JP2017198475A - 距離検出装置及び距離検出装置の校正方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い精度で距離を計測できる距離検出装置及び距離検出装置の校正方法を提供すること。
【解決手段】対象物100を一軸方向に移動させる一軸ステージ11と、対象物100の一軸方向の変位量を計測する変位計15と、対象物100にレーザ光200を照射する投光器13と、投光器13から対象物100に照射されたレーザ光200のレーザスポットを撮像する撮像装置14と、一軸ステージ11の基準位置からの一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び複数の移動設定値のそれぞれにおいて撮像装置14によりレーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルを記憶する記憶部17と、ティーチングテーブルに基づいて求めた対象物100の一軸方向の移動量を変位計15により計測した変位量で補正する演算装置18と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】対象物100を一軸方向に移動させる一軸ステージ11と、対象物100の一軸方向の変位量を計測する変位計15と、対象物100にレーザ光200を照射する投光器13と、投光器13から対象物100に照射されたレーザ光200のレーザスポットを撮像する撮像装置14と、一軸ステージ11の基準位置からの一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び複数の移動設定値のそれぞれにおいて撮像装置14によりレーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルを記憶する記憶部17と、ティーチングテーブルに基づいて求めた対象物100の一軸方向の移動量を変位計15により計測した変位量で補正する演算装置18と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、距離検出装置及び距離検出装置の校正方法に関する。
非接触、且つ、高精度で距離を測定できることから、被測定対象物の表面形状の測定に三角測量方式を用いる技術が知られている。三角測量方式を用いた距離検出装置は、被測定対象物に対して直交する方向に照射されたレーザスポットを、レーザ光の光軸に対し、所定の角度を持って斜視するカメラで撮像し、ティーチングテーブルに基づいて、レーザスポットの撮像位置から被測定対象物までの距離を算出する。
ティーチングテーブルは、レーザ光の光源からサンプルまでの距離を一定間隔で移動させ、そのときの撮像位置を求め、距離及び撮像位置を対応付けることで求められる。しかし、サンプルを移動させる一軸ステージの精度等により、実際の移動距離とティーチングテーブルの移動量距離とに誤差が生じる。
本発明が解決しようとする課題は、高い精度で距離を計測できる距離検出装置及び距離検出装置の校正方法を提供することにある。
実施形態の距離検出装置は、一軸ステージと、変位計と、投光器と、撮像装置と、記憶部と、演算装置と、を備える。一軸ステージは、対象物を一軸方向に移動させる。変位計は、前記対象物の前記一軸方向の変位量を計測する。投光器は、前記対象物にレーザ光を照射する。撮像装置は、前記投光器から前記対象物に照射された前記レーザ光のレーザスポットを撮像する。記憶部は、前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルを記憶する。演算装置は、前記一軸方向の任意の2箇所において前記レーザスポットを撮像したときの前記撮像位置及び前記ティーチングテーブルに基づいて求めた前記対象物の前記一軸方向の移動量を前記変位計により計測した変位量で補正する。
(第1の実施形態)
以下、第1の実施形態に係る距離検出装置1を図1及び図2を用いて説明する。
図1は、第1の実施形態に係る距離検出装置1の構成を模式的に示す説明図、図2は、距離検出装置1の校正方法の一例を示す流れ図である。
以下、第1の実施形態に係る距離検出装置1を図1及び図2を用いて説明する。
図1は、第1の実施形態に係る距離検出装置1の構成を模式的に示す説明図、図2は、距離検出装置1の校正方法の一例を示す流れ図である。
図1に示すように、距離検出装置1は、対象物100と、一軸ステージ11と、回転機構12と、投光器13と、撮像装置14と、変位計15と、記憶部17と、演算装置18と、を備えている。距離検出装置1は、三角測量方式によって、非接触により被測定対象物の表面形状を測定可能に構成される。
対象物100は、距離検出装置1の校正に用いるサンプルである。対象物100は、円盤状に構成される。対象物100は、その軸方向に対して直交する主面を有する。対象物100は、回転機構12に固定される。
一軸ステージ11は、移動させる被移動体を一軸方向に移動する。ここで、一軸ステージ11は、距離検出装置1の校正時においては、被移動体である対象物100を固定した回転機構12を一軸方向に移動させる。
例えば、一軸ステージ11は、ステージと、ステージを一軸方向に移動する移動機構と、を備える。移動機構は、演算装置18に信号線等を介して電気的に接続される。
回転機構12は、対象物100を回転する。回転機構12は、一軸ステージ11のステージに固定される。回転機構12は、ステージに固定される基部21と、基部21に設けられ、対象物100を固定する被回転部22と、被回転部22を回転駆動する駆動部23と、を備えている。回転機構12は、演算装置18に信号線等を介して電気的に接続される。被回転部22は、対象物100の中心軸が一軸方向に沿った姿勢で、当該中心軸を回転中心として対象物100を固定する。駆動部23は、被回転部22を回転する。回転機構12は、駆動部23により被回転部22を回転させることで、対象物100を一軸周りに回転する。
