary amine compounds; quaternary ammonium compounds and the like. From the viewpoint of promoting the curing reaction, imidazole compounds and derivatives thereof are preferred.
Specific examples of the imidazole compound and derivatives thereof include, for example, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl. -1-methylimidazole, 1,2-diethylimidazole, 1-ethyl-2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 4-ethyl-2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1 -Benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 2- Phenyl- , 5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 2,4-diamino-6- [2 '-Methylimidazolyl- (1')] ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ')] ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 An imidazole compound such as [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)] ethyl-s-triazine; the imidazole compound such as 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate and trimellitic acid; A salt of the imidazole compound and isocyanuric acid; a salt of the imidazole compound and hydrobromic acid, and the like. An imidazole compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(無機充填材)
無機充填材により、熱膨張率の低減及び塗膜強度を向上させることができる。
無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、マイカ、カオリン、ベーマイト、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ホウ酸アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、ホウ酸亜鉛、スズ酸亜鉛、酸化亜鉛、酸化チタン、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素、焼成クレー等のクレー、ガラス短繊維、ガラス粉及び中空ガラスビーズ等が挙げられ、これらからなる群から選択される少なくとも1種が好ましく使用される。ガラスとしては、Eガラス、Tガラス、Dガラス等が好ましく挙げられる。これらの中でも、熱膨張率の低減、比誘電率及び誘電正接の低減の観点から、シリカ、アルミナが好ましく、シリカがより好ましい。
前記シリカとしては、例えば、湿式法で製造され含水率の高い沈降シリカと、乾式法で製造され結合水等をほとんど含まない乾式法シリカが挙げられる。乾式法シリカとしては、さらに、製造法の違いにより破砕シリカ、フュームドシリカ、溶融シリカ(溶融球状シリカ)が挙げられ、これらの中でも、フュームドシリカが好ましい。
無機充填材は、耐湿性を向上させるためにシランカップリング剤等の表面処理剤で表面処理されていてもよく、分散性を向上させるために疎水性化処理されていてもよい。
(Inorganic filler)
The inorganic filler can reduce the coefficient of thermal expansion and improve the coating strength.
Examples of inorganic fillers include silica, alumina, barium sulfate, talc, mica, kaolin, boehmite, beryllia, barium titanate, potassium titanate, strontium titanate, calcium titanate, aluminum carbonate, magnesium hydroxide, hydroxide Clays such as aluminum, aluminum borate, aluminum silicate, calcium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, zinc borate, zinc stannate, zinc oxide, titanium oxide, silicon carbide, silicon nitride, boron nitride, calcined clay, Examples thereof include short glass fibers, glass powder, and hollow glass beads, and at least one selected from the group consisting of these is preferably used. Preferred examples of the glass include E glass, T glass, and D glass. Among these, silica and alumina are preferable and silica is more preferable from the viewpoints of reduction of thermal expansion coefficient, relative dielectric constant, and dielectric loss tangent.
Examples of the silica include precipitated silica produced by a wet method and having a high water content, and dry method silica produced by a dry method and containing almost no bound water or the like. Examples of the dry silica include crushed silica, fumed silica, and fused silica (fused spherical silica) depending on the production method. Among these, fumed silica is preferable.
The inorganic filler may be surface-treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent in order to improve moisture resistance, or may be hydrophobized to improve dispersibility.

無機充填材は、目的に応じて適宜選択できる。樹脂層上に微細配線を形成し易くする観点から、無機充填材の比表面積は、好ましくは20m/g以上、より好ましくは30〜250m/g、さらに好ましくは50〜200m/g、特に好ましくは60〜160m/gである。無機充填材の比表面積は、当業者が通常行う測定方法で求めることができ、例えば、BET法により測定することができる。BET法は、粉体粒子表面に、吸着占有面積の分かった分子を液体窒素の温度で吸着させ、その量から試料の比表面積を求める方法である。比表面積分析で、最もよく利用されているのが、窒素等の不活性気体によるBET法である。 The inorganic filler can be appropriately selected depending on the purpose. From the viewpoint of facilitating the formation of fine wiring on the resin layer, the specific surface area of the inorganic filler is preferably 20 m 2 / g or more, more preferably 30 to 250 m 2 / g, still more preferably 50 to 200 m 2 / g, Most preferably, it is 60-160 m < 2 > / g. The specific surface area of the inorganic filler can be determined by a measurement method usually performed by those skilled in the art, and can be measured, for example, by the BET method. The BET method is a method in which molecules having a known adsorption occupation area are adsorbed on the surface of powder particles at the temperature of liquid nitrogen, and the specific surface area of the sample is obtained from the amount. In the specific surface area analysis, the BET method using an inert gas such as nitrogen is most often used.

めっきプロセスにおける粗化処理後の表面形状を小さくする観点から、例えば、無機充填材の平均一次粒子径は100nm以下であることが好ましく、より好ましくは1〜80nm、さらに好ましくは1〜50nm、さらに好ましくは5〜30nmである。ここで、「平均一次粒子径」とは、凝集した粒子の平均径、つまり二次粒子径ではなく、凝集していない単体での平均粒子径を指す。当該一次平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布計で測定して求めることができる。また、該平均一次粒子径は、粒子の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めた時、ちょうど体積50%に相当する点の粒子径である。
平均一次粒子径が100nm以下の無機充填材の市販品としては、例えば、AEROSIL R972(比表面積=110±20m/g、平均一次粒子径≒16nm、カタログ値)、AEROSIL R202(比表面積=100±20m/g、平均一次粒子径≒14nm、カタログ値)[以上、日本アエロジル株式会社製、商品名];PL−1(比表面積=181m/g、平均一次粒子径=15nm、カタログ値)及びPL−7(比表面積=36m/g、平均一次粒子径=75nm、カタログ値)[以上、扶桑化学工業株式会社製、商品名];AL−A06(比表面積=55m/g、カタログ値)[CIKナノテック株式会社製、商品名];「SO−C1」(球状シリカ、比表面積=17m/g、カタログ値)[株式会社アドマテックス製、商品名]等がある。
From the viewpoint of reducing the surface shape after the roughening treatment in the plating process, for example, the average primary particle diameter of the inorganic filler is preferably 100 nm or less, more preferably 1 to 80 nm, still more preferably 1 to 50 nm, Preferably it is 5-30 nm. Here, the “average primary particle diameter” refers to the average diameter of aggregated particles, that is, the average particle diameter of a single substance that is not aggregated, not the secondary particle diameter. The primary average particle diameter can be determined by measuring with a laser diffraction particle size distribution meter. The average primary particle size is the particle size at a point corresponding to a volume of 50% when a cumulative frequency distribution curve based on the particle size is obtained with the total particle volume as 100%.
Commercially available inorganic fillers having an average primary particle diameter of 100 nm or less include, for example, AEROSIL R972 (specific surface area = 110 ± 20 m 2 / g, average primary particle diameter≈16 nm, catalog value), AEROSIL R202 (specific surface area = 100 ± 20 m 2 / g, average primary particle size ≈ 14 nm, catalog value) [above, Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name]; PL-1 (specific surface area = 181 m 2 / g, average primary particle size = 15 nm, catalog value) ) And PL-7 (specific surface area = 36 m 2 / g, average primary particle size = 75 nm, catalog value) [above, manufactured by Fuso Chemical Industries, Ltd., trade name]; AL-A06 (specific surface area = 55 m 2 / g, catalog value) [CIK Nanotech Co., Ltd., trade name; "SO-C1" (spherical silica, specific surface area = 17m 2 / g, catalog value) Ltd. De Matex made, there is a trade name], and the like.

樹脂層が無機充填材を含有してなるものである場合、その含有量としては、樹脂層の形成に用いる全成分中(但し、有機溶剤は除く。)、1〜35質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜15質量%がさらに好ましい。無機充填材の含有量が1質量%以上であると、熱膨張率が低くなる傾向にあり、一方、35質量%以下であると、樹脂層を内層回路に形成する際の樹脂フローが充分となり、未充填箇所が発生し難くなる傾向にある。   When the resin layer contains an inorganic filler, the content thereof is preferably 1 to 35% by mass in all components used for forming the resin layer (excluding the organic solvent). -30 mass% is more preferable, and 1-15 mass% is further more preferable. If the content of the inorganic filler is 1% by mass or more, the coefficient of thermal expansion tends to be low. On the other hand, if the content is 35% by mass or less, the resin flow becomes sufficient when the resin layer is formed in the inner layer circuit. There is a tendency that unfilled portions are less likely to occur.