投光器13は、対象物100にレーザ光200を照射する。投光器13は、対象物100の主面に対して直交する方向で対象物100にレーザ光200を照射可能に構成される。投光器13から対象物100に照射されるレーザ光200の照射方向は、一軸方向に沿った方向である。
撮像装置14は、対象物100に照射されたレーザ光200のレーザスポットを撮像する。撮像装置14は、レーザ光200の投光軸に対して所定の角度を持ってレーザスポットを斜視する。撮像装置14は、例えば、受光レンズ31と、CCDカメラ32と、アナログディジタルコンバータ(ADC)33と、を備えている。CCDカメラ32は、ADC33と、信号線を介して電気的に接続される。CCDカメラ32は、撮像したレーザスポットの情報をADC33に送信する。
ADC33は、CCDカメラ32から送信された撮像したレーザスポットの情報をディジタル信号に変換する。
変位計15は、対象物100の一軸方向の変位量を計測可能に構成される。変位計15は、接触式の変位計である。例えば、変位計15は、回転機構12の一軸方向の変位量を計測することで、対象物100の変位量を計測する。変位計15は、例えば、回転機構12の基部21に接触し、当該基部21の移動により基部21の一軸方向の変位量を計測する。変位計15は、演算装置18に信号線を介して電気的に接続される。変位計15は、計測した変位量を演算装置18に送信する。
記憶部17は、演算装置18に設けられる。記憶部17は、演算装置18が被測定対象物を測定するときに用いるテーブルとして、ティーチングテーブルを記憶する。ティーチングテーブルは、一軸ステージ11の基準位置から一軸方向の対象物100の移動量である複数の移動設定値と、レーザスポットの撮像位置との対応付けを行うことで予め求められ、記憶部17に記憶される。
ティーチングテーブルは、例えば、基準位置から一軸ステージ11の移動量である移動設定値がd1であるときのCCDカメラ32による撮像位置がX1、移動設定値がd2であるときの撮像位置がX2、といったように、基準位置から一軸ステージ11の複数の移動量に撮像位置が対応付けされることで構成される。
演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を制御する。演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を検出する。演算装置18は、対象物100等の被測定物に照射され、撮像装置14で撮像されたレーザ光200のレーザスポットの情報から、撮像情報を求めるとともに、ティーチングテーブルに基づいて被測定物の距離を計測する。演算装置18は、一軸方向の任意の2箇所の計測位置の差から、当該2箇所の計測位置の距離、即ち、被測定物の移動量を求める。
また、演算装置18は、外部から指示があった場合等に、対象物100の移動量を変位計15で実測した回転機構12の基部21の移動量に基づいてティーチングテーブルの移動設定値を校正する。
次に、具体例として、ティーチングテーブルは、以下の工程により求められる。先ず、演算装置18は、対象物100を基準位置から一定間隔で一軸方向に移動する。次いで、レーザ光200のレーザスポットによる反射光をCCDカメラ32で受光する。次いで、演算装置18は、反射光の撮像位置と一軸ステージ11の移動設定値との対応付けを行う。この対応付けを行った撮像位置及び移動設定値を演算装置18が記憶部17に記憶する。これらの工程によりティーチングテーブルが求められる。
次に、距離検出装置1の校正方法について、図2の流れ図を用いて説明する。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100が固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100を移動する。なお、ここで、第1計測位置は、例えば、基準位置又はティーチングテーブルに記憶されたいずれかの一軸ステージ11の移動設定値で基準位置から移動させた位置である。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100が固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100を移動する。なお、ここで、第1計測位置は、例えば、基準位置又はティーチングテーブルに記憶されたいずれかの一軸ステージ11の移動設定値で基準位置から移動させた位置である。
次に、演算装置18は、対象物100を第1計測位置に移動する。(ステップST1)。次に、演算装置18は、レーザ光200を対象物100に照射する。
次に、演算装置18は、第1計測位置で撮像されたレーザ光200のレーザスポットから第1撮像位置を求める。次に、演算装置18は、一軸ステージ11を制御して対象物100を所定の移動量だけ移動し、対象物100を第2計測位置に移動する(ステップST2)。
次に、演算装置18は、第1計測位置から第2計測位置に移動したときに、変位計15で実測した、回転機構12の基部21の変位量を求める(ステップST3)。また、演算装置18は、第2計測位置で撮像されたレーザ光200のレーザスポットから第2撮像位置を求める。次に、演算装置18は、実測により求めた変位量に基づいて、対象物100の移動量を補正し、ティーチングテーブルを補正する(ステップST4)。
一例として、演算装置18は、第1計測位置から第2計測位置に対象物100を移動させるために一軸ステージ11へ指令を出した信号から移動量を求める。次いで、演算装置18は、一軸ステージ11へ出した指令に基づく移動量と、実測により変位計15で求められた変位量を比較する。指令に基づく移動量と実測により求めた変位量が同じ場合には、演算装置18は、校正を行わない。