(有機溶剤)
取り扱いを容易にする観点から、樹脂組成物へさらに有機溶剤を含有させてもよい。本明細書では、有機溶剤を含有する樹脂組成物を、樹脂ワニスと称することがある。
該有機溶剤としては、特に制限されないが、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶剤;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル系溶剤;テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶剤;ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等の窒素原子含有溶剤;ジメチルスルホキシド等の硫黄原子含有溶剤などが挙げられる。これらの中でも、溶解性及び塗布後の外観の観点から、ケトン系溶剤が好ましく、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンがより好ましく、メチルエチルケトンがさらに好ましい。
有機溶剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(Organic solvent)
From the viewpoint of facilitating handling, the resin composition may further contain an organic solvent. In this specification, the resin composition containing an organic solvent may be referred to as a resin varnish.
Examples of the organic solvent include, but are not limited to, alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, and propylene glycol monomethyl ether; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone. Ester solvents such as butyl acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; ether solvents such as tetrahydrofuran; aromatic solvents such as toluene, xylene and mesitylene; dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, etc. Nitrogen atom-containing solvents; sulfur atom-containing solvents such as dimethyl sulfoxide. Among these, from the viewpoint of solubility and appearance after coating, a ketone solvent is preferable, acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone are more preferable, and methyl ethyl ketone is more preferable.
An organic solvent may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

有機溶剤の含有量は、樹脂層を形成する設備に合わせて適宜調整されるが、例えば、樹脂組成物の固形分が好ましくは20〜70質量%、より好ましくは40〜70質量%となるように有機溶剤の使用量を調節する。   The content of the organic solvent is appropriately adjusted according to the equipment for forming the resin layer. For example, the solid content of the resin composition is preferably 20 to 70% by mass, more preferably 40 to 70% by mass. Adjust the amount of organic solvent used.

(樹脂組成物の調製方法)
前記樹脂組成物の調製方法に特に制限はなく、従来公知の調製方法を採用できる。
例えば、前記溶媒中に、(A)エポキシ樹脂、(B)活性型エステル基含有化合物、及び必要に応じてその他の成分を加えた後、各種混合機を用いて混合・攪拌することにより、ワニスとして調製することができる。混合機としては、例えば、超音波分散方式、高圧衝突式分散方式、高速回転分散方式、ビーズミル方式、高速せん断分散方式及び自転公転式分散方式等の混合機が挙げられる。
(Method for preparing resin composition)
There is no restriction | limiting in particular in the preparation method of the said resin composition, A conventionally well-known preparation method is employable.
For example, (A) an epoxy resin, (B) an active ester group-containing compound, and other components as necessary are added to the solvent, and then mixed and stirred using various mixers to obtain a varnish. Can be prepared as Examples of the mixer include an ultrasonic dispersion method, a high-pressure collision dispersion method, a high-speed rotation dispersion method, a bead mill method, a high-speed shear dispersion method, and a rotation and revolution dispersion method.

以上のようにして得られる樹脂組成物は、例えば、めっきプロセス用樹脂層の材料として有用である。例えば、後述するように、基板材料上に該樹脂組成物の硬化物からなる樹脂層を配置し、当該樹脂層上に導体層をめっきで形成することでプリント配線板を得ることができる。該樹脂組成物から得られる樹脂層は、例えば微細配線を形成した配線板を製造するために好適に用いることができる。具体的には、ラインアンドスペース(L/S)が10μm/10μm以下の配線を形成するために好適に用いることができる。   The resin composition obtained as described above is useful as a material for a resin layer for plating process, for example. For example, as described later, a printed wiring board can be obtained by arranging a resin layer made of a cured product of the resin composition on a substrate material and forming a conductor layer on the resin layer by plating. The resin layer obtained from the resin composition can be suitably used, for example, for producing a wiring board on which fine wiring is formed. Specifically, it can be suitably used to form a wiring having a line and space (L / S) of 10 μm / 10 μm or less.

〔ポリイミドフィルム〕
本発明では、樹脂層の表面粗さを小さくするために、支持体としてポリイミドフィルムを用いる。ポリイミドフィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等の他の成分のフィルムと比べて耐熱性が高いため、フィルム中の成分の析出が抑制され、樹脂層の表面粗さが大きくなることを抑制できる。
ポリイミドフィルムとしては、適度な強度を有し、ポリイミドフィルムを剥離する際に破れ等を引き起こさないものが好ましい。例えば、フィルム強度の観点からは、芳香族化合物が直接イミド結合で連結された芳香族ポリイミドが好ましい。
ポリイミドフィルムとしては市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、ネオプリム(ポリイミドフィルム、三菱ガス化学株式会社製、商品名)、ユーピレックスR、ユーピレックスS、ユーピレックスSGA(以上、宇部興産株式会社製、商品名)、カプトンH、カプトンV、カプトンE、カプトンEN、カプトンENZT(以上、東レ・デュポン株式会社製、商品名)、アピカルAH、アピカルNPI(以上、株式会社カネカ製、商品名)等が挙げられる。
[Polyimide film]
In the present invention, a polyimide film is used as the support in order to reduce the surface roughness of the resin layer. Since the polyimide film has high heat resistance as compared with other component films such as a polyethylene terephthalate (PET) film, for example, precipitation of components in the film can be suppressed, and increase in the surface roughness of the resin layer can be suppressed. .
As a polyimide film, what has moderate intensity | strength and does not cause a tear etc. when peeling a polyimide film is preferable. For example, from the viewpoint of film strength, an aromatic polyimide in which aromatic compounds are directly connected by an imide bond is preferable.
A commercially available product may be used as the polyimide film. Examples of commercially available products include Neoprim (polyimide film, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name), Upilex R, Upilex S, Upilex SGA (above, Ube Industries, Ltd., trade name), Kapton H, Kapton V, Kapton E, Kapton EN, Kapton ENZT (above, product name manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.), Apical AH, Apical NPI (above, product name manufactured by Kaneka Co., Ltd.), and the like.

ポリイミドフィルムの厚みは、目的により適宜選択されるが、フィルムの追従性と剥離性との観点から、例えば、10μm〜150μmが好ましく、10μm〜50μmがより好ましい。
ポリイミドフィルムの表面粗さ(Ra)は、剥離した後の被成形体ないし被積層体の平坦性を良好なものとする観点から、例えば、好ましくは0.2μm以下、より好ましくは0.1μm以下、さらに好ましくは0.08μm以下である。なお、ここでいう「ポリイミドフィルムの表面粗さ」は、樹脂層が形成される側の面の表面粗さを示す。
Although the thickness of a polyimide film is suitably selected according to the objective, 10 micrometers-150 micrometers are preferable from a viewpoint of the followable | trackability and peelability of a film, for example, and 10 micrometers-50 micrometers are more preferable.
The surface roughness (Ra) of the polyimide film is, for example, preferably 0.2 μm or less, more preferably 0.1 μm or less from the viewpoint of improving the flatness of the molded body or laminated body after peeling. More preferably, it is 0.08 μm or less. Here, “surface roughness of the polyimide film” indicates the surface roughness of the surface on which the resin layer is formed.

ポリイミドフィルムは、高温域で熱溶融しない強度を有することから、例えば、150〜300℃で用いることも可能である。また、当該範囲で明瞭なガラス転移温度を示さず、さらには貯蔵弾性率(10Hz)が1GPaを超えることが好ましい。   Since a polyimide film has the intensity | strength which does not heat-melt in a high temperature range, it is also possible to use it at 150-300 degreeC, for example. Moreover, it does not show clear glass transition temperature in the said range, Furthermore, it is preferable that a storage elastic modulus (10 Hz) exceeds 1 GPa.