指令に基づく移動量と実測により求めた変位量が異なる場合には、演算装置18は、ティーチングテーブルに対応付けされた当該第1計測位置から第2計測位置への移動設定値を実測値の変位量を移動量とする、ティーチングテーブルを補正する。これらのよう、演算装置18は、実測により求めた変位量に基づいて、ティーチングテーブルの補正を行う。
なお、距離検出装置1の校正は、例えば、距離検出装置1の設置後、季節の変わり目等の外気温の変化が生じる時、及び、距離検出装置1を所定の回数使用した後等に、対象物100を用いて行われる。
また、距離検出装置1は、ティーチングテーブルを補正するのではなく、実測により求めた変位量に基づいて対象物100の移動量を補正し、当該補正した移動量に基づいてティーチングテーブルを作成してもよい。
このように構成された距離検出装置1によれば、一軸ステージ11の移動量に誤差が生じていても、変位計15で実測した変位量に基づいて、一軸ステージ11の移動量及びティーチングテーブルを補正することが可能となる。
このように、距離検出装置1は、一軸ステージ11の目標する移動量と実際の移動量の間に生じる誤差を、変位計15で実測した対象物100の変位量により校正することで、高い精度で被測定対象物を測定することが可能となる。
また、距離検出装置1の製造時、設置作業後、所定期間経過後及び季節毎等にティーチングテーブルを補正することで、距離検出装置1は高い精度を維持できる。
上述したように、第1の実施形態に係る距離検出装置1によれば、高い精度で距離を計測できる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aについて、図3乃至図6を用いて説明する。
図3は第2の実施形態に係る距離検出装置1Aの構成を模式的に示す説明図、図4は距離検出装置1Aに用いられる対象物100Aの構成を示す側面図、図5は距離検出装置1の記憶部17に記憶されるティーチングテーブルの構成を模式的に示す説明図、図6は距離検出装置1Aの校正方法の一例を示す流れ図である。なお、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aのうち、上述した第1の実施形態に係る距離検出装置1と同様の構成には同一符号を用い、その詳細な説明は省略する。
次に、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aについて、図3乃至図6を用いて説明する。
図3は第2の実施形態に係る距離検出装置1Aの構成を模式的に示す説明図、図4は距離検出装置1Aに用いられる対象物100Aの構成を示す側面図、図5は距離検出装置1の記憶部17に記憶されるティーチングテーブルの構成を模式的に示す説明図、図6は距離検出装置1Aの校正方法の一例を示す流れ図である。なお、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aのうち、上述した第1の実施形態に係る距離検出装置1と同様の構成には同一符号を用い、その詳細な説明は省略する。
図3に示すように、距離検出装置1Aは、対象物100Aと、一軸ステージ11と、回転機構12と、投光器13と、撮像装置14と、記憶部17と、演算装置18と、を備えている。距離検出装置1Aは、三角測量方式によって、非接触により被測定対象物の表面形状を測定可能に構成される。このような距離検出装置1Aは、上述した第1の実施形態に係る距離検出装置1と、対象物100Aの構成が異なり、また、変位計15を有さない構成である。
対象物100Aは、距離検出装置1の校正に用いるサンプルである。対象物100Aは、円盤状に構成される。対象物100Aは、一方の主面であって、その軸方向で異なる位置に、その軸方向に対して直交する第1計測面100a及び第2計測面100bを有する。対象物100Aは、回転機構12の被回転部22に固定される。
記憶部17は、ティーチングテーブルを記憶する。ティーチングテーブルは、一軸ステージ11の基準位置から一軸方向への対象物100の移動量である複数の移動設定値と、レーザスポットの撮像位置の対応付けを行うことで予め求められ、記憶部17に記憶される。
ティーチングテーブルは、例えば、図5の(補正前)に示すように、基準位置から一軸ステージ11のステージが第1計測位置へ移動する所定の移動量である移動設定値がd1であるときの対象物100Aの第1計測面100aに照射されるレーザ光200のレーザスポットの撮像位置AがXA1、移動設定値がd1であるときの対象物100Aの第2計測面100bに照射されるレーザ光200のレーザスポットの撮像位置Bが第2撮像位置XB1として記憶される。
また、例えば、ティーチングテーブルは、基準位置から一軸ステージ11のステージが第2計測位置へ移動する所定の移動量である移動設定値がd2であるときの第1計測面100aのレーザスポットの撮像位置AがXA2、第2計測面100bのレーザスポットの撮像位置Bが第2撮像位置XB2として記憶される。このようにティーチングテーブルは、基準位置から一軸ステージ11の複数の移動量に第1計測面100a及び第2計測面100bでそれぞれの撮像位置A、Bが対応付けされることで構成される。
ここで、移動設定値d1は、第1計測面100a及び第2計測面100b間の距離と同じ値であり、移動設定値d2は、移動設定値d1に第1計測面100a及び第2計測面100b間の距離を加えた値である。即ち、隣合う移動設定値の差、換言すると移動設定値による移動量dx(dx=d2−d1)は、第1計測面100a及び第2計測面100b間の距離と同じに設定される。さらに換言すれば、複数の移動設定値は、dxだけ増加して設定される。
演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を制御する。演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を検出する。演算装置18は、対象物100等の被測定物に照射され、撮像装置14で撮像されたレーザ光200のレーザスポットの情報から、撮像情報を求めるとともに、ティーチングテーブルに基づいて被測定物の距離を計測する。
演算装置18は、一軸方向の任意の2箇所の計測位置の距離、即ち、被測定物の移動量を求める。演算装置18は、任意の2箇所の計測位置の一方で計測した対象物100Aの一方の撮像位置と、一軸ステージ11を所定の距離移動させた任意の2箇所の計測位置の他方で計測した対象物100Aの他方の撮像位置との差から、移動量の誤差Δdを求める。また、演算装置18は、求めた移動量の誤差Δdから、ティーチングテーブルの移動設定値を校正する。
次に、演算装置18による距離検出装置1Aの校正方法について、図6の流れ図を用いて説明する。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100Aが固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100Aを移動する(ステップST11)。次に、演算装置18は、対象物100Aの第1計測面100a及び第2計測面100bのそれぞれでレーザスポットを撮像し(ステップST12)、第1計測位置における第1撮像位置XA1及び第2撮像位置XB1を求める。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100Aが固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100Aを移動する(ステップST11)。次に、演算装置18は、対象物100Aの第1計測面100a及び第2計測面100bのそれぞれでレーザスポットを撮像し(ステップST12)、第1計測位置における第1撮像位置XA1及び第2撮像位置XB1を求める。
例えば、演算装置18は、先ず、駆動部23を制御し、被回転部22を回転させて、対象物100Aの第1計測面100aを投光器13に対向させる。次に、CCDカメラ32で撮像されたレーザスポットから、第1計測位置における第1計測面100aの第1撮像位置XA1を求める。次に、演算装置18は、駆動部23を制御し、被回転部22を回転させて、対象物100Aの第2計測面100bを投光器13に対向させる。次に、CCDカメラ32で撮像されたレーザスポットから、第1計測位置における第2計測面100bの第2撮像位置XB1を求める。
なお、ここで、第1計測位置は、例えば、基準位置又はティーチングテーブルに記憶されたいずれかの一軸ステージ11の移動設定値で基準位置から移動させた位置である。
次に、演算装置18は、一軸ステージ11を制御し、対象物100Aを第1計測位置から所定の移動量dxだけ移動させ、第2計測位置に対象物100Aを移動する(ステップST13)。次に、演算装置18は、対象物100Aの第1計測面100a及び第2計測面100bのそれぞれでレーザスポットを撮像し(ステップST14)、第2計測位置における第1撮像位置XA2及び第2撮像位置XB2を求める。
次に、演算装置18は、各撮像位置XA1,XA2,XB1,XB2から一軸ステージ11の移動量誤差Δdを検出する(ステップST15)。例えば、移動量誤差Δd、実際の一軸ステージ11による対象物100Aの移動量D、及び、移動設定値による移動量dx(dx=d2−d1)とすると、移動量誤差Δdは、Δd=D−dxにより求められる。
より具体的に説明すると、移動量dxは、第1計測面100a及び第2計測面100bの距離と同じ値であることから、Δd=0の場合には、第1計測位置における第2撮像位置XB1と第2計測位置における第1撮像位置XA2の関係は、XB1=XA2となる。このため、実際の移動距離Dは、D=dx+Δdにより求められる。
次に、演算装置18は、導出した移動量誤差Δdにより、ティーチングテーブルを校正する(ステップST16)。具体的には、図5の(補正後)に示すように、移動設定値d2にΔdを加えて新たな移動設定値D2(D2=d2+Δd)とする。これらのように、演算装置18は、各移動設定値において、ティーチングテーブルを補正することで、距離検出装置1Aの校正が行われる。
このように構成された距離検出装置1Aによれば、上述した距離検出装置1と同様に、一軸ステージ11の移動量に誤差が生じていても、変位計15で実測した変位量に基づいて、一軸ステージ11の移動量及びティーチングテーブルを補正することが可能となる。
また、距離検出装置1Aは、対象物100Aに軸方向の位置が異なる第1計測面100a及び第2計測面100bを設け、それぞれで撮像した撮像位置を用いることで、ティーチングテーブルを補正することが可能となる。これにより、距離検出装置1Aは、対象物100Aの移動量を実測する計器を要しないことから、製造コストを低減することが可能となる。
上述したように、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aによれば、高い精度で距離を計測できる。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態に係る対象物100Bを用いた距離検出装置1Aについて、図7を用いて説明する。
図7は第3の実施形態に係る距離検出装置1Aに用いられる対象物100Bの構成を模式的に示す側面図である。なお、第3の実施形態に係る距離検出装置1Aは、対象物100Bの構成が、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aの対象物100Aと異なるだけであり、このため、対象物100Bの構成以外については、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