ポリイミドフィルムは、樹脂層との剥離を容易にする観点から、適宜、離型剤処理を施してもよい。該離型剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、アルキド系樹脂等が挙げられる。また、必要に応じて、離型剤へ、易滑剤、帯電防止剤等を添加することも可能である。熱プレス工程では静電気が頻繁に発生するため、帯電防止剤を添加することが好ましい。また、離型層を形成していない面へ帯電防止剤を塗布することによって帯電防止層を形成してもよい。   The polyimide film may be appropriately treated with a release agent from the viewpoint of facilitating peeling from the resin layer. Examples of the releasing agent include silicone resins, fluorine resins, polyolefin resins, alkyd resins, and the like. Further, if necessary, an easy lubricant, an antistatic agent and the like can be added to the release agent. Since static electricity frequently occurs in the hot pressing process, it is preferable to add an antistatic agent. Moreover, you may form an antistatic layer by apply | coating an antistatic agent to the surface in which the mold release layer is not formed.

離型剤は、用途によって、材料を適宜選択可能である。一つの例としては、価格ならび焼却時に有害なガスが発生しない点からシリコーン系樹脂が好ましく、さらに表面張力も調整し易く、フィルム全体に薄い膜を形成することに適するシリコーン系化合物が好ましい。
また、離型剤としては、さらに、離型剤の成分が熱プレス工程時に被成形体ないし被積層体に移行し、剥離性に悪影響を与えることが少ない、熱硬化型のシリコーン樹脂が好ましい。熱硬化型のシリコーン樹脂としては、例えば、シリコーン含有アミノアルキド樹脂等が挙げられる。
離型層の厚さは0.01〜10μmの範囲が好ましく、0.02〜5μmの範囲がより好ましい。この層の厚さが0.01〜10μmの範囲にあることで均一な層が得られやすくなり剥離性が向上する。また、離型剤の成分が熱板プレス後に接着層へ移行することを抑制し、剥離性に悪影響を与えることが抑えられる。さらに被成形体ないし被積層体への離型剤成分の移行による被成形体ないし被積層体の耐熱性の低下を抑えることができる。
ポリイミドフィルム上に離型層を形成する方法としては、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクターコーターあるいはこれら以外の塗布装置を用いて、フィルムに塗布する方法がある。
The material for the release agent can be appropriately selected depending on the application. As an example, a silicone resin is preferable because it does not generate harmful gas at the price and incineration, and a silicone compound that can easily adjust the surface tension and is suitable for forming a thin film on the entire film is preferable.
Further, as the release agent, a thermosetting silicone resin in which the components of the release agent are transferred to the molded body or the laminated body during the hot press process and hardly adversely affect the peelability is preferable. Examples of the thermosetting silicone resin include a silicone-containing aminoalkyd resin.
The thickness of the release layer is preferably in the range of 0.01 to 10 μm, and more preferably in the range of 0.02 to 5 μm. When the thickness of this layer is in the range of 0.01 to 10 μm, a uniform layer is easily obtained, and the peelability is improved. Moreover, it can suppress that the component of a mold release agent transfers to an contact bonding layer after hot-plate press, and suppresses a bad influence on peelability. Furthermore, it is possible to suppress a decrease in heat resistance of the molded body or the laminated body due to the transfer of the release agent component to the molded body or the laminated body.
As a method for forming a release layer on a polyimide film, there is a method of applying to a film using a reverse roll coater, a gravure coater, a rod coater, an air doctor coater or other coating devices.

(樹脂付きポリイミドフィルムの製造方法)
本発明の樹脂付きポリイミドフィルムは、例えば、前記樹脂組成物をポリイミドフィルム上に塗布した後、乾燥させ、前記樹脂組成物をBステージ化することで製造できる。より具体的には、有機溶剤を含有する樹脂組成物(樹脂ワニスとも称する。)をポリイミドフィルム上に塗工した後、例えば80〜150℃で1〜10分間乾燥処理することによって製造できる。
樹脂組成物を塗布する方法に特に制限は無いが、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、コンマコーター、リバースコーター、エアドクターコーター、リップコーター等を用いる方法が挙げられる。
乾燥処理の温度が80℃以上であり且つ乾燥処理の時間が1分以上であれば、Bステージ化した樹脂層内にボイドが発生することを効果的に抑制できる傾向にある。また、乾燥処理の温度が150℃以下であり且つ乾燥処理の時間が10分以下であれば、乾燥が進み過ぎることに起因する樹脂フロー量の低下をより抑制できる傾向にある。
なお、Bステージ化した樹脂組成物は、乾燥により、樹脂ワニス中の有機溶剤が揮散した状態であり、後述する硬化処理を行っていない未硬化の状態である。
上記乾燥後の樹脂組成物の層の厚みは、好ましくは1〜60μm、より好ましくは1〜20μm、さらに好ましくは1〜10μm、特に好ましくは2〜6μmである。該厚みが0.5μm以上であれば、金属薄膜との接着性を向上し易くなると共に、絶縁性を確保し易い傾向にある。該厚みが60μm以下であれば、製造コストを低く抑えられる傾向にある。
(Manufacturing method of polyimide film with resin)
The polyimide film with a resin of the present invention can be produced, for example, by applying the resin composition on a polyimide film and then drying it to make the resin composition into a B-stage. More specifically, after coating a resin composition containing an organic solvent (also referred to as a resin varnish) on a polyimide film, it can be produced, for example, by drying at 80 to 150 ° C. for 1 to 10 minutes.
Although there is no restriction | limiting in particular in the method of apply | coating a resin composition, For example, the method of using a die coater, a gravure coater, a comma coater, a reverse coater, an air doctor coater, a lip coater etc. is mentioned.
If the temperature of the drying treatment is 80 ° C. or more and the drying treatment time is 1 minute or more, it tends to be able to effectively suppress the generation of voids in the B-staged resin layer. In addition, if the temperature of the drying process is 150 ° C. or less and the time of the drying process is 10 minutes or less, a decrease in the resin flow amount due to excessive drying tends to be further suppressed.
In addition, the B-staged resin composition is in a state where the organic solvent in the resin varnish has been volatilized by drying, and is in an uncured state where the curing treatment described later is not performed.
The thickness of the layer of the resin composition after drying is preferably 1 to 60 μm, more preferably 1 to 20 μm, still more preferably 1 to 10 μm, and particularly preferably 2 to 6 μm. When the thickness is 0.5 μm or more, the adhesion to the metal thin film is likely to be improved, and the insulating property tends to be ensured. If the thickness is 60 μm or less, the manufacturing cost tends to be kept low.

[樹脂層を備えたポリイミドフィルム]
本発明は、前記樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理してなる、樹脂層を備えたポリイミドフィルムであって、該樹脂層におけるポリイミドフィルム側の面の表面粗さが0.1μm以下である、樹脂層を備えたポリイミドフィルムも提供する。
つまり、樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理することにより、前記樹脂組成物が硬化され、樹脂層が形成される。該樹脂層は、表面粗さが小さい状態であっても、無電解めっきにより形成される導体層(金属薄膜)との高い接着性を示す。
なお、熱硬化処理条件に特に制限は無いが、例えば、好ましくは160〜300℃、より好ましくは160〜230℃、さらに好ましくは160〜200℃で、好ましくは15〜180分加熱して硬化させる。特に、180℃で60分加熱して硬化させて得られた樹脂層の前記表面粗さが0.1μm以下であることが好ましい。
[Polyimide film with resin layer]
The present invention is a polyimide film having a resin layer formed by thermosetting the polyimide film with resin, wherein the resin layer has a surface roughness of 0.1 μm or less on the polyimide film side surface. A polyimide film with a layer is also provided.
That is, the resin composition is cured and a resin layer is formed by thermosetting the polyimide film with resin. The resin layer exhibits high adhesion to a conductor layer (metal thin film) formed by electroless plating even when the surface roughness is small.
In addition, although there is no restriction | limiting in particular in thermosetting processing conditions, For example, Preferably it is 160-300 degreeC, More preferably, it is 160-230 degreeC, More preferably, it is 160-200 degreeC, Preferably it is made to heat for 15 to 180 minutes, and is hardened. . In particular, the surface roughness of the resin layer obtained by heating and curing at 180 ° C. for 60 minutes is preferably 0.1 μm or less.