次に、第3の実施形態に係る対象物100Bを用いた距離検出装置1Aについて、図7を用いて説明する。
図7は第3の実施形態に係る距離検出装置1Aに用いられる対象物100Bの構成を模式的に示す側面図である。なお、第3の実施形態に係る距離検出装置1Aは、対象物100Bの構成が、第2の実施形態に係る距離検出装置1Aの対象物100Aと異なるだけであり、このため、対象物100Bの構成以外については、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図7に示すように、距離検出装置1Aに用いられる対象物100Bは、距離検出装置1Aの校正に用いるサンプルである。対象物100Bは、円盤状に構成される。対象物100Bは、円盤状の基部101と、一方の主面の一部に設けられた第1計測部102と、他方の主面の一部であって、基部101の軸方向に直交する方向で第1計測部102と異なる位置に設けられた第2計測部103と、を備えている。
基部101は、回転機構12の被回転部22に固定される。基部101は、透過率の高い材料により構成される。例えば、基部101は、透明なガラスや樹脂材料により構成される。
第1計測部102は、基部101の一方の主面に設けられたレーザ光を反射可能な層である。第1計測部102は、例えば、一方の主面に半円状に反射塗料が一定の膜圧で塗布されることで構成される。第1計測部102は、投光器13と対向する面が第1計測面を構成する。
第2計測部103は、基部101の他方の主面に設けられたレーザ光を反射可能な層である。第2計測部103は、例えば、他方の主面に半円状に反射塗料が一定の膜圧で塗布されることで構成される。第2計測部103の厚さは、第1計測部102の厚さと同一に構成される。第2計測部103は、第1計測部102と、基部101の中心軸を軸心として180°位相した範囲に設けられる。第2計測部103は、投光器13と対向する面が第2計測面を構成する。
このような対象物100Bは、第1計測部102の表面から基部101の他方の主面までの距離が、移動設定値による移動量dxと同一に構成される。
このように構成された対象物100Bを用いた距離検出装置1Aは、上述した第2の実施形態に係る距離検出装置1Aと同様の工程によりティーチングテーブルを補正することが可能、且つ、同様の効果を奏する。
(第4の実施形態)
次に、第4の実施形態に係る距離検出装置1Cについて、図8及び図9を用いて説明する。
図8は第4の実施形態に係る距離検出装置1Cの構成を模式的に示す説明図、図9は距離検出装置1Cの構成を模式的に示す説明図である。なお、第4の実施形態に係る距離検出装置1Cのうち、上述した第1の実施形態に係る距離検出装置1及び第2の実施形態に係る距離検出装置1Aと同様の構成には同一符号を用い、その詳細な説明は省略する。
次に、第4の実施形態に係る距離検出装置1Cについて、図8及び図9を用いて説明する。
図8は第4の実施形態に係る距離検出装置1Cの構成を模式的に示す説明図、図9は距離検出装置1Cの構成を模式的に示す説明図である。なお、第4の実施形態に係る距離検出装置1Cのうち、上述した第1の実施形態に係る距離検出装置1及び第2の実施形態に係る距離検出装置1Aと同様の構成には同一符号を用い、その詳細な説明は省略する。
図8に示すように、距離検出装置1Cは、対象物100と、一軸ステージ11と、回転機構12と、投光器13と、撮像装置14と、分光器16と、記憶部17と、演算装置18と、を備えている。距離検出装置1Cは、三角測量方式によって、非接触により被測定対象物の表面形状を測定可能に構成される。
分光器16は、投光器13から対象物100に照射されたレーザ光200を分岐するビームスプリッタ41と、ビームスプリッタ41で分岐した分岐レーザ光201の照射方向を対象物100に変更するミラー42と、ミラー42と対象物100の間に設けられたシャッター43と、を備えている。
ミラー42は、分岐レーザ光201を反射させることが可能に構成される。ミラー42の角度は、レーザ光200の光軸と平行な光軸とし、且つ、対象物100に照射することが可能な角度に設定される。
シャッター43は、ミラー42で反射された分岐レーザ光201を遮光可能に構成される。
このような分光器16は、投光器13から対象物100に照射されたレーザ光200と平行な分岐レーザ光201を生成し、対象物100上にレーザ光200のレーザスポットと所定の距離だけ離間した位置に分岐レーザ光201を照射する。
記憶部17は、ティーチングテーブルを記憶する。ティーチングテーブルは、一軸ステージ11の基準位置から一軸方向への対象物100の移動量である複数の移動設定値と、レーザスポットの撮像位置の対応付けを行うことで予め求められ、記憶部17に記憶される。
ティーチングテーブルには、例えば、距離検出装置1Aのティーチングテーブルと同様に、基準位置から一軸ステージ11のステージが第1計測位置へ移動する所定の移動量である移動設定値がd1であるときの対象物100に照射されるレーザ光200のレーザスポットの撮像位置AがXA1、移動設定値がd1であるときの対象物100に照射される分岐レーザ光201のレーザスポットの撮像位置から求められる仮想撮像位置BがXB1として記憶される。
また、例えば、ティーチングテーブルには、基準位置から一軸ステージ11のステージが第2計測位置へ移動する所定の移動量である移動設定値がd2であるときのレーザ光200のレーザスポットの撮像位置AがXA2、分岐レーザ光201のレーザスポットの撮像位置から求められる仮想撮像位置Bが第2撮像位置XB2として記憶される。このようにティーチングテーブルは、基準位置から一軸ステージ11の複数の移動量にレーザ光200及び分岐レーザ光201のレーザスポットのからそれぞれ求められる撮像位置A、Bが対応付けされることで構成される。
ここで、移動設定値d1は、レーザ光200のレーザスポット及び仮想撮像位置Bに生じると仮定される仮想レーザスポット間の距離と同じ値である。即ち、隣り合う移動設定値の差、換言すると移動設定値による移動量dxは、図9に示すように、レーザ光200のレーザスポット及び仮想レーザスポット間の距離と同じに設定される。
なお、仮想撮像位置B及び仮想撮像位置Bに生じると仮定する仮想レーザスポットは、図9に示すように、演算装置18によって、CCDカメラ32で撮像された分岐レーザ光201の反射光の延長上とレーザ光200の投光軸との交わる点から求められる。
演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を制御する。演算装置18は、一軸ステージ11の移動量を検出する。演算装置18は、対象物100等の被測定物に照射され、撮像装置14で撮像されたレーザ光200のレーザスポットの情報から、撮像情報を求めるとともに、ティーチングテーブルに基づいて被測定物の距離を計測する。演算装置18は、ティーチングテーブルの補正時に、シャッター43を制御して、分岐レーザ光201を対象物100上に照射可能に構成される。
演算装置18は、一軸方向の任意の2箇所の計測位置の距離、即ち、被測定物の移動量を求める。演算装置18は、任意の2箇所の計測位置の一方で計測した分岐レーザ光201の仮想レーザスポットの位置と、一軸ステージ11を所定の距離移動させた任意の2箇所の計測位置の他方で計測したレーザ光200のレーザスポットの位置との差から、移動量の誤差Δdを求める。また、演算装置18は、求めた移動量の誤差Δdから、ティーチングテーブルの移動設定値を補正する。
次に、演算装置18による距離検出装置1Cの校正方法について説明する。なお距離検出装置1Cの校正方法の流れは、距離検出装置1Aの校正方法の流れと同様であることから、距離検出装置1Cの校正方法について図6を用いて以下説明する。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100が固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100を移動する(ステップST11)。次に、演算装置18は、レーザ光200及び分岐レーザ光201を対象物100に照射し、それぞれレーザスポットを撮像し(ステップST12)、第1計測位置における第1撮像位置XA1及び第2撮像位置XB1を求める。また、併せて、演算装置18は、分岐レーザ光201による仮想レーザスポットを求める。
先ず、演算装置18は、回転機構12に対象物100が固定された状態で、一軸ステージ11及び回転機構12を制御し、第1計測位置に対象物100を移動する(ステップST11)。次に、演算装置18は、レーザ光200及び分岐レーザ光201を対象物100に照射し、それぞれレーザスポットを撮像し(ステップST12)、第1計測位置における第1撮像位置XA1及び第2撮像位置XB1を求める。また、併せて、演算装置18は、分岐レーザ光201による仮想レーザスポットを求める。
なお、ここで、第1計測位置は、例えば、基準位置又はティーチングテーブルに記憶されたいずれかの一軸ステージ11の移動設定値で基準位置から移動させた位置である。
次に、演算装置18は、一軸ステージ11を制御し、対象物100を第1計測位置から所定の移動量dxだけ移動させて、第2計測位置に対象物100を移動する(ステップST13)。次に、演算装置18は、レーザ光200及び分岐レーザ光201を対象物100に照射し、それぞれレーザスポットを撮像し(ステップST14)、第2計測位置における第1撮像位置XA2及び第2撮像位置XB2を求める。また、併せて、演算装置18は、分岐レーザ光201による仮想レーザスポットを求める。
次に、演算装置18は、各撮像位置XA1,XA2,XB1,XB2から一軸ステージ11の移動量誤差Δdを検出する(ステップST15)。例えば、移動量誤差Δd、実際の一軸ステージ11による対象物100Aの移動量D、及び、移動設定値による移動量dx(dx=d2−d1)とすると、移動量誤差Δdは、Δd=D−dxにより求められる。
より具体的に説明すると、移動量dxは、レーザ光200のレーザスポット及び分岐レーザ光201による仮想レーザスポットの距離と同じ値であることから、Δd=0の場合には、第1計測位置における第2撮像位置XB1と第2計測位置における第1撮像位置XA2の関係は、XB1=XA2となる。このため、移動量誤差Δdは、Δd=(XA2−XB1)に画素分解能を乗じた値から導出することができる。
次に、演算装置18は、導出した移動量誤差Δdにより、ティーチングテーブルを補正する(ステップST16)。具体的には、移動設定値d2にΔdを加えて新たな移動設定値D2(D2=d2+Δd)とする。これらのように、演算装置18は、各移動設定値において、ティーチングテーブルを補正することで、距離検出装置1の校正が行われる。
このように構成された距離検出装置1Cによれば、上述した距離検出装置1、1Aと同様に、一軸ステージ11の移動量に誤差が生じていても、変位計15で実測した変位量に基づいて、一軸ステージ11の移動量及びティーチングテーブルを補正することが可能となる。
上述したように、第4の実施形態に係る距離検出装置1Cによれば、高い精度で距離を計測できる。
以上述べた少なくともひとつの実施形態の距離検出装置によれば、ティーチングテーブルの補正を行う機能を有することで、高い精度で距離を計測できる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1、1A、1C…距離検出装置、11…一軸ステージ、12…回転機構、13…投光器、14…撮像装置、15…変位計、16…分光器、17…記憶部、18…演算装置、21…基部、22…被回転部、23…駆動部、31…受光レンズ、32…カメラ、33…アナログディジタルコンバータ、41…ビームスプリッタ、42…ミラー、43…シャッター、100、100A、100B…対象物、100a…第1計測面、100b…第2計測面、101…基部、102…第1計測部、103…第2計測部、200…レーザ光、201…分岐レーザ光。