[プリント配線板用積層体]
本発明は、基板材料と前記樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してなるプリント配線板用積層体も提供する。好ましくは、樹脂付きポリイミドフィルムの樹脂組成物側と基板材料とが対向するように積層したプリント配線板用積層体である。
基板材料としては、例えば、回路を有する絶縁基板(回路付き絶縁基板)、絶縁体である基材(絶縁基材)等が挙げられる。また、基板材料は、例えば、回路付き絶縁基板に絶縁基材を積層した積層体等の、多層配線板の製造に用いられる積層体であってもよい。
[Laminated body for printed wiring board]
This invention also provides the laminated body for printed wiring boards formed by carrying out lamination molding of the board | substrate material and the said polyimide film with resin. Preferably, it is a laminate for a printed wiring board laminated so that the resin composition side of the polyimide film with resin and the substrate material face each other.
Examples of the substrate material include an insulating substrate having a circuit (insulating substrate with circuit), a base material (insulating base material) that is an insulator, and the like. The substrate material may be a laminate used for manufacturing a multilayer wiring board, such as a laminate in which an insulating base material is laminated on an insulating substrate with circuit.

回路付き絶縁基板としては、少なくとも一方の主面に回路を備えた絶縁基板であれば特に限定されるものではなく、片面にのみ回路を備えた絶縁基板の他、両面銅張積層板を用いて得られるような、絶縁基板の両面に回路が形成されたものであってもよい。該回路付き絶縁基板としては、通常の配線板において用いられている公知の積層板[ガラス布−エポキシ樹脂、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布及びガラス紙−エポキシ樹脂等]を使用することができる。また、回路が3層以上形成された多層板であってもよい。
回路付き絶縁基板の回路は、公知のいずれの方法により形成されていてもよい。例えば、銅箔と前記絶縁基材とを張り合わせた銅張積層板における銅箔の不要な部分をエッチング除去するサブトラクティブ法、及び、前記絶縁基板の必要な箇所に無電解めっきによって回路を形成するアディティブ法等、公知のプリント配線板の製造方法を採用することができる。
The insulating substrate with a circuit is not particularly limited as long as it is an insulating substrate provided with a circuit on at least one main surface. In addition to an insulating substrate provided with a circuit only on one side, a double-sided copper-clad laminate is used. As obtained, circuits may be formed on both sides of the insulating substrate. As the insulating substrate with a circuit, a known laminated board [glass cloth-epoxy resin, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth and glass paper-epoxy resin, etc.] used in ordinary wiring boards is used. can do. Further, it may be a multilayer board in which three or more circuits are formed.
The circuit of the insulating substrate with circuit may be formed by any known method. For example, a subtractive method of etching and removing unnecessary portions of the copper foil in a copper clad laminate in which a copper foil and the insulating base material are bonded together, and a circuit is formed by electroless plating at a necessary portion of the insulating substrate. A known method for manufacturing a printed wiring board, such as an additive method, can be employed.

また、回路が形成された表面には、接着性を向上させるための表面処理を行ってもよい。表面処理方法に特に制限はなく、例えば、次亜塩素酸ナトリウム等のアルカリ水溶液により回路表面に酸化銅の針状結晶を形成し、形成した酸化銅の針状結晶をジメチルアミンボラン水溶液に浸漬して還元する等の公知の方法を採用することができる。   Further, a surface treatment for improving adhesion may be performed on the surface on which the circuit is formed. The surface treatment method is not particularly limited. For example, copper oxide needle crystals are formed on the circuit surface with an alkaline aqueous solution such as sodium hypochlorite, and the formed copper oxide needle crystals are immersed in a dimethylamine borane aqueous solution. A known method such as reduction can be employed.

前記絶縁基材としては、絶縁体であれば特に制限は無く、プリプレグ、樹脂フィルム等の公知の配線板用絶縁基材を用いることができる。市販品のプリプレグとしては、例えば、「GWA−900G」、「GWA−910G」、「GHA−679G」、「GHA−679G(S)」、「GZA−71G」(いずれも日立化成株式会社製、商品名)等を用いることができる。   The insulating substrate is not particularly limited as long as it is an insulator, and a known insulating substrate for a wiring board such as a prepreg or a resin film can be used. Examples of commercially available prepregs include, for example, “GWA-900G”, “GWA-910G”, “GHA-679G”, “GHA-679G (S)”, “GZA-71G” (all manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., Product name) and the like can be used.

[プリント配線板の製造方法]
本発明は、下記工程を有するプリント配線板の製造方法も提供する。
(1)基板材料と前記樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してプリント配線板用積層体を形成する工程。
(2)工程(1)で得たプリント配線板用積層体を加熱する工程。
(3)下記工程(3−i)、又は下記工程(3−i)及び(3−ii)を有する工程。
(3−i)工程(1)で得たプリント配線板用積層体からポリイミドフィルムを除去する工程。
(3−ii)工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体に紫外線を照射する工程。
(4)工程(3)で得たプリント配線板用積層体に回路パターンを形成する工程。
以下、各工程について順に説明する。
[Method of manufacturing printed wiring board]
This invention also provides the manufacturing method of the printed wiring board which has the following process.
(1) A step of laminating a substrate material and the polyimide film with resin to form a laminate for a printed wiring board.
(2) A step of heating the printed wiring board laminate obtained in step (1).
(3) A step having the following step (3-i) or the following steps (3-i) and (3-ii).
(3-i) The process of removing a polyimide film from the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (1).
(3-ii) A step of irradiating the laminate for a printed wiring board obtained in the step (3-i) with ultraviolet rays.
(4) A step of forming a circuit pattern on the printed wiring board laminate obtained in step (3).
Hereinafter, each process is demonstrated in order.

〔工程(1)〕
基板材料と前記樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形する方法としては、例えば、ラミネート方式、プレス方式等で積層成形する方法が挙げられる。
ラミネート方式は、基板材料、例えば回路付き絶縁基板の回路と、樹脂付きポリイミドフィルムの樹脂組成物側とを対向させ、例えば真空加圧ラミネータ積層装置を用いて積層する方法である。真空加圧ラミネータ積層装置を用いる場合、温度は50〜300℃程度、圧力0.2MPa以上であることが好ましい。好ましい圧力の上限値は、基板の厚み及び残存銅率等により変化するが、基板が変形するのを避ける観点から、1.0MPa以下であることが好ましい。また、真空度は15hPa以下であると、内層回路板への埋め込み性が良好となる傾向にあり、好ましい。真空度は低ければ低いほど好ましいが、装置の能力及び所定値への到達までの待ち時間等が生産性に及ぼす影響等を考慮すると、5〜10hPaの範囲が好ましい。また、熱圧着時間は10〜90秒程度が好ましい。10秒以上であると内層回路への樹脂の流動に要する時間が充分となる傾向にあり、90秒以下であれば生産性が良好となる傾向にある。より好ましい熱圧着時間は20〜50秒である。
[Step (1)]
Examples of a method of laminating and forming the substrate material and the polyimide film with resin include a method of laminating and forming by a laminate method, a press method, or the like.
The laminating method is a method of laminating a substrate material, for example, a circuit of an insulating substrate with a circuit, and a resin composition side of a polyimide film with a resin, and laminating using, for example, a vacuum pressure laminator laminator. When using a vacuum pressurizing laminator laminator, the temperature is preferably about 50 to 300 ° C. and the pressure is 0.2 MPa or more. The preferable upper limit of the pressure varies depending on the thickness of the substrate, the remaining copper ratio, and the like, but is preferably 1.0 MPa or less from the viewpoint of avoiding deformation of the substrate. Further, it is preferable that the degree of vacuum is 15 hPa or less because the embedding property to the inner circuit board tends to be good. The lower the degree of vacuum, the better. However, in consideration of the influence of the apparatus capacity and the waiting time until reaching a predetermined value on productivity, the range of 5 to 10 hPa is preferable. The thermocompression bonding time is preferably about 10 to 90 seconds. If it is 10 seconds or more, the time required for the resin to flow to the inner layer circuit tends to be sufficient, and if it is 90 seconds or less, the productivity tends to be good. A more preferable thermocompression bonding time is 20 to 50 seconds.

一方、プレス方式の場合、基板材料、例えば回路付き絶縁基板の回路と、樹脂付きポリイミドフィルムの樹脂組成物側とを対向させ、例えば昇温速度3℃/分程度で、35℃から190℃程度まで約50分間を要して昇温させ、その温度にて2〜3MPa程度の圧力で、60〜90分間程度保持した後、室温まで30分間程度を要して冷却する方法等が挙げられる。   On the other hand, in the case of the press method, the substrate material, for example, the circuit of the insulating substrate with circuit, and the resin composition side of the polyimide film with resin are opposed to each other, for example, about 35 ° C. to 190 ° C. The temperature is raised for about 50 minutes, and the temperature is maintained at a pressure of about 2 to 3 MPa for about 60 to 90 minutes, and then cooled to room temperature for about 30 minutes.

〔工程(2)〕
工程(2)は、工程(1)で得たプリント配線板用積層体を加熱する工程である。本工程(2)により、前記樹脂組成物が硬化され、樹脂層が形成される。本発明では、耐熱性に優れる樹脂付きポリイミドフィルムを用いているため、ポリイミドフィルムを除去する工程の前に加熱処理を行うことができる。
加熱条件としては、次の点を考慮して選択することが好ましい。つまり、硬化を進め過ぎると、後の工程(4)におけるめっき処理時に、樹脂層と導体層との接着性が低下する恐れがあり、一方、硬化が不十分であると、後の工程(4)におけるめっき処理時に使用するアルカリ処理液に浸食され、樹脂層がめっき液に溶解する恐れがあることを考慮することが好ましい。以上を考慮すると、好ましくは160〜300℃、より好ましくは160〜230℃、さらに好ましくは160〜200℃で、好ましくは15〜180分間程度加熱して樹脂組成物を硬化させ、樹脂層を形成する条件を採用できる。
[Step (2)]
Step (2) is a step of heating the printed wiring board laminate obtained in step (1). By this step (2), the resin composition is cured and a resin layer is formed. In this invention, since the polyimide film with resin excellent in heat resistance is used, it can heat-process before the process of removing a polyimide film.
The heating condition is preferably selected in consideration of the following points. That is, if the curing is excessively advanced, the adhesion between the resin layer and the conductor layer may be reduced during the plating process in the subsequent step (4). On the other hand, if the curing is insufficient, the subsequent step (4 It is preferable to consider that the resin layer may be dissolved in the plating solution by being eroded by the alkali treatment solution used during the plating process in (1). Considering the above, preferably the resin composition is cured by heating at 160 to 300 ° C., more preferably 160 to 230 ° C., further preferably 160 to 200 ° C., and preferably about 15 to 180 minutes to form a resin layer. The conditions to do can be adopted.

なお、本工程(2)の後、そしてポリイミドフィルムを除去する工程(3−i)の前に、必要に応じて、ポリイミドフィルムの上面からドリル加工及びレーザー加工等の穴あけ加工を施すことも可能である。ポリイミドフィルムの上面から穴あけ加工を行うことで、加工時の樹脂飛散及びレーザーによるビアリングを抑制可能であり、歩留まりが向上する。また、ポリイミドフィルムを剥離する前にビア底のスミアを除去することにより、薬液により樹脂層の表面の表面粗さが大きくなることを防ぐことができる。
上記ドリル加工又はレーザー加工の後、ビアホール底のスミアの除去が必要な場合、酸化性粗化液を用いて除去処理することができる。酸化性粗化液としては、例えば、クロム/硫酸粗化液、アルカリ過マンガン酸粗化液、フッ化ナトリウム/クロム/硫酸粗化液、ホウフッ酸粗化液等が挙げられる。また、酸化性粗化液で除去処理する際、溶媒もしくはアルカリ液、又はこれらの混合溶液(一般には、膨潤液又はプリディップ液)に浸した後に、酸化性粗化液で除去処理してもよい。該溶媒としては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、イソプロピルアルコール等のアルコール系溶媒を使用できる。また、アルカリ液は、水に溶解した際にアルカリ性を示す液であれば特に制限はなく、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等を使用できる。さらに、溶媒とアルカリ液の混合用液としては、例えば、水酸化ナトリウムとジエチレングリコールモノブチルエーテルの混合用液等を使用でき、より具体的には、水酸化ナトリウム3g/Lとジエチレングリコールモノブチルエーテル300mL/Lの組成の溶液等を使用できる。
In addition, after this step (2) and before the step (3-i) of removing the polyimide film, drilling processing such as drilling and laser processing can be performed from the upper surface of the polyimide film as necessary. It is. By drilling from the upper surface of the polyimide film, resin scattering during processing and via ringing by a laser can be suppressed, and the yield is improved. Moreover, by removing smear on the via bottom before peeling the polyimide film, it is possible to prevent the surface roughness of the surface of the resin layer from being increased by the chemical solution.
If it is necessary to remove the smear at the bottom of the via hole after the drilling or laser processing, it can be removed using an oxidizing roughening solution. Examples of the oxidizing roughening liquid include a chromium / sulfuric acid roughening liquid, an alkaline permanganic acid roughening liquid, a sodium fluoride / chromium / sulfuric acid roughening liquid, and a borofluoric acid roughening liquid. In addition, when removing with an oxidizing roughening solution, after the immersion treatment with a solvent or an alkaline solution, or a mixed solution thereof (generally a swelling solution or a pre-dip solution), the removing treatment with an oxidizing roughening solution is also possible. Good. Examples of the solvent include alcohol solvents such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, and isopropyl alcohol. Further, the alkaline solution is not particularly limited as long as it is a solution that exhibits alkalinity when dissolved in water, and a sodium hydroxide solution, a potassium hydroxide solution, or the like can be used. Furthermore, as the liquid for mixing the solvent and the alkali liquid, for example, a liquid for mixing sodium hydroxide and diethylene glycol monobutyl ether can be used, and more specifically, sodium hydroxide 3 g / L and diethylene glycol monobutyl ether 300 mL / L. A solution having the composition can be used.

〔工程(3)〕
工程(3)は、下記工程(3−i)、又は下記工程(3−i)及び(3−ii)を有する工程である。
(3−i)工程(1)で得たプリント配線板用積層体からポリイミドフィルムを除去する工程。
(3−ii)工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体に紫外線を照射する工程。
[Step (3)]
Step (3) is a step having the following step (3-i) or the following steps (3-i) and (3-ii).
(3-i) The process of removing a polyimide film from the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (1).
(3-ii) A step of irradiating the laminate for a printed wiring board obtained in the step (3-i) with ultraviolet rays.

−工程(3−i)−
プリント配線板用積層体からポリイミドフィルムを除去する方法に特に制限は無く、ポリイミドフィルムを剥離する等、公知の方法でポリイミドフィルムの除去を行うことができる。
-Step (3-i)-
There is no restriction | limiting in particular in the method of removing a polyimide film from the laminated body for printed wiring boards, A polyimide film can be removed by well-known methods, such as peeling a polyimide film.

−工程(3−ii)−
本発明のプリント配線板の製造方法においては、工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体に、紫外線を照射することが好ましい。
(A)エポキシ樹脂及び(B)活性型エステル基含有化合物を含有する樹脂組成物から形成される樹脂層は、前述の通り、表面の凹凸形状、つまり表面粗さが小さいにもかかわらず、導体層に対する高い接着性を発現する。その機構については必ずしも明確ではないが、工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体が有する樹脂層へ紫外線を照射することにより、(B)成分である活性型エステル基含有化合物に由来するエステル基が分解し、樹脂層の表面にカルボニル含有基等の官能基が多数形成され、このカルボニル含有基等の官能基によって、導体層に対する高い接着性を発現しているものと推察される。なお、カルボニル含有基等の官能基に由来する酸素原子量を参照することにより、柔軟性シートの表面に存在する前記官能基数を把握することができる。柔軟性シート表面の酸素原子量は、X線光電子分光法により測定することができる。
-Step (3-ii)-
In the manufacturing method of the printed wiring board of this invention, it is preferable to irradiate an ultraviolet-ray to the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (3-i).
As described above, the resin layer formed from the resin composition containing (A) an epoxy resin and (B) an active ester group-containing compound is a conductor, although the surface roughness is small, that is, the surface roughness is small. Expresses high adhesion to the layer. Although it is not necessarily clear about the mechanism, by irradiating the resin layer which the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (3-i) has with an ultraviolet-ray, (B) the active ester group containing compound which is a component The derived ester group is decomposed, and a large number of functional groups such as carbonyl-containing groups are formed on the surface of the resin layer. It is assumed that the functional groups such as carbonyl-containing groups exhibit high adhesion to the conductor layer. The In addition, the number of the functional groups present on the surface of the flexible sheet can be grasped by referring to the amount of oxygen atoms derived from the functional group such as a carbonyl-containing group. The amount of oxygen atoms on the surface of the flexible sheet can be measured by X-ray photoelectron spectroscopy.