Claims (10)
- 対象物を一軸方向に移動させる一軸ステージと、
前記対象物の前記一軸方向の変位量を計測する変位計と、
前記対象物にレーザ光を照射する投光器と、
前記投光器から前記対象物に照射された前記レーザ光のレーザスポットを撮像する撮像装置と、
前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルが記憶された記憶部と、
前記一軸方向の任意の2箇所において前記レーザスポットを撮像したときの前記撮像位置及び前記ティーチングテーブルに基づいて求めた前記対象物の前記一軸方向の移動量を前記変位計により計測した変位量で補正する演算装置と、
を備える、距離検出装置。 - 一軸方向の異なる位置に設けられた第1計測面及び第2計測面を有する対象物を回転させる回転機構と、
前記回転機構を一軸方向に移動させる一軸ステージと、
前記対象物にレーザ光を照射する投光器と、
前記投光器から前記対象物の前記第1計測面及び前記第2計測面に照射された前記レーザ光のレーザスポットを撮像する撮像装置と、
前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記第1計測面又は前記第2計測面で前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルが記憶された記憶部と、
前記撮像装置により前記第1計測面及び前記第2計測面の一方で前記レーザスポットを撮像したときの第1撮像位置並びに前記第1撮像位置で撮像した前記第1計測面及び前記第2計測面の一方を前記一軸方向で前記第1計測面及び前記第2計測面の他方の位置まで移動させて、前記撮像装置により前記第1計測面及び前記第2計測面の他方で前記レーザスポットを撮像したときの第2撮像位置の差から、前記一軸ステージの移動量の誤差を求め、前記誤差に基づいて前記ティーチングテーブルを補正する演算装置と、
を備える、距離検出装置。 - 前記対象物は、円盤状に構成され、一方の主面に前記一軸方向の位置が異なる前記第1計測面及び前記第2計測面を有する、請求項2に記載の距離検出装置。
- 前記対象物は、前記レーザ光を透過可能な円盤状に構成され、一方の主面の一部に設けられ、前記レーザ光を反射する前記第1計測面と、他方の主面の一部であって、前記一軸方向に直交する方向で前記第1計測面と異なる位置に、前記レーザ光を反射する前記第2計測面と、を有する、請求項2に記載の距離検出装置。
- 対象物を一軸方向に移動させる一軸ステージと、
前記対象物にレーザ光を照射する投光器と、
前記対象物及び前記投光器の間に設けられ、前記レーザ光を分岐するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで分岐された分岐レーザ光を前記対象物に照射するミラーと、
前記投光器から前記対象物に照射された前記レーザ光及び前記分岐レーザ光のレーザスポットを撮像する撮像装置と、
前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記レーザ光で前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置に対応するティーチングテーブルが記憶された記憶部と、
前記撮像装置により前記対象物の前記レーザ光及び前記分岐レーザ光の前記レーザスポットを撮像した前記撮像位置、前記分岐レーザ光の前記レーザスポットから前記レーザ光の投光軸上の仮想レーザスポット並びに前記レーザ光の前記レーザスポット及び前記仮想レーザスポットの距離を求め、求めた前記距離及び前記移動量の差から、前記一軸ステージの移動量の誤差を求め、前記誤差に基づいて前記ティーチングテーブルを補正する演算装置と、
を備える距離検出装置。 - 一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された対象物を第1計測位置に移動し、
投光器から前記第1計測位置に移動した前記対象物にレーザ光を照射し、
撮像装置で、前記第1計測位置に移動した前記対象物に照射された前記レーザ光のレーザスポットを撮像し、
前記一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された前記対象物を前記第1計測位置から一軸方向の第2計測位置に移動し、
前記第1計測位置から前記第2計測位置に移動したときの前記対象物の前記一軸方向の変位量を変位計により計測し、
前記投光器から前記第2計測位置に移動した前記対象物に前記レーザ光を照射し、
前記撮像装置で、前記第2計測位置に移動した前記対象物に照射された前記レーザ光の前記レーザスポットを撮像し、
前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブル、前記第1計測位置で前記レーザスポットを撮像した第1撮像位置並びに前記第2計測位置で前記レーザスポットを撮像した第2撮像位置に基づいて求めた前記対象物の前記一軸方向の移動量を、前記変位計により計測した前記変位量で補正する、
距離検出装置の校正方法。 - 一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された一軸方向の異なる位置に設けられた第1計測面及び第2計測面を有する対象物を第1計測位置に移動し、
投光器から前記第1計測位置に移動した前記対象物の前記第2計測面にレーザ光を照射し、