紫外線の照射条件に特に制限は無いが、例えば、紫外線ランプ、好ましくは最大波長300〜450nmの光を放射する紫外線ランプを用いて、大気圧雰囲気下において積算光量1,000〜6,000mJ/cm程度で紫外線を照射することが好ましい。なお、積算光量(mJ/cm)は、「照度(mW/cm)×照射時間(秒)」により算出される。
生産性の観点からは、紫外線照射装置はコンベア式であることが好ましい。紫外線ランプとして、最大波長が300〜450nmの範囲を有するものとして、例えば、水銀ショートアークランプ、高圧水銀ランプ、毛細管型超高圧ランプ、高圧ランプ、メタルハライドランプ等を用いることができる。これらのランプにおいて、紫外線の波長が全域で広いメタルハライドランプが好ましい。
Although there are no particular limitations on the irradiation conditions of the ultraviolet rays, for example, using an ultraviolet lamp, preferably an ultraviolet lamp that emits light having a maximum wavelength of 300 to 450 nm, an integrated light quantity of 1,000 to 6,000 mJ / cm under an atmospheric pressure atmosphere. It is preferable to irradiate with ultraviolet rays at about 2 . The integrated light quantity (mJ / cm 2 ) is calculated by “illuminance (mW / cm 2 ) × irradiation time (seconds)”.
From the viewpoint of productivity, the ultraviolet irradiation device is preferably a conveyor type. As the ultraviolet lamp having a maximum wavelength in the range of 300 to 450 nm, for example, a mercury short arc lamp, a high pressure mercury lamp, a capillary type ultra high pressure lamp, a high pressure lamp, a metal halide lamp, or the like can be used. Among these lamps, metal halide lamps having a wide ultraviolet wavelength over the entire region are preferable.

紫外線の積算光量が1,000mJ/cm以上であれば、酸化性粗化液で樹脂層を処理しなくても導体層との接着性が満足のいく程度となる傾向にあり、一方、積算光量が6,000mJ/cm以下であれば、導体層との接着性が十分であり、経済的にも有利となる傾向にある。同様の観点から、積算光量は、2,000〜5,000mJ/cmがより好ましく、2,500〜5,000mJ/cmがさらに好ましい。 If the cumulative amount of ultraviolet light is 1,000 mJ / cm 2 or more, the adhesiveness to the conductor layer tends to be satisfactory without treating the resin layer with an oxidizing roughening solution. If the amount of light is 6,000 mJ / cm 2 or less, the adhesiveness with the conductor layer is sufficient and tends to be economically advantageous. From the same viewpoint, the integrated light quantity is more preferably 2,000~5,000mJ / cm 2, more preferably 2,500~5,000mJ / cm 2.

〔工程(4)〕
工程(4)は、工程(3)で得たプリント配線板用積層体(具体的には樹脂層上)に回路パターンを形成する工程である。工程(4)は、まず無電解めっきにより導体層を形成してから、回路パターンを形成することによって実施できる。
まず、樹脂層に対して、パラジウムを付着させるためのめっき触媒付与処理を行った後、無電解めっき処理を行って、樹脂層上に好ましくは厚み0.3〜1.5μmの無電解めっき層を形成する。めっき触媒付与処理は、樹脂層付き絶縁フィルムを塩化パラジウム系のめっき触媒液に浸漬して行われ、無電解めっき処理は、無電解めっき液に浸漬して行われる。無電解めっき液としては、公知の無電解めっき液を使用することができ、特に制限されないが、無電解銅めっき液を用いることが好ましい。
[Step (4)]
Step (4) is a step of forming a circuit pattern on the printed wiring board laminate (specifically, on the resin layer) obtained in step (3). Step (4) can be performed by first forming a conductor layer by electroless plating and then forming a circuit pattern.
First, after performing a plating catalyst application treatment for adhering palladium to the resin layer, an electroless plating treatment is performed, and an electroless plating layer preferably having a thickness of 0.3 to 1.5 μm is formed on the resin layer. Form. The plating catalyst application treatment is performed by immersing the insulating film with a resin layer in a palladium chloride plating catalyst solution, and the electroless plating treatment is performed by immersing in an electroless plating solution. As the electroless plating solution, a known electroless plating solution can be used and is not particularly limited, but it is preferable to use an electroless copper plating solution.

次に、無電解めっき層上にめっきレジストのパターンを形成した後に、電解めっき処理を行って、所望の箇所に所望の厚みの電解めっき層を形成する。その後、めっきレジストを剥離し、不要な無電解めっき層をエッチングにより除去する。これにより、樹脂層上に無電解めっき層と電解めっき層とからなる導体層が形成される。めっきレジストとしては、公知のめっきレジストを使用することができ、特に制限はない。電解めっき処理は、公知の方法の準じて行うことができ、特に制限されないが、電解めっき液として、電解銅めっき液を用いることが好ましい。   Next, after forming a plating resist pattern on the electroless plating layer, an electrolytic plating process is performed to form an electrolytic plating layer having a desired thickness at a desired location. Thereafter, the plating resist is peeled off, and unnecessary electroless plating layers are removed by etching. Thereby, the conductor layer which consists of an electroless plating layer and an electroplating layer is formed on a resin layer. A known plating resist can be used as the plating resist, and there is no particular limitation. The electrolytic plating treatment can be performed according to a known method, and is not particularly limited, but it is preferable to use an electrolytic copper plating solution as the electrolytic plating solution.

本発明のプリント配線板用積層体は、樹脂層と導体層との接着強度が高いことから、部品実装工程、はんだ付け工程等のプリント配線板の製造工程において導体層の剥離を防ぐことができる。また、該積層体を用いて上記方法によって製造されるプリント配線板は、表面粗さの小さい樹脂層上に微細回路を形成できるため、例えば、今後期待される30GHz以上のミリ波又はテラヘルツ波で動作させる電子機器、アンテナ等に利用することが可能である。   Since the laminate for a printed wiring board of the present invention has a high adhesive strength between the resin layer and the conductor layer, the conductor layer can be prevented from peeling off in the printed wiring board manufacturing process such as a component mounting process and a soldering process. . Moreover, since the printed wiring board manufactured by the above method using the laminate can form a fine circuit on a resin layer having a small surface roughness, for example, a millimeter wave or a terahertz wave of 30 GHz or more expected in the future. It can be used for electronic devices to be operated, antennas and the like.

本発明のプリント配線板用積層体の樹脂層と導体層との接着強度は特に限定されないが、0.3kN/m以上であることが好ましく、0.5kN/m以上であることがより好ましい。接着強度の上限に特に制限はないが、通常、5kN/m以下であってもよく、3kN/m以下であってもよく、1kN/m以下であってもよい。なお、該接着強度は、幅10mm、長さ100mmのシート状の柔軟性シートの面に対して垂直方向に引張り速度50mm/分で引き剥がした際の荷重の大きさである。   The adhesive strength between the resin layer and the conductor layer of the laminate for a printed wiring board of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.3 kN / m or more, and more preferably 0.5 kN / m or more. Although there is no restriction | limiting in particular in the upper limit of adhesive strength, Usually, 5 kN / m or less, 3 kN / m or less, and 1 kN / m or less may be sufficient. In addition, this adhesive strength is the magnitude | size of the load at the time of peeling at a pulling speed of 50 mm / min in the orthogonal | vertical direction with respect to the surface of a sheet-like flexible sheet | seat of width 10mm and length 100mm.