撮像装置で、前記第1計測位置に移動した前記対象物の前記第1計測面及び前記第2計測面に照射された前記レーザ光のレーザスポットをそれぞれ撮像し、
前記一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された前記対象物を、前記第1計測位置から前記第1計測面及び前記第2計測面の距離と同じ距離だけ離間した第2計測位置に移動し、
前記投光器から前記第2計測位置に移動した前記対象物の前記第1計測面及び前記第2計測面に前記レーザ光を照射し、
前記撮像装置で、前記第2計測位置に移動した前記対象物の前記第1計測面及び前記第2計測面に照射された前記レーザ光の前記レーザスポットを撮像し、
前記第1計測位置で撮像した前記第2計測面の前記レーザスポットの第1撮像位置並びに前記第2計測位置で撮像した前記第1計測面の前記レーザスポットの第2撮像位置の差から前記一軸ステージの移動量の誤差を求め、
前記誤差に基づいて前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記第1計測面又は前記第2計測面で前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルを補正する、
距離検出装置の校正方法。 - 前記対象物は、円盤状に構成され、一方の主面に前記一軸方向の位置が異なる前記第1計測面及び前記第2計測面を有する、請求項7に記載の距離検出装置の校正方法。
- 前記対象物は、前記レーザ光を透過可能な円盤状に構成され、一方の主面の一部に設けられ、前記レーザ光を反射する前記第1計測面と、他方の主面の一部であって、前記一軸方向に直交する方向で前記第1計測面と異なる位置に、前記レーザ光を反射する前記第2計測面と、を有する、請求項7に記載の距離検出装置の校正方法。
- 一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された対象物を第1計測位置に移動し、
投光器から前記第1計測位置に移動した前記対象物にレーザ光を照射し、
前記第1計測位置に移動した前記対象物に、前記投光器から前記第1計測位置に照射した前記レーザ光を分光器により分光した分岐レーザ光を前記対象物に照射し、
撮像装置で、前記第1計測位置に移動した前記対象物に照射された前記レーザ光及び前記分岐レーザ光のレーザスポットをそれぞれ撮像し、
前記分岐レーザ光の前記レーザスポットから前記レーザ光の投光軸上の仮想レーザスポット並びに前記レーザ光の前記レーザスポット及び前記仮想レーザスポットの距離を求め、
前記一軸ステージを制御し、前記一軸ステージに固定された前記対象物を、前記第1計測位置から前記レーザ光の前記レーザスポット及び前記仮想レーザスポットの距離と同じ距離だけ離間した一軸方向の第2計測位置に移動し、
前記投光器から前記第2計測位置に移動した前記対象物に前記レーザ光を照射し、
前記撮像装置で、前記第2計測位置に移動した前記対象物に照射された前記レーザ光の前記レーザスポットを撮像し、
前記第1計測位置で求めた前記仮想レーザスポットの第1撮像位置並びに前記第2計測位置で撮像した前記レーザ光の前記レーザスポットの第2撮像位置の差から前記一軸ステージの移動量の誤差を求め、
前記誤差に基づいて前記一軸ステージの基準位置からの前記一軸方向の移動量である複数の移動設定値及び前記複数の移動設定値のそれぞれにおいて前記撮像装置により前記レーザ光の前記レーザスポットを撮像したときの撮像位置が対応付けされたティーチングテーブルを補正する、
距離検出装置の校正方法。
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JP2016087248A JP2017198475A (ja) | 2016-04-25 | 2016-04-25 | 距離検出装置及び距離検出装置の校正方法 |
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CN113740032A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-12-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大尺寸激光光斑检测装置及方法 |
JP2022502633A (ja) * | 2018-10-02 | 2022-01-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | レーザ三角測量装置及び較正方法 |
-
2016
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JP2022502633A (ja) * | 2018-10-02 | 2022-01-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | レーザ三角測量装置及び較正方法 |
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US12007219B2 (en) | 2018-10-02 | 2024-06-11 | Asml Netherlands B.V. | Laser triangulation apparatus and calibration method |
CN113740032A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-12-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大尺寸激光光斑检测装置及方法 |
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