次に、下記の実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、これらの実施例は本発明をいかなる意味においても制限するものではない。なお、各例で製造したプリント配線板用の評価基板を用い、下記方法に従って、金属薄膜との接着性及び表面粗さを測定及び評価した。   Next, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but these examples are not intended to limit the present invention in any way. In addition, using the evaluation board | substrate for printed wiring boards manufactured by each example, according to the following method, the adhesiveness and surface roughness with a metal thin film were measured and evaluated.

[1.金属薄膜(導体層)との接着性]
各例で作製した評価基板の導体層の一部を銅エッチング液「過硫酸アンモニウム(APS)」(三菱ガス化学株式会社製)によりエッチング処理して、幅10mm、長さ100mmの回路パターンを形成し、回路パターンの一端を回路パターンと樹脂層の界面で剥がしてつかみ具でつかみ、「オートグラフAG−100C」(株式会社島津製作所製)を用いて、室温で垂直方向に引張り速度50mm/分で引き剥がした時の荷重を測定し、接着強度を求めた。値が大きいほど、金属薄膜(導体層)との接着性に優れる。
[1. Adhesiveness to metal thin film (conductor layer)]
A part of the conductor layer of the evaluation board produced in each example was etched with a copper etching solution “ammonium persulfate (APS)” (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) to form a circuit pattern having a width of 10 mm and a length of 100 mm. Then, one end of the circuit pattern is peeled off at the interface between the circuit pattern and the resin layer, and is gripped with a gripper. Using “Autograph AG-100C” (manufactured by Shimadzu Corporation), the pulling speed is 50 mm / min in the vertical direction at room temperature. The load at the time of peeling was measured to determine the adhesive strength. The larger the value, the better the adhesion with the metal thin film (conductor layer).

[2.表面粗さ(Ra)の測定方法]
各例で得た評価基板の導体層をエッチング処理によって除去し、露出した樹脂層の表面粗さ(Ra)を、高精度3次元表面形状測定装置「Wyko NT9100」(Veeco社製)を用いて下記測定条件にて測定した。なお、樹脂層を設けなかった比較例においては、露出した透明絶縁フィルムの表面粗さを測定した。
−表面粗さの測定条件−
内部レンズ:1倍
外部レンズ:50倍
測定範囲:0.120×0.095mm
測定深度:10μm
測定方式:垂直走査型干渉方式(VSI方式)
[2. Method for measuring surface roughness (Ra)]
The conductor layer of the evaluation substrate obtained in each example was removed by etching treatment, and the surface roughness (Ra) of the exposed resin layer was measured using a high-precision three-dimensional surface shape measuring device “Wyko NT9100” (manufactured by Veeco). Measurement was performed under the following measurement conditions. In addition, in the comparative example which did not provide the resin layer, the surface roughness of the exposed transparent insulating film was measured.
-Surface roughness measurement conditions-
Internal lens: 1x External lens: 50x Measurement range: 0.120 x 0.095mm
Measurement depth: 10 μm
Measurement method: Vertical scanning type interference method (VSI method)

(実施例1)
(1)基板材料の作製
回路を有する絶縁基板上に40μm厚のプリプレグ「GEA−679FG(R)」(日立化成株式会社製)を重ね、その上下に銅箔「GTS−12」(古河電工株式会社製)を粗化面が外側になるように重ね、さらに鏡板と、クッション紙を重ねて、プレス機を用いて、3.0MPa、180℃で1時間加熱硬化させて積層サンプルを得た後、エッチングにより銅箔を除去し、基板材料とした。
Example 1
(1) Production of substrate material A 40 μm thick prepreg “GEA-679FG (R)” (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is stacked on an insulating substrate having a circuit, and copper foil “GTS-12” (Furukawa Electric Co., Ltd.) After making the roughened surface outward, and then stacking the end plate and cushion paper, and using a press machine to heat and cure at 3.0 MPa and 180 ° C. for 1 hour to obtain a laminated sample The copper foil was removed by etching to obtain a substrate material.

(2)樹脂組成物(樹脂ワニスA)の調製
脂肪族変性エポキシ樹脂「エピクロン EXA−4816」(DIC株式会社製、ビスフェノールAと長鎖脂肪族骨格を有するエポキシ樹脂)100.0g、活性型エステル基含有硬化剤「EXB−9451」(DIC株式会社製、エステル当量220g/eq)44.3g及び2−フェニルイミダゾール「2PZ」(四国化成工業株式会社製)0.30gを、溶媒であるメチルエチルケトン96.4gに溶解させ、固形分濃度が60質量%の熱硬化性樹脂組成物(樹脂ワニスA)を得た。
(2) Preparation of Resin Composition (Resin Varnish A) Aliphatic Modified Epoxy Resin “Epiclon EXA-4816” (DIC Corporation, Epoxy Resin Having Bisphenol A and Long Chain Aliphatic Skeleton) 100.0 g, Active Ester Group-containing curing agent “EXB-9451” (manufactured by DIC Corporation, ester equivalent 220 g / eq) 44.3 g and 2-phenylimidazole “2PZ” (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.) 0.30 g were added to methyl ethyl ketone 96 as a solvent. Was dissolved in 4 g to obtain a thermosetting resin composition (resin varnish A) having a solid concentration of 60% by mass.

(3)樹脂層を備えたポリイミドフィルムの作製
前記(2)で得た樹脂ワニスAを、キャリアフィルムであるポリイミドフィルム「ユーピレックス25S」(宇部興産株式会社製、厚さ25μm)上にダイコ−ターを用いて塗工し、140℃で10分間乾燥することにより、樹脂層の厚みが4μmである樹脂付きポリイミドフィルムを作製した。
(3) Preparation of polyimide film provided with resin layer Resin varnish A obtained in (2) above is a die coater on a polyimide film “UPILEX 25S” (Ube Industries, Ltd., thickness 25 μm) as a carrier film. The polyimide film with a resin whose thickness of a resin layer is 4 micrometers was produced by applying for 10 minutes and drying at 140 degreeC for 10 minutes.

(4)プリント配線板用積層体の作製
さらに、前記(1)で得られた基板材料の片面に、前記(3)で得た樹脂付きポリイミドフィルムの樹脂層が対向するようにして、真空加圧ラミネータ「MVLP−500」(名機株式会社製、商品名)を用いて、温度120℃、圧力0.5MPa、圧着時間30秒間の条件で積層した。
こうして得られたプリント配線板用積層体を、180℃、60分間の条件にて加熱処理して樹脂組成物を熱硬化し、次いで、ポリイミドフィルムを剥離した。
その後、コンベア式紫外線照射装置を用いて、メタルハライドランプ(最大波長350〜380nm)にて、積算光量が4,000mJ/cmになるように紫外線を照射した。
(4) Production of laminate for printed wiring board Further, the resin layer of the polyimide film with resin obtained in (3) is opposed to one side of the substrate material obtained in (1) above, so that the vacuum is applied. Using a pressure laminator “MVLP-500” (trade name, manufactured by Meiki Co., Ltd.), lamination was performed under conditions of a temperature of 120 ° C., a pressure of 0.5 MPa, and a pressure bonding time of 30 seconds.
The printed wiring board laminate thus obtained was heat-treated at 180 ° C. for 60 minutes to thermally cure the resin composition, and then the polyimide film was peeled off.
Thereafter, using a conveyor type ultraviolet irradiation device, ultraviolet rays were irradiated with a metal halide lamp (maximum wavelength 350 to 380 nm) so that the integrated light amount became 4,000 mJ / cm 2 .

(5)無電解めっき処理及び電解めっき処理
無電解めっきの前処理として、コンディショナー液「CLC−601」(日立化成株式会社製)に上記(4)で得られたプリント配線板用積層体を60℃で5分間浸漬した後、水洗し、プリディップ液「PD−201」(日立化成株式会社製)に室温にて2分間浸漬した。次に、PdCl2を含む無電解めっき用触媒である「HS−202B」(日立化成株式会社製)に室温にて10分間浸漬処理した後、水洗し、無電解銅めっき液である「CUST−201めっき液」(日立化成株式会社製)に室温にて15分間浸漬し、無電解めっき処理を行った。さらに、硫酸銅溶液を用いて硫酸銅電解めっきを行った。
その後、アニール処理を180℃で30分間行い、樹脂層の表面上に厚さ20μmの導体層を形成し、プリント配線板用の評価基板とした。該評価基板を用い、前記方法に従って、金属薄膜との接着性及び表面粗さを測定及び評価した。結果を表1に示す。
(5) Electroless plating treatment and electrolytic plating treatment As a pretreatment for electroless plating, the laminate for a printed wiring board obtained in (4) above was applied to a conditioner solution “CLC-601” (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.). After dipping at 5 ° C. for 5 minutes, it was washed with water and immersed in a pre-dip solution “PD-201” (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) at room temperature for 2 minutes. Next, after being immersed in “HS-202B” (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is an electroless plating catalyst containing PdCl 2 , at room temperature for 10 minutes, it is washed with water and “CUST-” is an electroless copper plating solution. The film was immersed in “201 plating solution” (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) at room temperature for 15 minutes to perform electroless plating. Furthermore, copper sulfate electrolytic plating was performed using a copper sulfate solution.
Thereafter, annealing was performed at 180 ° C. for 30 minutes to form a conductor layer having a thickness of 20 μm on the surface of the resin layer, and an evaluation substrate for a printed wiring board was obtained. Using the evaluation substrate, the adhesion to the metal thin film and the surface roughness were measured and evaluated according to the method described above. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
実施例1の(4)において、樹脂付きポリイミドフィルムを積層しなかったこと以外は同様(但し、ポリイミドフィルムの剥離作業もなくなる。)にして、プリント配線板用の評価基板を作製し、前記方法に従って、金属薄膜との接着性及び表面粗さを測定及び評価した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
In Example 1 (4), except that the polyimide film with resin was not laminated (however, the polyimide film was not peeled), an evaluation board for a printed wiring board was prepared, and the method Thus, the adhesion and surface roughness with the metal thin film were measured and evaluated. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
実施例1の(3)において、ポリイミドフィルムの代わりにポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム「TR−1」(ユニチカ株式会社製、厚さ38μm)を用いたこと以外は同様にして、プリント配線板用の評価基板を作製し、前記方法に従って、金属薄膜との接着性及び表面粗さを測定及び評価した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
In the same manner as in Example 1 (3), except that a polyethylene terephthalate (PET) film “TR-1” (manufactured by Unitika Ltd., thickness 38 μm) was used instead of the polyimide film, An evaluation substrate was prepared, and the adhesion to the metal thin film and the surface roughness were measured and evaluated according to the method described above. The results are shown in Table 1.

表1から、実施例1のプリント配線板用の評価基板では、樹脂層の表面粗さが小さいが、金属薄膜との高い接着性を示した。
一方、樹脂付きポリイミドフィルムを積層しなかった比較例1のプリント配線板用の評価基板では、金属薄膜との接着性が大幅に低下した。また、ポリイミドフィルムの代わりにPETを用いた比較例2では、析出したオリゴマー成分により凹凸が生じ、樹脂層の表面粗さが大きくなった。
From Table 1, in the evaluation board | substrate for printed wiring boards of Example 1, the surface roughness of the resin layer was small, but the high adhesiveness with the metal thin film was shown.
On the other hand, in the evaluation board | substrate for printed wiring boards of the comparative example 1 which did not laminate | stack the polyimide film with resin, adhesiveness with a metal thin film fell significantly. Moreover, in the comparative example 2 which used PET instead of the polyimide film, the unevenness | corrugation produced by the oligomer component which precipitated and the surface roughness of the resin layer became large.

本発明の樹脂付きポリイミドフィルムは、導体層(金属薄膜)に対する接着性が高いことから、部品実装工程、ハンダ付け工程等におけるプリント配線板の製造工程において、回路パターンの剥離を防ぐことができる。また、該樹脂付きポリイミドフィルムを用いてなるプリント配線板用積層体は、表面粗さの小さい樹脂層上に微細回路パターンを形成できるため、今後期待される30GHz以上のミリ波又はテラヘルツ波で動作させる電子機器又はアンテナ等に用いることが可能である。   Since the polyimide film with resin of the present invention has high adhesiveness to the conductor layer (metal thin film), it is possible to prevent peeling of the circuit pattern in the printed wiring board manufacturing process in the component mounting process, the soldering process, and the like. In addition, the laminate for a printed wiring board using the polyimide film with resin can form a fine circuit pattern on a resin layer having a small surface roughness, and therefore operates in a millimeter wave or a terahertz wave of 30 GHz or more expected in the future. It can be used for electronic devices or antennas.

1 PETフィルムから析出したオリゴマー成分 1 Oligomer component deposited from PET film

Claims (9)

(A)エポキシ樹脂及び(B)活性型エステル基含有化合物を含有する樹脂組成物と、ポリイミドフィルムとを備える、樹脂付きポリイミドフィルム。   (A) A resin-coated polyimide film comprising a resin composition containing an epoxy resin and (B) an active ester group-containing compound, and a polyimide film. 前記(A)エポキシ樹脂が、炭素数3以上のアルキレングリコールに由来する構造単位を有する、請求項1に記載の樹脂付きポリイミドフィルム。   The polyimide film with a resin according to claim 1, wherein the (A) epoxy resin has a structural unit derived from an alkylene glycol having 3 or more carbon atoms. 前記樹脂組成物が、さらに無機充填材を含有する、請求項1又は2に記載の樹脂付きポリイミドフィルム。   The polyimide film with a resin according to claim 1, wherein the resin composition further contains an inorganic filler. 前記(B)活性型エステル基含有化合物が下記一般式(V)で示される構造単位を有する芳香族エステル系化合物である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂付きポリイミドフィルム。
The polyimide film with a resin according to any one of claims 1 to 3, wherein the (B) active ester group-containing compound is an aromatic ester compound having a structural unit represented by the following general formula (V).
請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂付きポリイミドフィルムを熱硬化処理してなる、樹脂層を備えたポリイミドフィルムであって、該樹脂層におけるポリイミドフィルム側の面の表面粗さが0.1μm以下である、樹脂層を備えたポリイミドフィルム。   It is a polyimide film provided with the resin layer formed by thermosetting the polyimide film with resin of any one of Claims 1-4, Comprising: The surface roughness of the surface at the side of the polyimide film in this resin layer is The polyimide film provided with the resin layer which is 0.1 micrometer or less. 基板材料と請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してなる、プリント配線板用積層体。   The laminated body for printed wiring boards formed by carrying out lamination molding of the board | substrate material and the polyimide film with resin of any one of Claims 1-4. 下記工程を有する、プリント配線板の製造方法。
(1)基板材料と請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂付きポリイミドフィルムとを積層成形してプリント配線板用積層体を形成する工程。
(2)工程(1)で得たプリント配線板用積層体を加熱する工程。
(3)下記工程(3−i)、又は下記工程(3−i)及び(3−ii)を有する工程。
(3−i)工程(1)で得たプリント配線板用積層体からポリイミドフィルムを除去する工程。
(3−ii)工程(3−i)で得たプリント配線板用積層体に紫外線を照射する工程。
(4)工程(3)で得たプリント配線板用積層体に回路パターンを形成する工程。
The manufacturing method of a printed wiring board which has the following process.
(1) A step of laminating a substrate material and the polyimide film with resin according to any one of claims 1 to 4 to form a laminate for a printed wiring board.
(2) A step of heating the printed wiring board laminate obtained in step (1).
(3) A step having the following step (3-i) or the following steps (3-i) and (3-ii).
(3-i) The process of removing a polyimide film from the laminated body for printed wiring boards obtained at the process (1).
(3-ii) A step of irradiating the laminate for a printed wiring board obtained in the step (3-i) with ultraviolet rays.
(4) A step of forming a circuit pattern on the printed wiring board laminate obtained in step (3).
前記工程(2)における加熱温度が160〜300℃である、請求項7に記載のプリント配線板の製造方法。   The manufacturing method of the printed wiring board of Claim 7 whose heating temperature in the said process (2) is 160-300 degreeC. 前記工程(3−ii)における紫外線の積算光量が2,000〜5,000mJ/cmである、請求項7又は8に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 7 or 8, wherein an integrated light quantity of ultraviolet rays in the step (3-ii) is 2,000 to 5,000 mJ / cm 2 .
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